JP4407389B2 - 冷凍装置 - Google Patents
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Description
図1に示すように、本発明の実施形態に係る冷凍装置(10)は、蒸発器(40)によって熱媒体の冷却を行い、この熱媒体を冷却対象に供給することで、冷却対象の温度を一定に制御するものである。なお、本実施形態の冷凍装置(10)は、冷却対象としての半導体製造装置へ熱媒体を供給している。
次に、本発明の実施形態に係る冷凍装置(10)の運転動作について説明する。冷媒回路(20)では、圧縮機(21)の運転により冷媒が循環することで冷凍サイクルが行われる。具体的に、圧縮機(21)から吐出された冷媒は、凝縮器(22)で放熱して凝縮する。続いて、冷媒は、膨張弁(23)で減圧され、その後に蒸発器(40)で吸熱して蒸発する。蒸発器(40)で蒸発した冷媒は、圧縮機(21)へ吸入されて圧縮される。
(10) 冷凍装置
(20) 冷媒回路
(23) 膨張弁
(30) 熱媒体循環路
(30a) 供給側通路
(30b) 戻り側通路
(40) 蒸発器
(45) 戻り温度センサ(第1温度検出手段)
(46) 出口温度センサ(第2温度検出手段)
(51) 開度決定部(開度決定手段)
(52) 開度補正部(開度補正手段)
(53) 制御部(制御手段)
Claims (1)
- 冷媒を循環させて冷凍サイクルを行う冷媒回路(20)と、
上記冷媒回路(20)の蒸発器(40)から冷却対象へ熱媒体を送る供給側通路(30a)と、該冷却対象から蒸発器(40)へ熱媒体を送る戻り側通路(30b)とで構成された熱媒体循環路(30)とを備え、
上記冷却対象へ供給される熱媒体が予め設定された設定温度となるように該熱媒体を温度調節する冷凍装置であって、
上記戻り側通路(30b)を流れる熱媒体の温度を検出する第1温度検出手段(45)と、
上記供給側通路(30a)を流れる熱媒体の温度を検出する第2温度検出手段(46)と、
上記冷媒回路(20)に設けられた膨張弁(23)の開度の設定値を、上記第1温度検出手段(45)の検出値と上記設定温度との温度差に基づいて決定する開度決定手段(51)と、
上記開度決定手段(51)により決定された上記膨張弁(23)の開度の設定値を、上記第2温度検出手段(46)の検出値と上記設定温度との温度差に基づいて補正する開度補正手段(52)と、
上記膨張弁(23)の開度を上記開度補正手段(52)によって補正された設定値に設定する制御手段(53)とを備え、
上記第1温度検出手段(45)を構成する第1温度センサは、上記第2温度検出手段(46)を構成する第2温度センサよりも低精度である冷凍装置。
Priority Applications (1)
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KR20170005103A (ko) * | 2014-07-30 | 2017-01-11 | 미츠비시 쥬코 서멀 시스템즈 가부시키가이샤 | 터보 냉동기 및 그 제어 장치와 그 제어 방법 |
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KR20170005103A (ko) * | 2014-07-30 | 2017-01-11 | 미츠비시 쥬코 서멀 시스템즈 가부시키가이샤 | 터보 냉동기 및 그 제어 장치와 그 제어 방법 |
KR101867207B1 (ko) * | 2014-07-30 | 2018-06-12 | 미츠비시 쥬코 서멀 시스템즈 가부시키가이샤 | 터보 냉동기 및 그 제어 장치와 그 제어 방법 |
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JP2005345026A (ja) | 2005-12-15 |
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