JP3371888B2 - 静電チャック及び静電チャックにおける被吸着物離脱方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ウエハ等の被吸着
物を静電吸着する静電チャックと、該静電チャックから
被吸着物を離脱させる被吸着物離脱方法とに関するもの
である。

【０００２】

【従来の技術】半導体装置の製造において、半導体ウエ
ハに対してエッチング，ＣＶＤ等のプロセスを施す場
合、前記半導体ウエハ（以下、ウエハとする）を固定保
持するために一般に静電チャックが使用されている。こ
の種の静電チャックについて、図７及び図８を参照しな
がら以下に説明を行う。なお、これらの図において、符
号２は被吸着物であるウエハであり、符号１はウエハ２
を静電吸着する電極であり、符号３は静電吸着用の電圧
供給を行う静電吸着用電源であり、符号４は静電吸着用
電源３からの電圧を電極１に供給する配線であり、符号
５はこの電圧の供給を許可または遮断するスイッチであ
り、符号６は前記プロセスを施した後のウエハ２を電極
１より持ち上げるリフトピンである。

【０００３】この静電チャックでは、前記プロセス後の
ウエハ２は、リフトピン６により、図８に示すように、
電極１から持ち上げられるようになっている。このと
き、電極１への電圧供給は既に遮断されているが、電極
１には残留吸着力が残っているので、ウエハ２を吸着し
た状態を維持しようとしている。このような残留吸着力
が有る状態では、これを無視してリフトピン６でウエハ
２を電極１から上昇させようとすると、ウエハ２の飛び
跳ねや片上がりなどの現象を起こして搬送トラブルを起
こす恐れがあり、ウエハ２の安定した搬送が行えないと
いう問題を有していた。

【０００４】この問題を解決すべく考えられたものの一
例が、図９に示す静電チャックであり、電極１の表面周
辺部の少なくとも一部に、吸着力の弱い高抵抗型静電吸
着体７（高抵抗型ＥＳＣ）を設けたものである。なお、
この図９において、図７と同一構成要素には同一符号を
付し、その説明を省略する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが、この図９の
静電チャックにおいては、高抵抗型静電吸着体７を設け
たことにより、所望の吸着力が得られない等の制約を受
ける新たな問題を引き起こすこととなっていた。

【０００６】本発明の静電チャックは、上記事情を鑑み
てなされたものであって、下記をその目的としている。
すなわち、ウエハ等の被吸着物の吸着保持に必要な吸着
力を損なうことがない上に、被吸着物の離脱時における
被吸着物の跳ねや片上がり等の不具合もなく、被吸着物
の安定した搬送を可能とする、静電チャック及び静電チ
ャックにおける被吸着物離脱方法の提供を目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の静電チャック及
び静電チャックにおける被吸着物離脱方法は、上記課題
を解決するために以下の手段採用した。すなわち、請求
項１記載の静電チャックは、静電力によりウエハ等の被
吸着物を吸着保持する静電チャックにおいて、前記被吸
着物が載置されるとともに同心円状に複数分割された静
電吸着電極と、これら静電吸着電極の中の少なくとも１
つを昇降させる電極昇降駆動機構とを備えたことを特徴
とする。上記請求項１記載の静電チャックによれば、各
静電吸着電極への静電吸着用電圧の供給を停止させた
後、これら各静電吸着電極の中の少なくとも１つを上昇
させることで、この上面に載置されている被吸着体が他
の静電吸着電極上から一旦持ち上げられる。この時、被
吸着体の持ち上げを行う静電吸着電極にも残留吸着力が
残っているため、この残留吸着力により、被吸着体は、
これを持ち上げる静電吸着電極上に静電吸着しており、
跳ねや片上がりを起こさない。しかも、持ち上げられた
後の被吸着体は、他の静電吸着電極より離間した状態と
なっているので、この被吸着体に加わる残留吸着力が、
持ち上げられる前に比較して弱められている。

【０００８】請求項２記載の静電チャックは、請求項１
記載の静電チャックにおいて、前記電極昇降駆動機構に
より上昇された前記静電吸着電極上の前記被吸着物を支
持または更に持ち上げるリフト機構を備えたことを特徴
とする。上記請求項２記載の静電チャックによれば、少
なくとも１つの静電吸着電極で持ち上げられた被吸着物
をリフト機構でさらに持ち上げることで、全静電吸着電
極の残留吸着力から被吸着物を確実に離脱させることが
できる。この時においても、被吸着物は、他の静電吸着
電極より離間するように一旦持ち上げられた状態にある
ので、これに加わる残留吸着力が弱められており、跳ね
や片上がりを起こすことがない。

