JP2008288573A - ケミカル供給装置 - Google Patents

Abstract

【課題】キャニスター内の薬液の残量を測定し、残量が基準値以下になれば、バッファー側での低速真空吸入を行うことで、キャニスター内の薬液残量を低減して材料費を節減するケミカル供給装置を提供する。
【解決手段】薬液が充填されるキャニスター、前記キャニスター内に充填された薬液を受けて半導体装備側に送り出すための放出バルブが下部に設置され、前記薬液に含まれた気泡を外部に放出させるための気泡排出バルブが上部に備えられるバッファー、前記キャニスター内の薬液残量を測定するための残量測定手段、及び前記残量測定手段による測定結果、キャニスター内の薬液残量が基準値以下であるとき、バッファー内の薬液収容空間を収縮及び膨脹させて、キャニスター内の薬液を吸入するようになった体積可変手段、を含む。
【選択図】図２

Description

本発明は半導体装備のケミカル供給装置に係り、より詳しくは半導体ウェハーまたはフラットパネルディスプレイ（Ｆｌａｔ Ｐａｎｅｌ Ｄｉｓｐｌａｙ：ＦＰＤ）の製造工程に使用されるケミカルをキャニスターからバッファーに移送して半導体装備に安定に供給するためのケミカル供給装置に関するものである。

図１は従来技術のケミカル供給装置を示す概略図である。
同図に示すような従来技術によるケミカル供給装置は、大別してケミカル原料が充填されるキャニスター１０と、前記キャニスター１０内に充填されたケミカル（以下、薬液という）を受けて半導体装備２５に安定的に供給するためのバッファー２０とから構成される。

前記キャニスター１０内には、薬液１１ｂが充填され、前記薬液１１ｂはビニルバッグ形態のカートリッジ１１に包装されて供給される。
この際、前記カートリッジ１１内には、薬液１１ｂと共に、溶媒として不活性ガスまたは窒素１１ａを充填して使用することになる。
前述したようなカートリッジ１１は、キャニスター１０の中央に貫設された移送管１６が内部に浸漬できるように装着され、前記移送管１６を介して薬液１１ｂをバッファー２０に供給させることになる。

この際、前記バッファー２０は、キャニスター１０の上部に位置することになり、これにより前記薬液１１ｂをバッファー２０の位置まで強制に移送させる強制移送手段が必要になる。

このような強制移送手段としては、図１に示すような加圧ポンプ１３を使用することができる。前記加圧ポンプ１３は、キャニスター１０の内部圧力を上昇させる役目をする。

前記加圧ポンプ１３の作用によって上昇したキャニスター１０の内部圧力はカートリッジ１１を圧縮させることになり、前記圧縮力によってカートリッジ１１の内部の薬液１１ｂをバッファー２０まで移送させることになる。

前記バッファー２０に移送された薬液１１ｂは、さらに放出バルブ２４を介して半導体装備２５に移送される。この際、前記半導体装備２５は多数でなり、前記バッファー２０によって、充填された一定量の薬液１１ｂが一つまたは多数の半導体装備２５に安定した圧力と移送速度で供給される。

前記バッファー２０の上部には、薬液１１ｂに含まれた気泡を外部に放出させるための気泡排出バルブ２６が設置される。
また、前記バッファー２０の一側面には、充填された薬液１１ｂの水位を測定することにより、薬液１１ｂの充填状態がいつも一定の水位以上を維持するようにするレベルセンサー２３が設置される。
このようなレベルセンサー２３が設置される理由は、放出バルブ２４を介して気体が半導体装備２５に流入する問題を予防するためである。

しかし、前述したような従来技術のケミカル供給装置は、キャニスター１０側に保管された薬液１１ｂの残量が１００〜５００ｃｃに至れば、バッファー２０に供給される流速が非常に速くなる。
この際、前記のように、薬液１１ｂの流速が上昇すれば、薬液１１ｂ内に不活性ガス１１ａが微粒子の気泡状態で混じって泡が発生する問題があった。
この際、発生した気泡は、粒子が小さいため、バッファー２０に移送された後、薬液１１ｂの上層に浮かび上がることができず、薬液１１ｂ内に混じったままで硬化して配管系統及び機械に深刻な故障を引き起こすことになる問題があった。

