JP2019061778A - プラズマアクチュエータ - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本第1実施形態のプラズマアクチュエータ1の概略構成図であり、(a)が断面図であり、(b)が平面図である。本実施形態のプラズマアクチュエータ1は、交流の高圧電源100から供給される電力によってプラズマPを発生させ、プラズマPによって周囲の気体Y(流体)を誘導するものであり、全体として板状に形状設定されている。本実施形態のプラズマアクチュエータ1の設置姿勢は任意である。ただし、以下の説明においては、説明の便宜上、図1(a)に示すように、板状の本実施形態のプラズマアクチュエータ1の厚さ方向を上下方向とし、後述の上側電極層3が配置される側を上側、後述の下側磁石部6が配置される側を下側と称する。
次に、本発明の第2実施形態について説明する。なお、本第2実施形態の説明において、上記第1実施形態と同様の部分については、その説明を省略あるいは簡略化する。
次に、本発明の第3実施形態について説明する。なお、本第3実施形態の説明において、上記第1実施形態と同様の部分については、その説明を省略あるいは簡略化する。
次に、本発明の第4実施形態について説明する。なお、本第4実施形態の説明において、上記第1実施形態と同様の部分については、その説明を省略あるいは簡略化する。
次に、本発明の第5実施形態について説明する。なお、本第5実施形態の説明において、上記第1実施形態と同様の部分については、その説明を省略あるいは簡略化する。
1A……プラズマアクチュエータ
1B……プラズマアクチュエータ
1C……プラズマアクチュエータ
1D……プラズマアクチュエータ
2……保持層
2a……上面(流体誘導面)
2b……凹部
2c……凹部
3……上側電極層(電極層)
4……下側電極層(電極層)
5……上側磁石部(第1磁石部)
6……下側磁石部(第2磁石部)
7……シールド層
8……スペーサ層(形状適合層)
9……保護層
100……高圧電源
P……プラズマ
Y……気体
Claims (7)
- 電源に接続されてプラズマを発生させる一対の電極層と、前記電極層を保持する絶縁性の保持層とを備え、前記保持層の片側の領域で流体を誘導するプラズマアクチュエータであって、
前記保持層の流体誘導面側に配置されると共に流体誘導面の面直方向から見て前記電極層を避けて配置された第1磁石部と、
前記保持層の前記流体誘導面と反対側に配置され前記第1磁石部と共に前記保持層を挟持する第2磁石部と
を備えることを特徴とするプラズマアクチュエータ。 - 前記第1磁石部は、前記流体誘導面に沿った方向における前記保持層の縁に配置されていることを特徴とする請求項1記載のプラズマアクチュエータ。
- 前記第2磁石部は、前記流体誘導面の面直方向から見て前記電極層を避けて配置されていることを特徴とする請求項1または2記載のプラズマアクチュエータ。
- 前記流体誘導面の面直方向から見て前記電極層と重なる領域にて前記第2磁石部と前記保持層との間に配置され、前記第2磁石部による磁気を遮蔽するシールド層を備えることを特徴とする請求項1または2記載のプラズマアクチュエータ。
- 前記保持層の前記流体誘導面と反対側に露出して配置されると共に、プラズマアクチュエータの設置面に合わせて形状設定された形状適合層を備えることを特徴とする請求項1〜4いずれか一項に記載のプラズマアクチュエータ。
- 前記第1磁石部の表面と前記保持層の表面とを含む面が単一平面とされていることを特徴とする請求項1〜5いずれか一項に記載のプラズマアクチュエータ。
- 前記電極層の1つが前記保持層の前記流体誘導面に配置され、
当該電極層の表面を覆う保護層を備える
ことを特徴とする請求項1〜6いずれか一項に記載のプラズマアクチュエータ。
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-
2017
- 2017-09-25 JP JP2017183558A patent/JP6926892B2/ja active Active
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