JP2016062960A - 半導体装置の製造装置および半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】金属バンプ間のショートの発生を抑制できる半導体装置の製造装置を提供する。【解決手段】実施形態によれば、ヘッド部とステージとを備え、前記ヘッド部を、制御部により移動制御して加工を行う半導体装置の製造装置であって、前記ヘッド部は、前記ステージと対向する対向軸方向に移動させるための駆動部と、前記対向軸方向の荷重センサと、前記対向軸方向の位置センサと、加熱手段とを備え、前記制御部は、前記ヘッド部を前記駆動部により前記対向軸方向に移動させて前記ステージに近づけ、前記荷重センサによる荷重値が目標値となるように荷重制御を行い、続いて、前記加熱手段により前記ヘッド部の温度を上昇させ、前記駆動部により前記ヘッド部を前記ステージから離れるように位置制御を行い、その後、前記加熱手段による加熱の停止および前記駆動部による前記ヘッド部の前記ステージに近づくように行う位置制御を行う。【選択図】図1
Description
本発明の実施形態は、半導体装置の製造装置および半導体装置の製造方法に関する。
半導体素子に形成された金属電極パッドと実装用の基板に形成されたはんだなどの金属バンプに電気的接続する製造装置としては次のようなものがある。
すなわち、例えば、ヘッド部とステージとを備えた構成で、ステージに金属バンプを形成した基板を載置し、ヘッド部に金属電極パッドを形成した半導体素子を装着する。ステージは金属が溶融しない程度に予備加熱をしておき、ヘッド部を下降させて半導体素子の金属パッドがステージ上の基板の金属バンプと接するところで保持する。そして、ヘッド部の加熱手段により加熱して半導体素子の金属パッドの温度を上昇させ、これによって接触している金属バンプを溶融させる。
すなわち、例えば、ヘッド部とステージとを備えた構成で、ステージに金属バンプを形成した基板を載置し、ヘッド部に金属電極パッドを形成した半導体素子を装着する。ステージは金属が溶融しない程度に予備加熱をしておき、ヘッド部を下降させて半導体素子の金属パッドがステージ上の基板の金属バンプと接するところで保持する。そして、ヘッド部の加熱手段により加熱して半導体素子の金属パッドの温度を上昇させ、これによって接触している金属バンプを溶融させる。
その後加熱を停止することで、金属バンプが冷却されて金属パッドと電気的に接続された状態となる。この後、ヘッド部による半導体素子の装着を解除し、ヘッド部を上昇させることで、基板に半導体素子を電気的に接続した状態の半導体装置を得ることができる。
しかしながら、上記した半導体装置の製造工程では、ヘッド部あるいはステージは、加熱をすることで高さ方向の長さが膨張により変化し、先端部分に位置する半導体素子および基板を保持している位置が膨張によって変化する。このため、半導体素子の金属パッドと基板との距離が近接することで溶融した金属バンプが押し潰されて横幅が広くなり、隣接する溶融部分同士が接触ショートする不具合がある。
本実施形態は、半導体素子および基板の間で、金属バンプを溶融して金属パッドに電気的に接続する工程で、隣接する金属バンプ間のショートの発生を抑制できる半導体装置の製造装置および半導体装置の製造方法を提供する。
本実施形態の半導体装置の製造装置は、ヘッド部とステージとを備え、前記ヘッド部を、制御部により移動制御して加工を行う半導体装置の製造装置であって、前記ヘッド部は、前記ステージと対向する対向軸方向に移動させるための駆動部と、前記対向軸方向の荷重センサと、前記対向軸方向の位置センサと、加熱手段とを備え、前記制御部は、前記ヘッド部を前記駆動部により前記対向軸方向に移動させて前記ステージに近づけ、前記荷重センサによる荷重値が目標値となるように荷重制御を行い、続いて、前記加熱手段により前記ヘッド部の温度を上昇させ、前記駆動部により前記ヘッド部を前記ステージから離れるように位置制御を行い、その後、前記加熱手段による加熱の停止および前記駆動部による前記ヘッド部の前記ステージに近づくように行う位置制御を行う。
