JP2008279584A - 保持具、研磨装置、研磨方法 - Google Patents

Abstract

【課題】コバ部が薄いレンズ等の被研磨物の研削や研磨加工におけるコバ部の破損や形状精度の低下を生じることなく、被研磨物を容易に脱着可能にする。
【解決手段】研磨装置Ｍのカンザシ１０にレンズ２を固定するための保持具１において、受け部材６をレンズ２の厚さ方向に変位可能に、バネ８および螺子９を介して外筒７の内部に配置し、研磨加工時には、バネ８の付勢力で受け部材６を外筒７の内部に引き込んだ状態にして、レンズ２のコバ部２ｃを外筒７の内周に全周にわたって支持させ、保持具１からのレンズ２の離脱時には、バネ８に抗して、受け部材６およびレンズ２を外筒７の外部に押し出してコバ部２ｃを外筒７から露出させるようにした。
【選択図】 図１

Description

本発明は、保持具、研磨装置、研磨方法に関し、たとえば、光学素子等の被研磨物の研磨加工等に対して有効な技術に関する。

たとえば、カメラや顕微鏡等の光学機器に用いられる球面あるいは平面形状のレンズを研削、研磨加工する際には、レンズを保持するレンズ保持具が用いられる場合がある。特に、光軸方向の厚さが薄く、治具等に張り付けることなくレンズ単体で研磨する、いわゆる単玉加工を行うことが難しい形状の研磨加工では、レンズ保持具の使用は必須となる。

このようなレンズ保持具を用いる場合、たとえば、外縁部（いわゆるコバ部）が薄いレンズの場合には、研磨中の位置ずれを防止するためにコバ部が保持具内部に埋没した状態となるため、加工後に保持具から容易に取り出すことができない、という技術的課題があった。

このため、たとえば特許文献１には、研磨対象のレンズの背面側を支持する中駒をカップ形の外筒内に収容し、レンズの外縁部が外筒の開口端に保持されるようにしたレンズ保持部材において、レンズのコバ部と接する外筒の開口端部に、少なくとも１箇所以上の切り欠きを設けることで、手作業による保持具からのレンズ着脱を容易にしようとする技術が開示されている。

しかしながら、この特許文献１に開示されるレンズ保持部材では、レンズの外縁を支える外筒の切り欠き部分で、加工中のレンズに対して応力集中が発生する。
すなわち、外筒部は、レンズ保持部材にレンズを装着して研削や研磨加工を行う際に加工中のレンズが保持具から外れないようにレンズのコバ部を支える役目を有しているため、外筒のコバ部に接する領域に切り欠きがあると、この切り欠き部分のコバ部に加工力による応力集中が発生し、コバ部の欠け等の破損が発生する。

特に、特許文献１に開示されたレンズ保持部材は、上述のように、コバ部が薄く、手作業で保持具よりレンズを脱着しにくいようなレンズに適用する場合を想定しているが、コバ部を支える外筒に切り欠きがあると、当該切欠き部での応力集中によって薄いコバ部が容易に破損してしまう懸念がある。

また、外筒部の切り欠きによってコバ部に応力集中が発生すると、コバ部のレンズ変形も発生しやすく、特にコバ部が薄いレンズに適用した場合には、応力集中に伴い薄いコバ部が容易に変形を生じ、研削や研磨加工を施す球面や平面部分においても形状精度の低下が生じてしまう懸念がある。
特開平１１−１０５０３号公報

本発明の目的は、コバ部（外縁部）が比較的薄い光学素子等の被研磨物の研削や研磨加工におけるコバ部の破損や形状精度の低下を生じることなく、被研磨物を容易に脱着できる保持技術を提供することにある。

本発明の第１の観点は、研磨工具に摺接される被研磨物を保持する保持具であって、
前記被研磨物の背面側を支持する基材と、
前記基材を前記被研磨物の厚さ方向に可動に収容するとともに前記被研磨物の外縁部を支持する筒体と、
前記基材を前記筒体の内部に引き込む方向に相対的に付勢する弾性体と、
を含む保持具を提供する。