【０００９】請求項３記載の静電チャックは、請求項１
または２記載の静電チャックにおいて、前記各静電吸着
電極とグランドとの間を接続する除電配線と、該除電配
線中に設けられてその通電を許可または遮断する切換ス
イッチとを有する除電回路を備えたことを特徴とする。
上記請求項３記載の静電チャックによれば、切換スイッ
チを閉じることにより、各静電吸着電極に残っていた残
留電荷がグランドに逃げて除電される。この除電によ
り、被吸着物の持ち上げを行う際の残留吸着力が極めて
低減される。

【００１０】請求項４記載の静電チャックは、請求項１
〜３のいずれかに記載の静電チャックにおいて、前記各
静電吸着電極が、自らへの静電吸着用の給電を許可また
は遮断する給電スイッチをそれぞれ個別に備えているこ
とを特徴とする。上記請求項４記載の静電チャックによ
れば、上昇させる静電吸着電極には給電して、吸着力を
維持し、その他の静電吸着電極への給電は遮断して（さ
らには除電しておくことも可）、静電吸着電極を上昇さ
せることにより、跳ねや片上がりをより確実に防止でき
る。

【００１１】請求項５記載の静電チャックにおける被吸
着物離脱方法は、請求項１〜４のいずれかに記載の静電
チャックに静電吸着保持された前記被吸着物を離脱させ
る方法において、前記各静電吸着電極の中の少なくとも
１つを上昇させて前記被吸着物を一旦持ち上げる第１の
被吸着物上昇工程を、少なくとも１回以上行い、該被吸
着物上昇工程の後、残りの前記静電吸着電極または前記
リフト機構で前記被吸着物をさらに持ち上げる第２の被
吸着物上昇工程を行うことを特徴とする。

【００１２】請求項６記載の静電チャックにおける被吸
着物離脱方法は、請求項１〜４のいずれかに記載の静電
チャックに静電吸着保持された前記被吸着物を離脱させ
る方法において、前記各静電吸着電極の中の少なくとも
１つを上昇させて前記被吸着物を一旦持ち上げる第３の
被吸着物上昇工程と、該第３の被吸着物上昇工程の後、
他の前記静電吸着電極の中の少なくとも１つを上昇させ
て前記被吸着物をさらに上昇させる第４の被吸着物上昇
工程と、該第４の被吸着物上昇工程の後、前記第３の被
吸着物上昇工程で前記被吸着物を上昇させた前記静電吸
着電極を下降させて前記被吸着物との接触を断つ電極下
降工程とを有し、これら第３及び第４の被吸着物上昇工
程と前記電極下降工程を少なくとも１回以上行った後、
残りの前記静電吸着電極または前記リフト機構で前記被
吸着物を支持する被吸着物支持工程を行うことを特徴と
する。

【００１３】上記請求項５または６記載の静電チャック
における被吸着物離脱方法によれば、上記請求項１と同
様の作用を得ることができる。

【００１４】

【発明の実施の形態】本発明に係る静電チャック及び静
電チャックにおける被吸着物離脱方法の第１及び第２の
実施の形態を、図面を参照しながら以下に説明するが、
本発明がこれらに限定解釈されるものでないことは、勿
論である。まず、第１の実施の形態についての説明を行
う。図１に示すように、本実施の形態の静電チャック
は、静電力によりウエハ１０（被吸着物）を吸着保持す
るものであり、ウエハ１０が載置されるとともに同心円
状に２分割された静電吸着電極１１ａ，１１ｂと、これ
ら静電吸着電極１１ａ，１１ｂの中の静電吸着電極１１
ａを昇降させる電極昇降駆動機構１２と、該電極昇降駆
動機構１２により上昇された静電吸着電極１１ａ上のウ
エハ１０を更に持ち上げるリフトピン１３（リフト機
構）とを備えている。なお、静電吸着電極１１ａ，１１
ｂの少なくとも上面は、図示されない絶縁膜で被覆され
ている。