以下、実施形態について、図1から図11を参照して説明する。尚、図面は模式的なものであり、厚みと平面寸法との関係、各層の厚みの比率等は現実のものとは必ずしも一致しない。また、上下左右の方向についても、後述する半導体基板における回路形成面側を上または下とした場合の相対的な方向を示し、必ずしも重力加速度方向を基準としたものとは一致しない。
図1は半導体装置の製造装置1の概略的な構成を示している。図示の状態では離間した別体の構成として示しているが、実際には図示しない外殻構成部により全体を一体の構成となるように設けられている。製造装置1の下方にはセラミックなどを用いたステージ2が設けられる。ステージ2の上部にはヘッド部3とこのヘッド部3を上下動可能に支持している支持部4が設けられる。なお、以下の説明では、上下方向をZ軸方向、水平方向をXY軸方向と称する。
ステージ2は、上面に図3(b)に示すようなセラミック基板やガラスエポキシ基板などの半導体素子実装用の基板5を保持する。ステージ2は、上面に保持した基板5を所定温度に加熱するために内部にステージヒータ6およびその温度をモニタするための温度センサ7が設けられている。ステージヒータ6によるステージ2の加熱は、例えば図2に示す基板5に形成された金属バンプであるはんだバンプ5aを融点よりも低い一定温度(例えば150℃)で加熱するように温度センサ7によりモニタしながら通電制御される。
ヘッド部3は、下面部分にボンディングツール8が配置され、図3(a)に示すような半導体素子などの半導体素子9を吸着保持可能に設けられている。ヘッド部3には、ボンディングツール8に保持される半導体素子9を加熱するためのヘッドヒータ10およびその温度をモニタするための温度センサ11が設けられている。また、ヘッド部3には、内部に冷却用の高圧エアなどを流通させるための冷却孔12が形成されている。
ヘッドヒータ10は、ヘッド部3の加熱を、電流を流すことにより発熱して急速に温度を上昇させることができるもので、パルスヒータとしての機能を備えるものである。これにより、ボンディングツール8により吸着保持されている半導体素子9は急速に温度を上昇させることができる。また、加熱を停止する際には、ヘッドヒータ10への電流を遮断し、さらに、冷却孔12に冷却用の高圧エアを流通させることでヘッド部3の温度を急速に低下させることができる。
支持部4には、ヘッド部3をZ軸方向(上下方向)に移動させるための駆動部13が設けられ、その位置を検出するための位置センサ14が設けられている。また、支持部4には、ヘッド部3を下降させてステージ2と接触した際のステージ2への荷重値を検出する荷重センサ15が設けられている。これにより、ヘッド部3のZ軸方向の移動を駆動部13により制御する場合に位置センサ14をモニタすることでZ軸方向の位置を制御することができる。さらに、ヘッド部3に対する荷重の度合いを荷重センサ15でモニタすることで、検出された荷重値の大きさでヘッド部3の位置の制御をすることができる。
制御装置16は、CPUやメモリなどを備えたもので、プログラムに従って装置全体の制御を行う。制御装置16は、後述するプログラムに従って、上記したステージ2、ヘッド部3、支持部4などの各部の動きを制御する。また、図示はしていないが、ステージ2に基板5を装着し、ヘッド部3のボンディングツール8に半導体素子9を装着した状態で、両者のXY軸方向(水平方向)の位置を認識するための位置認識カメラが備えられており、制御装置16により、基板5と半導体素子9との位置を正しい接続位置に、XY方向および水平面内の回転方向に移動制御するように構成されている。
次に、上記構成の製造装置1により実施する半導体装置の製造工程について説明する。図3(a)は、前述した半導体素子9の模式的な断面を示し、シリコン基板などの半導体基板の表面部に種々の加工工程を経て半導体素子からなる集積回路が作りこまれたものである。この半導体素子9の表面(上面)には、外部と電気的に接続するための金属電極である金属パッド9aが複数個形成されている。
