JP7134980B2 - 所定のカソード材料除去を伴うカソードアーク蒸発 - Google Patents
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Description
ターゲット材料の品質が等しく所定の品質であると想定した場合には、このターゲット材料について、
v1=L1/t1=v2=L2/t2
となり、すなわち、
vi-1=Li-1/ti-1=vi=Li/ti、
となり、この際、i=1~nであり、n≧2であり、iは整数であり、nも整数である。
アーク蒸発器においてかけられた電流は、この例では、100Aであり、計測された第1領域中のスポットの滞在期間は、t1=40秒であり、計測された浸食速度は、R1=18μg/Asであり、この際、除去速度が一定であると想定した場合、R1=Rである。
E1=R×t1=R1×t1=18μg/As×100A×40s=72000μg
好ましくは永久磁石(しかし、これに限定されない)で生成されかつカソードの周りに円形で配置される内側磁場の生成工程であって、相対的な位置がカソード平面32中で、しかし、カソード平面前方の特定の距離Ak+、または、カソード平面下方の特定の距離Ak-(例えば、図2中の距離Ak+およびAk-参照)内にありうる。例えばカソードの上方10mmまで、または、カソードの下方で磁石長さの70%を越えない距離である。好ましくはこの内側磁場は、カソード表面(その密度はカソード縁に加わる)上にほぼ垂直な磁力線を生成する。
以下のパラメータを、実施例2を実施するために用いた。図3も参照。
・アーク電流70A
・直径100mmの黒鉛カソード
・最大のコイル電流は、アークがカソード縁を越えて走行しないように選択した。
・第1ガイド磁場M1を設定するために、4Aのコイル電流を設定し、直径D1=8cmを計測し、対応する期間t1=38秒を計測した。実施例1参照。
・第2ガイド磁場M2を設定するために、3Aのコイル電流を設定し、直径D2=7cmを計測し、本発明に係る対応する期間t2=33秒を算出した。
・第3ガイド磁場M3を設定するために、2Aのコイル電流を設定し、直径D3=6cmを計測し、本発明に係る対応する期間t3=29秒を算出した。
・第4ガイド磁場M4を設定するために、1Aのコイル電流を設定し、直径D4=4cmを計測し、本発明に係る対応する期間t4=19秒を算出した。
t1の間にM1、続いてt2の間にM2、続いてt3の間にM3、続いて2×t4の間にM4、続いてt3の間にM3、続いてt1の間にM1、続いてt2の間にM2などである。これにより、全ての浸食路が時間的に平均で等しい頻度で走行される。
カソードのアーク蒸発プロセスを用いて真空チャンバー中でカソードを蒸発させる方法であって、アークを点火させ、蒸発させられるべきカソード表面上の所定の軌道上でのアークのアークスポットの移動を、ガイド磁場を用いて行わせ、少なくとも内側磁場と外側磁場とをそれぞれ生成するために、真空チャンバーの内側で内側磁気手段を用い、真空チャンバーの外側で外側磁気手段を用い、ガイド磁場はトンネル形状のガイド磁場であり、かつ磁場の相互作用で生じる、方法において、
トンネル形状のガイド磁場は可変であり、アーク蒸発プロセスを実施する間に少なくとも2つの異なるガイド磁場(M1、M2)を生成し、この方法は以下の工程を含み、すなわち、
・蒸発させられるべきカソード面上の第1軌道上で第1走行時間t1の間にアークのアークスポットをガイドするために用いられるトンネル形状の第1ガイド磁場(M1)を生成する工程であって、長さ(L1)の第1浸食路(W1)は、カソード面の第1領域中に生じ、第1走行時間(t1)は、第1浸食路(W1)の全長(L1)を一度走破するためにアークスポットが必要とする時間に相当し、
・第1ガイド磁場とは異なるトンネル形状の第2ガイド磁場(M2)を設定するために、第1ガイド磁場の特性を変化させる工程であって、第2ガイド磁場は、第2走行時間(t2)の間に、蒸発させられるべきカソード面上での第2軌道上でアークのアークスポットをガイドするために用いられ、この際、長さ(L2)の第2浸食路(W2)は、カソード面の第2領域中に生じ、第2走行時間(t2)は、第2浸食路(W2)の全長(L2)を一度走破するためにアークスポットが必要とする時間に相当し、
・アーク蒸発プロセスを実施する工程であって、アーク蒸発プロセスの全期間ttotの間に、第1ガイド磁場(M1)が、on時間tein1の間投入され、第2ガイド磁場(M2)が、on時間tein2の間投入され、tein1≧t1、tein2≧t2、およびtTot≧tein1+tein2であり、ここでt1およびt2は、それぞれ秒から分まで続くことを特徴とする。
