JP2008262976A - レーザ装置 - Google Patents

Abstract

【課題】低い温度環境又は高い温度環境からレーザ発振器を起動した場合に、レーザを使用する前の準備段階において各部の温度を熱平衡状態に近づけて、効率的に準備完了状態を判断できる機能を備えたレーザ装置を提供する。
【解決手段】時刻Ｔ１からＴ２までは時間Ｔａだけレーザ発振試行を行い、時間Ｔｂにわたるレーザ無発振状態の後、時刻Ｔ３からＴ４まで２回目のレーザ発振試行という操作が、所定の基準を満たすまで繰り返される。各回のレーザ発振試行の最後の瞬間のレーザ出力Ｐ２、Ｐ４、Ｐ６..を記録する。連続する２回のレーザ発振試行のレーザ出力の差をとり、これが所定の基準値以下になれば準備完了と判断することができる。
【選択図】図２

Description

本発明はレーザ装置に関し、特には、起動準備機能を備えたレーザ装置に関する。

レーザ発振器において、レーザ出力、レーザ出力安定性、ビーム形状及びビーム集光性等のレーザ性能や、レーザ出力測定器の感度等の測定器性能は、発振器、励起媒体、冷却水、レーザ電源又はレーザ出力測定器等の温度に依存する場合がある。すなわち、低い温度環境又は高い温度環境から起動した直後のレーザ性能やレーザ出力測定器の性能は、温度平衡時のものとは異なることがある。この場合、レーザ発振による発熱や発振器に備えられた冷却機能により、起動時から各部の温度が変化し、時間の経過とともに熱平衡状態に近づけば、レーザ性能はより安定する。

そこで、低い温度環境又は高い温度環境からレーザ発振器を起動した場合、レーザを使用する前の準備段階において各部の温度を熱平衡状態に近づける手順を行うことで、レーザ出力が安定し、レーザ加工等が安定的に行えるようになる。例えば特許文献１は、レーザ装置の温度を測定し、その温度によって準備完了又は未完了の判断をする方法を開示している。また、レーザ発振中のレーザ出力を測定し、そのレーザ出力値によって準備完了又は未完了の判断をする方法も提案されている。

特開２００５−２５１８５５号公報

しかし、レーザ装置の温度のみでは、正確に準備完了又は未完了の判断をすることはできない場合がある。また、レーザ発振中のレーザ出力値によって、準備完了又は未完了の判断をする方法でも、単なる一定値と出力値との比較のような一律の基準の適用では、不都合が生じる場合がある。例えば、レーザ発振器部品の経年劣化によって、性能が設計上の性能よりも劣ったレーザ発振器では、一般に安定状態（準備完了状態）でのレーザ出力は当初のものよりも低下するので、経年劣化前と同じ基準では的確に準備完了又は未完了の判断ができない。

そこで本発明は、経年劣化等により性能が低下したレーザ装置であっても、低い温度環境又は高い温度環境からレーザ発振器を起動した場合に、レーザを使用する前の準備段階において各部の温度を自動的に安定状態に近づけて、効率的に準備完了状態を判断できる機能を備えたレーザ装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、レーザ発振器と、該レーザ発振器に電力を供給するレーザ電源と、レーザ出力を測定するレーザ出力測定器と、レーザ光を吸収するビーム吸収装置と、レーザ出力指令を受けて前記レーザ発振器、前記レーザ電源、前記レーザ出力測定器及び前記ビーム吸収装置を制御する制御装置とを備えたレーザ装置において、前記制御装置は、レーザ発振器起動時からレーザ使用適正状態に入るまでの準備過程において、所定の時間にわたって前記レーザ発振器をレーザ発振状態とし、発振したレーザ光の少なくとも一部を前記ビーム吸収装置により吸収する状態で、レーザ発振状態でのレーザ出力を前記レーザ出力測定器によって測定するレーザ発振試行を行う試行実施部と、前記試行実施部によるレーザ発振試行において、前記レーザ出力測定器により測定されたレーザ出力が、レーザ装置の安定出力状態に基づいて定められる所定の基準を満たしたか否かを判断する判断部と、前記判断部が前記所定の基準を満たしたと判断するまで、前記試行実施部によるレーザ発振試行とレーザ無発振状態とを自動的に交互に繰り返す反復起動部とを含むことを特徴とする、レーザ装置を提供する。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のレーザ装置において、前記所定の基準は、連続する２回のレーザ発振試行におけるレーザ出力値の差が所定値以下となることである、レーザ装置を提供する。

