JP2008258461A - 反射型縮小投影光学系、露光装置及びデバイスの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】高NAで、部材の配置スペースを確保でき、優れた像性能を有する8枚以上の反射面を有する投影光学系を提供する。
【解決手段】投影光学系は、物体面MS上のパターンを像面W上に縮小投影する。該投影光学系は、物体面からの光を順に反射する、凹面形状の第1反射面M1、凸面形状の第2反射面M2、凹面形状の第3反射面M3、第4反射面M4、第5反射面M5、第6反射面M6、第7反射面M7、及び第8反射面M8を有する。第1反射面と第2反射面との間の光路上に開口絞りASが配置され、さらに第4反射面と第5反射面との間の光路上に中間像IMが形成される。
【選択図】図1
【解決手段】投影光学系は、物体面MS上のパターンを像面W上に縮小投影する。該投影光学系は、物体面からの光を順に反射する、凹面形状の第1反射面M1、凸面形状の第2反射面M2、凹面形状の第3反射面M3、第4反射面M4、第5反射面M5、第6反射面M6、第7反射面M7、及び第8反射面M8を有する。第1反射面と第2反射面との間の光路上に開口絞りASが配置され、さらに第4反射面と第5反射面との間の光路上に中間像IMが形成される。
【選択図】図1
Description
本発明は、露光装置に用いられる投影光学系に関し、特に紫外線や極端紫外線光を利用して半導体ウェハ用の単結晶基板、液晶ディスプレイ(LCD)用のガラス基板などの被処理体を投影露光する反射型縮小投影光学系に関する。
近年の電子機器の小型化及び薄型化の要請から、電子機器に搭載される半導体素子の微細化への要求はますます高くなっている。例えば、マスクパターンに対するデザインルールはライン・アンド・スペース(L&S)0.1μm以下の寸法像を広範囲に形成することが要求されている。L&Sは、露光においてラインとスペースの幅が等しい状態でウェハ上に投影された像であり、露光の解像度を示す尺度である。
半導体製造用の代表的な露光装置である投影露光装置は、マスク又はレチクル(なお、本出願ではこれらの用語を交換可能に使用する)上に描画されたパターンをウェハに投影露光する投影光学系を備えている。投影露光装置の解像度(正確に転写できる最小寸法)Rは、光源の波長λと投影光学系の開口数(NA)を用いて次式で与えられる。
R=k1×λ/NA
したがって、波長を短くすればするほど、及び、NAを上げれば上げるほど、解像度は良くなる。近年では、解像度はより小さい値を要求されNAを上げるだけではこの要求を満足するには限界となっており、短波長化により解像度の向上を見込んでいる。現在では、露光光源は、KrFエキシマレーザー(波長約248nm)及びArFエキシマレーザー(波長約193nm)に移行しており、更には、EUV(extreme ultraviolet)光の実用化も進んでいる。
したがって、波長を短くすればするほど、及び、NAを上げれば上げるほど、解像度は良くなる。近年では、解像度はより小さい値を要求されNAを上げるだけではこの要求を満足するには限界となっており、短波長化により解像度の向上を見込んでいる。現在では、露光光源は、KrFエキシマレーザー(波長約248nm)及びArFエキシマレーザー(波長約193nm)に移行しており、更には、EUV(extreme ultraviolet)光の実用化も進んでいる。
しかし、光の短波長化が進むと光が透過する硝材が限られてしまうために屈折素子、即ち、レンズを多用することは難しく、投影光学系に反射素子、即ち、ミラーを含めることが有利になる。更に、露光光がEUV光になると使用できる硝材は存在しなくなり、投影光学系にレンズを含めることは不可能となる。そこで、投影光学系をミラー(例えば、多層膜ミラー)のみで構成する反射型投影光学系が提案されている。
反射型投影光学系においては、ミラーにおける反射率を高めるために多層膜が形成されているが、光学系全体での反射率を高めるためにできるだけ少ないミラー枚数で構成することが望ましい。また、マスクとウェハの機械的な干渉を防止するため、マスクとウェハが瞳を介して反対側に位置するよう投影光学系を構成するミラーの枚数は偶数枚であることが望ましい。
更に、EUV露光装置に要求される線幅(解像度)が従来の値より小さくなってきており、NAをあげる必要があるが(例えば、波長13.5nmにおいてNA0.3)、従来の4、6枚のミラーでは、波面収差を減らすことが困難である。そこで、波面収差補正の自由度を増やすためにもミラーの数を8枚程度にする必要が生じてきた(以下、本出願では、かかる光学系を8枚ミラー系と表現する場合もある)。この種の8枚ミラー系は、特許文献1〜3等にて開示されている。
特許文献1には、実施例として3つのEUV光用の8枚の反射鏡からなる典型的な投影光学系が示されている。該投影光学系では、物体からの入射光を受け、凹面形状の第1反射面(M1)、凹面形状の第2反射面(M2)、凸面形状の第3反射面(M3)及び凹面形状の第4反射面(M4)からなる4枚の反射鏡で中間像を形成する。さらに、第5反射面(M5)、凹面形状の第6反射面(M6)、凸面形状の第7反射面(M7)及び凹面形状の第8反射面(M8)を介して像面上に光を再結像させる。特許文献1にて開示された3つの実施例の投影光学系では、第1反射面(M1)と第2反射面(M2)との間の光路上に開口絞りが配置されている。
また、特許文献2には、実施例として3つのEUV光用の8枚の反射鏡からなる典型的な投影光学系が示されている。該投影光学系では、物体面からの入射光を受け、凹面形状の第1反射面(M1)、凸面形状の第2反射面(M2)、凹面形状の第3反射面(M3)及び凹面形状の第4反射面(M4)からなる4枚の反射鏡で中間像を形成する。さらに、凹面形状の第5反射面(M5)、第6反射面(M6)、凸面形状の第7反射面(M7)、及び凹面形状の第8反射面(M8)を介して像面上に光を再結像させる。特許文献2にて開示された3つの実施例の投影光学系では、第2反射面(M2)上に開口絞りが配置されている。
