JP2008276678A - 検査装置、補正方法、検査方法及びパターン基板の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の一態様に係る検査装置は、試料からの光を受光するCCDリニアセンサを用いて、マスクの検査を行う検査装置であって、CCDリニアセンサに設けられ、入射光量に応じた出力信号を出力する複数の画素51と、複数の画素51から出力される出力信号を複数のチャンネルに分割して出力する出力部52と、それぞれの画素の入射光量と出力信号との関係に基づいて設定されたリニアリティ補正データに応じて、複数の画素ごとに出力信号のリニアリティ補正を行うリニアリティ補正部22を備える。
【選択図】図3
Description
2 角柱
3 マスクホルダー
4 ヘッド用直角ステージ
5 CCDリニアセンサ
6 エアパッド
7 ワイヤー
8 滑車
9 バランスウェイト
10 モーターステージ
11 鉛直駆動機構
12 水平駆動機構
13 マスク
14 光源
15 マスク
16 遮光パターン
20 処理装置
21 LUT
22 リニアリティ補正部
23 ゲイン補正部
Claims (10)
- 試料からの光を受光するイメージセンサを用いて、前記試料の検査を行う検査装置であって、
前記イメージセンサに設けられ、入射光量に応じた出力信号を出力する複数の画素と、
前記複数の画素から出力される前記出力信号を複数のチャンネルに分割して出力する出力部と、
それぞれの画素の入射光量と出力信号との関係に基づいて設定されたリニアリティ補正データに応じて、前記複数の画素ごとに前記出力信号のリニアリティ補正を行うリニアリティ補正部とを備える検査装置。 - 前記リニアリティ補正部は、前記チャンネルの継ぎ目の両側の画素のリニアリティが略一致するようにリニアリティ補正を行う請求項1に記載の検査装置。
- 前記リニアリティ補正部は、前記複数の画素のそれぞれのリニアリティが基準レベルに一致するようにリニアリティの補正を行う請求項1又は2に記載の検査装置。
- 前記リニアリティ補正部は、前記複数の画素ごとに作成された前記リニアリティ補正データが設定されたルックアップテーブルを備える請求項1、2又は3に記載の検査装置。
- 複数の画素からの出力信号を複数のチャンネルに分割して出力するイメージセンサの出力信号のリニアリティを補正する補正方法であって、
第1光量及び第2光量の光を照射して、前記複数の画素のゲイン及びオフセットを設定するステップと、
前記第1光量と第2光量の間の光量の光を照射して、前記複数の画素の出力信号それぞれのリニアリティ補正を行うためのリニアリティ補正データを作成するステップとを含む補正方法。 - 前記チャンネルの継ぎ目の両側の画素の出力信号のリニアリティが略一致するようにリニアリティ補正データを作成する請求項5に記載の補正方法。
- 前記複数の画素のそれぞれの出力信号のリニアリティが基準レベルに一致するようにリニアリティ補正データを作成する請求項5又は6に記載の補正方法。
- 試料からの光を請求項5〜7に記載の補正方法を用いたイメージセンサにより受光するステップと、
リニアリティが補正された出力信号に基づいて欠陥を検出する検査方法。 - 前記試料は、繰り返しパターン有するパターン基板であり、
リニアリティを補正した出力信号と、当該出力信号を繰り返しパターンピッチ分ずらしたものとを比較して欠陥を検出するステップとを含む請求項8に記載の検査方法。 - 請求項9又は10に記載の検査方法により前記試料の欠陥を検出するステップを含むパターン基板の製造方法。
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