したがって、従来には、このような問題のため、薬液１１ｂを最後まで使用することができず、１００〜５００ｃｃ程度の残量が残った状態で廃棄している実情であるので、これによる材料の浪費及び工程短縮などの損失が非常に大きい問題点があった。

前記従来技術の問題点を解決するための本発明の目的は、キャニスター内の薬液の残量を測定し、残量が基準値以下になれば、バッファー側での低速真空吸入が行われるようにするケミカル供給装置を提供することにある。

本発明の他の目的は、カートリッジ内の薬液を残量なしにすべて消耗するようにすることはもちろん、残量の薬液内に気泡が発生しないようにするケミカル供給装置を提供することにある。

前述したような本発明の目的を達成するための本発明によるケミカル供給装置は、薬液が充填されるキャニスター、前記キャニスター内に充填された薬液を受けて半導体装備側に送り出すための放出バルブが下部に設置され、前記薬液に含まれた気泡を外部に放出させるための気泡排出バルブが上部に備えられるバッファー、前記キャニスター内の薬液残量を測定するための残量測定手段、及び前記残量測定手段による測定結果、キャニスター内の薬液残量が基準値以下であるとき、バッファー内の薬液収容空間を収縮及び膨脹させて、キャニスター内の薬液を吸入させる体積可変手段、を含んでなる。

前記キャニスターの内部には、薬液が充填されたカートリッジが備えられ、前記キャニスターの内部圧力を上昇させて、前記カートリッジを圧縮する加圧ポンプが備えられることができる。

前記バッファーには、充填された薬液の水位を測定するためのレベルセンサーが設置されることができる。

前記体積可変手段は、バッファーの内部左右側部にそれぞれ設置され、その間に形成された収容空間を任意に収縮及び膨脹させるように、左右方向への収縮及び膨脹作用を行う膜部材、及び前記膜部材を収縮及び膨脹作用させるための可変アクチュエータ、を含んでなることができる。

前記膜部材は、ダイアフラム、波形管及びゴム板のいずれか一つを用いることができる。

前記膜部材が球体形状に製作され、前記球体の下部に移送管が連結され、上部に気泡排出バルブが連結され、前記移送管が連結された一側に放出バルブが連結されることができる。

前記可変アクチュエータは、加圧／減圧ポンプまたはシリンダーを利用することができる。

前記可変アクチュエータは、カートリッジ内の薬液の残量が基準値以下であるとき、減圧駆動が行われることができる。

前記残量基準値は１００〜５００ｃｃであることができる。

前記体積可変手段による真空吸入速度は、１０ｃｃ／ｓ以下であることができる。

前記残量測定手段は、キャニスターの底面に設置され、キャニスターの重さ変化を感知するためのロードセル、あるいは移送管に設置された圧力センサーを用いることができる。

このような本発明は、キャニスター内の薬液の残量を測定し、残量が基準値以下になれば、バッファー側での低速真空吸入を行って、キャニスター内の薬液残量を低減することにより、材料費を節減することになる効果がある。

また、本発明は、キャニスター内の薬液残量を１０ｃｃ／ｓ以下の低速で吸入することにより、薬液内に気泡が発生して供給管内に固着化する問題を予防する効果がある。

以下、本発明の好適な実施例について添付図面を参照して詳細に説明する。

図２は本発明の第１実施例によるケミカル供給装置を説明するための全体構造を示す概略図である。
同図に示すような本発明によるケミカル供給装置は、大別してケミカル原料が充填されるキャニスター１００と、前記キャニスター１００内に充填されたケミカル（以下、薬液という）を受けて半導体装備２５０に安定的に供給するためのバッファー２００とから構成される。

前記キャニスター１００内には薬液が充填され、前記薬液はビニルバッグ形態のカートリッジ１１０に包装されて供給される。

この際、前記カートリッジ１１０内には、薬液１１３と共に、溶媒として、不活性ガスまたは窒素１１１を充填して使用することになる。
前述したようなカートリッジ１１０は、キャニスター１００の中央に貫設された移送管１６０が内部に浸漬されるように装着され、前記移送管１６０を介して薬液１１３をバッファー２００に供給させることになる。

この際、前記バッファー２００はキャニスター１００上部に位置し、これにより、前記薬液１１３をバッファー２００の位置まで強制に移送させる強制移送手段が必要になる。
このような強制移送手段としては、図２に示すような加圧ポンプ１３０が使用可能であり、前記加圧ポンプ１３０はキャニスター１００の内部圧力を上昇させる役目をする。