また、特許文献3には、実施例として1つのEUV光用の8枚の反射鏡からなる典型的な投影光学系が示されている。該投影光学系では、物体面からの入射光を受け、凹面形状の第1反射面(M1)、凸面形状の第2反射面(M2)、凸面形状の第3反射面(M3)、凹面形状の第4反射面(M4)及び凹面形状の第5反射面(M5)からなる5枚の反射鏡で中間像を形成する。さらに、凸面形状の第6反射面(M6)、凸面形状の第7反射面(M7)及び凹面形状の第8反射面(M8)を介して像面上に光を再結像させる。この実施例では、第1反射面(M1)と第2反射面(M2)との間の光路上に開口絞りが配置されている。
その他、8枚ミラーからなる投影系光学系は、特許文献4〜8にて開示されている。
特開2005−189248号公報
特開2005−315918号公報
米国特許第5868728号明細書
特開2002−139672号公報
特開2005−189247号公報
特開2005−258457号公報
特開2002−116382号公報
電子回路の微細化に伴い、例えばNA0.3以上という高いNAを持つ投影光学系が必要とされており、収差補正のための設計自由度の要請から、反射面の枚数は従来の6枚から8枚へと増加している。このため、光路が混み合うように配置される。さらに、高NA化に応じて、光束径が太くなるため、各反射面の有効径(光学有効部)のサイズも増大する。
以上の理由から、反射面、その保持機構及び冷却機構等を含む部材の配置スペースの確保が困難になってきている。さらに、配置スペースを確保することが、大きな設計制約となり、収差補正を困難にする。
特許文献1にて開示された投影光学系では、第2反射面M2が凹面であるため、部材の配置が困難になってしまう。それは次の理由からである。第2反射面M2が凹面であるため、ペッツバール和を0に近づけて像面湾曲を抑えるためには、凹面である第1反射面M1の曲率半径を大きく(すなわち、屈折力を小さく)する必要がある。そのため、第1反射面M1から射出される光束径が増大する。したがって、第2反射面M2の光学有効部サイズが増大すると共に、第2反射面M2と物体面との間の距離も短くなり、第2反射面M2近辺での部材の配置スペースを確保することが困難である。
また、特許文献2にて記載されている投影光学系では、第2反射面M2の光学有効部サイズが大きいこと及び開口絞りと第2反射面M2とが一致していることにより、第2反射面M2付近での部材の配置が困難である。第1及び第2反射面M1,M2の屈折力は弱く、第1反射面M1に入射する光束を太いまま第2反射面M2以降の反射面に入射させており、それ故第2反射面M2の光学有効部サイズが増大する。
また、優れた像性能を確保するためには、一般に、物体側テレセントリック度を低減する必要がある。この場合、物体面から第1反射面M1へと入射する光束は、開口絞りのすぐ横を通る構成となる。そして、開口絞りと第2反射面M2とが一致している場合には、第2反射面M2のすぐ横を光束が通ることになる。以上の理由から、第2反射面M2を含む部材を配置するためのスペースが確保できなくなる。
また、特許文献3にて開示された投影光学系では、第3反射面を凸面形状とし、光束を光軸から離れた方向へ導くことで、第2反射面M2や第3反射面M3の周辺部に空間的なゆとりを確保している。しかしながら、第3反射面が凸面であるために、収差補正上の問題を有する。この構成では、凸面である第2反射面M2への光線の入射角度が大きく、正の非点収差が生じやすい。また、第3反射面M3が凸面である場合は、さらに正の非点収差が増加すると共に、収差補正のために第4反射面M4で負の非点収差を生じさせる必要がある。このため、第4反射面M4の屈折力が大きくなる。一方、第4反射面M4では、ディストーション等の画角性の収差も補正しており、非点収差の補正とディストーションの補正の両立が困難となる。このため、ディストーションの悪化を招きやすく、露光領域のサイズを広げられない等の問題が生じる。
本発明は、高NAで、部材の配置スペースを確保でき、優れた像性能を有する8枚以上の反射面を有する投影光学系を提供する。
本発明の一側面としての投影光学系は、物体面上のパターンを像面上に縮小投影する。該投影光学系は、物体面からの光を順に反射する、凹面形状の第1反射面、凸面形状の第2反射面、凹面形状の第3反射面、第4反射面、第5反射面、第6反射面、第7反射面、及び第8反射面を有する。そして、第1反射面と第2反射面との間の光路上に開口絞りが配置され、さらに第4反射面と第5反射面との間の光路上に中間像が形成されることを特徴とする。
なお、光源からの光を用いて物体面上のパターンを照明する照明光学系と、該物体面上のパターンを像面上に縮小投影する上記投影光学系とを有する露光装置も本発明の他の側面を構成する。
また、上記露光装置を用いて被処理体を露光するステップと、露光された被処理体に対してデバイスを製造するためのプロセスを行うステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法も本発明の他の側面を構成する。
本発明によれば、高NA化によって光束径が太くなり、各反射面の有効径サイズが増大しても、反射面及びその保持機構や冷却機構等の部材を配置するためのスペースを十分に確保できる。この結果、設計上の制約が少なくなり、収差補正を良好に行うことができる。したがって、8枚以上の反射面を備え、高NAで、優れた像性能を有する投影光学系を実現することができる。
以下、本発明の好ましい実施例について図面を参照しながら説明する。
まず、本発明の各実施例に共通する基本的事項について説明する。
図1〜図3には、本発明の実施例である反射型縮小投影光学系とその光路を示す断面を示している。
該反射縮小投影光学系は、物体面MS(例えば、マスク面)上のパターンを像面W(例えば、基板などの被処理体の面)上に縮小投影し、特に、EUV光(波長:10〜15nm、より好ましくは13.4〜13.5nm)に好適な光学系である。
