JP2008290814A - 浮上搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧力気体の噴射でワークを浮上搬送する搬送経路面よりも下方に配置したワーク処理ステージ300の上方に出没可能な櫛歯状のスライド噴射台403を配置し、ワーク処理ステージ300にはスライド噴射台403の隙間から上方向に圧力気体を噴射する噴射部を設け、スライド噴射台403がワーク処理ステージ300上に位置した状態でワークを浮上させたまま受け取り、次に退避してワークWをワーク処理ステージ300へと受け渡し、ワーク処理ステージ300での処理が終了した際には噴射部によりワークWを搬送面よりも上方へと浮上させた後に再びスライド噴射台403がワーク処理ステージ300上に位置し、ワークを浮上状態で受け取り、搬送経路へと受け渡す。
【選択図】図1
Description
400…ワーク受け渡し装置
403…スライド噴射台(圧力気体噴射台)
Claims (4)
- 所定方向に圧力気体を噴射してワークを浮上搬送する搬送経路の搬送面よりも下方にワーク処理ステージが配置され、該ワーク処理ステージの上方に対して出没可能に前記搬送経路の一部を形成する櫛歯状の圧力気体噴射台が配置され、前記ワーク処理ステージに前記圧力気体噴射台の隙間から上方に向けて圧力気体を噴射する噴射部が設けられ、前記搬送経路の上流側から前記ワーク処理ステージの上方にワークが浮上搬送されてきた際には前記圧力気体噴射台が前記ワーク処理ステージの上方に位置してワークを浮上させたまま受け取った後に前記ワーク処理ステージの上方から退避して前記噴射部によりワークを前記ワーク処理ステージへと受け渡し、前記ワーク処理ステージでの処理が終了した際には前記噴射部によりワークを搬送面よりも上方へと浮上させた後に前記圧力気体噴射台が前記ワーク処理ステージの上方に位置してワークを浮上させたまま受け取った後に前記搬送経路へと受け渡すことを特徴とする浮上搬送装置。
- 前記圧力気体噴射台は、互いに接近・離反可能に変位することで前記ワーク処理ステージの上方に対して出没する一対のスライド噴射台であることを特徴とする請求項1に記載の浮上搬送装置。
- 前記圧力気体噴射台は、出没方向に沿って延びる一対のフレーム枠を備え、該フレーム枠に圧力気体供給用のダクト部を形成したことを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の浮上搬送装置。
- 前記フレーム枠に形成されたダクト部が複数に分割されていることを特徴とする請求項3に記載の浮上搬送装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007135978A JP5336707B2 (ja) | 2007-05-22 | 2007-05-22 | 浮上搬送装置 |
PCT/JP2008/059243 WO2008143257A1 (ja) | 2007-05-22 | 2008-05-20 | 浮上搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007135978A JP5336707B2 (ja) | 2007-05-22 | 2007-05-22 | 浮上搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008290814A true JP2008290814A (ja) | 2008-12-04 |
JP5336707B2 JP5336707B2 (ja) | 2013-11-06 |
Family
ID=40031953
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007135978A Expired - Fee Related JP5336707B2 (ja) | 2007-05-22 | 2007-05-22 | 浮上搬送装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5336707B2 (ja) |
WO (1) | WO2008143257A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017006919A (ja) * | 2011-08-09 | 2017-01-12 | カティーバ, インコーポレイテッド | 下向き印刷装置および方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2010117255A1 (en) * | 2009-04-09 | 2010-10-14 | Universiti Putra Malaysia (Upm) | Monogastric animal feed |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2000062951A (ja) * | 1998-08-19 | 2000-02-29 | Daiichi Shisetsu Kogyo Kk | 搬送装置 |
JP2002521289A (ja) * | 1998-07-21 | 2002-07-16 | ネトラ システム | 吊り下げられた物品を搬送するための空気コンベヤー、および物品の解放、減速または停止もしくは物品に対してリズムを与える方法 |
JP2005154059A (ja) * | 2003-11-25 | 2005-06-16 | Watanabe Shoko:Kk | 浮上搬送装置 |
-
2007
- 2007-05-22 JP JP2007135978A patent/JP5336707B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2008
- 2008-05-20 WO PCT/JP2008/059243 patent/WO2008143257A1/ja active Application Filing
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2002521289A (ja) * | 1998-07-21 | 2002-07-16 | ネトラ システム | 吊り下げられた物品を搬送するための空気コンベヤー、および物品の解放、減速または停止もしくは物品に対してリズムを与える方法 |
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JP2017006919A (ja) * | 2011-08-09 | 2017-01-12 | カティーバ, インコーポレイテッド | 下向き印刷装置および方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5336707B2 (ja) | 2013-11-06 |
WO2008143257A1 (ja) | 2008-11-27 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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