【００１５】さらに、本実施の形態の静電チャックに
は、静電吸着用の電圧供給を行う静電吸着用電源１４
と、該静電吸着用電源１４と各静電吸着電極１１ａ及び
静電吸着電極１１ｂの両方との間を配線１５ａ及び配線
１５ｂにより通電可能に接続し、前記電力が各静電吸着
電極１１ａ，１１ｂに行くのを許可または遮断するスイ
ッチ１５ｃを備えた電圧供給回路１５とが備えられてい
る。なお、静電吸着電極１１ａへの電圧供給は、電極昇
降駆動機構１２を介してなされるように、該電極昇降駆
動機構１２と配線１５ａとの間が配線１５ｂにより結線
されている。

【００１６】上記構成を有する静電チャックにおけるウ
エハ１０の吸着固定は、まず図１に示すように、ウエハ
１０を各静電吸着電極１１ａ，１１ｂ上の略中央に載置
する。そしてスイッチ１５ｃを閉じて静電吸着用電源１
４から各静電吸着電極１１ａ，１１ｂへの通電を開始す
ることで、これら静電吸着電極１１ａ，１１ｂに静電力
が発生し、ウエハ１０を静電吸着する。すなわち、静電
吸着電極１１ｂには、配線１５ａを介して静電吸着のた
めの電力が供給され、静電吸着電極１１ａには、配線１
５ｂと静電吸着電極駆動機構１２とを介して静電吸着の
ための電力が供給される。この時のウエハ１０は、その
下面の全てを吸着面として、静電吸着電極１１ａと静電
吸着電極１１ｂとの両方から静電吸着力を受けて吸着さ
れている。

【００１７】この固定保持状態でエッチング，ＣＶＤ等
のプロセスがウエハ１０に施された後には、図２に示す
ように、スイッチ１５ｃを開とすることにより、静電吸
着用電源１４から各静電吸着電極１１ａ，１１ｂへの電
圧供給が遮断される。この時点での各静電吸着電極１１
ａ，１１ｂは電圧供給を受けていないが、残留電荷によ
る残留吸着力により、ウエハ１０が、静電吸着電極１１
ａと静電吸着電極１１ｂとの両方に吸着されたままの状
態となっている。そして引き続きこの静電チャックがウ
エハ１０を離脱させる方法は、各静電吸着電極１１ａ，
１１ｂの中の１つである静電吸着電極１１ａを上昇させ
てウエハ１０を一旦持ち上げる第１の被吸着物上昇工程
と、該被吸着物上昇工程の後、リフトピン１３でウエハ
１０をさらに持ち上げる第２の被吸着物上昇工程とによ
って行われる。この時、静電吸着電極１１ａを、静電吸
着電極駆動機構１２の押し上げにより上昇させること
で、ウエハ１０が静電吸着電極１１ｂから一旦持ち上げ
られるが、静電吸着電極１１ａにも残留吸着力が残って
いるため、この残留吸着力によりってウエハ１０が、静
電吸着電極１１ａに吸着しており、跳ねや片上がりを起
こさない。

【００１８】次に、図３に示すように、静電吸着電極１
１ａで持ち上げられたウエハ１０を、リフトピン１３で
さらに持ち上げる。このとき、静電吸着電極１１ａの残
留吸着力をＶ、静電チャック全体の残留吸着力を２Ｖと
した場合、静電吸着電極１１ａの上昇により、残留吸着
力２Ｖから残留吸着力Ｖを差し引いた残留吸着力差Ｖ
（＝２Ｖ−Ｖ）が僅かであるため、ウエハ１０の横ずれ
や、片上がりなどが無いまま、容易にウエハ１０を持ち
上げることが出来る。

【００１９】本実施の形態の静電チャックによれば、各
静電吸着電極１１ａ，１１ｂへの静電吸着用電圧の供給
を停止させた後、静電吸着電極１１ａを上昇させること
で、この上面に載置されているウエハ１０が静電吸着電
極１１ｂ上から一旦持ち上げられる。この時、ウエハ１
０の持ち上げを行う静電吸着電極１１ａにも残留吸着力
が残っているため、この残留吸着力により、ウエハ１０
は静電吸着電極１１ａ上に静電吸着したままとなってお
り、跳ねや片上がりを起こさない。しかも、持ち上げら
れた後のウエハ１０は、静電吸着電極１１ｂから離間し
た状態となっているので、このウエハ１０に加わる残留
吸着力が、持ち上げられる前に比較して弱められてい
る。したがって、ウエハ１０の吸着保持に必要な吸着力
を損なうことがない上に、ウエハ１０の離脱時における
ウエハ１０の跳ねや片上がり等の不具合もなく、安定し
た搬送が可能となる。