一方、図3(b)は、基板5の模式的な断面を示している。基板5は、例えばセラミックなどにより形成されたもので、表面(上面)には、半導体素子9の金属パッド9aと電気的に接続するための電極パターンが形成されると共に、その接続部分には金属バンプとしてはんだバンプ5aが形成されている。また、基板5の表面あるいは裏面には半導体素子9が実装された状態で外部回路と接続するための各種の端子部などが配置形成されている。この場合、基板5は、裏面に端子部が形成される場合には、基板5の内部を介して裏面側に配線用の導体が接続されるように設けられている。
図3(c)は、上記した基板5に半導体素子9を実装した状態の模式的な断面を示している。基板5のはんだバンプ5aは、実装状態では図示のように溶融後に加圧して押しつぶした状態のはんだ5bとして半導体素子9の金属パッド9aと電気的に接続された状態とされている。また、この状態で、半導体素子9は、基板5に実装した状態では、両者の間が例えば距離dだけ離間した状態に実装されていて、これによって、実装時にはんだバンプ5aが過剰に押しつぶされることがなくなり、隣接するはんだバンプ5a同士が接触してはんだ5b同士がショートすることのない状態に形成されている。
次に、図2および図4〜図11を参照して製造装置1による基板5への半導体素子9の実装の工程について説明する。
図2は、製造装置1の制御装置16による実装工程の制御動作を概略的に示す工程の流れ図である。以下、この図2の流れ図にしたがって、その工程について説明する。また、図9は一連の工程の動作の流れに伴うヘッド部3の温度の推移、ヘッド部3の荷重値の推移、およびヘッド部3の高さの推移を示している。
図2は、製造装置1の制御装置16による実装工程の制御動作を概略的に示す工程の流れ図である。以下、この図2の流れ図にしたがって、その工程について説明する。また、図9は一連の工程の動作の流れに伴うヘッド部3の温度の推移、ヘッド部3の荷重値の推移、およびヘッド部3の高さの推移を示している。
具体的動作においては、図4に示しているように、まず、開始時点では、製造装置1のヘッド部3は、ステージ2と離間する位置に配置されている。初めに半導体素子9をヘッド部3のボンディングツール8に配置させ、制御装置16の制御により、半導体素子9を吸引などの方法によりボンディングツール8に保持させる(図2中S1)。次に、ステージ2の上面に基板5を配置させ、制御装置16の制御により、基板5を吸引などの方法によりステージ2の上面に保持させる(図2中S2)。
次に、制御装置16により、ステージ2とヘッド部3との間の空間領域に位置認識カメラを挿入配置させ、Z軸方向の上下に位置する基板5および半導体素子9を撮影して両者の位置を認識する。この後、ステージ2あるいはヘッド部3をXY軸方向(水平方向)および水平面内の回転方向に相対的に移動させることで、ステージ2に装着した基板5のはんだバンプ5aとヘッド部3のボンディングツール8に装着した半導体素子9の金属パッド9aとの位置が対向状態となるように調整して位置合わせをする(図2中S3)。
続いて、制御装置16により、ヘッド部3を下降させてステージ2と近接するように移動させる。このとき、Z軸方向の移動を位置センサ14の検出信号に基づく場合には、制御装置16により、基板5のはんだバンプ5aと半導体素子9の金属パッド9aとが接触する少し前の高さをあらかじめ設定しておくことで、急速に移動制御することができる。
これにより、図5に示すように、ヘッド部3がステージ2に近接した位置まで移動制御される。この後、制御装置16により、ヘッド部3の下降の制御を荷重センサ15の検出信号に基づいて行う。はんだバンプ5aと金属パッド9aとが接触(ヘッド部3がステージ2に接地)したときに生ずる荷重が閾値荷重になることをを検出するまで行う(図2中S4)。
