JP2008269766A - 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法および磁気ディスク製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】中心に円孔が形成された円板状のガラス基板102に、化学強化処理槽130の化学強化処理液を接触させることにより、ガラス基板102中に含まれる一部のイオンを化学強化処理液中のイオンに置換してガラス基板102を化学強化する。これにより、150μm未満の圧縮応力層を、内周端面をはじめとするガラス基板102の表面に形成する。その後、内周端面研磨装置120を用いて、形状転写加工法により、取代5μm未満で、内周端面研磨を行う。この内周端面の研磨は、化学強化工程でガラス基板102の内周端面に形成された圧縮応力層が残存するように行う。
【選択図】図1
Description
磁気ディスクの小型化、薄板化、および高密度記録化に伴い、ガラス基板内周端面の高度な平滑度および平坦度が求められる。本実施形態では、ガラス基板の内周端面、特に、化学強化工程における変化量に着目し、ガラス基板の最終的な内径(ID)寸法誤差を小さくすることを目的としている。以下、化学強化工程を含む一連の工程を実行可能な磁気ディスク用ガラス基板の製造システム200を説明する。
研磨体124の外径は、ガラス基板102の内径形状に沿って曲面に形成され、ガラス基板102の内径の円周面150に適合する。すなわち、形状転写加工によって内周端面は研磨される。研磨体124を被研磨体12の内周端面に同圧力で接触させ、被研磨体12の内周端面と研磨体124との間に研磨液を供給し、研磨体124を、回転軸を中心に図4の研磨体124上に示される矢印の方向に回動して、被研磨体12を研磨する。ここでは、研磨体124の回転軸周りの回転を回動としているが、かかる動作に限られず、そのように回転しながら、回転軸方向に移動することも含まれる。
上述した磁気ディスク用ガラス基板の製造システムを用いれば、磁気ディスク用ガラス基板の製造方法を提供できる。かかる磁気ディスク用ガラス基板の製造方法は、中心に円孔が形成された円板状のガラス基板102に化学強化処理液を接触させることにより、ガラス基板102中に含まれる一部のイオンを化学強化処理液中のイオンに置換してガラス基板を化学強化する化学強化工程と、化学強化されたガラス基板の内周端面を研磨する内周端面研磨工程とを含む。
まず、溶融させたアルミノシリケートガラスを上型、下型、胴型を用いたダイレクトプレスによりディスク形状に成型し、アモルファスの板状ガラスを得た。なお、アルミノシリケートガラスとしては、化学強化用のガラスを使用した。ダイレクトプレス以外に、フュージョン法、ダウンドロー法やフロート法で形成したシートガラスから研削砥石で切り出して円盤状の磁気ディスク用ガラス基板を得てもよい。なお、アルミノシリケートガラスとしては、SiO2:58〜75重量%、Al2O3:5〜23重量%、Li2O:3〜10重量%、Na2O:4〜13重量%を主成分として含有する化学強化ガラスを使用した。また、上記アルミノシリケートガラス以外にもソーダライムガラス等を用いることもできる。
次に、ダイヤモンドカッタを用いてガラス母材を切断し、このガラス母材から、円盤状のガラス基板を切り出した。次に、円筒状のダイヤモンドドリルを用いて、このガラス基板の中心部に円孔を形成し、ドーナツ状のガラス基板とした(コアリング)。
そして内周端面および外周端面をダイヤモンド砥石によって研削し、所定の面取り加工を施した(フォーミング)。
次に、得られたガラス基板の両主表面について、第1ラッピング工程と同様に、第2ラッピング加工を行った。この第2ラッピング工程を行うことにより、前工程である切り出し工程や内周端面研磨工程において主表面に形成された微細な凹凸形状を予め除去しておくことができ、後続の主表面に対する研磨工程を短時間で完了させることができるようになる。
主表面研磨工程として、まず第1研磨工程を施した。この第1研磨工程は、前述のラッピング工程において主表面に残留したキズや歪みの除去を主たる目的とするものである。この第1研磨工程においては、遊星歯車機構を有する両面研磨装置により、硬質樹脂ポリッシャを用いて、主表面の研磨を行った。研磨液としては、酸化セリウム砥粒を用いた。
次に、前述のラッピング工程及び研磨工程を終えたガラス基板に、化学強化を施した。化学強化工程を行うことにより、磁気ディスク基板の表層部に高い圧縮応力を生じさせることができ、耐衝撃性を向上させることができる。
次に、ガラス基板の端面について、形状転写加工により、鏡面研磨を行った。このとき、研磨砥粒としては、酸化セリウム砥粒を含むスラリ(遊離砥粒)を用いた。この内周端面研磨工程により、ガラス基板の端面は、パーティクル等の発塵を防止できる鏡面状態に加工された。この内周研磨工程における取代は5μm以下であった。
本実施例のように、化学強化工程の後に内周端面研磨を行う場合と、逆に、内周端面研磨を先に行って化学強化工程を後に行った比較例とを比較して、以下のような結果を得ることができた。ただし、ガラス基板のサンプル数は10,000枚である。
次に、テクスチャーを形成した磁気ディスク用ガラス基板の精密洗浄を行った。これはヘッドクラッシュやサーマルアスペリティ障害の原因となる研磨剤残渣や外来の鉄系コンタミなどを除去し、表面が平滑で清浄なガラス基板を得るためのものである。精密洗浄工程としては、アルカリ性水溶液による洗浄の後に、水リンス洗浄、IPA洗浄工程を行った。
上述した工程を経て得られたガラス基板の両面に、ガラス基板の表面にCr合金からなる付着層、CoTaZr基合金からなる軟磁性層、Ruからなる下地層、CoCrPt基合金からなる垂直磁気記録層、水素化炭素からなる保護層、パーフルオロポリエーテルからなる潤滑層を順次成膜することにより、垂直磁気記録ディスクを製造した。なお、本構成は垂直磁気ディスクの構成の一例であるが、面内磁気ディスクとして磁性層等を構成してもよい。
102 ガラス基板
110 内周端面研削装置
112 円孔
114 内周端面
120 内周端面研磨装置
130 化学強化処理槽
Claims (5)
- 中心に円孔が形成された円板状のガラス基板に化学強化処理液を接触させることにより、該ガラス基板中に含まれる一部のイオンを該化学強化処理液中のイオンに置換して該ガラス基板を化学強化する化学強化工程と、
前記化学強化されたガラス基板の内周端面を研磨する内周端面研磨工程とを含み、
前記内周端面研磨工程では、前記化学強化工程でガラス基板の内周端面に形成された圧縮応力層が残存するように、ガラス基板の内周端面を研磨することを特徴とする磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。 - 前記化学強化工程で形成される圧縮応力層の厚みは、150μm未満であることを特徴とする請求項1に記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
- 前記内周端面研磨工程では、形状転写加工によって内周端面を研磨することを特徴とする請求項1または2に記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
- 前記内周端面研磨工程における取代は、5μm未満であることを特徴とする請求項1から3までのいずれかに記載の磁気ディスク用ガラス基板の製造方法。
- 請求項1から4までのいずれかに記載の方法で製造した磁気ディスク用ガラス基板の表面に、少なくとも磁性層を形成する工程を含むことを特徴とする磁気ディスク製造方法。
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