JP2008290877A - 部品検出方法、部品検出装置、及び、icハンドラ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ICハンドラの各シャトルの供給側チェンジキット31の上面には、ICチップTを載置するポケット32と、該ポケット32をY方向に横切る2つのスリット37a,37bとが凹設されている。また、ベースの上面には、シャトルを間に挟んで相対向して投光部と受光部が備えられ、投光部から所定の断面形状の検出光43が受光部に照射される。受光部は、スリット37a,37bを通過させてICチップTの上面によって一部が遮られた検出光43に基づいて受光量を検出する。ICハンドラはポケット32にICチップTが正常に載置されているときの受光量から第1の閾値を予め求め、搬送するICチップTが一部を遮った際の受光量と、第1の閾値とを比較してICチップTの載置状態を判断する。
【選択図】図6
Description
そこで、シャトルの供給用チェンジキットに設けられた供給用のポケットに電子部品が配置されているかどうかを検出する方法が提案されている(特許文献1)。特許文献1のICハンドラは、各ポケットの中央付近に供給用チェンジキットを上下方向に貫通して、シャトルの上下方向にシャトルから離間した位置に設けた一組の電子部品検出用光センサのセンサ光が通過するための貫通孔を設けた。また、シャトルの進行方向側面には、電子部品検出用光センサの検出タイミングを検出するためのタイミングセンサのセンサ光を通過させるスリット溝を貫通孔と直行するように設けた。
また、センサ光が電子部品により遮断されている場合と、供給用チェンジキットやシャトルにより遮断されている場合とを判別するには、貫通孔の位置にいてセンサ光の通過状態を検出するためには、貫通孔の位置のタイミングを与えるタイミングセンサが必要であった。しかしながら、特許文献1のタイミングセンサは、センサ光を受光したか否かの2つの状態しか判断できなかった。そのため、タイミングセンサは、スリット溝を好適に検出するために、センサ光の光軸をシャトルのスリット溝を通過するとともに、ポケットの所定の位置に配置された電子部品の上面よりは僅かに上方を通過するように調整されていた。このため、電子部品の種類や供給用チェンジキット、ポケットの形状が変わるなどして、タイミングセンサの光軸に対してポケットに配置される電子部品の上面位置が変化する場合は、その都度、タイミングセンサの光軸の高さ調整をしなければならずその調整作業が非常に煩わしく時間を要していた。
ポケットを横断するように凹設されたスリットと、検出光を出射するとともに、前記検出光が前記スリットを通過できる位置に備えられた投光部と、前記投光部から出射されて前記スリットを通過した前記検出光を受光する受光部とを備え、前記ポケットに載置された前記電子部品を前記搬送装置によって水平方向に搬送して、該電子部品を、前記投光部と前記受光部との間を通過させ、前記検出光が前記スリットを通過する位置において、該電子部品の前記ポケットへの載置状態を検出する部品検出方法であって、前記ポケットに正常に載置して前記電子部品と同一の閾値設定用部品を搬送するとともに、前記投光部から出射されて前記スリットを通過する検出光のその一部が前記閾値設定用部品に遮られるようにして、前記受光部にて前記一部が遮られた検出光を受光させ、該受光部が受光した受光量を規定値として、該規定値と第1の係数に基づいた値を前記電子部品の載置状態を判断する第1の閾値として予め求めるとともに、前記検出光が前記スリットを通過しているか判断する第2の閾値を予め求める閾値設定工程と、前記ポケットに載置されて前記搬送装置にて搬送される前記電子部品の上部にて一部が遮られる際に前記投光部から出射されて前記受光部に受光される前記検出光に基づく前記受光量と、前記予め求めた第2の閾値とを比較して、前記検出光が前記スリットを通過しているかを判断するスリット検出工程と、前記検出光が前記スリットを通過していると判断されたら、前記受光量と、前記予め求めた第1の閾値とを比較して、前記ポケットに載置された前記電子部品の載置状態を判断する載置状態検出工程とを備えることを特徴とする。
この部品検出方法によれば、規定値を基準として第1の閾値を求めるのと同時に、第1の閾値との相対関係を維持した第2の閾値を求めることができる。従って、第1の閾値及
び第2の閾値の設定を容易にすることができる。
が記憶されていたら、該スリットを前記検出光が通過する位置まで移動させて停止させ、該スリットの横断するポケットへの前記電子部品の載置状態が修正されたら、前記受光量と、前記予め求めた第1の閾値とを比較して、前記ポケットへの該電子部品の載置状態を判断し、該電子部品の載置状態が正常ではないと判断した場合には、該スリットを該位置に保持することがより好ましい。
