JP2008270672A - 実装方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】実装基板20における各チップ10それぞれの搭載位置にチップ接続用電極21を形成するチップ接続用電極形成工程および実装基板20への搭載前の複数個のチップ10を載置するチップ支持用基板30において上記搭載位置に対応する各位置にチップ10を当該チップ10の実装用電極11を上面側として載置するチップ載置工程を含む接合準備工程を行い、その後、チップ支持用基板30と実装基板20とを対向配置してから各チップ10の実装用電極11および実装基板20の各チップ接続用電極21それぞれの表面を一括して活性化し、次に、実装用電極11とチップ接続用電極21との全部を常温下で接合し、続いて、チップ支持用基板30を各チップ10から引き離す。
【選択図】図1
Description
以下、本実施形態の実装方法は、複数個のチップ10を1枚の実装基板20に実装する実装方法であって、図1(a)の右側に示すように実装基板20における各チップ10それぞれの搭載位置にチップ接続用電極21を形成するチップ接続用電極形成工程および図1(a)の左側に示すように実装基板20への搭載前の複数個のチップ10を載置するチップ支持用基板30において上記搭載位置に対応する各位置にチップ10を当該チップ10の実装用電極11を上面側として載置するチップ載置工程を含む接合準備工程と、接合準備工程の後に図1(b)に示すようにチップ支持用基板30と実装基板20とを対応する実装用電極11とチップ接続用電極21とが離間して向かい合うように対向配置してから各チップ10の実装用電極11および実装基板20の各チップ接続用電極21それぞれの表面を一括して活性化させる活性化工程と、活性化工程の後に図1(c)に示すようにチップ支持用基板30と実装基板20とを近づけて対応する実装用電極11とチップ接続用電極21との全部を常温下で接合する接合工程と、接合工程の後に図1(d)に示すようにチップ支持用基板30を各チップ10から引き離す引離工程とを備えている。
本実施形態の実装方法は実施形態1と略同じであり、図2(a)の右側に示すように実装基板20における各チップ10それぞれの搭載位置にチップ接続用電極21を形成するチップ接続用電極形成工程および図2(a)の左側に示すように実装基板20への搭載前の複数個のチップ10を載置するチップ支持用基板30において上記搭載位置に対応する各位置にチップ10を当該チップ10の実装用電極11を上面側として載置するチップ載置工程を含む接合準備工程と、接合準備工程の後に図2(b)に示すようにチップ支持用基板30と実装基板20とを対応する実装用電極11とチップ接続用電極21とが離間して向かい合うように対向配置してから各チップ10の実装用電極11および実装基板20の各チップ接続用電極21それぞれの表面を一括して活性化させる活性化工程と、活性化工程の後に図2(c)に示すようにチップ支持用基板30と実装基板20とを近づけて対応する実装用電極11とチップ接続用電極21との全部を常温下で接合する接合工程と、接合工程の後に図2(d)に示すようにチップ支持用基板30を各チップ10から引き離す引離工程とを備えており、チップ載置工程において、チップ支持用基板30として各チップ10それぞれを位置決めする位置決め凹所32を一面側に有する基板を用いており、当該位置決め凹所32の内底面が上記搭載位置に対応する位置を構成している点が相違する。
本実施形態の実装方法は実施形態2と略同じであり、図3(a)の右側に示すように実装基板20における各チップ10それぞれの搭載位置にチップ接続用電極21を形成するチップ接続用電極形成工程および図3(a)の左側に示すように実装基板20への搭載前の複数個のチップ10を載置するチップ支持用基板30において上記搭載位置に対応する各位置にチップ10を当該チップ10の実装用電極11を上面側として載置するチップ載置工程を含む接合準備工程と、接合準備工程の後に図3(b)に示すようにチップ支持用基板30と実装基板20とを対応する実装用電極11とチップ接続用電極21とが離間して向かい合うように対向配置してから各チップ10の実装用電極11および実装基板20の各チップ接続用電極21それぞれの表面を一括して活性化させる活性化工程と、活性化工程の後に図3(c)に示すようにチップ支持用基板30と実装基板20とを近づけて対応する実装用電極11とチップ接続用電極21との全部を常温下で接合する接合工程と、接合工程の後に図3(d)に示すようにチップ支持用基板30を各チップ10から引き離す引離工程とを備えており、チップ載置工程において、チップ支持用基板30として位置決め凹所32の内側面がテーパ状であり且つ内底面の面積がチップ10のチップ面積よりも小さなものを用いる点が相違する。