請求項３に記載の発明は、請求項１に記載のレーザ装置において、前記所定の基準は、予め定めた安定状態の基準レーザ出力値と前記レーザ発振試行におけるレーザ出力値との差が所定値以下となることである、レーザ装置を提供する。

請求項４に記載の発明は、請求項１〜３のいずれか１項に記載のレーザ装置において、レーザ発振器、励起媒体、冷却水、レーザ電源、及びレーザ出力測定器のうち少なくとも１つの温度を計測する温度測定器をさらに備え、前記制御装置は、前記温度測定器により測定された温度が安定出力状態に基づいて定められる所定の基準温度範囲内に入るまでは、前記反復起動部によるレーザ発振試行の繰り返しを行わずにレーザ発振試行を続行する、レーザ装置を提供する。

請求項５に記載の発明は、請求項４に記載のレーザ装置において、前記所定の基準温度範囲は、予め定めた前記レーザ装置の安定出力状態の最低基準温度以上である、レーザ装置を提供する。

請求項６に記載の発明は、請求項４又は５に記載のレーザ装置において、前記所定の基準温度範囲は、予め定めた前記レーザ装置の安定出力状態の最高基準温度以下である、レーザ装置を提供する。

請求項７に記載の発明は、請求項４に記載のレーザ装置において、前記所定の基準温度範囲は、前記レーザ装置のレーザ出力が時間経過に対して単調増加又は単調減少するような温度範囲である、レーザ装置を提供する。

本発明に係るレーザ装置によれば、低い温度環境又は高い温度環境から起動したレーザ装置がレーザ性能が安定した準備完了状態に至るまで、レーザ発振試行を繰り返して熱平衡状態等の安定状態に近づける操作を、自動的かつ効率的に行うことができる。また所定の基準を、レーザ出力の安定状態に基づいて定められる基準とすれば、当該安定状態は発振器の経年劣化等によって変化（低下）していくので、性能がいくらか低下したレーザ装置であっても的確に準備完了状態を判断することができる。

具体的な所定の基準は、連続する２回のレーザ発振試行におけるレーザ出力値の差、又は予め定めた安定状態の基準レーザ出力値とあるレーザ発振試行におけるレーザ出力値との差が所定値以下となるという単純なものとすることができる。

レーザ発振器、励起媒体、冷却水、レーザ電源、及びレーザ出力測定器のうち少なくとも１つの温度を計測し、当該温度がレーザ装置の安定状態に基づいて定められる所定の基準温度になるまでは、レーザ発振試行の繰り返しを行わずにレーザ発振を続行することにより、極低温状態のような準備完了状態ではないがレーザ出力は安定状態と同等というような状態を準備完了と判断してしまうことを回避できる。

具体的な所定の基準温度範囲を、予め定めたレーザ装置の安定状態の最低基準温度以上又は最高基準温度以下とすれば、安定状態又は安定状態に極めて近い状態から発振試行を開始することができる。一方所定の基準温度範囲を、レーザ装置のレーザ出力が時間経過に対して単調増加又は単調減少するような温度範囲とすれば、より早い段階からレーザ発振試行が開始されるので、レーザ装置の立上げ時間の短縮効果がある。

図１は、本発明に係るレーザ装置１０の基本構成を機能ブロック図である。なお、図示例ではレーザ装置１０はガス循環式のガスレーザ装置であるが、ガスを循環させないガス密封式のガスレーザや、固体レーザにも本発明は適用できる。

レーザ装置１０は、出力鏡１２、リア鏡１４及び出力鏡１とリア鏡２との間に挟まれて配置される放電管１６を含むレーザ発振器１８と、放電管１６に連通するガス流路２０と、放電管１６に電力供給するレーザ電源２２と、レーザ電源２２、後述するレーザ出力測定器及びビーム吸収装置を制御する制御装置２４とを有する。制御装置２４は、後述するレーザ発振試行を行う試行実施部２６、所定基準を満たしたか否かを判断する判断部２８及び反復起動部３０を含む。炭酸ガス、窒素ガス、アルゴンガス等のレーザ媒体を含んだレーザ発振用の媒質ガス（以下、レーザガスと称する）が、ガス流路２０内に設けられた送風機３２より送出され、第１熱交換器３４により冷却される。ここで、第１熱交換器３４及び後述する第２熱交換器３６は、例えば、レーザガスと冷却水との間で熱交換を行う熱交換器である。ガス流路２０内のレーザガスは、放電管１６内に導かれる。この放電管１６を通過中に、レーザガスは励起されてレーザ活性状態となる。レーザ電源２２より電力供給された放電管１６はレーザガスに放電する励起部として作用するが、あるいは光又は化学反応による励起方式のものであってもよい。