なお、上記のようなヘッド部3の下降の制御は、位置センサ14を用いずに、荷重センサ15の検出信号に基づいて行うこともできる。すなわち、制御装置16により、ヘッド部3を一定の速度でZ軸方向に下降させ、荷重センサ15の検出荷重をモニタして、金属パッド9aがはんだバンプ5aに接触して荷重値が閾値荷重に達した時点で移動を停止することもできる。
ヘッド部3の下降により、はんだバンプ5aと金属パッド9aとが接触状態(ヘッド部3がステージ2に接地した状態)になると、この後、制御装置16により、荷重センサ15をモニタしながらヘッド部3をさらに下降させるように制御することで、ヘッド部3によりステージ2への加圧をして指定加圧値となるように行う(図2中S5、図9中時刻t1)。これにより、ヘッド部3側の半導体素子9の金属パッド9aがステージ2側の基板5のはんだバンプ5aに押し付けられる状態となり、はんだバンプ5aは圧縮変形し両者が接触する表面に生成している自然酸化膜が破れて、導通状態を確保できるようになる。
このとき、例えば、図5に示しているように、加圧していない状態でのヘッド部3の高さ寸法をA0、ステージ2の高さ寸法をB0とすると、加圧動作を行うことで、図6(a)に示すように、ヘッド部3の高さ寸法はA0よりも小さいA1(<A0)に圧縮され、ステージ2の高さ寸法はB0よりも小さいB1(<B0)に圧縮された状態となる。
なお、このように加圧動作を行うと、上記したようにヘッド部3およびステージ2も圧縮状態となって高さ寸法がA1、B1と小さくなる。この状態で、ヘッド部3のヒータ10により加熱動作を行うと、ボンディングツール8および半導体素子9の金属パッド9aを通じて基板5のはんだバンプ5aが加熱されることで溶融状態となる。
この結果、圧縮状態となっていたヘッド部3およびステージ2への圧力が開放され、もとの高さ寸法A0およびB0に戻ることとなる。ヘッド部3は、さらに加熱によって膨張するため、ものと高さ寸法A0よりも大きいA2に変化する。このときのヘッド部3およびステージ2の変形によって、図6(b)に示すように、はんだバンプ9aは過剰に押しつぶされることがあり、これによって、隣接するはんだバンプ9a同士が接触状態となり電気的にショートとなる不具合が予想される。
そこで、この実施形態においては、加圧制御を行った後に、制御装置16によりヘッド部3を上昇させることで減圧制御を行う(図2中S6、図9中時刻t2)。この場合には、荷重センサ15の検出信号をモニタしながらヘッド部3を上昇(Z軸方向の移動)させ、減圧をしながら、はんだバンプ5aと金属パッド9aとの接触状態を保持させた状態(荷重センサ15による検出荷重が所定レベルとなる状態)で、上昇を停止している。
なお、このような制御については、図10にも示している。図10では、ヘッド部3の高さを破線で示し、左側の目盛で値を示している。また、荷重センサ15の検出荷重値(N)を実線で示し、右側の目盛で値を示している。なお、時間(sec)の進行は、相対的なものであり、ここでは加圧動作を行う場合の一例として示している。
この制御では、動作を開始すると、制御装置16により、ヘッド部3が下降される。この後、制御装置16は、ヘッド部3側の半導体素子9の金属パッド9aが、ステージ2側の基板5のはんだバンプ5aと接触して、荷重センサ15の検出荷重値が上昇し始めると、さらにヘッド部3の下降制御する。そして、制御装置16は、荷重値が所定レベル例えば100N程度となるようにヘッド部3を下降制御して加圧する。このとき位置センサ14により検出されるヘッド部3のZ軸方向の変位量の値は、例えば0.246mmであった。
制御装置16は、ヘッド部3を加圧状態で所定時間保持し、その後、ヘッド部3を上昇制御することで減圧し、荷重値が例えば10Nまで下がると、この位置でヘッド部3の上昇を停止して保持する。この状態では、荷重値が所定値である10Nであり、はんだバンプ5aと金属パッド9aとが接触した状態に保持されている。このとき、位置センサ14により検出されるヘッド部3のZ軸方向の変位量の値は、0.265mmであった。したがって、減圧によってZ軸方向の変位量が0.019mm(19μm)であったことがわかる。この変化量19μmがヘッド部3に指定加圧値の圧力が加えられたときのヘッド部3とステージ2の圧縮変形量になる。