前記加圧ポンプ１３０の作用によって上昇したキャニスター１００の内部圧力はカートリッジ１１０を圧縮させ、前記圧縮力によってカートリッジ１１０の内部の薬液１１３をバッファー２００まで移送させることになる。

前記バッファー２００に移送された薬液１１３は、さらに放出バルブ２４０を介して半導体装備２５０に移送される。この際、前記半導体装備２５０は多数でなり、前記バッファー２００によって、充填された一定量の薬液１１３が一つまたは多数の半導体装備２５０に安定した圧力と移送速度で供給される。

前記バッファー２００の上部には、薬液１１３に含まれた気泡を外部に放出させるための気泡排出バルブ２６０が設置される。
また、前記バッファー２００の一側面には、充填された薬液１１３の水位を測定することにより、薬液１１３の充填状態がいつも一定の水位以上を維持するようにするレベルセンサー２３０が設置される。
このようなレベルセンサー２３０が設置される理由は、放出バルブ２４０を介して気体が半導体装備２５０に流入する問題を予防するためである。

そして、前記バッファー２００内部には、薬液１１３の充填空間を任意に可変させるための体積可変手段が設置される。

前記体積可変手段は、バッファー２００の内部左右側部にそれぞれ設置され、その間に充填された薬液１１３の収容空間を任意に収縮及び膨脹させるように、左右方向への収縮及び膨脹作用を行う膜部材２１０と、前記膜部材２１０の形態及び位置を可変させるための可変アクチュエータ２２０とを含む。

図２に示すような膜部材２１０としては、ダイアフラム、波形管及びゴム板などのように、形状変形の自由な素材が使用できる。

また、前記膜部材２１０を可変させるための可変アクチュエータ２２０としては、加圧／減圧ポンプが利用できる。

前記加圧／減圧ポンプは、通常に、膜部材２１０とバッファー２００との間の空間に高圧雰囲気を形成して、膜部材２１０をバッファー２００の中心側に膨脹させることにより、結果として薬液１１３の収容空間を最小状態に維持させることになる。

このような加圧／減圧ポンプは、カートリッジ１１０内の薬液１１３の残量が基準値以下になれば、減圧駆動が行われる。この際、キャニスター１００側の加圧ポンプ１３０は、作動を中止することになる。

前記加圧／減圧ポンプが減圧駆動すれば、膜部材２１０が図２の二点鎖線で表示したように、バッファー２００の外壁側に収縮することになる。前記膜部材２１０が収縮すれば、相対的に中央の薬液１１３の収容空間体積が増大して、減圧現象が起こる。

前記薬液１１３の収容空間が減圧されることにより、キャニスター１００側に保管された残量の薬液１１３が移送管１６０に沿って吸入、移送される。

この際、前記加圧／減圧ポンプの減圧駆動は、残量基準が１００〜５００ｃｃになる時点から始め、最低の流速、好ましくは１０ｃｃ／ｓ以下の流速になるようにし、残量が５０〜０ｃｃになるまで徐々に進むようにする。
ここで、減圧速度を最低速度に維持させる理由は、薬液１１３内に気泡が発生することを防止するためである。

このような方法によってバッファー２００の内部に一定量の薬液１１３が充填されれば、前記バッファー２００の内部の体積可変手段の収縮作用が行われるようにして、バッファー２００の内部薬液１１３が半導体装備２５０に押し出されるようにする。

この際、前記体積可変手段の収縮作用は、加圧／減圧ポンプを加圧作用させることでなされる。前記加圧／減圧ポンプは、膜部材２１０とバッファー２００との間の空間に圧縮空気を供給して加圧することにより、膜部材２１０をバッファー２００の中央側に膨脹させる。

前記膜部材２１０が内部中央側に膨脹されることにより、膜部材２１０の間に形成された薬液１１３の収容空間が収縮し、薬液１１３の収容空間内の薬液１１３は放出バルブ２４０を介して半導体装備２５０側に供給される。