放電管１６より生じた光は出力鏡１２とリア鏡１４との間で増幅され、レーザ発振し、レーザ光が発生する。出力鏡１２は部分透過鏡であり、出力鏡１２を透過したレーザ光は出力レーザ光３８となって出力される。放電管１６を通過したレーザガスは、第２熱交換器３６で冷却され、送風機３２に戻る。

リア鏡１４も部分透過鏡であり、リア鏡１４を透過したレーザ光の一部は、熱センサ等のレーザ出力測定器４０に入射する。レーザ出力測定器４０はレーザ出力を測定し、その情報を制御装置２４に伝達する。熱電対等の温度センサからなる発振器温度測定器４２は、発振器（共振器）１８の温度を測定し、その情報を制御装置２４に伝達する。制御装置２４は、レーザ出力測定器４０や発振器温度測定器４２等の各種センサの情報を収集し、プログラムによってレーザ電源２２の動作を制御する機能を有する。なお発振器温度測定器４２は、測定対象物が所定の温度になったときに制御装置２４に信号等を送信する温度スイッチ機能を備えてもよい。

ここまで説明したガスレーザ発振装置の例の基本的構成は、従来と同様でよい。また、送風機及び熱交換器等は必須の要素ではない。

図１のレーザ装置１０は、発振したレーザ光の少なくとも一部を吸収するビーム吸収装置４４を有する。レーザ発振器起動時からレーザ使用適正状態に入るまでの準備過程において、所定のレーザ出力指令が制御装置２４に与えられてレーザ発振状態となり、発振したレーザ光の少なくとも一部がビーム吸収装置４４により吸収される。この状態で、このレーザ発振状態でのレーザ出力をレーザ出力測定器４０によって測定するレーザ発振試行（後述）が行われる。

ここでビーム吸収装置４４は、レーザ光３８の光路上の位置（図１）と光路から外れた位置（図示せず）との間を移動可能に構成される。あるいは、図示しない鏡がレーザ光３８の光路上と光路から外れた状態の間を移動可能であり、その鏡によってレーザ光３８の少なくとも一部がビーム吸収装置４４に導かれる構成でもよい。通常、レーザ光３８がビーム吸収装置４４に吸収されている間は、レーザ光はレーザ装置の外には出力されず、故に加工等の目的には使用されない。

以下、図１のレーザ装置の起動時から適正（安定）使用状態に至るまでの操作について説明する。図２は、図１のレーザ装置を低温状態から起動した場合のレーザ出力と時間との関係を示す。なおここでいう低温状態とは、レーザ発振器等の温度が、後述する暖機された準備完了状態（安定したレーザ出力が可能な状態）の温度よりは低温であり、故に準備完了状態には至っていない状態を意味する。図示例では、時刻Ｔ１からＴ２までの時間Ｔａの間、試行実施部２６が上述のレーザ発振試行を行う。次に時間Ｔｂにわたるレーザ無発振状態の後、判断部２８が後述する所定の基準を満たしたと判断するまで、反復起動部３０によって、時刻Ｔ３からＴ４まで２回目のレーザ発振試行、時刻Ｔ５からＴ６まで３回目のレーザ発振試行が行われる。このレーザ発振試行の間は、レーザ光の少なくとも一部は上述のビーム吸収装置に吸収される。一般に、低温状態から起動した場合のレーザ出力は、時間経過とともに上昇する傾向を呈する。