ができる。
本発明のICハンドラによれば、検出光に基づく受光量を電子部品の載置状態及びスリットの通過の判断に用いたので、電子部品と検出光の相対位置を所定の位置にさせるための非常に煩わしく時間を要する投光部や受光部の位置調整作業等を不要とすることができる。
ICハンドラ10は、ベース11、安全カバー12、高温チャンバ13、供給ロボット14、回収ロボット15、搬送装置を構成する第1シャトル16、搬送装置を構成する第2シャトル17、複数のコンベアC1〜C6を備えている。
図2は、供給側チェンジキット31の全体斜視図を示す。供給側チェンジキット31の上面には、供給ロボット14から供給されたICチップTを載置する矩形形状のポケット32が4つ凹設されている。
チェンジキット31の各ポケット32にICチップTを保持するようになっている。また、ベース部材17Aの上面右側(回収ロボット15側)には、供給側チェンジキット31と同様の回収側チェンジキット34がネジなどで交換可能に固着されていて各ポケット32にICチップTを保持するようになっている。
位置された場合に、供給側チェンジキット31のスリット37a,37bを貫通し、供給側チェンジキット31のスリット37a,37b以外の部分では遮られる高さに配設されている。
図6(a)は、ポケット32にICチップTが適切に配置されている場合であって、検出光43がスリット37a,37bにある場合、すなわち、検出光43が各スリット範囲SR1,SR2にある場合を示している。この場合は、検出光43はスリット37a,37bを通過するが、その一部がICチップTによってのみ遮られ、図7(a)の状態6aに示すように、受光部41が受光する受光量は、第1の閾値Th1以上の値である規定値Y1となる。
2へのICチップTの載置が適切であるとみなすことができる場合の光量の値である。
詳述すると、第1の閾値Th1は、規定値Y1に第1の係数K1を掛けて求められる値であり、第1の係数K1は、規定値Y1から好適な第1の閾値Th1を算出するために事前に実験などによって求められた「1」以下「0」以上の値である。なお、本実施形態では、第1の係数K1を0.95としていて、第1の閾値Th1の値は、規定値Y1×0.95で求められる値となっている。
また、第2の閾値Th2とは、受光部41が受光した受光量から、スリット範囲SR1,SR2であることを判定するための所定の光量の値である。
第2シャトル17を間に挟んで相対向するように1組の光センサが配設されているが、この光センサは、第1シャトル16に設けられた光センサと同様の構成であるので説明を省略する。
ICハンドラ10には、閾値設定手段、スリット検出手段及び載置状態検出手段を構成する制御装置50が備えられている。
操作ボタン512は、操作されると操作信号PB1を制御装置50に入力するようになっている。操作ボタン512は、プログラムなどにより用途が変更できるようになって、本実施形態では、停止した各シャトル16,17を再始動させるためのボタンスイッチである。
較した結果を第2の信号YB2aとして制御装置50に出力する。そして、受光量LQが第2の閾値Th2以上の場合は「Hレベル」の第2の信号YB2aを、反対に、受光量LQが第2の閾値Th2より小さい場合は「Lレベル」の第2の信号YB2aを制御装置50に出力するようになっている。
同様なので、その説明を省略する。
の信号YB2aが「Hレベル」から「Lレベル」になった場合(ステップS2−4−2でNO)、制御装置50は、通過した該スリットを不正スリットとし、不正スリットを不正スリットリストにスリットの番号で登録して、載置状態検出処理(ステップS2−4)を終了してステップS2−3に戻る。
−3からステップS2−6−5を繰り返す。
なお、第2シャトル17においても、ポケット32へのICチップTの載置状態の検出を行なうが、第1シャトル16の場合と同様なので説明を省略する。
(1)本実施形態では、検出光43は、Y方向から見ると直径Rの円形形状に形成された。従って、検出光43は、高さが直径Rの範囲内で遮光状態を変化されることができる。その結果、ICチップTのロットや種類、供給側チェンジキット31の変更等でICチップTの上面の高さが変化しても、その変化が直径Rの範囲内であれば、投光部40や受光部41の取り付け高さを変更させなくても、ICチップTがその載置状態により変化させる遮光状態を検出する事ができる。
出光43が通過していることの判断をすることができる。
なお、上記各実施形態は、例えば以下のような態様にて実施することもできる。