この反射縮小投影光学系は、8枚の反射鏡(以下、反射面又はミラーともいう)を有する。具体的には、物体面MS側から光を反射する順番に、第1の反射鏡M1(凹面)と、第2の反射鏡M2(凸面)と、第3の反射鏡M3(凹面)と、第4の反射鏡M4(凹面)とを有する。また、第5の反射鏡M5(凹面)と、第6の反射鏡M6(凸面)と、第7の反射鏡M7(凸面)と、第8の反射鏡M8(凹面)とを有する。
第1反射面M1と第2反射面M2との間の光路上には、開口絞りASが配置されている。この開口絞りASは、第1反射面M1とも第2反射面M2とも異なる位置に配置されている。第1反射面M1と第2反射面M2との光軸上における距離をL12とするとき、(光軸上における)第2反射面M2から絞りまでの距離がL12/15以上L12/2以下となるように構成する。第2反射面M2から絞りまでの距離は、好ましくはL12/8以上L12/3以下とすることが望ましい。
また、第4反射面M4と第5反射面M5との間の光路上に中間像IMを形成する。
前述した通り、電子回路の微細化に伴い、高い投影系NAが必要とされており(例えばNA0.3以上)、収差補正のための設計自由度の要請から、ミラー枚数は従来の6枚から8枚へと増加し、光路が混み合う。さらに、高NA化に応じて光束径が太くなるために、各反射面の有効径サイズも増大する。以上の理由から、部材(反射面、保持機構及び冷却機構等)を配置するためのスペースが確保しにくくなる。また、部材配置スペースを確保することが大きな設計制約となり、収差補正が困難となる。特に光強度の大きな反射面M1,M2,M3,M4では、冷却機構が必須となり、その冷却機構の配置スペースを確保することが重要な課題である。
このため、本発明の実施例では、後述する理由に基づき、第1反射面M1を凹面形状、第2反射面M2を凸面形状とし、かつ開口絞りASを第1反射面M1〜第2反射面M2間の光路上に配置する。さらにこの場合、優れた像性能を実現するために、第3反射面M3を凹面形状とする。
物体面MSからの太い光束は、第1反射面M1の凹面によって適度に収束させて第2反射面M2に入射させる。さらにその収束光束を、第2反射面M2の凸面によってほぼ平行な光束としてそれ以降の反射面へと導く。
このような構成により、第2、第3及び第4反射面M2,M3,M4の光学有効部のサイズを適度に縮小することができ、この結果、部材配置のための空間を確保することができる。
さらにこれをより効果的に実現するための1つの方法として、下記条件(1),(2)の少なくとも一方を満足するとよい。第1反射面M1と該第1反射面M1により形成される物体面上パターンの実像との光軸上距離の絶対値をLa、第1反射面M1と第2反射面M2間の面頂点距離の絶対値をLbとし、第2反射面M2の焦点距離の絶対値をf2とする。
−0.3<{La−(Lb+f2)}/La<0.3 …(1)
上記条件(1)の下限値を下回ると、第2反射面M2から過度に発散した光束が射出され、第3及び第4反射面M3,M4での光学有効部のサイズが増加して、部材配置が困難となる可能性が生じる。また、上限値を上回ると、第2反射面M2から過度に収束した光束が射出され、第3及び第4反射面M3,M4の近辺で光束が集光するために、反射面上のゴミの像が転写されてしまう等の問題が生じる可能性が出てくる。尚、ここで、Laを定義する際に「実像」と言う言葉を用いているが、この実像は実際に像を結ぶ必要は無い。具体的には、第2反射面以降のミラーやその他光学的パワーを持つ光学素子が無く、第1反射面M1の光学的パワーのみでパターンの実像を結ぶ場合の実像のことである。
上記条件(1)の下限値を下回ると、第2反射面M2から過度に発散した光束が射出され、第3及び第4反射面M3,M4での光学有効部のサイズが増加して、部材配置が困難となる可能性が生じる。また、上限値を上回ると、第2反射面M2から過度に収束した光束が射出され、第3及び第4反射面M3,M4の近辺で光束が集光するために、反射面上のゴミの像が転写されてしまう等の問題が生じる可能性が出てくる。尚、ここで、Laを定義する際に「実像」と言う言葉を用いているが、この実像は実際に像を結ぶ必要は無い。具体的には、第2反射面以降のミラーやその他光学的パワーを持つ光学素子が無く、第1反射面M1の光学的パワーのみでパターンの実像を結ぶ場合の実像のことである。
0.4<Lb/La< 0.6 …(2)
上記条件(2)の下限値を下回ると、第2反射面M2に入射する光束径が増大し、第2反射面M2の近辺での部材配置が困難になる可能性が生じる。また、上限値を上回ると、第2反射面M2上に光束が過度に集光し、第2反射面M2面上のゴミの像が転写されてしまう等の問題が生じる可能性が出てくる。
上記条件(2)の下限値を下回ると、第2反射面M2に入射する光束径が増大し、第2反射面M2の近辺での部材配置が困難になる可能性が生じる。また、上限値を上回ると、第2反射面M2上に光束が過度に集光し、第2反射面M2面上のゴミの像が転写されてしまう等の問題が生じる可能性が出てくる。
また、一般に、優れた像性能を確保するために、物体側テレセントリック度を低減する必要がある。この場合、物体面から第1反射面M1へと入射する光束は、開口絞りのすぐ横を通る構成となる。また、一般に、ミラーには高い精度が必要とされ、保持部材等、多くの付属部材のスペースが必要であるが、その一方で、開口絞りには高い精度は要求されず、付属部材の配置スペースも小さくてもよい。開口絞りと第2反射面M2とを一致させた場合には、第2反射面M2の近傍を光束が通るため、部材配置のための空間が確保できない問題が生じる。
これに対し、本発明の実施例では、開口絞りASを第2反射面M2から離れた場所、具体的には、第1反射面M1と第2反射面M2との間の光路上に配置することで、第2反射面M2付近での部材配置のための空間を確保することができる。