このような体積可変手段のポンピング作用は、キャニスター１００内の薬液１１３がすべて消耗されるまで繰り返される。

そして、前記キャニスター１００の薬液１１３の残量を測定するためには、残量測定手段が使用される。前記残量測定手段としては、キャニスター１００の底面に設置され、キャニスターの重量変化を感知するようになったロードセル１５０、あるいは移送管１６０に設置され圧力センサー１７０が使用できる。

この際、前記圧力センサー１７０は、薬液１１３の流速及び流量を測定するセンサーにも取り替えることができる。

前述したような本発明の第１実施例によるケミカル供給装置は、カートリッジ１１０内の薬液１１３を残量なしに、すべて消耗することができるので、材料費を節減することになる利点を有する。

図３は本発明の第２実施例によるケミカル供給装置を説明するためのバッファー構造を示す拡大図である。

同図に示すような本発明の第２実施例によるケミカル供給装置は、図２に示すような本発明の第１実施例によるバッファー２００の構造のみを変更したものである。
したがって、以下では、キャニスター１００の構造の説明を省略し、バッファー２００の構成についてだけ詳細に説明する。

本発明の第２実施例によるバッファー２００は、薬液１１３を半導体装備２５０に供給するための放出バルブ２４０を下部に備え、上部には、薬液１１３に含まれた気泡を外部に放出させるための気泡排出バルブ２６０が設置される。
また、前記バッファー２００の一側面には、充填された薬液１１３の水位を測定して、薬液１１３の充填状態がいつも一定の水位以上を維持するようにするレベルセンサー２３０が設置される。
このようなレベルセンサー２３０が設置される理由は、放出バルブ２４０を介して気体が半導体装備２５０に流入する問題を予防するためである。

そして、前記バッファー２００の内部には、薬液１１３の充填空間を任意に可変させるようにする体積可変手段が設置される。

前記体積可変手段は、バッファー２００の内部左右側部にそれぞれ設置され、その間に充填された薬液１１３の収容空間を任意に収縮及び膨脹させるように、左右方向への収縮及び膨脹作用を行う膜部材２１０と、前記膜部材２１０の形態及び位置を可変させるための可変アクチュエータ２２０とから構成される。

前記膜部材２１０は、図３に示すように、アコーディオン形状の波形管部材が使用できる。

また、前記膜部材２１０を可変させるための可変アクチュエータ２２０としては、波形管部材の先端を横方向に左右に移送させるためのシリンダーなどが使用できる。

前記シリンダーは、通常に、ピストンを最大長に伸ばして膜部材２１０をバッファー２００の中心側に移動させ、結果として、薬液１１３の収容空間を最小状態に維持させることになる。

このようなシリンダーは、カートリッジ１１０内の薬液１１３の残量が基準値以下になれば、減圧駆動が行われる。

前記シリンダー２２０が減圧駆動すれば、ピストンの長さが最小に縮小し、膜部材２１０がバッファー２００の外壁側に拡張して、相対的に中央の薬液１１３の収容空間の体積を膨脹させることになる。

この際、前記薬液１１３の収容空間が膨脹すれば、内圧が急激に減少することになり、キャニスター１００側に保管された残量の薬液１１３が移送管１６０に沿ってバッファー２００側に吸入される。

この際、前記加圧／減圧ポンプ２２０の減圧駆動は、残量基準が１００〜５００ｃｃになる時点で始め、最低の流速、好ましくは１０ｃｃ／ｓ以下の流速になるように行われ、残量が５０〜０ｃｃになるまで徐々に進む。

前記のように、バッファー２００の内部に一定量の薬液１１３が充填されれば、前記バッファー２００の内部の体積可変手段の収縮作用が行って、バッファー２００の内部の薬液１１３を半導体装備２５０に押し出すことになる。

前記体積可変手段の収縮作用は、シリンダー２２０を加圧駆動させることでなることができる。前記加圧駆動のために、シリンダー２２０はピストンを最大長に伸ばして、膜部材２１０がバッファー２００の中心側に移動するようにし、結果として、薬液１１３の収容空間を収縮させることになる。

前記薬液１１３の収容空間が収縮されることにより、薬液１１３の収容空間内の薬液１１３は放出バルブ２４０を介して半導体装備２５０側に供給される。

このような体積可変手段のポンピング作用は、キャニスター１００内の薬液１１３がすべて消耗されるまで繰り返される。

この際、前記キャニスター１００の薬液１１３の残量を測定するための残量測定手段としては、キャニスターの重量変化を感知するためのロードセル１５０、あるいは移送管１６０に設置された圧力センサー１７０が利用できる。

