JP2008277706A - 半導体処理装置、静電チャックの基板吸着状態検出方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】静電チャックによるウエハの静電吸着時に、静電チャックとウエハとの吸着状態を検出することが可能な、簡単かつ安価な構成の半導体処理装置他を提供する。
【解決手段】半導体基板2を静電吸着して保持する静電チャック3と、半導体基板2を上下動させて静電チャック3の吸着面3a上に載置するリフトピン5と、半導体基板2からリフトピン5にかかる負荷を検出する検出手段9と、を有しており、静電チャック3によって半導体基板2を静電吸着した際に、リフトピン5の先端5aを静電チャック3の吸着面3aから所定量だけ上昇させ、検出手段9で検出されたリフトピン5の負荷に基づいて静電チャック3に対する半導体基板2の吸着状態を検出する制御手段12を有していることを特徴とする。
【選択図】図1
【解決手段】半導体基板2を静電吸着して保持する静電チャック3と、半導体基板2を上下動させて静電チャック3の吸着面3a上に載置するリフトピン5と、半導体基板2からリフトピン5にかかる負荷を検出する検出手段9と、を有しており、静電チャック3によって半導体基板2を静電吸着した際に、リフトピン5の先端5aを静電チャック3の吸着面3aから所定量だけ上昇させ、検出手段9で検出されたリフトピン5の負荷に基づいて静電チャック3に対する半導体基板2の吸着状態を検出する制御手段12を有していることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体処理装置、静電チャックの基板吸着状態検出方法に関する。
半導体製造装置において、静電チャックによって半導体基板(以下、「ウエハ」という。)を静電吸着して保持する際には、静電チャックの吸着面とウエハとの間に塵等の微小な粒子が存在すると、静電チャックの吸着力が不足し、搬送時にウエハの位置がずれる等してその後のウエハ処理を正常に実施することができないといった問題があった。
このため、静電チャックにウエハが適切に吸着されているか否かを判別するための基板吸着状態検出装置が提案されている(例えば、特許文献1を参照。)。
特開平8−340041号公報
このため、静電チャックにウエハが適切に吸着されているか否かを判別するための基板吸着状態検出装置が提案されている(例えば、特許文献1を参照。)。
しかしながら上述のような従来の基板吸着状態検出装置は、構成が大掛かりで高価であるという問題があった。
そこで本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、静電チャックによるウエハの静電吸着時に、静電チャックとウエハとの吸着状態を検出することが可能な構成の半導体処理装置、静電チャックの基板吸着状態検出方法を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために本発明は、
半導体基板を静電吸着して保持する静電チャックと、
前記半導体基板を上下動させて前記静電チャックの吸着面上に載置するリフトピンと、
前記半導体基板から前記リフトピンにかかる負荷を検出する検出手段と、
を有しており、
前記静電チャックによって前記半導体基板を静電吸着した際に、前記リフトピンの先端を前記静電チャックの前記吸着面から所定量だけ上昇させ、前記検出手段で検出された前記リフトピンの負荷に基づいて前記静電チャックに対する前記半導体基板の吸着状態を検出する制御手段を有していることを特徴とする半導体処理装置を提供する。
半導体基板を静電吸着して保持する静電チャックと、
前記半導体基板を上下動させて前記静電チャックの吸着面上に載置するリフトピンと、
前記半導体基板から前記リフトピンにかかる負荷を検出する検出手段と、
を有しており、
前記静電チャックによって前記半導体基板を静電吸着した際に、前記リフトピンの先端を前記静電チャックの前記吸着面から所定量だけ上昇させ、前記検出手段で検出された前記リフトピンの負荷に基づいて前記静電チャックに対する前記半導体基板の吸着状態を検出する制御手段を有していることを特徴とする半導体処理装置を提供する。
また本発明は、