なお各発振試行の持続時間Ｔａ及び各試行間の無発振時間Ｔｂはそれぞれ、レーザ発振器の特性等によって適宜設定可能であるが、例えば概ね数十秒〜数分の間に設定される。

これら各回のレーザ発振試行の最後の瞬間（すなわち時刻Ｔ２、Ｔ４、Ｔ６..）のレーザ出力Ｐ２、Ｐ４、Ｐ６..を記録する。各レーザ出力は発振試行の最後の瞬間のものでなくともよいが、より安定したレーザ出力を利用するという点から最後の瞬間のものが好ましい。次に、連続するレーザ発振試行の最後のレーザ出力の差ΔＰ１（＝Ｐ４−Ｐ２）、ΔＰ２（＝Ｐ６−Ｐ４）..、ΔＰｎを求め、ΔＰｎが所定の基準値以下になったときに判断部２８がレーザ装置の準備が完了し、使用適正状態になったと判断する。一般に、レーザ発振によって暖機が進むに従ってレーザ装置は安定出力状態に近づいていくので、連続するレーザ発振試行のレーザ出力の差は徐々に小さくなる。従ってΔＰｎを監視することにより、レーザ出力が安定した（すなわち準備完了）状態を的確に判断することができる。なお所定の基準値は、レーザ装置の種類や用途によって異なる場合があるが、通常は経験則に基づいて定められる。

次に図３は、図２と同様に図１のレーザ装置を低温環境から起動した場合のレーザ出力と時間との関係を示すグラフであるが、レーザ出力の安定の判断について図２とは異なる考え方を示すものである。先ずレーザ発振器の温度が基準温度範囲内であるときのレーザ出力Ｐ０を、第１基準レーザ出力として予め求めておく。ここで基準温度範囲とは、例えば経験則等から得られる安定出力状態の最低基準温度及び最高基準温度により定められる。次に、発振器温度が前記基準温度範囲に入っていない場合の準備完了判断基準となる第２基準レーザ出力Ｐ０′を求める。ここで第２基準レーザ出力は、第１基準レーザ出力との差が所定の値以下であり、すなわち定常状態には至っていないものの、その用途・目的に照らし第１基準レーザ出力と同等に扱っても差支えない出力レベルを意味し、具体的には第１基準Ｐ０から所定の正数を減じ又は所定の１未満の正数を乗じて求められる。このようにして求めた第２基準値Ｐ０′を、上述の各回のレーザ発振試行の最後の瞬間のレーザ出力（Ｐ２、Ｐ４、Ｐ６..）が最初に超えた場合に、準備完了と判断する。図示例では、３回目のレーザ出力Ｐ６が初めて基準値Ｐ０′を超えたので、３回目のレーザ発振試行により準備完了となったと判断できる。

図３の方法の利点は、例えば、レーザ発振器部品の経年劣化によって、レーザ装置の性能が設計上の性能よりも劣る場合であっても、的確に準備完了又は未完了の判断ができることである。すなわち、経年劣化等につれて基準レーザ出力Ｐ０が下がるので、準備完了判断基準値Ｐ０′もそれにつれて下がるためである。

次に説明する図４は、図１のレーザ装置を極低温状態から起動した場合のレーザ出力と時間との関係を示すグラフである。なおここでいう極低温状態とは、レーザ発振器が１０℃以下等の、寒冷地又は冬場の室温に近い状態にあることを意味する。この例でのレーザ出力は、極低温状態（時刻Ｔ１１）では比較的高く、温度上昇（上述の低温状態に近づく）に従って低下し、そこから準備完了状態に向かうにつれてまた上昇するという傾向を呈する。一般にレーザ発振器は温度が高い方がレーザ出力は上がるが、逆にレーザガスは温度が低い方がレーザ出力が上がる傾向にある。従ってレーザ装置の種類によっては、図４のような傾向となることもある。レーザ発振器が図４に示すような特性、すなわちレーザ出力が時間経過に対して極小値を有する場合は、起動初期の極低温状態（時刻Ｔ１１）ではレーザ出力が高いので、上述の図２又は図３の方法を単純に適用すると、極低温状態において準備完了と判断してしまい、的確に準備完了を判断することはできない。