本発明の第２の観点は、第１の観点に記載の保持具において、
さらに、前記筒体に対する前記基材の相対的な引き込み位置を規制する規制部材を備えた保持具を提供する。

本発明の第３の観点は、第１の観点または第２の観点に記載の保持具において、
圧縮変形された前記弾性体の伸張力によって、前記基材を前記筒体の内部に引き込む方向に相対的に付勢する保持具を提供する。

本発明の第４の観点は、第１の観点または第２の観点に記載の保持具において、
伸長変形された前記弾性体の収縮力によって、前記基材を前記筒体の内部に引き込む方向に相対的に付勢する保持具を提供する。

本発明の第５の観点は、被研磨物の背面側を支持する基材と、前記基材を前記被研磨物の厚さ方向に可動に収容するとともに前記被研磨物の外縁部を支持する筒体と、前記基材を前記筒体の内部に引き込む方向に相対的に付勢する弾性体とを含む保持具と、
前記保持具に支持された前記被研磨物に摺接する研磨工具と、
前記研磨工具を前記保持具に対して相対的に変位させる駆動機構と、
を含む研磨装置を提供する。

本発明の第６の観点は、第５の観点に記載の研磨装置において、
前記保持具は、さらに前記筒体に対する前記基材の相対的な引き込み位置を規制する規制部材を備えた研磨装置を提供する。

本発明の第７の観点は、被研磨物の背面側を支持する基材を、前記被研磨物の外縁部を支持する筒体の内部において前記被研磨物の厚さ方向に可動に配置する工程と、
前記筒体の内部の前記基材に前記被研磨物の背面側を装着し、当該被研磨物の外縁部を前記筒体に支持させて前記被研磨物を研磨する工程と、
前記基材を前記筒体から突出する方向に変位させて前記被研磨物の外縁部を前記筒体から離脱させる工程と、
を含む研磨方法を提供する。

本発明の第８の観点は、第７の観点に記載の研磨方法において、
前記基材を前記筒体の内部に引き込む方向の相対位置を規制する規制部材を前記基材と前記筒体との間に配置する研磨方法を提供する。

本発明によれば、コバ部（外縁部）が比較的薄い光学素子等の被研磨物の研削や研磨加工におけるコバ部の破損や形状精度の低下を生じることなく、被研磨物を容易に脱着できる保持技術を提供することができる。

以下、図面を参照しながら、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
（実施の形態１）
図１は、本発明の一実施の形態である研磨方法を実施する研磨装置の保持具の部分の構成の一例を示す断面図であり、図２Ａ、図２Ｂ、図２Ｃは、本発明の一実施の形態である研磨装置の保持具の動作状態の一例を示す断面図である。

本実施の形態では、保持具１を用いて凸レンズ等のレンズ２の研磨加工を実施する研磨装置Ｍについて説明する。
この場合、レンズ２の二つの光学面の一方が研磨対象の研磨面２ａとなるとき、反対側の光学面は保持具１に保持される背面２ｂとなる。

図１に例示されるように本実施の形態の研磨装置Ｍは、レンズ２を支持する保持具１と研磨工具としての研磨皿３を備えている。
保持具１を介してレンズ２を研磨するために、研磨装置Ｍの一部であるカンザシ１０（駆動機構）に自在継手部１０ａを介して保持具１が傾動自在および回転自在に係合され、保持具１の内部に保持されたレンズ２が、レンズ２の研磨面２ａである球面形状を概略反転させた球面形状の研磨作用面３ａを有する研磨皿３に押圧される。

そして、駆動軸３ｂ（駆動機構）によって回転駆動および揺動される研磨皿３と、カンザシ１０に自在継手部１０ａを介して傾動自在に支持された保持具１の互いの回転および揺動運動により、レンズ２の研磨面２ａの研磨を行なう。

レンズ２を保持する本実施の形態１の保持具１は、レンズ２の研磨面２ａと反対側の球面（背面２ｂ）を支える受け部材６と、この受け部材６およびレンズ２を内部に収容してレンズ２の外縁部であるコバ部２ｃを支える有底筒状の外筒７（筒体）を備えている。