この結果、ヘッド部3の減圧制御(S6)を実施することで、上記した減圧時に発生する変位量19μmに相当する圧縮変形が改善できる。図8は減圧制御を行った状態での様子を示している。すなわち、加圧制御により圧縮変形されていたヘッド部3を減圧制御することでほぼ加圧前の高さ寸法A0に戻すことができている。
次に、制御装置16により、ヘッド部3の加熱制御を開始する(図2中S7、図9中時刻t3)。この場合、加熱制御を実施すると、ヘッド部3は、温度上昇に伴って高さ寸法がA0から熱膨張によってこれよりも長い寸法に変形する。図11はヘッド部3の温度上昇に伴う高さ寸法の変化量を示すグラフの一例である。
図11では、例えば、縦軸にヘッド部3のZ軸方向の変化量をとり、横軸にヘッド部3の温度をとっている。ここでは、ヘッド部3の温度が175℃のときのZ軸方向の変化量を基準として「0」としている。これにより、ヘッド部3の温度が240℃のときに変化量が8.0μm、ヘッド部3の温度が310℃のときに変化量が18.6μmとなっていることがわかる。つまり、ヘッド部3を加熱制御することでZ軸方向の変化量が熱膨張によって増加している。
ところが、この熱膨張によるヘッド部3の伸びは、機械的なヘッド部3のZ軸位置制御に反映されていない場合には、ヘッド部3の加熱制御に伴い、ヘッド部3の先端Z位置つまり半導体素子9の金属パッド9aの高さは変化量と同じだけステージ2側に近接することとなり、はんだバンプ9aを押し潰すようになる。
一方、同様の理屈により、ヘッド部3の加熱制御を停止してヘッド部3を冷却する場合には、ヘッド部3は、上記した熱膨張による変化量の分だけ収縮するため、今度は、ヘッド部3の下端部の位置が上方に引き上げられることになり、金属パッド9aが上昇するときに、冷却で固化したはんだバンプ9aを引っ張るように作用して引っ張り応力を及ぼすことになる。
そこで、本実施形態においては、上記のような加熱制御および冷却によるヘッド部3の変化量を吸収するようにヘッド部3の位置制御を行う。まず、制御装置16は、ヘッド部3の加熱制御を開始(図9中、時刻t3)してヘッドヒータ11に通電を開始すると、ヘッド部3の高さを熱膨張により変化する量を想定して上昇させるように制御する(図2中S8)。この場合、ヘッド部3の温度の推移と、熱膨張によるZ軸方向の変化量は必ずしも一致しない。熱膨張は時間の経過と共に直線的に増加する傾向にあるので、図9に示しているように、ヘッド部3のZ軸方向の位置制御もこれに合わせて行う。
これにより、ヘッド部3の下端部に位置する半導体素子9の金属パッド9aとステージ2側の基板5のはんだバンプ5aとの距離は、ほぼ同じ距離を保持した状態に保たれる。したがって、隣接するはんだバンプ5a同士が接触することでショート状態となる事態を回避できる。
次に、制御装置16は、一定時間の加熱制御を行うことではんだバンプ5aを充分に溶融状態にして金属パッド9aとのなじみを良くした後に、ヘッドヒータ11への通電を停止してヘッド部3の加熱を停止する(図2中S9、図9中時刻t4)。また、このとき、制御装置16は、冷却孔12を通じて冷却用の空気を流通させることで放熱を早めてヘッド部3を強制冷却する。
これにより、ヘッド部3の温度は急速に低下していく。また、この冷却に伴って、制御装置16は、ヘッド部3の高さを冷却により変化する量を想定して下降(押し込み)させるように制御する(図2中S10)。この場合、冷却の開始時点とヘッド部3の下降の制御はほぼ同時に行うことができる。また、ヘッド部3の冷却を開始してからヘッド部3の下降制御を行うこともできるし、その逆で、ヘッド部の下降制御を開始してからヘッド部の冷却を開始させるように制御することもできる。