さらに、上述した構成を採用する場合に、第2反射面M2の凸面に対する光線の入射角度が増大する傾向があり、これにより負の非点収差が発生する可能性がある。このため、該非点収差を補正するために、第3反射面M3を凹面形状とし、正の非点収差を発生させることで負の非点収差を打ち消す必要がある。また、第3反射面M3を凹面形状とすると、第4反射面M4上での光束の広がりを抑えることができ、光束の最大有効径の低減や部材配置空間の確保が容易となる。
このため、下記の条件(3)を満足するとなおよい。ここで、投影光学系の光軸上での全長をTTとし、第3反射面M3の焦点距離の絶対値をf3とする。
0.2<f3/TT<0.7 …(3)
上記条件(3)の範囲を外れると、第2反射面M2で発生する非点収差を補正できずに高NAを実現できない可能性が生じる。特に、下限値を下回ると、第4反射面M4上に過度に光束が集光し、ゴミの像が転写されてしまう問題が生じる可能性が出てくる。また、上限値を上回ると、第4反射面M4上での光束が過度に広がり、光束の最大有効径の増大や部材配置の空間確保が困難となるという問題が生じる可能性が出てくる。
上記条件(3)の範囲を外れると、第2反射面M2で発生する非点収差を補正できずに高NAを実現できない可能性が生じる。特に、下限値を下回ると、第4反射面M4上に過度に光束が集光し、ゴミの像が転写されてしまう問題が生じる可能性が出てくる。また、上限値を上回ると、第4反射面M4上での光束が過度に広がり、光束の最大有効径の増大や部材配置の空間確保が困難となるという問題が生じる可能性が出てくる。
ここで、開口絞りASが、第1反射面M1と第2反射面M2との間の光路上に配置されている場合においては以下の条件を満足するとよりよい。すなわち、第1反射面M1と第2反射面M2との間の光路長をLstとするとき、開口絞りASが第1及び第2反射面M1,M2のそれぞれから、Lst/10以上離れているとよりよい。特に、開口絞りASが第1及び第2反射面M1,M2のそれぞれから、Lst/5以上離れているとさらに好ましい。
このような構成を採用することで、第2反射面M2と、物体面MSから第1反射面M1へと入射する光束との間により十分な部材配置のためのスペースを確保できる。さらに、開口絞りASを、光路に沿った距離において、8つの反射面M1〜M8のうち第2反射面M2に最も近くなるように配置すると、なおよい。
そして、前述したように、第4反射面M4と第5反射面M5との間の光路上に中間像IMを形成することにより、光学有効部サイズの大きな第8反射面M8付近での光束径を細く絞ることが可能となる。このため、部材配置のための空間をより容易に確保することができる。
ここで、第1〜第8反射面M1〜M8は、それぞれの曲率中心が光軸AX上に並ぶ8つの反射面を含む。ここで言う曲率中心とは、反射面が球面の場合はその球面の曲率中心を意味するが、反射面が非球面である場合は、その非球面の非球面成分を除去して求められる球面の曲率中心を意味する。換言すると、反射面の回転中心の軸近傍の曲率に基づいた曲率中心を意味する。なお、回転中心の軸とは、反射面が球面の場合はこの球面の中心を通るすべての直線が回転中心の軸となり、その軸のいずれを意味してもよい。また、反射面が非球面の場合は、反射面を含む回転対称な非球面の回転中心の軸を意味する。さらに、ここに言う球面、非球面は完全な球面や非球面である場合だけでなく、球面や非球面とみなせる程度にわずかにそれらから外れている場合も含む。
上記のように8つの反射面が基本的に1本の光軸AXの回りに軸対称な共軸光学系となっていることで、光軸を中心とした狭いリング状の領域でのみ収差を補正すればよいというメリットがある。ただし、収差補正上又は収差調整上、この反射型縮小投影光学系を構成する8枚の反射面が完全な共軸系になるように配置される必要はなく、若干の偏芯を設けて収差や配置上の自由度を向上させる手法を採ってもよい。
また、物体面MSから第1反射面M1に入射する光線は非テレセントリックであって、かつ像側の射出光線はテレセントリックであるとよい。これは、図外に設けられる照明光学系によって物体面MSに配置されたレチクルを照明し、その像を像面(W)に配置されたウェハ上に結像するため、物体側はある入射角を持っていることが必須となるためである。一方、像側については、像面(W)に配置されるウェハが光軸方向に移動して場合でも倍率の変化が少なくなるように、テレセントリックにすることが望ましいためである。
また、NAを大きくし、バックフォーカスを保って結像させるためには、第7反射面M7を凸面とし、第8反射面M8を凹面とするのが好ましい。
また、第4反射面M4については、光学有効部サイズの大きな第8反射面M8を避けて第5反射面M5以降へと光束を導くと共に、光学有効部サイズを縮小するために第5反射面M5の配置位置を光軸に近づける必要がある。そのため、第4反射面M4は、凹面形状とするのがよい。
さらに、第5反射面M5は、光軸近傍に配置される第7及び第8反射面M7,M8へと光束を導くために、凹面形状とするのがよい。
また、上記8つの反射面の曲率半径をr1〜r8とした場合、下記の式(4),(5)で示したようなペッツバール項の和がゼロかほぼゼロになることが必要である。
また、実施例の反射型縮小投影光学系は、8つの反射面M1〜M8で構成されているが、少なくとも1枚以上が非球面であればよい。非球面の形状は、下記の式(6)に示した一般的な式で表される。ただし、収差補正の観点から考えると、できるだけ非球面の数が多い方がよく、8枚の反射面M1〜M8のすべてが非球面であれば、より好ましい。
式(6)において、Zは光軸方向の座標、cは曲率(曲率半径rの逆数)、hは光軸からの高さである。kは円錐係数、A,B,C,D,E,F,G,H,J,…はそれぞれ、4次,6次,8次,10次,12次,14次,16次,18次,20次,…の非球面係数である。
本実施例の投影光学系で用いる光は、波長が10nm以上20nm以下のEUV光である。さらに好ましくは、波長13nm以上14nm以下のEUV光であるとよい。