【００２０】また、本実施の形態の静電チャックによれ
ば、静電吸着電極１１ａで持ち上げられたウエハ１０を
リフトピン１３でさらに持ち上げることで、静電吸着電
極１１ａ，１１ｂ両方の残留吸着力からウエハ１０を確
実に離脱させることが可能となる。この時においても、
ウエハ１０は、静電吸着電極１１ｂより離間するように
一旦持ち上げられた状態にあるので、これに加わる残留
吸着力が弱められており、跳ねや片上がりを起こすこと
がない。

【００２１】次に、本発明の第２の実施の形態について
の説明を以下に行う。なお、上記第１の実施の形態の図
１で説明したものと同一構成要素には、同一符号を付
し、その説明を省略する。図４に示すように、本実施の
形態の静電チャックには、各静電吸着電極１１ａ及び静
電吸着電極１１ｂとグランド１６との間を接続する除電
配線１７ａと、該除電配線１７ａ中に設けられてその通
電を許可または遮断する切換スイッチ１７ｂとを有する
除電回路１７が追加装備されている。なお、静電吸着電
極１１ａ，１１ｂの少なくとも上面は、図示されない絶
縁膜で被覆されている。

【００２２】この実施の形態によれば、図５に示すよう
に、スイッチ１５ｃを開いて静電吸着用電源１４から各
静電吸着用電極１１ａ，１１ｂへの静電吸着用電圧の供
給を停止させた後、切換スイッチ１７ｂを閉じることに
より、各静電吸着電極１１ａ，１１ｂに残っていた残留
電荷が除電配線１７ａを通ってグランド１６に逃げて除
電される。この除電により、ウエハ１０の持ち上げを行
う際の各静電吸着電極１１ａ，１１ｂの残留吸着力は、
極めて低減される。

【００２３】しかし、この状態でも、各静電吸着電極１
１ａ，１１ｂの個体抵抗により除電しきれなかった残留
電荷の影響による残留吸着力が残っているので、ウエハ
１０は、各静電吸着電極１１ａ，１１ｂに吸着されたま
まとなっている。この後のウエハ１０は、静電吸着電極
駆動機構１２の駆動によって静電吸着電極１１ａ上に吸
着したまま持ち上げられ、更に、リフトピン１３により
静電吸着電極１１ａ上から離れるように持ち上げられて
図６のようになるが、静電吸着電極１１ａに残っている
残留吸着力に加えて、予め行われた除電によって、更に
跳ねや片上がり等の不具合が起きにくくなっている。

【００２４】したがって、上記実施の形態の静電チャッ
クによれば、除電回路１７を備えたことで、ウエハ１０
の持ち上げを行う前に各静電吸着電極１１ａ及び静電吸
着電極１１ｂの残留電荷をグランド１６に逃がして除電
できるので、各静電吸着電極１１ａ及び静電吸着電極１
１ｂの残留吸着力を極めて低減させることができ、ウエ
ハ１０の跳ねや片上がりをより起こしにくい静電チャッ
クとすることが可能となる。

【００２５】なお、上記第１及び第２の実施の形態の静
電チャックは、静電吸着電極１１ａ及び静電吸着電極１
１ｂの２分割構成のものを示したが、これに限らず、３
分割以上の構成（図示せず）を採用しても良い。このよ
うに多数分割した場合には、前記第１の被吸着物上昇工
程を、上記第１及び第２の実施の形態のように静電吸着
電極１１ａによって１回だけ持ち上げるのではなく、例
えば前記多数の静電吸着電極を順々に上昇させること
で、これらに支持される被吸着物に加わる静電吸着力を
徐々に低減させていく構成を採用しても良い。

【００２６】また、上記第１及び第２の実施の形態の静
電チャックにおける、ウエハ１０に対する静電吸着力の
低減は、一方の静電吸着電極１１ｂに対して他方の静電
吸着電極１１ａを持ち上げることで行うものとしたが、
これに限らず、一方の静電吸着電極１１ｂに対して他方
の静電吸着電極１１ａを下げることで行うものとしても
良い。