外筒７の底面のカンザシ１０が貫通するカンザシ穴１１の周囲には、先端部が外筒７の貫通穴７ｂを変位自在に貫通して受け部材６（基材５）の背面に固定された複数の螺子９が設けられ、この螺子９の大径の螺子頭９ａと外筒７の底面との間には、圧縮状態のバネ８（弾性体）が配置されている。

これにより、保持具１の受け部材６と外筒７は、互いに螺子９およびバネ８を介してレンズ２の厚さ方向に相対的に変位自在に係合されるとともに、圧縮状態で組み込まれたバネ８の伸張方向の付勢力によって、受け部材６は外筒７の内部に相対的に引き込まれる方向に常時付勢されている。

ここでレンズ２の背面２ｂと接触する受け部材６は、基材５と緩衝材４から構成されている。基材５は研磨加工の圧力により変形など生じないような、たとえば真鍮やステレスといった金属からなり、その表面に貼り付けられた緩衝材４はレンズ２に接触キズなどを入れず、レンズ２との高い摩擦力を確保するために、たとえばポリウレタンなどの樹脂で構成されている。

また、レンズ２のコバ部２ｃを支える外筒７は、コバ部２ｃが加工中に破損しないように真鍮やアルミニウムなどの比較的やわらかい金属もしくはポリアセタールやテフロン（登録商標）、ポリイミドといった樹脂によって構成される。

また、レンズ２のコバ部２ｃを取り囲む外筒７の開口端には、研磨皿３の曲率に合わせたテーパ面７ａが形成され、研磨皿３の研磨作用面３ａがレンズ２の研磨面２ａに摺接する際に、研磨皿３に干渉しない構造となっている。

次に本実施の形態１の研磨装置Ｍおよび保持具１の作用に関して図２Ａ、図２Ｂ、図２Ｃを用いて説明する。
図２Ａは本実施の形態の保持具１に被加工物であるレンズ２を装着した状態の断面図である。図２Ｂは本実施の形態で、加工が完了したレンズ２を保持具１より外すところを示した断面図である。また図２Ｃでは本実施の形態の保持具１がレンズを保持していない、あるいは加工を実施していないときの状態を断面図で示すものである。

まず、図２Ｃに示すように、保持具１は通常の状態では圧縮して装着されるバネ８が、圧縮力を開放しようと螺子９および外筒７を押し戻そうとする。このため螺子９の先端部が螺着された受け部材６は、バネ８の復元力で外筒７の内部に相対的に引き込まれ、外筒７の底部と当接するように保持される。

この状態で図２Ａに示すように、外筒７の開口部にレンズ２を装着する。レンズ２は研磨される研磨面２ａと反対側の背面２ｂが受け部材６である緩衝材４を介して基材５で支えられる。

受け部材６を構成する緩衝材４は、レンズ２の光学面である背面２ｂと接して保持を行なうため、光学面にキズなどの不良を発生させないようなポリウレタンや樹脂性のシートを用いることができる。また、レンズ２の背面２ｂのキズの発生だけでなく、レンズ２の背面２ｂとできる限り均等に接して保持することが研磨加工中の圧力によるレンズ２の変形を防止するためにも緩衝材４の材質は重要となる。これに対して基材５は緩衝材４を介してレンズ２を加工圧力から支える必要があるため、たとえば、真鍮、ステンレス、アルミなどの金属を利用することが多い。

また、受け部材６に背面２ｂが支持されたレンズ２は外筒７内に挿入され、コバ部２ｃが外筒７の内周に接触することよってレンズ２の径方向の変位を支持する。
このとき本実施の形態１の保持具１を利用するレンズ２は、コバ部２ｃが図２Ａ、図２Ｂ、図２Ｃで示すように比較的厚さが薄い形状を有しているため、コバ部２ｃの破損を防ぐために外筒７には比較的やわらかい素材を利用する。具体的には、たとえば、金属であれば、真鍮やアルミニウムを用いるか、もしくはポリアセタール、ポリイミドといった樹脂を用いることもできる。

