JP2008291321A - 同軸型真空アーク蒸着源 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の蒸着源5は、円筒状のアノード電極23と、円柱状のカソード電極12と、円筒状のトリガ電極13と、カソード電極12に接続された蒸着材料11と、蒸着材料11とトリガ電極13との間に配置されたハット状の絶縁碍子14とを有し、ハット状の絶縁碍子14は、円筒状部分と円板状部分からなり、円板状部分の側周部に凹所または凸所がある。このため、蒸着材料11とトリガ電極13との間の耐電圧が低下しないように、沿面距離を確保しつつ絶縁碍子14の高さを低くできるので、交換部品である絶縁碍子14のコストを低減することができる。
【選択図】図1
Description
ここで、従来の同軸型真空アーク蒸着源の寿命には2つのケースがある。
前記蒸着材料は、前記トリガ電極に近接した位置に配置され、
前記トリガ電極に電圧を印加すると、該トリガ電極と前記蒸着材料との間にトリガ放電が発生し、前記アノード電極と前記蒸着材料との間にアーク放電が誘起され、前記蒸着材料の構成物質が蒸発するように構成された蒸着源であって、
前記円筒状のトリガ電極と前記円柱状のカソード電極が前記ハット状の絶縁碍子を挟んで同軸に隣接して固定され、前記円柱状のカソード電極の周りに同軸に円筒状のアノード電極が配置され、
前記ハット状の絶縁碍子は、円筒状部分と円板状部分からなり、
前記円板状部分の側周部に凹所または凸所があることを特徴とする蒸着源である。
一方、碍子の円板状の部品は、消耗しないので、コストダウンの為、アルミナの純度を96%以下とする。
円筒状部分14aは円筒の高さ方向を短くする。本実施例では10mmとした。また、材質はアルミナで純度99%以上にしている。
また、板状部分14bも高さ方向を短くする。さらに、円周の側面に溝部を形成した。また、材質はアルミナで純度96%とした。
また、消耗部品である円筒部品の材質を変えたことにより、交換頻度が下がり、ランニングコストが減った。
11・・・蒸着材料、12・・・カソード電極、12a・・・電極ホルダ部、12b・・・下端部、13・・・トリガ電極、14・・・絶縁碍子、14’・・・絶縁碍子、14a・・・円筒、14b・・・円板、14c・・・ハット、14d・・・円板、16・・・スリーブ、17・・・スリーブ押さえ、17a・・・上側スリーブ押さえ、17b・・・下側スリーブ押さえ、18・・・ナット、
21・・・トリガ配線、22・・・トリガ配線碍子、23・・・アノード電極、
31・・・トリガ電源、32・・・アーク電源、33・・・コンデンサユニット、
50・・・取付けフランジ、51・・・支柱、
101・・・蒸着装置、102・・・真空槽、103・・・基板ホルダ、104・・・基板、105・・・蒸着源、106・・・電源装置、
111・・・蒸着材料、112・・・カソード電極、112a・・・電極ホルダ部、112b・・・下端部、112c・・・ねじ、113・・・トリガ電極、114・・・絶縁碍子、114a・・・円筒、114b・・・円板、116・・・スリーブ、117・・・スリーブ押さえ、117a・・・上側スリーブ押さえ、117b・・・下側スリーブ押さえ、118・・・ナット、
121・・・トリガ配線、122・・・トリガ配線碍子、123・・・アノード電極、
131・・・トリガ電源、132・・・アーク電源、133・・・コンデンサユニット、
150・・・取付けフランジ、151・・・支柱、
Claims (4)
- 円筒状のアノード電極と、円柱状のカソード電極と、円筒状のトリガ電極と、前記カソード電極に接続された蒸着材料と、前記蒸着材料と前記トリガ電極との間に配置されたハット状の絶縁碍子とを有し、
前記蒸着材料は、前記トリガ電極に近接した位置に配置され、
前記トリガ電極に電圧を印加すると、該トリガ電極と前記蒸着材料との間にトリガ放電が発生し、前記アノード電極と前記蒸着材料との間にアーク放電が誘起され、前記蒸着材料の構成物質が蒸発するように構成された蒸着源であって、
前記円筒状のトリガ電極と前記円柱状のカソード電極が前記ハット状の絶縁碍子を挟んで同軸に隣接して固定され、前記円柱状のカソード電極の周りに同軸に円筒状のアノード電極が配置され、
前記ハット状の絶縁碍子は、円筒状部分と円板状部分からなり、
前記円板状部分の側周部に凹所または凸所があることを特徴とする蒸着源。 - 前記ハット状の絶縁碍子は、円筒状部分と円板状部分とを分割可能に構成としたことを特徴とする請求項1に記載の蒸着源。
- 前記ハット状の絶縁碍子は、円筒状の碍子と、前記円板状部分は該円筒状の碍子の外周側に嵌った円環状の碍子に分割可能としたことを特徴とする請求項1に記載の蒸着源。
- 前記ハット状の絶縁碍子は、前記円筒状部分と前記円板状部分とを軸方向に分割可能としたことを特徴とする請求項1に記載の蒸着源。
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Citations (3)
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JP2000303166A (ja) * | 1999-04-16 | 2000-10-31 | Ulvac Japan Ltd | 蒸着源、蒸着装置及び蒸着方法 |
JP2002220655A (ja) * | 2001-01-26 | 2002-08-09 | Ulvac Japan Ltd | 蒸着源及び蒸着装置 |
JP2007291425A (ja) * | 2006-04-21 | 2007-11-08 | Ulvac Japan Ltd | 同軸型真空アーク蒸着源及びこれを用いた蒸着装置 |
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- 2007-05-25 JP JP2007138646A patent/JP5013331B2/ja active Active
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