そこで、レーザ発振器等の温度を測定監視しつつ、当該温度が安定状態に基づいて定められる所定の基準温度になるまでは、上述のレーザ発振試行の繰り返しを行わず、暖機のためのレーザ発振試行を続行するという方法が有効である。ここで所定の基準温度は、上述の最低基準温度か、あるいはレーザ出力が時間経過に対して極小値を超えたと経験則等から判断し得る温度に設定され、図示例では時刻Ｔ１２にその温度に達したものとする。発振器温度が基準温度以上になった時刻Ｔ１２以降は、上述の図２又は図３と同様のレーザ発振試行を行えばよい。このようにすれば、レーザ出力が安定状態と同程度に高い場合もあり得る極低温状態ではレーザ出力に基づく準備完了判断は行われないので、準備完了状態を正確に判断することができる。この方法の利点は、極低温状態のようにレーザ発振器温度とレーザ出力との関係が複雑な関係にある場合でも、的確に準備完了又は未完了の判断ができることである。

なおレーザ発振器の温度を測定監視する代わりに、例えばレーザガス、上記熱交換器又はレーザ発振器の冷却に使用される冷却水、レーザ電源、レーザ出力測定器の温度を測定監視することによっても同様の効果が得られる。またこれら以外のレーザ装置の構成要素であっても、レーザ出力と相関の高いものやレーザ出力が時間経過に関して極小値を超えた（単調増加領域に入った）と判断し得る温度変化を呈するものであれば、温度の測定監視に使用することができる。

図２〜図４を用いてレーザ装置を低温状態又は極低温状態から起動する場合を説明したが、レーザ装置の設置環境等によっては、適正使用状態より高温である高温状態からレーザ装置を起動する場合もある。この場合について以下図５及び図６を用いて説明する。

図５は、図２と類似の考え方を利用して、高温状態からレーザ装置を起動した場合の操作例を説明するグラフである。図示例では、時刻Ｔ２１からＴ２２までの時間Ｔａの間、試行実施部２６が上述のレーザ発振試行を行う。判断部２８が後述する所定の基準を満たしたと判断するまで、反復起動部３０によって、時間Ｔｂにわたる無発振状態の後、時刻Ｔ２３からＴ２４まで２回目のレーザ発振試行、同様に時刻Ｔ２５からＴ２６まで３回目のレーザ発振試行が行われる。レーザ発振試行の間は、レーザ光はその少なくとも一部がビーム吸収装置に吸収され、レーザ加工等には使用されない。一般に、高温状態から起動した場合のレーザ出力は、時間経過とともに低下する傾向を呈する。

これら各回のレーザ発振試行の最後の瞬間（すなわち時刻Ｔ２２、Ｔ２４、Ｔ２６..）のレーザ出力Ｐ２２、Ｐ２４、Ｐ２６..を記録する。次に、連続するレーザ発振試行の最後のレーザ出力の差ΔＰ２１（＝Ｐ２２−Ｐ２４）、ΔＰ２２（＝Ｐ２４−Ｐ２６）..、ΔＰｎを求め、ΔＰｎが所定の基準値以下になったときに判断部２８がレーザ装置の準備が完了し、使用適正状態になったと判断する。一般に、レーザ発振によって暖機が進むに従ってレーザ装置は安定状態に近づいていくので、連続するレーザ発振試行のレーザ出力の差は徐々に小さくなる。従ってΔＰｎを監視することにより、レーザ出力が安定した（すなわち準備完了）状態を的確に判断することができる。なお所定の基準値は、レーザ装置の種類や用途によって異なる場合があるが、通常は経験則に基づいて定められる。

次に図６は、図５と同様に図１のレーザ装置を高温環境から起動した場合のレーザ出力と時間との関係を示すグラフであるが、レーザ出力の安定の判断について図３と類似の考え方を利用したものである。先ずレーザ発振器の温度が基準温度範囲内であるときのレーザ出力Ｐ２０を、第１基準レーザ出力として予め求めておく。なお、基準温度範囲とは、例えば経験則等から得られる安定状態の最低基準温度及び最高基準温度により定められる。次に、発振器温度が前記基準温度範囲に入っていない場合の準備完了判断基準となる第２基準レーザ出力Ｐ２０′を求める。ここで第２基準レーザ出力は、レーザ出力が定常状態には至っていないものの、その用途・目的に照らし第１基準レーザ出力と同等に扱っても差支えない出力レベルを意味し、具体的には第１基準Ｐ２０に所定の正数を加え又は所定の１より大きい正数を乗じて求められる。このようにして求めた第２基準値Ｐ２０′を、上述の各回のレーザ発振試行の最後の瞬間のレーザ出力（Ｐ２２、Ｐ２４、Ｐ２６..）が最初に下回った場合に、準備完了と判断する。図示例では、３回目のレーザ出力Ｐ２６が初めて基準値Ｐ２０′より小さくなるので、３回目のレーザ発振試行により準備完了となったと判断できる。

