JP2008291339A - イオンクラスタービーム蒸着装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】イオンクラスタービーム蒸着装置1であって、対象物8と離間する位置に配置され、蒸着物質13を収容する収容部2と、収容部2内に、対象物8が位置する方向に対して交差する方向の磁界を発生することにより、収容部2内に収容された蒸着物質を加熱して蒸気を生成する高周波誘導加熱手段3と、収容部2内からクラスター12を噴射する噴射手段9と、対象物8に向けて移動するクラスター12をイオン化するイオン化手段5と、イオン化されたクラスターを、加速電圧を印加して加速する加速手段6と、イオン化されたクラスター12を磁力線から遮蔽する磁力線遮蔽手段4と、を備え、磁力線遮蔽手段4は、対象物8に向けて移動するクラスター12と交差する磁力線を遮蔽する。
【選択図】図5
Description
。
回する巻線で構成されている。高周波誘導加熱電極3は、図示しない電源装置に接続されており、高周波交流電流が流されると坩堝2を高周波誘導加熱する。なお、高周波誘導加熱電極3は、円柱状の坩堝2の外周面に沿って周回する巻線で構成されているため、高周波交流電流を流すことで坩堝2内に横方向の磁界を発生する。
2,101・・・・・・・・坩堝
3・・・・・・・・・・・・高周波誘導加熱電極
4・・・・・・・・・・・・磁力線遮蔽板
5・・・・・・・・・・・・イオン化電極
6・・・・・・・・・・・・加速電極
7・・・・・・・・・・・・冷却ロール
8・・・・・・・・・・・・プラスチックフィルム
9・・・・・・・・・・・・噴射孔
10・・・・・・・・・・・可動遮蔽板
11・・・・・・・・・・・真空室
12・・・・・・・・・・・クラスター
13・・・・・・・・・・・蒸着物質
14・・・・・・・・・・・遮蔽材
102・・・・・・・・・・蒸着基材金属
103・・・・・・・・・・高周波電極
104・・・・・・・・・・高周波電流
105・・・・・・・・・・磁力線
Claims (4)
- 蒸着物質を対象物に蒸着するイオンクラスタービーム蒸着装置であって、
前記対象物と離間する位置に配置され、前記蒸着物質を収容する収容部と、
前記収容部内に、前記対象物が位置する方向に対して交差する方向の磁界を発生することにより、該収容部内に該蒸着物質の蒸気を生成する高周波誘導加熱手段と、
前記収容部内に生成された前記蒸気を該収容部から前記対象物に向けて噴出させることでクラスターを形成する噴射手段と、
前記噴射手段によって噴射され、前記対象物に向けて移動する前記クラスターをイオン化するイオン化手段と、
前記イオン化手段によってイオン化された前記クラスターを、加速電圧を印加して加速する加速手段と、
前記イオン化手段によってイオン化され、前記対象物に向けて移動する前記クラスターを前記高周波誘導加熱手段より生じる磁力線から遮蔽する磁力線遮蔽手段と、を備え、
前記磁力線遮蔽手段は、前記誘導加熱によって前記収容部内から漏洩する磁力線であって、前記対象物に向けて移動する前記クラスターと交差する磁力線を遮蔽する、
イオンクラスタービーム蒸着装置。 - 前記高周波誘導加熱手段は、前記収容部の周りを巻線が周回するコイルで磁界を発生することにより、該収容部内に前記対象物が位置する方向に対して交差する方向の前記磁界を発生し、
前記噴射手段は、前記コイルの巻線の隙間から前記クラスターを噴射する、
請求項1に記載のイオンクラスタービーム蒸着装置。 - 前記対象物は、長手方向に送られた状態にある長尺な樹脂フィルムまたは金属薄膜である、
請求項1または2に記載のイオンクラスタービーム蒸着装置。 - 前記磁力線遮蔽手段は、磁力線を遮蔽する鉄製の磁力線遮蔽板と、該磁力線遮蔽板を冷却する冷却装置と、を有する、
請求項1から3の何れかに記載のイオンクラスタービーム蒸着装置。
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