また、8枚の反射面M1〜M8のうち少なくとも1枚の反射面には、EUV光を反射させる多層膜が形成されている。これによって、光を強め合う作用を利用する。20nm以下のEUV光を反射するために可能な多層膜は、例えば、モリブデン(Mo)とシリコン(Si)を交互に積層したMo/Si多層膜や、モリブデン(Mo)とベリリウム(Be)を交互に積層したMo/Be多層膜などがある。ただし、本発明の実施例における多層膜は、これらの材料に限られず、使用波長に対して上記と同様の効果を持つ材料を適宜選択すればよい。
さらに、多層膜の特性から、光線入射角度が大きい場合は、反射率が低下して正常な像を形成できない問題が生じる。逆に、光線入射角度が小さすぎる場合には、光束が反射面によってけられて、物体面から像面へと光束を導くことが困難になる。このため、各反射面の光線入射点での面法線に対する光線入射角度の最大値θ[度]は、次の条件(7)を満たすとよい。すなわち、θは45度以下であるとよい。
θ≦45度 …(7)
さらに、8つの反射面M1〜M8は、物体面から像面の間に配置されることが好ましい。つまり、8つの反射面が、物体面もしくはこの物体面を含む物体側平面と像面もしくは像面を含む像側平面との間に配置されることが好ましい。
さらに、8つの反射面M1〜M8は、物体面から像面の間に配置されることが好ましい。つまり、8つの反射面が、物体面もしくはこの物体面を含む物体側平面と像面もしくは像面を含む像側平面との間に配置されることが好ましい。
また、反射型投影光学系の光学パワーを有する光学素子がすべて、物体面から像面の間に配置されていることがより好ましい。これにより、レチクルステージ及びウェハステージ等の部材配置が容易になるというメリットが生じる。
また、8つの反射面M1〜M8の面頂点が、光軸AXに沿って物体面側から像面側に向かって、M4,M2,M3,M1,M8,M6,M5,M7の順に配置されるとよい。これにより、より部材配置の容易な構成を実現することができる。
なお、前述した条件(1)以降の諸条件(条件(1)を含む)は、第4反射面M4と第5反射面M5との間の光路上に中間像を形成することを除いて、満足することがより好ましい条件であって、必ず満足しなければならない条件ではない。
また、ここまでの説明及び後述する実施例1〜3では、8つの反射面を有する投影光学系について述べるが、本発明は、8面以上の反射面を有する投影光学系として実施することができる。
以上のような本発明の実施例としての反射型縮小投影光学系は、以下のような露光装置に搭載される。露光装置は、光源からの光を用いて物体面上のパターンを照明する照明光学系と、物体面上のパターンを像面上に縮小投影する上記投影光学系とを有する。露光装置は、物体面上に反射型マスクを配置したり、物体面をEUV光で照明した状態でマスクステージ及びウエハステージを同期して走査したりする走査型露光装置としても構成することができる。
次に、図1に示した本発明の実施例1である反射型縮小投影光学系についてより詳しく説明する。
本実施例の反射型縮小投影光学系は、8つの反射面M1〜M8を有する。すなわち、物体面MS側から光が通過する順番に、第1反射面M1(凹面)と、開口絞りASと、第2反射面M2(凸面)と、第3反射面M3(凹面)と、第4反射面M4(凹面)と、第5反射面M5(凹面)とを有する。さらに、第6反射面M6(凸面)と、第7の反射面M7(凸面)と、第8反射面M8(凹面)とを有する。
第4反射面M4と第5反射面M5との間の光路上に中間像IMを形成し、この中間像IMを残りの反射面で像面(W)上に再結像させる。
実際には、MSは物体面位置に配置された反射型マスクを、Wは像面位置に置かれたウェハを示す。照明光学系によって照明された反射型マスクを、本実施例の反射型縮小投影光学系によって像面位置に配置されたウェハ上に縮小投影する。
表1に、実施例1に対応した数値例1を示している。数値例1において、光軸上における物体面と像面との距離を全長と称し、この全長は、約1089.84mmである。
また、像側の開口数であるNAは0.35であり、倍率は1/4倍、物体高は122.5〜130.5mm(像側で幅2mmの円弧形状視野)である。波面収差のRMSは、20.5mλ、スタティックディストーションは、レンジで1.7nmである。
前述したように、本実施例の投影光学系では、第1反射面M1の凹面で物体面からの太い光束を絞って第2反射面M2へ入射させ、さらに第2反射面M2の凸面によって細く絞られた光束をほぼ平行光束として第3及び第4反射面M3,M4へと導く。このため、各反射面の光学有効部のサイズを低減でき、部材配置のための十分なスペースを確保することができる。
また、式(1)において、La=510.7mm、Lb=235.8mm、f2=195.9mmである。このため、{La−(Lb+f2)}/La=0.15であり、第2反射面M2からはほぼ平行な光束が射出されている。さらに、式(2)の数値Lb/La=0.46であり、第2反射面M2上での光束広がりは適度に絞られている。
さらに、開口絞りASを第1反射面M1と第2反射面M2との間に配置しているため、物体側テレセントリック度が約100mradと小さいながらも、物体面から第1反射面M1へと入射する光束が第2反射面M2によってけられることを防いでいる。これにより、第2反射面M2付近に、部材配置のためのスペースを確保することができる。
また、式(3)において、f3/TT=0.60である。これにより、第3反射面M3に適度な正のパワーを持たせることで、第2反射面M2の凸面で発生する非点収差を良好に補正することができる。
ここで、本実施例では、開口絞りASは、第1及び第2反射面M1,M2いずれのからもLst/10以上、さらにはLst/5以上離れて配置されている。これにより、第2反射面M2の近傍の部材配置スペースをより多く確保することができる。
