JP2008288300A - 静電吸着保持装置及びそれを有する露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数の電極と絶縁層とを有し、前記電極に電圧が印加されると前記絶縁層が誘電分極を生じて前記絶縁層の上に導電性の被吸着物を静電吸着によって保持する吸着台と、前記吸着台を冷却する冷却部と、前記複数の電極に接続され、前記複数の電極に個別に電圧を印加する電圧調節部と、前記被吸着物の温度分布の情報に基づいて前記電圧調節部が前記複数の電極に印加すべき電圧の分布を決定することによって前記電圧調節部を制御する制御部とを有することを特徴とする静電吸着保持装置を提供する。
【選択図】図2
Description
141、141A ウエハチャック(静電吸着保持装置)
142 吸着台
143 電極
144 絶縁層
145 温度センサ
148 温調素子
150 CPU
152 電圧制御部
Claims (10)
- 複数の電極と絶縁層とを有し、前記電極に電圧が印加されると前記絶縁層が誘電分極を生じて前記絶縁層の上に導電性の被吸着物を静電吸着によって保持する吸着台と、
前記吸着台を冷却する冷却部と、
前記複数の電極に接続され、前記複数の電極に個別に電圧を印加する電圧調節部と、
前記被吸着物の温度分布の情報に基づいて前記電圧調節部が前記複数の電極に印加すべき電圧の分布を決定することによって前記電圧調節部を制御する制御部とを有することを特徴とする静電吸着保持装置。 - 前記冷却部は複数の冷却素子を有し、
前記制御部は、前記情報に基づいて前記冷却部が形成すべき温度分布を決定することによって前記冷却部を制御することを特徴とする請求項1記載の静電吸着保持装置。 - 前記吸着台の温度を検出する温度センサを更に有し、各温度センサと各冷却素子は各電極に対応する領域に割り当てられ、前記複数の電極と前記冷却素子と前記複数の温度センサは、それぞれ前記被吸着物に形成されて温度制御される領域の数に等しいことを特徴とする請求項2に記載の静電吸着保持装置。
- 光源からの光を利用して真空環境において原版に形成されたパターンを基板に露光する露光装置において、
請求項1乃至3に記載され、被吸着物としての前記基板を保持する静電吸着保持装置を有することを特徴とする露光装置。 - 請求項4に記載の露光装置で基板を露光するステップと、
該露光された基板を現像するステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。 - 複数の電極と絶縁層とを有し、前記電極に電圧が印加されると前記絶縁層が誘電分極を生じて前記絶縁層の上に導電性の被吸着物を静電吸着によって保持する吸着台と、前記吸着台を冷却する冷却部と、前記複数の電極に接続され、前記複数の電極に個別に電圧を印加する電圧調節部とを有する静電吸着保持装置の制御方法において、
前記被吸着物の温度分布の情報を予め取得するステップと、
前記情報に基づいて前記電圧調節部が前記複数の電極に印加すべき電圧の分布を決定するステップとを有することを特徴とする制御方法。 - 前記取得ステップは、前記被吸着物の実際の計測又はシミュレーションによって取得することを特徴とする請求項6に記載の制御方法。
- 光源からの光を利用して真空環境において原版に形成されたパターンを基板に露光する露光方法において、
前記光が照射された前記基板のショットの温度分布の情報を予め取得するステップと、
前記基板の目標ショットを露光する前に、前記基板を静電吸着により保持すると共に冷却されたチャックの、前記目標ショットに対応する静電吸着力を前記情報に基づいて前記基板の他の領域の静電吸着力よりも強く設定するステップとを有することを特徴とする露光方法。 - 前記基板の目標ショットを露光する前に、前記チャックの前記目標ショットに対応する温度を前記情報に基づいて前記基板の他の領域の温度よりも低く設定するステップとを有することを特徴とする請求項8記載の露光方法。
- 真空環境において基板を処理する処理装置において、
請求項1乃至3に記載され、被吸着物としての前記基板を保持する静電吸着保持装置を有することを特徴とする処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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