図２Ａのように保持具１に装着されたレンズ２は、この状態で上述の図１に例示されるように、研磨装置Ｍのカンザシ１０に自在継手部１０ａを介して取り付けられ、研磨面２ａの研磨加工が行われた後に、保持具１よりレンズ２を外す必要がある。

このとき、本実施の形態のレンズ２はコバ部２ｃが非常に薄く、外筒７に埋没した状態であるため、そのままでは、容易に外筒７より取り外すことができない。特に受け部材６と接する背面２ｂでは、研磨加工中の加工液や水が入り込んで、緩衝材４と表面張力によって強力に密着保持されており、容易に取り出すことができないことが多い。無理にコバ部２ｃを工具等に引っ掛けて取り出そうとすれば、薄いコバ部２ｃを破損することも懸念され、特に、径方向の位置ずれ防止等の目的で、通常、外筒７とコバ部２ｃの隙間は小さく設定されており、そのままでは容易に取り出すことができない。

ここで本実施の形態の保持具１では、前述したように受け部材６と外筒７がバネ８によって互いに引き合うように係合されているため、このバネ８による付勢力に抗して、図２Ｂの矢印に示すように外筒７に対して受け部材６を相対的に押し出すことで、受け部材６とレンズ２が一体となったまま外筒７より突出させることができる。

すなわち、受け部材６の基材５をバネ８の付勢力よりも大きな力で押し出すことで、レンズ２のコバ部２ｃが露出するように、受け部材６およびレンズ２を外筒７の外部に繰り出すことができ、この露出したコバ部２ｃを把持することでレンズ２を外筒７から容易に取り出すことができる。

レンズ２を取り出した後は、受け部材６を押圧していた力を解放すれば、バネ８の復元力によって図２Ｃで示す最初の状態に戻すことができる。
すなわち図２Ｃで示すように、通常の状態でもバネ８の復元力で受け部材６と外筒７は係合しているが、装着したレンズ２を外筒７から取り出すためには、バネ８の復元力よりも強い力で受け部材６を押し出すことでレンズ２を取り出すことができ、しかも、この押圧力を解除すれば、バネ８の復元力で図２Ｃに示す通常の状態に自動的に復帰させることができる。

また実施の形態１の保持具１では、受け部材６と外筒７を係合するために、一例としてバネ８を使っているが、圧縮されたゴムや風船などの弾性体を利用しても同じような効果が得られるとは明らかである。

本実施の形態のようにバネ８を用いる場合には、復元力（付勢力）をバネ定数の調整にて容易に設定できる、という利点がある。
一方、たとえば、バネ８の代わりにゴムを用いる場合には、ゴム素材の弾性特性を設定できれば、研削加工や研磨加工で水や研磨材が供給される環境においても安定した付勢力を発揮でき、保持具１の構造も簡素化できる利点がある。

本実施の形態１によれば、コバ部２ｃの比較的薄いレンズ２を、外筒７によりコバ部２ｃの特定の位置に応力集中を発生させることなく、すなわちレンズ２のコバ部２ｃの欠けやコバ部２ｃの近傍の光学面の変形等を生じることなく、全周に渡って安定に保持できると共に、保持具１の受け部材６を外筒７に対して相対的に押し出すことで容易に保持具１からレンズ２を取り出すことができる。

また、本実施の形態の研磨装置Ｍによれば、研磨加工工程におけるレンズ２のコバ部２ｃの破損等を防止して歩留りを向上させることができるとともに、コバ部２ｃの近傍の光学面の変形等も防止でき、レンズ２を高い形状精度にて研磨できる。
（実施の形態２）
次に本発明の実施の形態２である保持具１Ａを図３Ａ、図３Ｂを参照して説明する。本実施の形態２では、保持具１Ａの受け部材６と外筒７を係合するバネ８が伸長状態で組み込まれている。そして、このバネ８の収縮力によって受け部材６が外筒７の内部に相対的に引き込まれる方向に常時付勢されることで、受け部材６と外筒７が係合される点が、上述の実施の形態１と異なっている。