また、第3反射面M3を凹面として、第2反射面M2からの入射光束をさらに絞ることで、第4反射面M4の光線入射領域、つまりは光学有効部のサイズを縮小し、加工や計測を容易にすることができる。また、これとともに、部材配置のためのスペースをより多く確保することができる。
また、光学有効部のサイズを抑えるために、第5反射面M5をできるだけ光軸AXに近い位置に配置している。
第4反射面M4は、有効径の大きな第8反射面M8を避けて第5反射面M5へと光束を導くために、凹面形状としている。また、第4反射面M4からの入射光束を光軸近傍へ配置された第7及び第8反射面M7,M8へと導くために、第5反射面M5は凹面形状とし、第6反射面M6は凸面形状としている。
また、中間像IMを、第4及び第5反射面M4,M5間の光路上に形成することで、有効径の大きな第8反射面M8でのけられを回避し、より多くの部材配置のためのスペースを確保することができる。
さらに、本実施例の各反射面には、EUV光を反射するための多層膜が形成されている。この多層膜の特性に対して所要の反射率を確保するために、本実施例では、式(7)のθを、0.35という高NAながらも約30度に抑えている。
次に、図2に示した本発明の実施例1である反射型縮小投影光学系についてより詳しく説明する。
本実施例の反射型縮小投影光学系は、8つの反射面M1〜M8を有する。すなわち、物体面MS側から光が通過する順番に、第1反射面M1(凹面)と、開口絞りASと、第2反射面M2(凸面)と、第3反射面M3(凹面)と、第4反射面M4(凹面)と、第5反射面M5(凹面)とを有する。さらに、第6反射面M6(凸面)と、第7の反射面M7(凸面)と、第8反射面M8(凹面)とを有する。
第4反射面M4と第5反射面M5との間の光路上に中間像IMを形成し、この中間像IMを残りの反射面で像面(W)上に再結像させる。
実際には、MSは物体面位置に配置された反射型マスクを、Wは像面位置に置かれたウェハを示す。照明光学系によって照明された反射型マスクを、本実施例の反射型縮小投影光学系によって像面位置に配置されたウェハ上に縮小投影する。
表2に、実施例2に対応した数値例2を示している。数値例2において、光軸上における物体面と像面との距離を全長と称し、この全長は、約1079.6mmである。
また、像側の開口数であるNAは0.4であり、倍率は1/4倍、物体高は122.5〜130.5mm(像側で幅2mmの円弧形状視野)である。波面収差のRMSは、38.9mλ、スタティックディストーションは、レンジで5.7nmである。
前述したように、本実施例の投影光学系では、第1反射面M1の凹面で物体面からの太い光束を絞って第2反射面M2へ入射させ、さらに第2反射面M2の凸面によって細く絞られた光束をほぼ平行光束として第3及び第4反射面M3,M4へと導く。このため、各反射面の光学有効部のサイズを低減でき、部材配置のための十分なスペースを確保することができる。
また、式(1)において、La=486.1mm、Lb=213.3mm、f2=138.6mmである。このため、{La−(Lb+f2)}/La=0.28であり、第2反射面M2からはほぼ平行な光束が射出されている。さらに、式(2)の数値Lb/La=0.44であり、第2反射面M2上での光束広がりは適度に絞られている。
さらに、開口絞りASを第1反射面M1と第2反射面M2との間に配置しているため、物体側テレセントリック度が約100mradと小さいながらも、物体面から第1反射面M1へと入射する光束が第2反射面M2によってけられることを防いでいる。これにより、第2反射面M2付近に、部材配置のためのスペースを確保することができる。
また、式(3)において、f3/TT=0.30である。これにより、第3反射面M3に適度な正のパワーを持たせることで、第2反射面M2の凸面で発生する非点収差を良好に補正することができる。
ここで、本実施例では、開口絞りASは、第1及び第2反射面M1,M2いずれのからもLst/10以上、さらにはLst/5以上離れて配置されている。これにより、第2反射面M2の近傍の部材配置スペースをより多く確保することができる。
また、第3反射面M3を凹面として、第2反射面M2からの入射光束をさらに絞ることで、第4反射面M4の光線入射領域、つまりは光学有効部のサイズを縮小し、加工や計測を容易にすることができる。また、これとともに、部材配置のためのスペースをより多く確保することができる。
また、光学有効部のサイズを抑えるために、第5反射面M5をできるだけ光軸AXに近い位置に配置している。
第4反射面M4は、有効径の大きな第8反射面M8を避けて第5反射面M5へと光束を導くために、凹面形状としている。また、第4反射面M4からの入射光束を光軸近傍へ配置された第7及び第8反射面M7,M8へと導くために、第5反射面M5は凹面形状とし、第6反射面M6は凸面形状としている。
また、中間像IMを、第4及び第5反射面M4,M5間の光路上に形成することで、有効径の大きな第8反射面M8でのけられを回避し、より多くの部材配置のためのスペースを確保することができる。
さらに、本実施例の各反射面には、EUV光を反射するための多層膜が形成されている。この多層膜の特性に対して所要の反射率を確保するために、本実施例では、式(7)のθを、0.4という高NAながらも約35度に抑えている。
次に、図3に示した本発明の実施例3である反射型縮小投影光学系についてより詳しく説明する。
本実施例の反射型縮小投影光学系は、8つの反射面M1〜M8を有する。すなわち、物体面MS側から光が通過する順番に、第1反射面M1(凹面)と、開口絞りASと、第2反射面M2(凸面)と、第3反射面M3(凹面)と、第4反射面M4(凹面)と、第5反射面M5(凹面)とを有する。さらに、第6反射面M6(凸面)と、第7の反射面M7(凸面)と、第8反射面M8(凹面)とを有する。
第4反射面M4と第5反射面M5との間の光路上に中間像IMを形成し、この中間像IMを残りの反射面で像面(W)上に再結像させる。
