JP2008270110A - 高温場用表面プラズマアクチュエータ - Google Patents
高温場用表面プラズマアクチュエータ Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】絶縁材1を挟んで表面側電極3と裏面側電極5を設け、表面側電極3の表面と絶縁材1の表面2に、アルミナ系材料やムライトを用いてEB−PVD法等によりコーティングし、多孔性の材料からなるコーディング層7を形成する。両電極に電源6から高電圧を印可するとコーティング層が多孔性のため、表面プラズマ9がコーティング層7の外に発生し、誘導気流11も発生するため表面プラズマアクチュエータとして用いることができる。電極は絶縁材に埋め込んでも良く、またコーティング層を多孔性にしないときには、表面電極3上のコーティング層の一部を削除し、突出電極を設けても良い。
【選択図】図1
Description
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2 表面
3 表面側電極
4 裏面
5 裏面側電極
6 電源
7 遮熱コーティング層
8 端部
9 表面プラズマ
10 表面
11 誘導気流
Claims (5)
- 絶縁材を挟んで表面側電極と裏面側電極を設け、両電極に電圧を印可することにより表面側電極から表面プラズマを発生する表面プラズマアクチュエータにおいて、
前記表面側電極と絶縁材の表面にコーディング層を形成したことを特徴とする高温場用表面プラズマアクチュエータ。 - 前記コーティング層は多孔性であることを特徴とする請求項1記載の高温場用表面プラズマアクチュエータ。
- 少なくとも前記表面側電極は、絶縁材の表面に埋め込まれたものであることを特徴とする請求項1記載の高温場用表面プラズマアクチュエータ。
- 前記表面側電極には、該表面側電極と絶縁材の表面に形成したコーティング層の一部を除去し、該除去部分に表面側電極に一端が接続し、他端がコーティング層から突出する突出電極を設けたことを特徴とする請求項1記載の高温場用表面プラズマアクチュエータ。
- 前記突出電極は、一端が表面側電極の端部と表面側電極を埋め込む絶縁材の表面側凹嵌部の内面とに嵌合することを特徴とする請求項4記載の高温場用表面プラズマアクチュエータ。
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