本実施形態の実装方法は実施形態3と略同じであり、図4(a)の右側に示すように実装基板20における各チップ10それぞれの搭載位置にチップ接続用電極21bを形成するチップ接続用電極形成工程および図4(a)の左側に示すように実装基板20への搭載前の複数個のチップ10を載置するチップ支持用基板30において上記搭載位置に対応する各位置にチップ10を当該チップ10の実装用電極11を上面側として載置するチップ載置工程を含む接合準備工程と、接合準備工程の後に図4(b)に示すようにチップ支持用基板30と実装基板20とを対応する実装用電極11とチップ接続用電極21とが離間して向かい合うように対向配置してから各チップ10の実装用電極11および実装基板20の各チップ接続用電極21それぞれの表面を一括して活性化させる活性化工程と、活性化工程の後に図4(c)に示すようにチップ支持用基板30と実装基板20とを近づけて対応する実装用電極11とチップ接続用電極21との全部を常温下で接合する接合工程と、接合工程の後に図4(d)に示すようにチップ支持用基板30を各チップ10から引き離す引離工程とを備えており、チップ接続用電極形成工程において、チップ接続用電極21bとしてスタッドバンプからなるバンプを実装基板20の金属層21a上に形成している点が相違する。
11 実装用電極
12 表面側電極
20 実装基板
21 チップ接続用電極
21b チップ接続用電極(バンプ)
30 チップ支持用基板
31 位置決めマーク
Claims (6)
- 複数個のチップを1枚の実装基板に実装する実装方法であって、実装基板における各チップそれぞれの搭載位置にチップ接続用電極を形成するチップ接続用電極形成工程および実装基板への搭載前の複数個のチップを載置するチップ支持用基板において前記搭載位置に対応する各位置にチップを当該チップの実装用電極を上面側として載置するチップ載置工程を含む接合準備工程と、接合準備工程の後にチップ支持用基板と実装基板とを対応する実装用電極とチップ接続用電極とが離間して向かい合うように対向配置してから各チップの実装用電極および実装基板の各チップ接続用電極それぞれの表面を一括して活性化させる活性化工程と、活性化工程の後にチップ支持用基板と実装基板とを近づけて対応する実装用電極とチップ接続用電極とを常温下で接合する接合工程と、接合工程の後にチップ支持用基板を各チップから引き離す引離工程とを備えることを特徴とする実装方法。
- 前記チップ載置工程では、前記チップ支持用基板として前記各チップそれぞれを位置決めする位置決め凹所を一面側に有する基板を用いることを特徴とする請求項1記載の実装方法。
- 前記チップ載置工程では、前記基板として前記位置決め凹所の内側面がテーパ状であり且つ内底面の面積が前記チップのチップ面積よりも小さなものを用いることを特徴とする請求項2記載の実装方法。
- 前記チップにおける前記実装用電極がAuにより形成されており、前記チップ接続用電極形成工程では、前記チップ接続用電極をAuにより形成することを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の実装方法。
- 前記チップ接続用電極形成工程では、前記チップ接続用電極の外形寸法を、前記チップの外周縁よりも内側に前記チップ接続用電極の外周縁が位置するように設定することを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の実装方法。
- 前記チップ接続用電極形成工程では、前記チップ接続用電極としてバンプを形成することを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載の実装方法。
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