JP2008265141A - 基板重装用昇降装置、バックアップ用昇降装置、基板支持ユニット、及び印刷装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】印刷対象の基板を支持した基板テーブルをメタルマスクの下方に位置させ、その状態から基板テーブルを昇降させることで、基板をメタルマスクの下面に重装、或いは離間させる基板重装用昇降装置Iであって、基板テーブルの下方にあって、同テーブルを支えるベース板と、内輪25と外輪21との間に転動体27を介挿させた軸受け装置20と、ベース板に軸受け装置20により軸受けしつつ取り付けられたボールナット50と、基板テーブルに対して回り止めされた状態で固定され、かつボールナット50に螺合するボール螺子軸60と、から構成させると共に、ボールナット50の外周を軸受け装置20を構成する内輪25に直接嵌合させている。
【選択図】図1
Description
・ボールナットに設けた鍔部とプーリに設けた突縁とによって、前記軸受け装置を構成する内輪を上下に挟んで保持する構成としておく。
3段目のテーブル230には、図7に示すように、上下に貫通するようにして軸孔231が設けられている。係る3段目のテーブル230の軸孔231には、ボール螺子軸60を螺合させたボールナット50が、転がり軸受け20により軸受けされつつ取り付けられている。
4段目のテーブル240には、図7に示すように、ボール螺子軸60を螺合させたボールナット50がアウタハウジング80を介して取り付けられている。
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
21…外輪
25…内輪
27…ベアリングボール(本発明の「転動体」に相当)
30I、30II…ベース板
31…軸孔
50…ボールナット
60…ボール螺子軸
70…プーリ
100…印刷装置
200…基板支持ユニット
230…3段目のテーブル(本発明の「ベース板」に相当)
240…4段目のテーブル(本発明の「基板テーブル」に相当)
250…5段目のテーブル(本発明の「ピン支持テーブル」に相当)
I…昇降装置(本発明の「基板重装用昇降装置」に相当)
II…昇降装置(本発明の「バックアップ用昇降装置」に相当)
Claims (8)
- 印刷対象の基板を支持した基板テーブルをメタルマスクの下方に位置させ、その状態から前記基板テーブルを昇降させることで、前記基板をメタルマスクの下面に重装、或いは重装状態にある基板をメタルマスクより離間させる基板重装用昇降装置であって、
前記基板テーブルの下方にあって、同テーブルを支えるベース板と、
内輪と外輪との間に転動体を介挿させた軸受け装置と、
前記ベース板、或いは基板テーブルのいずれか一方に前記軸受け装置により軸受けしつつ取り付けられ、モータの動力により回転するボールナットと、
前記ベース板、或いは基板テーブルのうち、前記ボールナットが取り付けられた側の反対側の部材に対して回り止めされた状態で固定され、かつ前記ボールナットに螺合するボール螺子軸と、から構成させると共に、
前記ボールナットの外周を前記軸受け装置を構成する内輪に直接嵌合させたことを特徴とする基板重装用昇降装置。 - 前記ボールナットと、モータの動力を前記ボールナットに伝達させるプーリとを、前記軸受け装置を間に挟むようにして上下に対向配置するとともに、
前記ボールナットに設けた鍔部と、前記プーリに設けた突縁とによって、前記軸受け装置を構成する内輪を上下に挟んで保持する構成としたことを特徴とする請求項1に記載の基板重装用昇降装置。 - 前記ボールナットを前記軸受け装置を介して前記ベース板に装着する一方、
前記ボール螺子軸の軸端部を、前記基板テーブルに回り止めした状態で取り付けてあることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の基板重装用昇降装置。 - 複数のバックアップピンを起立保持したピン保持テーブルを処理対象の基板の下方に位置させ、その状態から前記ピン保持テーブルを昇降させることで、基板下面を前記バックアップピンにより支えたり、或いはその支えを解くようにしたバックアップ用昇降装置であって、
前記ピン支持テーブルの下方にあって、同テーブルを支えるベース板と、
内輪と外輪との間に転動体を介挿させた軸受け装置と、
前記ベース板、或いはピン保持テーブルのいずれか一方に前記軸受け装置により軸受けしつつ取り付けられ、モータの動力により回転するボールナットと、
前記ベース板、或いはピン保持テーブルのうち、前記ボールナットが取り付けられた側の反対側の部材に対して回り止めされた状態で固定され、かつ前記ボールナットに螺合するボール螺子軸と、から構成させると共に、
前記ボールナットの外周を前記軸受け装置を構成する内輪に直接嵌合させたことを特徴とするバックアップ用昇降装置。 - 前記ボールナットと、モータの動力を前記ボールナットに伝達させるプーリとを、前記軸受け装置を間に挟むようにして上下に対向配置するとともに、
前記ボールナットに設けた鍔部と前記プーリに設けた突縁とによって、前記軸受け装置を構成する内輪を上下に押さえる構成としたことを特徴とする請求項4に記載のバックアップ用昇降装置。 - 前記ボールナットを前記軸受け装置を介して前記ベース板に装着する一方、
前記ボール螺子軸の軸端部を、前記ピン保持テーブルに回り止めした状態で取り付けてあることを特徴とする請求項4又は請求項5に記載のバックアップ用昇降装置。 - 基台上方に設置されたメタルマスクに、印刷対象の基板を下面を支持しつつ重装させて所定の印刷動作を行う印刷装置に使用される基板支持ユニットであって、
請求項4ないし請求項6のいずれか一項に記載され、前記基板の下面を支持するバックアップ動作を行うバックアップ用昇降装置と、
請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載され、前記バックアップ用昇降装置により下面を支持された基板を前記メタルマスクに重装させる基板重装用昇降装置と、からなることを特徴とする基板支持ユニット。 - 請求項7に記載の基板支持ユニットを基台上に設置してなることを特徴とする印刷装置。
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