これにより、ヘッド部3の下端部に位置する半導体素子9の金属パッド9aとステージ2側の基板5のはんだバンプ5aとの距離は、ほぼ同じ距離を保持した状態に保たれる。したがって、金属パッド9aが上昇するときに、冷却で固化したはんだバンプ9aを引っ張るように作用して引っ張り応力を及ぼすのを抑制できる。
このようにして、ヘッド部3の冷却が進むと、はんだバンプ5aが凝固して金属パッド9aと電気的に接合された状態となる。このとき、上記のようにヘッド部3のZ軸方向の位置制御(図2中、S6〜S10)を実施していることで、ほぼ一定の距離dを保った状態とすることができる。この状態で、制御装置16は、一定時間だけこの状態を保持するように待機する(図9中時刻t5から所定時間の間)。
最後に、制御装置16により、ヘッド部3のボンディングツール8による半導体素子9の吸着状態を解除させ、ヘッド部3を上昇させ、これによってヘッド部3による保持から半導体素子9を切り離して(図2中S11)工程が終了する。ステージ2上には、図3(c)に示したように、半導体素子9の金属パッド9aがはんだバンプ5bに所定距離dを存した状態で接続された基板5が残った状態となり、ステージ2から接続された半導体装置を取り外すことができる。
上記実施形態によれば、半導体素子9の金属パッド9aを基板5のはんだバンプ5aに接合される工程において、ヘッド部3の加圧動作によってヘッド部3およびステージ2が圧縮変形したままで加熱するのではなく、加圧動作(S5)から減圧動作(S6)を実施することで、加圧によるヘッド部3およびステージ2の圧縮変形を圧縮前の形状に戻すことができ、ヘッド部3の加熱制御ではんだバンプ5aを溶融させるときに、圧縮変形の開放による広がりで変形を生じさせるのを抑制でき、隣接するはんだバンプ5a同士が接触するのを防止でき、ショート不良が発生しない工程とすることができる。
また、ヘッド部3の加熱制御中には、ヘッド部3の加熱による伸び量を考慮してヘッド部3のZ軸方向の変位値を吸収するように上昇するように制御することで、ヘッド部3の加熱による熱膨張で隣接するはんだバンプ5a同士がショートを発生するのを抑制できる。
また、ヘッド部3の冷却中には、ヘッド部3の冷却による縮み量を考慮してその変化を吸収するようにヘッド部3のZ軸方向の位置を下げるように制御するので、ヘッド部3の冷却に起因した収縮ではんだバンプ5aと金属パッド9aとの接合部に引っ張り応力による破断を発生させないようにすることができる。
(他の実施形態)
上記実施形態で説明したもの以外に次のような変形形態に適用することができる。
上記実施形態において、はんだバンプ5aに相当する金属バンプあるいは金属ボールが形成されているものであれば良い。
上記実施形態で説明したもの以外に次のような変形形態に適用することができる。
上記実施形態において、はんだバンプ5aに相当する金属バンプあるいは金属ボールが形成されているものであれば良い。
また、金属バンプは半導体素子9側に設けた場合でも実施可能である。基板5と半導体素子9のいずれか一方に金属パッドが設けられ、他方に金属バンプが設けられた構成のものに適用することができる。
冷却孔に冷却用空気を流通することによる強制冷却は、実施しないこともできる。
上記実施形態では、制御装置16により、加熱制御を実施する前に、加圧および減圧の制御を実施する場合を示したが、これに限らず、例えば、接続する両者の表面部に自然酸化膜が形成されていない状態を確保できる場合には、加圧および減圧の制御を行わず、直接加熱制御を実施することもできる。
上記実施形態では、制御装置16により、加熱制御を実施する前に、加圧および減圧の制御を実施する場合を示したが、これに限らず、例えば、接続する両者の表面部に自然酸化膜が形成されていない状態を確保できる場合には、加圧および減圧の制御を行わず、直接加熱制御を実施することもできる。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