図３Ａには保持具１Ａの通常状態およびレンズ２を保持した状態の断面図を示し、図３Ｂにはレンズ２を取り出す状態の断面図を示している。
上述の実施の形態１の保持具１と同じ構成部品に関しては、同じ符号を付して説明を省略する。

この実施の形態２の保持具１Ａでは、受け部材６の基材５、および外筒７の底面のカンザシ穴１１の周りの対応する位置に、バネ穴５ａおよびバネ穴７ｃが設けられている。
そして、このバネ穴５ａおよびバネ穴７ｃの中にバネ８が伸長状態で組み込まれ、当該バネ８の上端部および下端部が、それぞれ固定ピン１２によってバネ穴７ｃの内周およびバネ穴５ａの内周に固定されている。

バネ８の付勢力としては、通常の弾性によるもののほか、超弾性を利用してもよい。
これにより、この保持具１Ａでは、受け部材６と外筒７が、バネ８の収縮方向の付勢力により、当該受け部材６が外筒７の内部に引き込まれる方向に常時付勢され、受け部材６の基材５と外筒７が密着する状態で係合している。

以下、本実施の形態２の保持具１Ａの作用について説明する。
この実施の形態２では、受け部材６と外筒７を係合するバネ８は、自然長よりも引き延ばされた伸張状態で受け部材６と外筒７に固定されているため、元の長さに戻ろうとする収縮方向の復元力が作用している。

このバネ８の復元力は、その両端に固定された固定ピン１２を介して受け部材６と外筒７に伝わり、両者を引き付ける力として作用する。このため通常は受け部材６と外筒７が、バネ８により引き付けられ図３Ａに示すように受け部材６と外筒７が接した状態となっている。

この図３Ａの状態で、上述の実施の形態１と同様に、レンズ２の背面２ｂを外筒７の内部の緩衝材４に装着し、コバ部２ｃを外筒７に保持させて、図１に例示されるように研磨皿３の研磨作用面３ａとレンズ２の研磨面２ａを摺接させることで、研磨加工を行う。

この研磨加工を行った後は、コバ部２ｃが薄いレンズでは外筒７より取り外すことが困難であるため、本実施の形態２においても、図３Ｂに示すように、バネ８の収縮方向の付勢力に抗して、受け部材６を外筒７に対して押圧すると、受け部材６とレンズ２が外筒７の外側に押し出され、コバ部２ｃが外筒７の外部に露出するので、レンズ２を容易に取り出すことができる。

このとき本実施の形態ではバネ８が伸張状態で装着され、受け部材６を外筒７の底面に当接するように相対的に引き付けて保持しているため、押圧してレンズ２を押し出すためには、バネ８を装着状態の長さよりも伸びるように押し出すことが必要である。

また押圧力を解除すれば、伸びているバネ８が元に戻ろうとして受け部材６と外筒７を引き付け、図３Ａに示すように両者が接触して係合された状態に戻る。
本実施の形態２の保持具１Ａではバネ８の収縮力を利用しているため、バネ８を受け部材６と外筒７に設けられたバネ穴５ａおよびバネ穴７ｃの内部に収容することができ、研磨装置Ｍなどにカンザシ１０を介して取り付ける際に保持具１Ａからの突起物がなく設置が容易になる。
（実施の形態３）
図４Ａおよび図４Ｂを参照して本発明の実施の形態３の保持具１Ｂを説明する。本実施の形態３では、レンズ２の厚さ方向に押圧して移動させる受け部材６の係合位置を調整できる構成とした点が、上述の実施の形態１と異なっている。上述の実施の形態１と同一部品に関しては同一符号付して説明を省略する。

図４Ａは保持具１Ｂの通常状態およびレンズ２を保持した状態を示す断面図であり、図４Ｂは、保持具１Ｂからレンズ２を取り出すところを示す断面図である。
なお、図４Ａおよび図４Ｂでは、上述の実施の形態１の保持具１の構成を前提としているが、上述の図３および図３Ｂに例示した保持具１Ａの構成の場合にも、カンザシ穴１１を利用してそのまま適用できる。