静電チャックによって半導体基板を静電吸着した際に、前記半導体基板を上下動させて前記静電チャックの吸着面上に載置するリフトピンの先端を前記静電チャックの前記吸着面から所定量だけ上昇させるリフトピン上昇工程と、
前記リフトピン上昇工程時に、前記半導体基板から前記リフトピンにかかる負荷を検出する負荷検出工程と、
前記負荷検出工程の結果に基づいて前記静電チャックに対する前記半導体基板の吸着状態を検出する吸着状態検出工程と、
を含むことを特徴とする静電チャックの基板吸着状態検出方法を提供する。
静電チャックによって半導体基板を静電吸着した際に、前記半導体基板を上下動させて前記静電チャックの吸着面上に載置するリフトピンの先端を前記静電チャックの前記吸着面から所定量だけ上昇させるリフトピン上昇工程と、
前記リフトピン上昇工程時に、前記半導体基板から前記リフトピンにかかる負荷を検出する負荷検出工程と、
前記負荷検出工程の結果に基づいて前記静電チャックに対する前記半導体基板の吸着状態を検出する吸着状態検出工程と、
を含むことを特徴とする静電チャックの基板吸着状態検出方法を提供する。
本発明によれば、静電チャックによるウエハの静電吸着時に、静電チャックとウエハとの吸着状態を検出することが可能な、簡単かつ安価な構成の半導体処理装置、静電チャックの基板吸着状態検出方法を提供することができる。
以下、本願の実施形態に係る半導体処理装置を添付図面に基づいて詳細に説明する。
図1は、本願の実施形態に係る半導体処理装置の構成を示す図である。
本半導体処理装置は、半導体製造装置等に組み込まれて用いられ、ウエハを静電チャックで静電吸着し、さらにこの吸着状態を検出する装置であって、図1に示すように、ウエハ2を静電吸着して保持する静電チャック3と、該静電チャック3を載置するための静電チャックステージ4と、リフトピン5を備えたリフトピンステージ6と、該リフトピンステージ6を上下動可能に支持するステージシャフト7とを備えている。
図1は、本願の実施形態に係る半導体処理装置の構成を示す図である。
本半導体処理装置は、半導体製造装置等に組み込まれて用いられ、ウエハを静電チャックで静電吸着し、さらにこの吸着状態を検出する装置であって、図1に示すように、ウエハ2を静電吸着して保持する静電チャック3と、該静電チャック3を載置するための静電チャックステージ4と、リフトピン5を備えたリフトピンステージ6と、該リフトピンステージ6を上下動可能に支持するステージシャフト7とを備えている。
そしてさらに本半導体処理装置1は、ステージシャフト7を介してリフトピンステージ6を上下動させるためのリフトピンステージモータ8と、該リフトピンステージモータ8を駆動するモータドライバ9と、静電吸着用電圧を静電チャック3に印加する静電チャックドライバ10と、モータドライバ9からのアナログトルク信号をデジタルトルク信号へ変換するA/D変換機11と、各ドライバの制御を行うコントローラ12とを備えている。
上記リフトピンステージ6は、静電チャックステージ4の下側に配置されており、3本のリフトピン5(各図では2本のみを表示)を備えているが、リフトピン5の数はこれに限られるものではない。
また、静電チャックステージ4及び静電チャック3には、3本のリフトピン5を挿入するための上下方向へ貫通した貫通口がそれぞれ形成されている。このため、リフトピンステージモータ8によってリフトピンステージ6を上下動させることで、各リフトピン5を静電チャックステージ4及び静電チャック3の各貫通口へ挿脱することが可能となる。
なお、静電チャック3は、静電チャックステージ4から取り外し可能に設けられており、ウエハ2を静電吸着した後に不図示の搬送機構によってウエハ2と一体的に搬送することが可能である。
また、静電チャックステージ4及び静電チャック3には、3本のリフトピン5を挿入するための上下方向へ貫通した貫通口がそれぞれ形成されている。このため、リフトピンステージモータ8によってリフトピンステージ6を上下動させることで、各リフトピン5を静電チャックステージ4及び静電チャック3の各貫通口へ挿脱することが可能となる。
なお、静電チャック3は、静電チャックステージ4から取り外し可能に設けられており、ウエハ2を静電吸着した後に不図示の搬送機構によってウエハ2と一体的に搬送することが可能である。
斯かる構成の下、本半導体処理装置1では、以下に述べる吸着確認ルーチンが実行されて、静電チャック3によるウエハ2の静電吸着、及びこの吸着状態の検出が行われる。