・上記実施形態では、供給側チェンジキット31に載置されたICチップTの載置状態を検出したが、回収側チェンジキット34やその他の搬送用トレイに載置されたICチップTの載置状態を検出するようにしてもよい。
・上記実施形態では、第1の閾値の値Th1と第2の閾値Th2を設けた。しかしこれに限らず、ポケット32にICチップTの有無を判断するため、最大値Ymaxと第1の
閾値の値Th1との間に第3の閾値を設けてもよい。この場合、受光量LQが第3の閾値以下であればポケット32にICチップTがあると判断して、受光量LQが第3の閾値よりも大きければポケット32にICチップTがないと判断することができる。
・上記実施形態では、ICチップTの上面位置はポケット32の開口部32a以下の位置とした。しかしこれに限らず、ICチップTの上面位置は、ポケット32の開口部32aよりも高くてもよい。
3の断面形状に特に制限はない。また、より高い範囲の高さを検出範囲とする場合は、エリアセンサのように縦長の検出光を発光する光センサを用いてもよい。
置、6a,6b,6c…状態、10…ICハンドラ、11…ベース、12…安全カバー、13…高温チャンバ、14…供給ロボット、15…回収ロボット、16…第1シャトル、16A…ベース部材、17…第2シャトル、17A…ベース部材、18…トレイ、20…供給側ロボットハンドユニット、21…回収側ロボットハンドユニット、22…測定ロボット、23…検査用ソケット、30a…第1のレール、30b…第2のレール、31…供給側チェンジキット、31a…前端位置、31b…後端位置、32…ポケット、32a…開口部、32b…載置部、32c…側面、34…回収側チェンジキット、37a…第1スリット、37b…第2スリット、40…投光部、41…受光部、43…検出光、44…支持部材、45…支持部材、50…制御装置、51…入出力装置、52a…第1の光センサ駆動回路、52b…第2の光センサ駆動回路、53…第1シャトル駆動回路、54…第2シャトル駆動回路、511…警報ランプ、512…操作ボタン。
Claims (11)
- 搬送装置に備えられた収納トレイのポケットに載置された電子部品を前記搬送装置によって水平方向に搬送して、該電子部品を、検出光を出射する投光部と、投光部から出射する検出光を受光する受光部との間を通過させ、該電子部品の前記ポケットへの載置状態を検出する部品検出方法であって、
前記ポケットに正常に載置して前記電子部品と同一の閾値設定用部品を搬送するとともに、前記投光部から出射する検出光のその一部が前記閾値設定用部品に遮られるようにして、前記受光部にて前記一部が遮られた検出光を受光させ、該受光部が受光した受光量を規定値として、該規定値と第1の係数に基づいた値を第1の閾値として予め求め、
前記ポケットに載置されて前記搬送装置にて搬送される前記電子部品の上部にて一部が遮られる際に前記投光部から出射されて前記受光部に受光される前記検出光に基づく前記受光量と、前記予め求めた第1の閾値とを比較して、前記ポケットに載置された前記電子部品の載置状態を判断することを特徴とする部品検出方法。 - 搬送装置に備えられた収納トレイと、
前記収納トレイに凹設された電子部品を載置するポケットと、
前記収納トレイの上部を横断するとともに、前記ポケットを横断するように凹設されたスリットと、
検出光を出射するとともに、前記検出光が前記スリットを通過できる位置に備えられた投光部と、
前記投光部から出射されて前記スリットを通過した前記検出光を受光する受光部とを備え、
前記ポケットに載置された前記電子部品を前記搬送装置によって水平方向に搬送して、該電子部品を、前記投光部と前記受光部との間を通過させ、前記検出光が前記スリットを通過する位置において、該電子部品の前記ポケットへの載置状態を検出する部品検出方法であって、
前記ポケットに正常に載置して前記電子部品と同一の閾値設定用部品を搬送するとともに、前記投光部から出射されて前記スリットを通過する検出光のその一部が前記閾値設定用部品に遮られるようにして、前記受光部にて前記一部が遮られた検出光を受光させ、該受光部が受光した受光量を規定値として、該規定値と第1の係数に基づいた値を前記電子部品の載置状態を判断する第1の閾値として予め求めるとともに、前記検出光が前記スリットを通過しているか判断する第2の閾値を予め求める閾値設定工程と、
前記ポケットに載置されて前記搬送装置にて搬送される前記電子部品の上部にて一部が遮られる際に前記投光部から出射されて前記受光部に受光される前記検出光に基づく前記受光量と、前記予め求めた第2の閾値とを比較して、前記検出光が前記スリットを通過しているかを判断するスリット検出工程と、
前記検出光が前記スリットを通過していると判断されたら、前記受光量と、前記予め求めた第1の閾値とを比較して、前記ポケットに載置された前記電子部品の載置状態を判断する載置状態検出工程とを備えることを特徴とする部品検出方法。 - 請求項2に記載の部品検出方法において、