本実施の形態３の保持具１Ｂでは、外筒７の中心部に開設された研磨装置Ｍのカンザシ１０に取り付けるためにカンザシ穴１１の内周部には雌螺子１１ａが切られ、外周部に雄螺子が形成された規制リング１５（規制部材）が螺着されている。

規制リング１５は、外筒７の受け部材６（基材５）に対する当接面から突出するように、カンザシ穴１１に螺着されている。これにより、規制リング１５は、外筒７と螺子９の間に設けられたバネ８の伸長力によって密着する受け部材６と外筒７の当接面の間に挟まれるように取り付けられる。

ここで規制リング１５は受け部材６と外筒７とに挟まれて互いの位置を規制する作用をなすため、特に材質を規定するものではないが、たとえば、真鍮やアルミニウム、ステンレスといった金属、あるいはポリイミド樹脂など、適度にバネ８の圧縮力に耐えうる樹脂であっても構わない。

以下、本実施の形態３の保持具１Ｂの作用を説明する。
上述の本実施の形態３の保持具１Ｂの構成によると外筒７のカンザシ穴１１に螺着された規制リング１５は、バネ８の収縮力によって受け部材６と当接し、外筒７と受け部材６の間に挟まれることになる。

受け部材６が規制リング１５に当て付いて係合されると、規制リング１５のカンザシ穴１１に対する螺着位置、すなわち外筒７の底面からの突出によって、図４Ａに示すように外筒７の底面との間に隙間Ｇが生じることになる。

すなわち、本実施の形態３では、規制リング１５が外筒７のカンザシ穴１１に対して螺着されているため、規制リング１５の位置はレンズ２の厚さ方向に移動可能であり、外筒７のカンザシ穴１１に対して取り付ける位置を調整することで、受け部材６と当接する位置を変化させて、隙間Ｇを調整することができる。

この隙間Ｇを変化させると、外筒７と受け部材６の相対位置が変化するため、外筒７と、受け部材６に保持されたレンズ２の位置関係も変化し、外筒７（テーパ面７ａ）からのレンズ２のコバ部２ｃの突出量Ｈが変化する。

本実施の形態３の保持具１Ｂは前述の各実施の形態と同様に、たとえば、コバ部２ｃが薄く保持具１Ｂからの取出しが難しいレンズ２に有効であるため、受け部材６の押圧変位によるレンズ２の離脱時の作業性が向上するとともに、コバ部２ｃの突出量Ｈが調整できることにより、コバ部２ｃの厚さや受け部材６の製作寸法等に応じて、外筒７に対するコバ部２ｃの装着位置の最適な調整を行なうことができる。

具体的には受け部材６と外筒７の実際の製作寸法（出来栄え）に応じ、実際のレンズ２を装着した状態で、規制リング１５の外筒７に対する取り付け位置を変化させることで、受け部材６や外筒７の製作寸法のばらつき等に関係なく、コバ部２ｃの寸法に合わせて、当該コバ部２ｃの外筒７のテーパ面７ａからの突出量Ｈを最適に調整することができる。

このように、本実施の形態３の保持具１Ｂによれば、上述の各実施の形態と同様な効果に加え、外筒７に取り付けた規制リング１５の取り付け位置を調整することで、コバ部２ｃの薄いレンズ２に対する外筒７の保持位置を容易に的確に調整することができる。

換言すれば、受け部材６や外筒７を必要以上にコストをかけて高精度に製作しなくても、規制リング１５による受け部材６および外筒７に対するレンズ２の装着位置の最適化により、レンズ２の研磨面２ａの研磨精度を向上させることができる。

以上説明したように、本発明の各実施の形態によれば、コバ部２ｃが薄いレンズ２であっても、レンズ２のコバ部２ｃの破損や、光学面（研磨面２ａおよび背面２ｂ）の形状精度の低下を生じることなく、容易に研磨面２ａの研磨加工および保持具１（研磨装置Ｍ）からのレンズ２の脱着が可能となる。