図2は、本願の実施形態に係る半導体処理装置で実行される吸着確認ルーチンを示すフローチャートである。また、図3は、本願の実施形態に係る半導体処理装置で吸着確認ルーチンが実行された際の途中経過を示す要部拡大図である。
図2は、本願の実施形態に係る半導体処理装置で実行される吸着確認ルーチンを示すフローチャートである。また、図3は、本願の実施形態に係る半導体処理装置で吸着確認ルーチンが実行された際の途中経過を示す要部拡大図である。
ステップS1:コントローラ12は、モータドライバ9を介してリフトピンステージモータ8を駆動することでリフトピンステージ6を上昇させ、各リフトピン5の先端面5aを静電チャック3の吸着面3aよりも上方へ十分に突出させる(図3(a)を参照)。
なお、本ステップS1を開始するにあたって、予めリフトピンステージ6は各リフトピン5の先端面5aが静電チャックステージ4の載置面よりも下側に位置するように配置されており、また静電チャック3と静電チャックステージ4とは互いの貫通口どうしが対向するように位置合わせがなされている。
ステップS2:コントローラ12は、不図示のウエハ搬送機構によってウエハ2を搬送し、リフトピン上に載置する(図3(b)を参照)。
なお、本ステップS1を開始するにあたって、予めリフトピンステージ6は各リフトピン5の先端面5aが静電チャックステージ4の載置面よりも下側に位置するように配置されており、また静電チャック3と静電チャックステージ4とは互いの貫通口どうしが対向するように位置合わせがなされている。
ステップS2:コントローラ12は、不図示のウエハ搬送機構によってウエハ2を搬送し、リフトピン上に載置する(図3(b)を参照)。
ステップS3:コントローラ12は、モータドライバ9を介してリフトピンステージモータ8を駆動することでリフトピンステージ6を下降させ、各リフトピン5の先端面5aを静電チャック3の吸着面3aよりも下側に位置するまで下降させる。これによりウエハ2は、リフトピン5から静電チャック3へ移載されることとなる(図3(c)を参照)。
ステップS4:コントローラ12は、静電チャック3にウエハ2を静電吸着させるための静電吸着用電圧を、静電チャックドライバ10から静電チャック3へ印加させる。これによりウエハ2は、静電チャック3の吸着面3aに静電吸着されることとなる。
ステップS4:コントローラ12は、静電チャック3にウエハ2を静電吸着させるための静電吸着用電圧を、静電チャックドライバ10から静電チャック3へ印加させる。これによりウエハ2は、静電チャック3の吸着面3aに静電吸着されることとなる。
ステップS5:コントローラ12は、静電チャック3によるウエハ2の静電吸着が安定するまでの所定時間が経過した後、ウエハ2が静電チャック3に適切に吸着されているか否かを確認するため、リフトピンステージ6を上昇させて各リフトピン5の先端面5aを静電チャック3の吸着面3aよりもわずかに上側へ突出させる(図3(d)を参照)。具体的には、各リフトピン5の先端面5aが静電チャック3の吸着面3aよりも例えば数百μm程度上側に位置するまでリフトピンステージ6を上昇させる。
ここで、モータドライバ9は、リフトピンステージ6の上昇中、モータトルク信号を逐次A/D変換機11へ出力し、該A/D変換機11はこれを変換してコントローラ12へ出力する。また上昇量もステージシャフト7に設けられた不図示のエンコーダにより該A/D変換機11へ出力して、コントローラ12へ出力される。このためモータトルク信号は、リフトピンステージ6の上昇中、コントローラ12によって常に監視されることとなる。これによりコントローラ12は、モータトルク信号の最大値が閾値以上であればウエハ2が静電チャック3に適切に吸着されていると判断してステップ6へ進み、閾値よりも小さければウエハ2が静電チャック3に適切に吸着されていないと判断してステップ7へ進む。なお、閾値とは、ウエハ2が静電チャック3に適切に吸着されているか否かを判定するための値であって、予めコントローラ12に設定されている。
ステップS6:コントローラ12は、各リフトピン5の先端面5aが静電チャックステージ4の載置面よりも下側に位置するまでリフトピンステージ6を下降させ、本吸着確認ルーチンは終了する(図3(e)を参照)。