実際には、MSは物体面位置に配置された反射型マスクを、Wは像面位置に置かれたウェハを示す。照明光学系によって照明された反射型マスクを、本実施例の反射型縮小投影光学系によって像面位置に配置されたウェハ上に縮小投影する。
表3に、実施例3に対応した数値例3を示している。数値例3において、光軸上における物体面と像面との距離を全長と称し、この全長は、約1096.0mmである。
また、像側の開口数であるNAは0.32であり、倍率は1/4倍、物体高は119.5〜133.5mm(像側で幅3.5mmの円弧形状視野)である。波面収差のRMSは、13.7mλ、スタティックディストーションは、レンジで1.0nmである。
前述したように、本実施例の投影光学系では、第1反射面M1の凹面で物体面からの太い光束を絞って第2反射面M2へ入射させ、さらに第2反射面M2の凸面によって細く絞られた光束をほぼ平行光束として第3及び第4反射面M3,M4へと導く。このため、各反射面の光学有効部のサイズを低減でき、部材配置のための十分なスペースを確保することができる。
また、式(1)において、La=425.3mm、Lb=231.7mm、f2=189.0mmである。このため、{La−(Lb+f2)}/La=0.01であり、第2反射面M2からはほぼ平行な光束が射出されている。さらに、式(2)の数値Lb/La=0.54であり、第2反射面M2上での光束広がりは適度に絞られている。
さらに、開口絞りASを第1反射面M1と第2反射面M2との間に配置しているため、物体側テレセントリック度が約100mradと小さいながらも、物体面から第1反射面M1へと入射する光束が第2反射面M2によってけられることを防いでいる。これにより、第2反射面M2付近に、部材配置のためのスペースを確保することができる。
また、式(3)において、f3/TT=0.53である。これにより、第3反射面M3に適度な正のパワーを持たせることで、第2反射面M2の凸面で発生する非点収差を良好に補正することができる。
ここで、本実施例では、開口絞りASは、第1及び第2反射面M1,M2いずれのからもLst/10以上、さらにはLst/5以上離れて配置されている。これにより、第2反射面M2の近傍の部材配置スペースをより多く確保することができる。
また、第3反射面M3を凹面として、第2反射面M2からの入射光束をさらに絞ることで、第4反射面M4の光線入射領域、つまりは光学有効部のサイズを縮小し、加工や計測を容易にすることができる。また、これとともに、部材配置のためのスペースをより多く確保することができる。
また、光学有効部のサイズを抑えるために、第5反射面M5をできるだけ光軸AXに近い位置に配置している。
第4反射面M4は、有効径の大きな第8反射面M8を避けて第5反射面M5へと光束を導くために、凹面形状としている。また、第4反射面M4からの入射光束を光軸近傍へ配置された第7及び第8反射面M7,M8へと導くために、第5反射面M5は凹面形状とし、第6反射面M6は凸面形状としている。
また、中間像IMを、第4及び第5反射面M4,M5間の光路上に形成することで、有効径の大きな第8反射面M8でのけられを回避し、より多くの部材配置のためのスペースを確保することができる。
さらに、本実施例の各反射面には、EUV光を反射するための多層膜が形成されている。この多層膜の特性に対して所要の反射率を確保するために、本実施例では、式(7)のθを、0.32という高NAながらも約29度に抑えている。
次に、図4を用いて上記の実施例1〜3で示した投影光学系を適用した投影露光装置200の例について説明する。
本実施例の露光装置200は、露光用の照明光としてEUV光(例えば、波長13.5nm)を用いて、例えば、ステップ・アンド・スキャン方式やステップ・アンド・リピート方式でマスク220に形成された回路パターンを被処理体240に露光する。かかる露光装置は、サブミクロンやクオーターミクロン以下のリソグラフィー工程に好適であり、以下、本実施形態ではステップ・アンド・スキャン方式の露光装置(「スキャナー」とも呼ばれる。)を例に説明する。ここで、「ステップ・アンド・スキャン方式」とは、マスクに対してウェハを連続的にスキャン(走査)してマスクパターンをウェハに露光すると共に、1ショットの露光終了後ウェハをステップ移動して、次の露光領域に移動する露光方法である。「ステップ・アンド・リピート方式」は、ウェハの一括露光ごとにウェハをステップ移動して次のショットの露光領域に移動する露光方法である。
図4を参照するに、露光装置200は、光源からの光でマスク220を照明する照明装置210と、マスク220を載置するマスクステージ225と、マスク220からの光を被処理体240に導く投影光学系230とを有する。また、被処理体240を載置するウェハステージ245と、アライメント検出機構250と、フォーカス位置検出機構260とを有する。ここで、図4では、マスクで反射した後、被処理体(ウエハ)に至るまでの反射型縮小投影光学系の反射面(ミラー)の枚数は4枚であるが、これは図を簡略化するためである。実際の反射面の枚数は、実施例1〜3に記載されている通り8枚又はそれ以上である。
また、図4に示すように、EUV光は、大気に対する透過率が低く、残留ガス(高分子有機ガスなど)成分との反応によりコンタミを生成してしまうため、少なくとも、EUV光が通る光路中(即ち、光学系全体)は真空雰囲気VCとなっている。
照明装置210は、投影光学系230の円弧状の視野に対する円弧状のEUV光(例えば、波長13.4nm)によりマスク220を照明する照明装置であって、EUV光源212と、照明光学系214とを有する。
EUV光源212は、例えば、レーザープラズマ光源が用いられる。これは、真空容器中のターゲット材に高強度のパルスレーザー光を照射し、高温のプラズマを発生させ、これから放射される、例えば、波長13nm程度のEUV光を利用するものである。ターゲット材としては、金属膜、ガスジェット、液滴などが用いられる。放射されるEUV光の平均強度を高くするためにはパルスレーザーの繰り返し周波数は高い方がよく、通常数kHzの繰り返し周波数で運転される。