Claims (15)
- カソードのアーク蒸発プロセスを用いて真空チャンバー中でカソードを蒸発させる方法であって、
アークを点火させ、蒸発させられるべきカソード表面上の所定の軌道上でのアークのアークスポットの移動を、ガイド磁場を用いて行わせ、少なくとも内側磁場と外側磁場とをそれぞれ生成するために、前記真空チャンバーの内側で内側磁気手段を用い、前記真空チャンバーの外側で外側磁気手段を用い、前記ガイド磁場はトンネル形状のガイド磁場であり、かつ前記内側磁場と前記外側磁場との相互作用で生じる、方法において、
前記トンネル形状のガイド磁場は可変であり、前記アーク蒸発プロセスを実施する間に少なくとも2つの異なるガイド磁場(M1、M2)を生成し、前記方法は以下の工程を含み、すなわち、
・前記蒸発させられるべきカソード面上の第1軌道上で第1走行時間t1の間に前記アークのアークスポットをガイドするために用いられる前記トンネル形状の第1ガイド磁場(M1)を生成する工程であって、長さ(L1)の第1浸食路(W1)は、前記カソード面の第1領域中に生じ、前記第1走行時間(t1)は、前記第1浸食路(W1)の全長(L1)を一度走破するために前記アークスポットが必要とする時間に相当し、
・前記第1ガイド磁場とは異なるトンネル形状の第2ガイド磁場(M2)を設定するために、第1ガイド磁場の特性を変化させる工程であって、前記第2ガイド磁場は、第2走行時間(t2)の間に、前記蒸発させられるべきカソード面上での第2軌道上でアークのアークスポットをガイドするために用いられ、この際、長さ(L2)の第2浸食路(W2)は、前記カソード面の第2領域中に生じ、前記第2走行時間(t2)は、前記第2浸食路(W2)の全長(L2)を一度走破するために前記アークスポットが必要とする時間に相当し、
・前記アーク蒸発プロセスを実施する工程であって、前記アーク蒸発プロセスの全期間ttotの間に、前記第1ガイド磁場(M1)が、on時間tein1の間投入され、前記第2ガイド磁場(M2)が、on時間tein2の間投入され、tein1≧t1、tein2≧t2、およびtTot≧tein1+tein2であり、ここでt1およびt2は、それぞれ秒から分まで続くことを特徴とする、方法。 - tein1、tein2または妥当な場合にはteiniは、等しい係数k≧1の整数の倍数であり、tein1=k×t1であり、tein2=k×t2または妥当な場合には、teini=k×tiである、請求項1または2に記載の方法。
- 少なくとも2つの浸食路は円形である、請求項1から3のいずれか一項に記載の方法。
- 前記少なくとも2つの円形の浸食路は、前記蒸発させられるべきカソード面の中央に中心合わせされている、請求項4に記載の方法。
- 隣接する2つの円形の浸食路間の距離は、少なくとも1mm好ましくは3~10mmである、請求項5に記載の方法。
- 前記内側磁場を生成するため、および/または、前記外側磁場を生成するために、少なくとも1つのコイルを用い、かつ、前記異なるトンネル形状のガイド磁場を設定するために、前記コイルを貫流する電流を変化させる、請求項1から6のいずれか一項に記載の方法。
- 前記蒸発させられるべきカソード面は、黒鉛材料から、または別の元素と合金された黒鉛材料からなる、請求項1から7のいずれか一項に記載の方法。
- 前記コイルは、鉄のコア(24)を有する外側コイル(22)である、請求項7、または請求項7および8に記載の方法。
- 前記カソードは、プレート形状でありかつ円形の蒸発させられるべき面を有する、請求項1から9のいずれか一項に記載の方法。
- 前記内側磁場は、走行挙動が実質的に前記カソードの中央に集まるように生成される、請求項1から10のいずれか一項に記載の方法。
- 各ガイド磁場M1、M2および妥当な場合にはMiは、それぞれon時間tein1、tein2および妥当な場合にはteiniの間に、前記蒸発させられるべきカソード面の均一な浸食が達成されるように順次投入される、請求項1から11のいずれか一項に記載の方法。
- tein1、tein2および妥当な場合にはteiniは、必ずしも等しくはない独自の係数、それぞれk1、k2または妥当な場合にはkiの整数の倍数であり、tein1=k1×t1、tein2=k2×t2または妥当な場合にはteini=ki×tiである、請求項1または2に記載の方法。
- 全ての浸食路Eiは円形である、請求項1から13のいずれか一項に記載の方法。
- 全ての浸食路Eiは、前記蒸発させられるべきカソード面の中央に中心合わせされている、請求項14に記載の方法。
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