【００２７】また、上述したように静電吸着電極を３つ
以上に分割した場合には、これらの上げ下げの組み合わ
せによって静電チャックから被吸着物（ウエハ）の離脱
を行うものとしても良い。すなわち、各静電吸着電極の
中の少なくとも１つを上昇させて前記被吸着物を一旦持
ち上げる第３の被吸着物上昇工程と、該第３の被吸着物
上昇工程の後、他の静電吸着電極の中の少なくとも１つ
を上昇させて前記被吸着物をさらに上昇させる第４の被
吸着物上昇工程と、該第４の被吸着物上昇工程の後、前
記第３の被吸着物上昇工程で前記被吸着物を上昇させた
静電吸着電極を下降させて前記被吸着物との接触を断つ
電極下降工程とを有し、これら第３及び第４の被吸着物
上昇工程と前記電極下降工程を少なくとも１回以上行っ
た後、残りの前記静電吸着電極または前記リフトピン１
３（リフト機構）で前記被吸着物を支持する被吸着物支
持工程を行うものとしても良い。

【００２８】この場合、前記第３の被吸着物上昇工程で
は、各静電吸着電極の中の少なくとも１つ（例えば電極
ａと称する）を上昇させることで、他の全ての静電吸着
電極（例えば電極ｂ，ｃ，ｄ，・・・と称する）から離脱
する。続く第４の被吸着物上昇工程では、前記電極ｂを
上昇させることで被吸着物をさらに持ち上げて前記電極
ｃ，・・・から離脱させる。続く電極下降工程では、電極
ａを下降させることにより被吸着物を電極ａより離脱さ
せる。そしてこれら各工程を少なくとも１回以上行った
後、残りの静電吸着電極（例えば電極ｄ）か、もしくは
リフトピン１３で最後に被吸着物を支持して上昇させる
ことで、離脱が完了する。

【００２９】なお、第３及び第４の被吸着物上昇工程に
おける「第３」及び「第４」は、これらの間の区別を行
うために付したものであり、上記第１の実施の形態で説
明した前記第１の被吸着物上昇工程や前記第２の被吸着
物上昇工程に続くという意味ではない。

【００３０】また、上記第１及び第２の実施の形態の静
電チャックは、ウエハ１０を吸着固定する用途に用いる
ものとしたが、これに限らず、静電力で吸着可能なその
他のものの吸着固定に適用しても良い。

【００３１】また、上記第１及び第２の実施の形態の静
電チャックは、単一のスイッチ１５ｃによって静電吸着
用の電圧を各静電吸着電極１１ａ，１１ｂに供給する構
成としたが、これに限らず、各静電吸着電極１１ａ，１
１ｂが、自らへの静電吸着用の給電を許可または遮断す
る給電スイッチをそれぞれ個別に備える構成を採用して
も良い（図示せず）。この場合には、上昇させる静電吸
着電極には給電して、吸着力を維持し、その他の静電吸
着電極への給電は遮断して（さらには除電しておくこと
も可）、静電吸着電極を上昇させることにより、跳ねや
片上がりをより確実に防止できる。

【００３２】

【発明の効果】本発明の請求項１記載の静電チャックに
よれば、各静電吸着電極への静電吸着用電圧の供給を停
止させた後、これら各静電吸着電極の中の少なくとも１
つを上昇させることで、この上面に載置されている被吸
着体が他の静電吸着電極上から一旦持ち上げられる。こ
の時、被吸着体の持ち上げを行う静電吸着電極にも残留
吸着力が残っているため、この残留吸着力により、被吸
着体は、これを持ち上げる静電吸着電極上に静電吸着し
ており、跳ねや片上がりを起こさない。しかも、持ち上
げられた後の被吸着体は、他の静電吸着電極より離間し
た状態となっているので、この被吸着体に加わる残留吸
着力が、持ち上げられる前に比較して弱められている。
したがって、被吸着物の吸着保持に必要な吸着力を損な
うことがない上に、被吸着物の離脱時における被吸着物
の跳ねや片上がり等の不具合もなく、被吸着物の安定し
た搬送が可能となる。

【００３３】上記請求項２記載の静電チャックによれ
ば、静電吸着電極で持ち上げられた被吸着物をリフト機
構でさらに持ち上げることで、全静電吸着電極からの残
留吸着力より被吸着物を確実に離脱させることが可能と
なる。この時においても、被吸着物は、他の静電吸着電
極より離間するように一旦持ち上げられた状態にあるの
で、これに加わる残留吸着力が弱められており、跳ねや
片上がりを起こすことがない。

【００３４】また、請求項３記載の静電チャックは、除
電回路を備えることで、被吸着物の持ち上げを行う前に
各静電吸着電極の残留電荷をグランドに逃がして除電で
きるので、各静電吸着電極の残留吸着力を極めて低減さ
せることができ、被吸着物の跳ねや片上がりをより起こ
しにくい静電チャックとすることが可能となる。