前記第2の閾値は、前記規定値と第2の係数に基づいて求めることを特徴とする部品検出方法。 - 請求項2に記載の部品検出方法において、
前記第2の閾値は、前記スリットを前記投光部から出射された前記検出光が通過しないようにしたときに該受光部が受光した受光量を最小値として、該最小値と第3の係数に基づいて求めることを特徴とする部品検出方法。 - 請求項2に記載の部品検出方法において、
前記第2の閾値は、前記投光部から出射された前記検出光を遮られることなく前記受光部に照射して、該受光部が受光した受光量を最大値として、該最大値と第4の係数に基づいて求めることを特徴とする部品検出方法。 - 請求項2〜5のいずれか1つに記載の部品検出方法において、
前記閾値設定工程は、
前記ポケットに正常に載置した前記電子部品を、前記検出光が前記スリットを通過する位置に搬送して停止するとともに、前記投光部から出射されて前記スリットを通過する検出光のその一部が前記電子部品に遮られるようにして、前記受光部にて前記一部が遮られた検出光を受光させ、該受光部が受光した受光量を規定値として、該規定値と第1の係数に基づいた値を第1の閾値として予め求めることを特徴とする部品検出方法。 - 請求項2〜6のいずれか1つに記載の部品検出方法において、
前記載置状態検出工程は、
前記検出光が前記スリットを通過していると判断されたら、前記受光量と、前記予め求めた第1の閾値とを比較して、前記ポケットに載置された前記電子部品の載置状態を判断して、前記電子部品の載置状態が正常ではないと判断された前記ポケットを横断する前記スリットに対応する情報を、該スリットの情報を記憶するリストに追加することを特徴とする部品検出方法。 - 請求項7に記載の部品検出方法において、
前記載置状態検出工程の後に、前記リストに前記スリットに対応する情報が記憶されていたら、該スリットを前記検出光が通過する位置まで移動させて停止する部品修正工程を備えることを特徴とする部品検出方法。 - 請求項8に記載の部品検出方法において、
前記部品修正工程は、
前記リストに前記スリットに対応する情報が記憶されていたら、該スリットを前記検出光が通過する位置まで移動させて停止させ、
該スリットの横断するポケットへの前記電子部品の載置状態が修正されたら、前記受光量と、前記予め求めた第1の閾値とを比較して、前記ポケットへの該電子部品の載置状態を判断し、該電子部品の載置状態が正常ではないと判断した場合には、該スリットを該位置に保持することを特徴とする部品検出方法。 - 搬送装置に備えられた収納トレイと、
前記収納トレイに凹設された電子部品を載置するポケットと、
前記収納トレイの上部を横断するとともに、前記ポケットを横断するように凹設されたスリットと、
検出光を出射するとともに、前記検出光が前記スリットを通過できる位置に備えられた投光部と、
前記投光部から出射されて前記スリットを通過した前記検出光を受光する受光部とを備え、
前記ポケットに載置された前記電子部品を前記搬送装置によって水平方向に搬送して、該電子部品を、前記投光部と前記受光部との間を通過させ、前記検出光が前記スリットを通過する位置において、該電子部品の前記ポケットへの載置状態を検出する部品検出装置であって、
前記受光部が受光した前記検出光の受光量を規定値として、該規定値と第1の係数に基づいた値を前記電子部品の載置状態を判断する第1の閾値として予め求めるとともに、前記検出光が前記スリットを通過しているか判断する第2の閾値を予め求める閾値設定手段
と、
前記受光量と、前記予め求めた第2の閾値とを比較して、前記スリットの位置を検出するスリット検出手段と、
前記受光量と、前記予め求めた第1の閾値とを比較して、前記ポケットに載置された前記電子部品の載置状態を判断する載置状態検出手段とを備え、
前記投光部から出射する検出光のその一部が前記ポケットに正常に載置した前記電子部品と同一の閾値設定用部品に遮られるようにして、前記受光部が受光した該検出光の受光量を規定値として第1の閾値を予め求めるとともに、第2の閾値を予め求め、
前記ポケットに載置されて前記搬送装置にて搬送される前記電子部品の上部にて一部が遮られる際に該受光量に基づいて前記スリットの位置に前記検出光が位置したことを検出したら、該受光量に基づいて前記ポケットに載置された前記電子部品の載置状態を判断することを特徴とする部品検出装置。 - 請求項1〜9のいずれか1つに記載の部品検出方法を備えることを特徴としたICハンドラ。
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