JP4829169B2 - ガスレーザ装置及びレーザガスの圧力制御方法 - Google Patents
ガスレーザ装置及びレーザガスの圧力制御方法 Download PDFInfo
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Description
12 出力鏡
14 リア鏡
16 放電管
18 レーザ発振器
20 ガス流路
22 レーザ電源
24 レーザガス供給装置
26 レーザガス排出装置
28 送風機
30、32 熱交換器
34 レーザ光
36 ガス圧測定器
38 制御装置
40 ガス圧設定部
42 ガス圧調節部
44 制御中断部
Claims (8)
- レーザガスを使用するレーザ発振器と、該レーザ発振器に電力を供給するレーザ電源と、前記レーザ発振器内のレーザガス圧力を調節するガス圧調節手段と、前記レーザ発振器内のレーザガス圧力を測定するガス圧測定器と、レーザ出力指令を受けて前記レーザ発振器、前記レーザ電源及び前記ガス圧調節手段を制御する制御装置とを備えたガスレーザ装置において、
前記制御装置は、
前記レーザ出力指令に応じて前記レーザガスの目標ガス圧を設定するとともに、前記レーザ出力指令の変更に応じて前記目標ガス圧を変更するガス圧設定部と、
前記ガス圧測定器により測定された測定ガス圧と前記目標ガス圧との関係に従って前記ガス圧調節手段を制御して前記レーザ発振器内のレーザガス圧力を調節するガス圧調節部と、を有し、
前記ガス圧設定部は、前記レーザ出力指令の変更後に、所定の移行時間に亘って目標ガス圧を徐々に変化させることを特徴とする、
ガスレーザ装置。 - 前記ガス圧設定部は、前記レーザ出力指令が変更されたときから所定の待機時間が経過するまではレーザガスの目標ガス圧を一定に保持する、請求項1に記載のガスレーザ装置。
- 前記ガス圧調節部は、前記レーザ出力指令が変更されたときから所定の移行時間が経過するまでの間と、前記目標ガス圧が一定である間とで異なるPID定数に基づいて前記ガス圧調節手段を制御する、請求項1又は2に記載のガスレーザ装置。
- レーザガスを使用するレーザ発振器と、該レーザ発振器に電力を供給するレーザ電源と、前記レーザ発振器内のレーザガス圧力を調節するガス圧調節手段と、前記レーザ発振器内のレーザガス圧力を測定するガス圧測定器と、レーザ出力指令を受けて前記レーザ発振器、前記レーザ電源及び前記ガス圧調節手段を制御する制御装置とを備えたガスレーザ装置において、
前記制御装置は、
前記レーザ出力指令に応じて前記レーザガスの目標ガス圧を設定するとともに、前記レーザ出力指令の変更に応じて前記目標ガス圧を変更するガス圧設定部と、
前記ガス圧測定器により測定された測定ガス圧と前記目標ガス圧との関係に従って前記ガス圧調節手段を制御して前記レーザ発振器内のレーザガス圧力を調節するガス圧調節部と、
前記レーザ出力指令値が変更されたときから所定の待機時間が経過するまではレーザガスの圧力制御を中断する制御中断部と、を有することを特徴とする、ガスレーザ装置。 - レーザガスを使用するレーザ発振器と、該レーザ発振器に電力を供給するレーザ電源と、前記レーザ発振器内のレーザガス圧力を調節するガス圧調節手段と、前記レーザ発振器内のレーザガス圧力を測定するガス圧測定器と、レーザ出力指令を受けて前記レーザ発振器、前記レーザ電源及び前記ガス圧調節手段を制御する制御装置とを備えたガスレーザ装置におけるレーザガスの圧力制御方法であって、
前記レーザ出力指令に応じて前記レーザガスの目標ガス圧を設定するとともに、前記レーザ出力指令の変更に応じて前記目標ガス圧を変更するステップと、
前記ガス圧測定器により測定された測定ガス圧と前記目標ガス圧との関係に従って前記ガス圧調節手段を制御して前記レーザ発振器内のレーザガス圧力を調節するステップと、
前記レーザ出力指令の変更後に、所定の移行時間に亘って目標ガス圧を徐々に変化させるステップとを含むことを特徴とする、
レーザガスの圧力制御方法。 - 前記レーザ出力指令が変更されたときから所定の待機時間が経過するまではレーザガスの目標ガス圧を一定に保持するステップをさらに含む、請求項5に記載のレーザガスの圧力制御方法。
- 前記ガス圧調節手段を、前記レーザ出力指令が変更されたときから所定の移行時間が経過するまでの間と、前記目標ガス圧が一定である間とで異なるPID定数に基づいて制御するステップをさらに含む、請求項5又は6に記載のレーザガスの圧力制御方法。
- レーザガスを使用するレーザ発振器と、該レーザ発振器に電力を供給するレーザ電源と、前記レーザ発振器内のレーザガス圧力を調節するガス圧調節手段と、前記レーザ発振器内のレーザガス圧力を測定するガス圧測定器と、レーザ出力指令を受けて前記レーザ発振器、前記レーザ電源及び前記ガス圧調節手段を制御する制御装置とを備えたガスレーザ装置におけるレーザガスの圧力制御方法であって、
前記レーザ出力指令に応じて前記レーザガスの目標ガス圧を設定するとともに、前記レーザ出力指令の変更に応じて前記目標ガス圧を変更するステップと、
前記ガス圧測定器により測定された測定ガス圧と前記目標ガス圧との関係に従って前記ガス圧調節手段を制御して前記レーザ発振器内のレーザガス圧力を調節するステップと、
前記レーザ出力指令値が変更されたときから所定の待機時間が経過するまではレーザガスの圧力制御を中断するステップとを含むことを特徴とする、
レーザガスの圧力制御方法。
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JP2007107562A JP4829169B2 (ja) | 2007-04-16 | 2007-04-16 | ガスレーザ装置及びレーザガスの圧力制御方法 |
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