JP2008294296A - 回路基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板上の樹脂絶縁膜に第1の官能基保有化合物膜を形成して、所定領域に第1の波長光を照射し、その上にパラジウムを触媒とした無電解銅めっき膜を形成する。前記所定領域にレジストで画定マスクを形成し、露出部した前記無電解銅めっき膜を除去する。このときパラジウムも効果的に除去される。更に第2の波長光あるいはプラズマの照射を行う。その後、酸洗浄、第2の官能基保有化合物膜を形成し、そして樹脂絶縁膜の積層を行う。
【選択図】図3
Description
第1の絶縁樹脂膜の表面に、第1の官能基保有化合物を吸着または反応させて、第1の官能基保有化合物膜を形成する工程と、
前記第1の官能基保有化合物膜上の平面視における所定領域に、第1の波長光を照射する工程と、
前記第1の官能基保有化合物膜上に、金属触媒を用いた無電解金属めっき膜を形成する工程と、
前記所定領域の上部該当領域に相当する前記無電解金属めっき膜上に、画定マスクを形成し、前記画定マスクによりマスクされない前記無電解金属めっき膜上に、電気金属めっき膜を形成する工程と、
前記画定マスクを除去し、前記画定マスクによりマスクされていた前記無電解金属めっき膜を除去する工程と、
第2の波長光の照射またはプラズマ照射を行う工程と、
第2の絶縁樹脂膜を積層する工程と、
を、有することを特徴とする。
前記第2の波長光の照射またはプラズマ照射を行う工程と、前記第2の絶縁樹脂膜を積層する工程の間に、さらに、第2の官能基保有化合物を吸着または反応させて、第2の官能基保有化合物膜を形成する工程と、
を、有することを特徴とする。
前記第1の官能基保有化合物は、シランカップリング剤、トリアジンチオール及びニトロ安息香酸からなる群から選ばれた少なくとも1種の化合物であることを特徴とする。
前記第1の波長光は、波長が300nm以上の光のみからなることを特徴とする。
前記第2の波長光は、波長が300nm未満の光のみからなることを特徴とする。
前記第2の官能基保有化合物は、シランカップリング剤、トリアジンチオール、ニトロ安息香酸及びメルカプトスルホン酸からなる群から選ばれた少なくとも1種の化合物であることを特徴とする。
図1〜図3は、本発明の実施の形態に係る回路基板の製造方法を工程順に示す断面模式図である。
2 絶縁膜
3 第1の官能基保有化合物膜
4 第1の波長光照射領域
5 無電解金属めっき膜
6 レジストマスク
7 電気金属めっき膜
8 レジストマスク剥離領域
9 無電解金属めっき膜除去領域
10 第2の波長光照射またはプラズマ照射
11 変質した第1の官能基保有化合物膜
12 第2の官能基保有化合物膜
13 積層絶縁膜
Claims (6)
- 第1の絶縁樹脂膜の表面に、第1の官能基保有化合物を吸着または反応させて、第1の官能基保有化合物膜を形成する工程と、
前記第1の官能基保有化合物膜上の平面視における所定領域に、第1の波長光を照射する工程と、
前記第1の官能基保有化合物膜上に、金属触媒を用いた無電解金属めっき膜を形成する工程と、
前記所定領域の上部該当領域に相当する前記無電解金属めっき膜上に、画定マスクを形成し、前記画定マスクによりマスクされない前記無電解金属めっき膜上に、電気金属めっき膜を形成する工程と、
前記画定マスクを除去し、前記画定マスクによりマスクされていた前記無電解金属めっき膜を除去する工程と、
第2の波長光の照射またはプラズマ照射を行う工程と、
第2の絶縁樹脂膜を積層する工程と、
を、有することを特徴とする回路基板の製造方法。 - 前記第2の波長光の照射またはプラズマ照射を行う工程と、前記第2の絶縁樹脂膜を積層する工程の間に、さらに、第2の官能基保有化合物を吸着または反応させて、第2の官能基保有化合物膜を形成する工程と、
を、有することを特徴とする請求項1記載の回路基板の製造方法。 - 前記第1の官能基保有化合物は、シランカップリング剤、トリアジンチオール及びニトロ安息香酸からなる群から選ばれた少なくとも1種の化合物であることを特徴とする請求項1または2のいずれかに記載の多層回路基板の製造方法。
- 前記第1の波長光は、波長が300nm以上の光のみからなることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の回路基板の製造方法。
- 前記第2の波長光は、波長が300nm未満の光のみからなることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の回路基板の製造方法。
- 前記第2の官能基保有化合物は、シランカップリング剤、トリアジンチオール、ニトロ安息香酸及びメルカプトスルホン酸からなる群から選ばれた少なくとも1種の化合物であることを特徴とする請求項2ないし5のいずれかに記載の回路基板の製造方法。
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