これにより、静電チャック3及びウエハ2は、本半導体処理装置1と異なる処理を行う別の半導体処理装置へ不図示の搬送機構によって一体的に搬送されて、例えばウエハ2どうしの接合処理等の次なる半導体製造工程へ移行することが可能となる。
これにより、静電チャック3及びウエハ2は、本半導体処理装置1と異なる処理を行う別の半導体処理装置へ不図示の搬送機構によって一体的に搬送されて、例えばウエハ2どうしの接合処理等の次なる半導体製造工程へ移行することが可能となる。
ステップS7:コントローラ12は、各リフトピン5の先端面5aが静電チャックステージの載置面よりも下側に位置するまでリフトピンステージを下降させる。そしてコントローラ12は、オペレータに静電チャック3の吸着面3aの清掃等の回復処理を促すために、警報を不図示の表示部に発して本吸着確認ルーチンは終了する。
以上の吸着確認ルーチンを実行することで本半導体処理装置1は、静電チャック3によってウエハ2を静電吸着した際に、ウエハ2が静電チャック3に適切に吸着されていることを確認でき、万一ウエハ2が静電チャック3に適切に吸着されていない場合には、前述のようにオペレータに回復処理を促すことができる。このため、本半導体処理装置1では、吸着確認ルーチン実行後に静電チャック3と静電吸着されたウエハ2とを一体的に搬送しても、互いの位置がずれてしまう等の不具合が生じることがない。
ここで、本実施形態に係る半導体処理装置1は、上述のようにモータドライバ9のモータトルク信号とステージシャフト7の移動に関する情報に基づいてウエハ2が静電チャック3に適切に吸着されているか否かを確認している。
しかしながら半導体処理装置の構成はこれに限られず、図4に示すように、リフトピンステージ6にかかる荷重を電気信号に変換するロードセル15と、該ロードセル15から出力された電気信号を増幅するアンプ16とを備えた半導体処理装置20を構成することもできる。なお、図4は、本願の実施形態に係る半導体処理装置の変形例の構成を示す図である。
この構成により、リフトピン5を介してリフトピンステージ6にかかる負荷をロードセル15とアンプ16を用いて検出することが可能となるため、上述したモータトルク信号を用いる場合と同様にウエハ2が静電チャック3に適切に吸着されているか否かを確認することができる。
しかしながら半導体処理装置の構成はこれに限られず、図4に示すように、リフトピンステージ6にかかる荷重を電気信号に変換するロードセル15と、該ロードセル15から出力された電気信号を増幅するアンプ16とを備えた半導体処理装置20を構成することもできる。なお、図4は、本願の実施形態に係る半導体処理装置の変形例の構成を示す図である。
この構成により、リフトピン5を介してリフトピンステージ6にかかる負荷をロードセル15とアンプ16を用いて検出することが可能となるため、上述したモータトルク信号を用いる場合と同様にウエハ2が静電チャック3に適切に吸着されているか否かを確認することができる。
なお、本実施形態では、上述のように半導体製造装置内でウエハ2と静電チャック3を一体的に搬送するために、静電チャック3は静電チャックステージ4から取り外し可能に設けられている。しかしながら静電チャック3の構成はこれに限られず、本発明を例えば投影露光装置等に適用する場合には、当然静電チャック3は当該装置内に組み込まれていてもよい。
以上の実施形態によれば、静電チャックによるウエハの静電吸着時に、静電チャックとウエハとの吸着状態を検出することが可能な、簡単かつ安価な構成の半導体処理装置、静電チャック装置、静電チャックの基板吸着状態検出方法を実現することができる。
1,20 半導体処理装置
2 ウエハ
3 静電チャック
4 静電チャックステージ
5 リフトピン
6 リフトピンステージ
8 リフトピンステージモータ
9 モータドライバ
10 静電チャックドライバ
12 コントローラ
15 ロードセル
2 ウエハ
3 静電チャック
4 静電チャックステージ
5 リフトピン
6 リフトピンステージ
8 リフトピンステージモータ
9 モータドライバ
10 静電チャックドライバ
12 コントローラ
15 ロードセル
Claims (4)
- 半導体基板を静電吸着して保持する静電チャックと、
前記半導体基板を上下動させて前記静電チャックの吸着面上に載置するリフトピンと、