また高温環境からレーザ装置を起動する場合も、レーザ発振器の熱歪等によりレーザ出力と経過時間とが複雑な関係を呈する場合もあり得るが、その場合も発振器等の温度が上述の最高基準温度か、あるいはレーザ出力が時間経過に対して単調な変化領域に入ったと経験則等から判断し得る温度に設定することにより、的確な準備完了又は未完了の判断が可能となる。

本発明に係るレーザ発振装置の基本構成を示す機能ブロック図である。 本発明のレーザ装置を低温状態から起動した場合のレーザ出力と時間との関係を説明するグラフである。 図２に類似し、レーザ装置の準備完了状態を図２とは異なる考え方で判断する方法を説明するグラフである。 本発明のレーザ装置を極低温状態から起動した場合のレーザ出力と時間との関係を説明するグラフである。 本発明のレーザ装置を高温状態から起動した場合のレーザ出力と時間との関係を説明するグラフである。 図５に類似し、レーザ装置の準備完了状態を図５とは異なる考え方で判断する方法を説明するグラフである。

符号の説明

１０ レーザ装置
１２ 出力鏡
１４ リア鏡
１６ 放電管
１８ レーザ発振器
２０ ガス流路
２２ レーザ電源
２４ 制御装置
２６ 発振試行部
２８ 判断部
３０ 反復起動部
３２ 送風機
３４、３６ 熱交換器
３８ レーザ光
４０ レーザ出力測定器
４２ 発振器温度測定器
４４ ビーム吸収装置

Claims (7)

1. レーザ発振器と、該レーザ発振器に電力を供給するレーザ電源と、レーザ出力を測定するレーザ出力測定器と、レーザ光を吸収するビーム吸収装置と、レーザ出力指令を受けて前記レーザ発振器、前記レーザ電源、前記レーザ出力測定器及び前記ビーム吸収装置を制御する制御装置とを備えたレーザ装置において、
   前記制御装置は、
   レーザ発振器起動時からレーザ使用適正状態に入るまでの準備過程において、所定の時間にわたって前記レーザ発振器をレーザ発振状態とし、発振したレーザ光の少なくとも一部を前記ビーム吸収装置により吸収する状態で、レーザ発振状態でのレーザ出力を前記レーザ出力測定器によって測定するレーザ発振試行を行う試行実施部と、
   前記試行実施部によるレーザ発振試行において、前記レーザ出力測定器により測定されたレーザ出力が、レーザ装置の安定出力状態に基づいて定められる所定の基準を満たしたか否かを判断する判断部と、
   前記判断部が前記所定の基準を満たしたと判断するまで、前記試行実施部によるレーザ発振試行とレーザ無発振状態とを自動的に交互に繰り返す反復起動部とを含むことを特徴とする、
   レーザ装置。
2. 前記所定の基準は、連続する２回のレーザ発振試行におけるレーザ出力値の差が所定値以下となることである、請求項１に記載のレーザ装置。
3. 前記所定の基準は、予め定めた安定状態の基準レーザ出力値と前記レーザ発振試行におけるレーザ出力値との差が所定値以下となることである、請求項１に記載のレーザ装置。
4. レーザ発振器、励起媒体、冷却水、レーザ電源、及びレーザ出力測定器のうち少なくとも１つの温度を計測する温度測定器をさらに備え、
   前記制御装置は、前記温度測定器により測定された温度が安定出力状態に基づいて定められる所定の基準温度範囲内に入るまでは、前記反復起動部によるレーザ発振試行の繰り返しを行わずにレーザ発振試行を続行する、請求項１〜３のいずれか１項に記載のレーザ装置。
5. 前記所定の基準温度範囲は、予め定めた前記レーザ装置の安定出力状態の最低基準温度以上である、請求項４に記載のレーザ装置。
6. 前記所定の基準温度範囲は、予め定めた前記レーザ装置の安定出力状態の最高基準温度以下である、請求項４又は５に記載のレーザ装置。
7. 前記所定の基準温度範囲は、前記レーザ装置のレーザ出力が時間経過に対して単調増加又は単調減少するような温度範囲である、請求項４に記載のレーザ装置。

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