図面中、1は半導体装置の製造装置、2はステージ、3はヘッド部、4は支持部、5は基板、5aははんだバンプ(金属バンプ)、8はボンディングツール、9は半導体素子、9aは金属パッド、10はヘッドヒータ、11は温度センサ、12は冷却孔、13は駆動部、14は位置センサ、15は荷重センサ、16は制御装置である。
Claims (6)
- ヘッド部とステージとを備え、前記ヘッド部を、制御部により移動制御して加工を行う半導体装置の製造装置であって、
前記ヘッド部は、前記ステージと対向する対向軸方向に移動させるための駆動部と、前記対向軸方向の荷重センサと、前記対向軸方向の位置センサと、加熱手段とを備え、
前記制御部は、前記ヘッド部を前記駆動部により前記対向軸方向に移動させて前記ステージに近づけ、前記荷重センサによる荷重値が目標値となるように荷重制御を行い、続いて、前記加熱手段により前記ヘッド部の温度を上昇させ、前記駆動部により前記ヘッド部を前記ステージから離れるように位置制御を行い、その後、前記加熱手段による加熱の停止および前記駆動部による前記ヘッド部の前記ステージに近づくように行う位置制御を行うことを特徴とする半導体装置の製造装置。 - 請求項1に記載の半導体装置の製造装置において、
前記制御部は、前記加熱手段による前記ヘッド部の加熱に先立って、前記ヘッド部を前記駆動部により前記対向軸方向に移動させて前記ステージに近づけて前記荷重センサによる荷重値が目標値に達した後あらかじめ設定された加圧値となるように加圧し、この後、前記駆動部により前記荷重センサによる荷重値が前記加圧値より小さい目標値となるように制御する加圧制御を行うことを特徴とする半導体装置の製造装置。 - 請求項1または2に記載の半導体装置の製造装置において、
前記ヘッド部には半導体素子が装着され、前記ステージには基板が装着され、
前記半導体素子および前記基板のいずれか一方に金属バンプが設けられ、他方に金属電極が設けられ、
前記制御部の制御により、前記ヘッド部を移動制御して前記半導体素子と前記基板とを前記金属バンプを溶融して前記金属電極に電気的に接続する
ことを特徴とする半導体装置の製造装置。 - 請求項3の半導体装置の製造装置において、
前記ヘッド部は、温度センサを備え、
前記制御部は、前記加熱手段により前記ヘッド部の温度を上昇させた後、前記温度センサによる検出温度が前記金属バンプの金属の融点に達した後に、前記駆動部により前記ヘッド部を前記ステージから離れるように位置制御を開始することを特徴とする半導体装置の製造装置。 - 請求項1から4のいずれか一項に記載の半導体装置の製造装置において、
前記ヘッド部は、冷却手段を備え、
前記制御部は、前記加熱手段による加熱を停止させた後に、前記冷却手段により前記ヘッド部の冷却を行うことを特徴とする半導体装置の製造装置。 - ヘッド部に半導体素子を装着し、ステージに基板を装着し、制御部により前記ヘッド部を移動制御して半導体素子と基板とのいずれか一方に設けられた金属バンプと他方に設けられた金属電極との間を電気的に接続する半導体装置の製造方法であって、
前記ヘッド部は、前記ステージと対向する対向軸方向に移動させるための駆動部と、前記対向軸方向の荷重センサと、前記対向軸方向の位置センサと、加熱手段とを備え、
前記制御部により、
前記ヘッド部を前記駆動部により前記対向軸方向に移動させて前記ステージに近づけ、
前記荷重センサによる荷重値が目標値となるように荷重制御を行い、
前記加熱手段により前記ヘッド部の温度を上昇させて前記金属バンプを溶融させ、
前記駆動部により前記ヘッド部を前記ステージから離れるように位置制御を行い、
前記加熱手段による加熱を停止させ且つ前記駆動部により前記ヘッド部を前記ステージに近づくように位置制御を行い、
前記金属バンプと前記金属電極とを電気的に接続することを特徴とする半導体装置の製造方法。
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