【００３５】また、請求項４記載の静電チャックによれ
ば、上昇させる静電吸着電極には給電して、吸着力を維
持し、その他の静電吸着電極への給電は遮断して（さら
には除電しておくことも可）、静電吸着電極を上昇させ
ることにより、跳ねや片上がりをより確実に防止可能と
なる。また、請求項５または６記載の静電チャックにお
ける被吸着物離脱方法によれば、上記請求項１と同様の
効果を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の静電チャックの第１の実施の形態を
示す図であって、要部の概略構成図である。

【図２】 同実施の形態の静電チャックを示す図であっ
て、要部の概略構成図である。

【図３】 同実施の形態の静電チャックを示す図であっ
て、要部の概略構成図である。

【図４】 本発明の静電チャックの第２の実施の形態を
示す図であって、要部の概略構成図である。

【図５】 同実施の形態の静電チャックを示す図であっ
て、要部の概略構成図である。

【図６】 同実施の形態の静電チャックを示す図であっ
て、要部の概略構成図である。

【図７】 従来の静電チャックを示す図であって、要部
の概略構成図である。

【図８】 同静電チャックを示す図であって、要部の概
略構成図である。

【図９】 従来の他の静電チャックを示す図であって、
要部の概略構成図である。

【符号の説明】

１０・・・ウエハ（被吸着物） １１ａ，１１ｂ・・・静電吸着電極 １２・・・電極昇降駆動機構 １３・・・リフトピン（リフト機構） １５ｃ・・・給電スイッチ １６・・・グランド １７・・・除電回路 １７ａ・・・除電配線 １７ｂ・・・切換スイッチ

Claims (6)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 静電力によりウエハ等の被吸着物を吸
   着保持する静電チャックにおいて、 前記被吸着物が載置されるとともに同心円状に複数分割
   された静電吸着電極と、これら静電吸着電極の中の少な
   くとも１つを昇降させる電極昇降駆動機構とを備えたこ
   とを特徴とする静電チャック。
2. 【請求項２】 請求項１記載の静電チャックにおい
   て、 前記電極昇降駆動機構により持ち上げられた前記静電吸
   着電極上の前記被吸着物を更に持ち上げるリフト機構を
   備えたことを特徴とする静電チャック。
3. 【請求項３】 請求項１または２記載の静電チャック
   において、 前記各静電吸着電極とグランドとの間を接続する除電配
   線と、該除電配線中に設けられてその通電を許可または
   遮断する切換スイッチとを有する除電回路を備えたこと
   を特徴とする静電チャック。
4. 【請求項４】 請求項１〜３のいずれかに記載の静電
   チャックにおいて、 前記各静電吸着電極は、自らへの静電吸着用の給電を許
   可または遮断する給電スイッチをそれぞれ個別に備えて
   いることを特徴とする静電チャック。
5. 【請求項５】 請求項１〜４のいずれかに記載の静電
   チャックに静電吸着保持された前記被吸着物を離脱させ
   る方法において、 前記各静電吸着電極の中の少なくとも１つを上昇させて
   前記被吸着物を一旦持ち上げる第１の被吸着物上昇工程
   を、少なくとも１回以上行い、 該被吸着物上昇工程の後、残りの前記静電吸着電極また
   は前記リフト機構で前記被吸着物をさらに持ち上げる第
   ２の被吸着物上昇工程を行うことを特徴とする静電チャ
   ックにおける被吸着物離脱方法。
6. 【請求項６】 請求項１〜４のいずれかに記載の静電
   チャックに静電吸着保持された前記被吸着物を離脱させ
   る方法において、 前記各静電吸着電極の中の少なくとも１つを上昇させて
   前記被吸着物を一旦持ち上げる第３の被吸着物上昇工程
   と、 該第３の被吸着物上昇工程の後、他の前記静電吸着電極
   の中の少なくとも１つを上昇させて前記被吸着物をさら
   に上昇させる第４の被吸着物上昇工程と、 該第４の被吸着物上昇工程の後、前記第３の被吸着物上
   昇工程で前記被吸着物を上昇させた前記静電吸着電極を
   下降させて前記被吸着物との接触を断つ電極下降工程と
   を有し、 これら第３及び第４の被吸着物上昇工程と前記電極下降
   工程を少なくとも１回以上行った後、残りの前記静電吸
   着電極または前記リフト機構で前記被吸着物を支持する
   被吸着物支持工程を行うことを特徴とする静電チャック
   における被吸着物離脱方法。