このような圧力センサー１７０は、薬液１１３の流速及び流量を測定するセンサーにも取り替えることができる。

図４は本発明の第３実施例によるケミカル供給装置を説明するためのバッファー構造を示す拡大図である。

同図に示すような本発明の第３実施例によるケミカル供給装置は、図２に示すような本発明の第１実施例バッファー２００の構造のみを変更したものである。
したがって、以下では、キャニスター１００の構造についての説明を省略し、バッファー２００の構成についてだけ詳細に説明する。

本発明の第３実施例によるバッファー２００は、薬液１１３を半導体装備２５０に供給するための放出バルブ２４０を下部に備え、上部には、薬液１１３に含まれた気泡を外部に放出させるための気泡排出バルブ２６０が設置される。
また、前記バッファー２００の一側面には、充填された薬液１１３の水位を測定して、薬液１１３の充填状態がいつも一定の水位以上を維持するようにするレベルセンサー２３０が設置される。
このようなレベルセンサー２３０が設置される理由は、放出バルブ２４０を介して気体が半導体装備２５０に流入する問題を予防するためである。

そして、前記バッファー２００の内部には、薬液１１３の充填空間を任意に可変させるための体積可変手段が設置される。

前記体積可変手段は、バッファー２００の内部中央に球体形状に設置され、その内部に充填された薬液１１３の収容空間を任意に収縮及び膨脹させて収縮及び膨脹作用を行う膜部材２１０と、前記膜部材２１０を収縮及び膨脹作用させるための可変アクチュエータ２２０とから構成される。

この際、前記膜部材２１０としては、図４に示すように、収縮及び膨脹の際、伸縮性を有する球体形状の伸縮部材が使用できる。

前記球体形状の伸縮部材の下部中心には移送管１６０が連結され、上部中心には、気泡排出バルブ２６０が連結され、前記移送管１６０が連結された一側に放出バルブ２４０が連結される。

また、前記膜部材２１０を可変させるための可変アクチュエータ２２０としては、バッファー２００と膜部材２１０との間の空間を加圧及び減圧させるための加圧／減圧ポンプが利用できる。

前記加圧／減圧ポンプは、通常に、バッファー２００と膜部材２１０との間の空間を高圧雰囲気に維持して、膜部材２１０を最大限に収縮させ、結果として、薬液１１３の収容空間を最小状態に維持させることになる。

このようなシリンダーは、カートリッジ１１０内の薬液１１３の残量が基準値以下になれば、減圧駆動を行うことになる。

前記シリンダー２２０が減圧駆動すれば、バッファー２００と膜部材２１０との間の空間に低圧雰囲気が形成され、膜部材２１０が膨脹して、中央の薬液１１３の収容空間の体積を膨脹させることになる。

この際、前記薬液１１３の収容空間が膨脹すれば、内圧が急激に減少することになり、キャニスター１００側に保管された残量の薬液１１３が移送管１６０に沿ってバッファー２００側に吸入される。

この際、前記加圧／減圧ポンプ２２０の減圧駆動は、残量基準が１００〜５００ｃｃになる時点で始め、最低の流速、好ましくは１０ｃｃ／ｓ以下の流速になり、残量が５０〜０ｃｃになるまで徐々に進む。

前記のような減圧駆動によって、バッファー２００内部に一定量の薬液１１３が充填されれば、前記バッファー２００の内部の体積可変手段の収縮作用が行って、バッファー２００の内部の薬液１１３を半導体装備２５０に押し出すことになる。

前記体積可変手段の収縮作用は、加圧／減圧ポンプ２２０を加圧駆動させることでなる。前記加圧／減圧ポンプは、バッファー２００と膜部材２１０との間の空間を高圧雰囲気に維持して膜部材２１０を最大限に収縮させ、結果として、薬液１１３の収容空間を収縮させることになる。

前記薬液１１３の収容空間が収縮されるにしたがい、薬液１１３の収容空間内の薬液１１３が放出バルブ２４０を介して半導体装備２５０側に供給される。

このような体積可変手段のポンピング作用は、キャニスター１００内の薬液１１３がすべて消耗されるまで繰り返される。

この際、前記キャニスター１００の薬液１１３の残量を測定するための残量測定手段としては、キャニスターの重量変化を感知するためのロードセル１５０、あるいは移送管１６０に設置された圧力センサー１７０が利用できる。