なお、本発明は、上述の実施の形態に例示した構成に限らず、その趣旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。
たとえば、被研磨物としてはレンズ２等の光学素子に限らず、一般の精密部品の研磨工程にも広く適用できる。

本発明の一実施の形態である研磨方法を実施する研磨装置の保持具の部分の構成の一例を示す断面図である。 本発明の一実施の形態である研磨装置の保持具の動作状態の一例を示す断面図である。 本発明の一実施の形態である研磨装置の保持具の動作状態の一例を示す断面図である。 本発明の一実施の形態である研磨装置の保持具の動作状態の一例を示す断面図である。 本発明の他の実施の形態である研磨装置の保持具の動作状態の一例を示す断面図である。 本発明の他の実施の形態である研磨装置の保持具の動作状態の一例を示す断面図である。 本発明のさらに他の実施の形態である研磨装置の保持具の動作状態の一例を示す断面図である。 本発明のさらに他の実施の形態である研磨装置の保持具の動作状態の一例を示す断面図である。

符号の説明

１ 保持具
１Ａ 保持具
１Ｂ 保持具
２ レンズ
２ａ 研磨面
２ｂ 背面
２ｃ コバ部
３ 研磨皿
３ａ 研磨作用面
３ｂ 駆動軸
４ 緩衝材
５ 基材
５ａ バネ穴
６ 受け部材
７ 外筒
７ａ テーパ面
７ｂ 貫通穴
７ｃ バネ穴
８ バネ
９ 螺子
９ａ 螺子頭
１０ カンザシ
１０ａ 自在継手部
１１ カンザシ穴
１１ａ 雌螺子
１２ 固定ピン
１５ 規制リング
Ｇ 隙間
Ｈ 突出量
Ｍ 研磨装置

Claims (8)

1. 研磨工具に摺接される被研磨物を保持する保持具であって、
   前記被研磨物の背面側を支持する基材と、
   前記基材を前記被研磨物の厚さ方向に可動に収容するとともに前記被研磨物の外縁部を支持する筒体と、
   前記基材を前記筒体の内部に引き込む方向に相対的に付勢する弾性体と、
   を含むことを特徴とする保持具。
2. 請求項１記載の保持具において、
   さらに、前記筒体に対する前記基材の相対的な引き込み位置を規制する規制部材を備えたことを特徴とする保持具。
3. 請求項１または請求項２に記載の保持具において、
   圧縮変形された前記弾性体の伸張力によって、前記基材を前記筒体の内部に引き込む方向に相対的に付勢することを特徴とする保持具。
4. 請求項１または請求項２に記載の保持具において、
   伸長変形された前記弾性体の収縮力によって、前記基材を前記筒体の内部に引き込む方向に相対的に付勢することを特徴とする保持具。
5. 被研磨物の背面側を支持する基材と、前記基材を前記被研磨物の厚さ方向に可動に収容するとともに前記被研磨物の外縁部を支持する筒体と、前記基材を前記筒体の内部に引き込む方向に相対的に付勢する弾性体とを含む保持具と、
   前記保持具に支持された前記被研磨物に摺接する研磨工具と、
   前記研磨工具を前記保持具に対して相対的に変位させる駆動機構と、
   を含むことを特徴とする研磨装置。
6. 請求項５記載の研磨装置において、
   前記保持具は、さらに前記筒体に対する前記基材の相対的な引き込み位置を規制する規制部材を備えたことを特徴とする研磨装置。
7. 被研磨物の背面側を支持する基材を、前記被研磨物の外縁部を支持する筒体の内部において前記被研磨物の厚さ方向に可動に配置する工程と、
   前記筒体の内部の前記基材に前記被研磨物の背面側を装着し、当該被研磨物の外縁部を前記筒体に支持させて前記被研磨物を研磨する工程と、
   前記基材を前記筒体から突出する方向に変位させて前記被研磨物の外縁部を前記筒体から離脱させる工程と、
   を含むことを特徴とする研磨方法。
8. 請求項７記載の研磨方法において、
   前記基材を前記筒体の内部に引き込む方向の相対位置を規制する規制部材を前記基材と前記筒体との間に配置することを特徴とする研磨方法。

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