前記半導体基板から前記リフトピンにかかる負荷を検出する検出手段と、
を有しており、
前記静電チャックによって前記半導体基板を静電吸着した際に、前記リフトピンの先端を前記静電チャックの前記吸着面から所定量だけ上昇させ、前記検出手段で検出された前記リフトピンの負荷に基づいて前記静電チャックに対する前記半導体基板の吸着状態を検出する制御手段を有していることを特徴とする半導体処理装置。 - 前記リフトピンを上下動するためのモータと、
前記モータを駆動するモータドライバと、
を有しており、
前記モータドライバは、前記検出手段の機能を兼ねており、
前記制御手段は、前記モータドライバからのモータトルク信号に基づいて前記静電チャックと前記半導体基板との吸着状態を検出することを特徴とする請求項1に記載の半導体処理装置。 - 前記検出手段としてロードセルを有していることを特徴とする請求項1に記載の半導体処理装置。
- 静電チャックによって半導体基板を静電吸着した際に、前記半導体基板を上下動させて前記静電チャックの吸着面上に載置するリフトピンの先端を前記静電チャックの前記吸着面から所定量だけ上昇させるリフトピン上昇工程と、
前記リフトピン上昇工程時に、前記半導体基板から前記リフトピンにかかる負荷を検出する負荷検出工程と、
前記負荷検出工程の結果に基づいて前記静電チャックに対する前記半導体基板の吸着状態を検出する吸着状態検出工程と、
を含むことを特徴とする静電チャックの基板吸着状態検出方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007122692A JP2008277706A (ja) | 2007-05-07 | 2007-05-07 | 半導体処理装置、静電チャックの基板吸着状態検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007122692A JP2008277706A (ja) | 2007-05-07 | 2007-05-07 | 半導体処理装置、静電チャックの基板吸着状態検出方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008277706A true JP2008277706A (ja) | 2008-11-13 |
Family
ID=40055284
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007122692A Withdrawn JP2008277706A (ja) | 2007-05-07 | 2007-05-07 | 半導体処理装置、静電チャックの基板吸着状態検出方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2008277706A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020166295A1 (ja) | 2019-02-12 | 2020-08-20 | Sppテクノロジーズ株式会社 | 基板昇降異常検出装置 |
-
2007
- 2007-05-07 JP JP2007122692A patent/JP2008277706A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020166295A1 (ja) | 2019-02-12 | 2020-08-20 | Sppテクノロジーズ株式会社 | 基板昇降異常検出装置 |
KR20210126540A (ko) | 2019-02-12 | 2021-10-20 | 에스피피 테크놀로지스 컴퍼니 리미티드 | 기판 승강 이상 검출 장치 |
JP7366861B2 (ja) | 2019-02-12 | 2023-10-23 | Sppテクノロジーズ株式会社 | 基板昇降異常検出装置、基板処理システム、基板昇降異常検出方法、プログラム、学習モデル及び学習モデルの生成方法 |
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Legal Events
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