このような圧力センサー１７０は、薬液１１３の流速及び流量を測定する測定センサーにも取り替えることができる。

前記のような構成及び作用を有する本発明は、前述した多様な実施例を利用する当業者の多様な修正及び変更が可能であるので、本発明の真正な技術的範囲は明細書の詳細な説明に開示された内容に限定されるものではなく、本発明の特許請求の範囲によって決定されなければならない。

本発明は、半導体ウェハーまたはフラットパネルディスプレイの製造工程に使用されるケミカルをキャニスターからバッファーに移送して半導体装備に安定に供給するケミカル供給装置に適用可能である。

従来技術のケミカル供給装置を示す概略図である。 本発明の第１実施例によるケミカル供給装置を説明するための全体構造を示す概略図である。 本発明の第２実施例によるケミカル供給装置を説明するためのバッファー構造を示す拡大図である。 本発明の第３実施例によるケミカル供給装置を説明するためのバッファー構造を示す拡大図である。

符号の説明

１００ キャニスター
１１０ カートリッジ
１１１ 不活性ガス、窒素
１１３ 薬液
１３０ 加圧ポンプ
１５０ ロードセル
１６０ 移送管
１７０ 圧力センサー
２００ バッファー
２１０ 膜部材
２２０ 可変アクチュエータ
２３０ レベルセンサー
２４０ 放出バルブ
２５０ 半導体装備
２６０ 気泡排出バルブ

Claims (11)

1. 薬液が充填されるキャニスター、
   前記キャニスター内に充填された薬液を受けて半導体装備側に送り出すための放出バルブが下部に設置され、前記薬液に含まれた気泡を外部に放出させるための気泡排出バルブが上部に備えられるバッファー、
   前記キャニスター内の薬液残量を測定するための残量測定手段、及び、
   前記残量測定手段による測定結果、キャニスター内の薬液残量が基準値以下であるとき、バッファー内の薬液収容空間を収縮及び膨脹させて、キャニスター内の薬液を吸入させる体積可変手段、
   を含んでなることを特徴とする、ケミカル供給装置。
2. 前記キャニスターの内部には、薬液が充填されたカートリッジが備えられ、前記キャニスターの内部圧力を上昇させて、前記カートリッジを圧縮する加圧ポンプが備えられることを特徴とする、請求項１に記載のケミカル供給装置。
3. 前記バッファーには、充填された薬液の水位を測定するためのレベルセンサーが設置されることを特徴とする、請求項１に記載のケミカル供給装置。
4. 前記体積可変手段は、バッファーの内部左右側部にそれぞれ設置され、その間に形成された収容空間を任意に収縮及び膨脹させるように、左右方向への収縮及び膨脹作用を行う膜部材、及び、
   前記膜部材を収縮及び膨脹作用させるための可変アクチュエータ、
   を含んでなることを特徴とする、請求項１に記載のケミカル供給装置。
5. 前記膜部材は、ダイアフラム、波形管及びゴム板のいずれか一つを用いることを特徴とする、請求項４に記載のケミカル供給装置。
6. 前記膜部材が球体形状に製作され、前記球体の下部に移送管が連結され、上部に気泡排出バルブが連結され、前記移送管が連結された一側に放出バルブが連結されることを特徴とする、請求項４に記載のケミカル供給装置。
7. 前記可変アクチュエータは、加圧／減圧ポンプまたはシリンダーを利用することを特徴とする、請求項４に記載のケミカル供給装置。
8. 前記可変アクチュエータは、カートリッジ内の薬液の残量が基準値以下であるとき、減圧駆動が行われることを特徴とする、請求項４に記載のケミカル供給装置。
9. 前記残量基準値が１００〜５００ｃｃであることを特徴とする、請求項８記載のケミカル供給装置。
10. 前記体積可変手段による真空吸入速度は、１０ｃｃ／ｓ以下であることを特徴とする、請求項１に記載のケミカル供給装置。
11. 前記残量測定手段は、キャニスターの底面に設置され、キャニスターの重さ変化を感知するためのロードセル、あるいは移送管に設置された圧力センサーを用いることを特徴とする、請求項１に記載のケミカル供給装置。

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