照明光学系214は、集光ミラー214a、オプティカルインテグレーター214bから構成される。集光ミラー214aは、レーザープラズマからほぼ等方的に放射されるEUV光を集める役割を果たす。オプティカルインテグレーター214bは、マスク220を均一に所定の開口数で照明する役割を持っている。また、照明光学系214は、マスク220と共役な位置に、マスク220の照明領域を円弧状に限定するためのアパーチャ214cが設けられている。かかる照明光学系214を構成する光学部材である集光ミラー214a及びオプティカルインテグレーター214bを冷却する冷却装置を設けてもよい。集光ミラー214a及びオプティカルインテグレーター214bを冷却することにより熱膨張による変形を防止して、優れた結像性能を発揮することができる。
マスク220は、反射型マスクで、その上には転写されるべき回路パターン(又は像)が形成され、マスクステージ225に支持及び駆動されている。マスク220から発せられた回折光は、本実施例1乃至3に記載した投影光学系230で反射されて被処理体240上に投影される。マスク220と被処理体240とは、光学的に共役の関係に配置される。露光装置200は、ステップ・アンド・スキャン方式の露光装置であるため、マスク220と被処理体240を走査することによりマスク220のパターンを被処理体240上に縮小投影する。
マスクステージ225は、マスク220を支持して図示しない移動機構に接続されている。マスクステージ225は、いかなる構造をも適用することができる。図示しない移動機構は、リニアモーターなどで構成され、少なくともX方向にマスクステージ225を駆動することでマスク220を移動することができる。露光装置200は、マスク220と被処理体240を同期した状態で走査する。
投影光学系230は、複数の反射ミラー(即ち、多層膜ミラー)230aを用いて、マスク220面上のパターンを像面である被処理体240上に縮小投影する。複数のミラー230aの枚数は、前述したように8枚又はそれ以上である。できるだけ少ない枚数のミラーで広い露光領域を実現するには、光軸から一定の距離だけ離れた細い円弧状の領域(リングフィールド)だけを用いて、マスク220と被処理体240を同時に走査して広い面積を転写する。投影光学系230の開口数(NA)は、0.3乃至0.5程度である。かかる投影光学系230を構成する光学部材であるミラー230aを冷却装置を用いて冷却するようにしてもよい。ミラー230aを冷却することで熱膨張による変形を防止して、優れた結像性能を発揮することができる。
被処理体240は、本実施形態ではウェハであるが、液晶基板その他の被処理体を広く含む。被処理体240には、フォトレジストが塗布されている。
ウェハステージ245は、ウェハチャック245aによって被処理体240を支持する。ウェハステージ245は、例えば、リニアモーターを利用してXYZ方向に被処理体240を移動する。マスク220と被処理体240は同期して走査される。また、マスクステージ225の位置とウェハステージ245の位置は、例えば、レーザー干渉計などにより監視され、両者は一定の速度比率で駆動される。
アライメント検出機構250は、マスク220の位置と投影光学系230の光軸との位置関係、及び被処理体240の位置と投影光学系230の光軸との位置関係を計測する。そして、マスク220の投影像が被処理体240の所定の位置に一致するようにマスクステージ225及びウェハステージ245の位置と角度を設定する。
フォーカス位置検出機構260は、被処理体240面でフォーカス位置を計測し、ウェハステージ245の位置及び角度を制御することによって、露光中、常時被処理体240面を投影光学系230による結像位置に保つ。
露光において、照明装置210から射出されたEUV光はマスク220を照明し、マスク220面上のパターンを被処理体240面上に結像する。本実施形態において、像面は円弧状(リング状)の像面となり、マスク220と被処理体240を縮小倍率比の速度比で走査することにより、マスク220の全面を露光する。
ここで、露光装置においては、光学性能は投影光学系の光学部材の形状変化に対して敏感なので、冷却装置を投影光学系の光学部材(反射面)に用いることが多い。特に、光量の多いマスク側の光学部材に用いることが多い。ただし、照明光学系に用いても構わない。特に、最も光源に近い反射光学部材は、光学部材の中で最も多量の光が入射するので、必然的に吸収する熱量も大きくなり、その吸収した熱による光学部材の形状の変化量も大きくなる。それを防ぐために、上述したような冷却装置により、多量の光を吸収することによる温度上昇を防ぐことができ、光学部材の温度差を低減して形状変化を抑えることができる。
次に、図5及び図6を参照して、上述の露光装置200を利用したデバイス製造方法の実施例を説明する。図5は、デバイス(ICやLSIなどの半導体チップ、LCD、CCD等)の製造を説明するためのフローチャートである。本実施形態においては、半導体チップの製造を例に説明する。ステップ1(回路設計)では、デバイスの回路設計を行う。ステップ2(マスク製作)では、設計した回路パターンを形成したマスクを製作する。ステップ3(ウェハ製造)では、シリコンなどの材料を用いてウェハを製造する。ステップ4(ウェハプロセス)は、前工程と呼ばれ、マスクとウェハを用いてリソグラフィー技術によってウェハ上に実際の回路を形成する。ステップ5(組み立て)は、後工程と呼ばれ、ステップ4によって作成されたウェハを用いて半導体チップ化する工程であり、アッセンブリ工程(ダイシング、ボンディング)、パッケージング工程(チップ封入)等の工程を含む。ステップ6(検査)では、ステップ5で作成された半導体デバイスの動作確認テスト、耐久性テストなどの検査を行う。こうした工程を経て半導体デバイスが完成し、それが出荷(ステップ7)される。
図6は、ステップ4のウェハプロセスの詳細なフローチャートである。ステップ11(酸化)では、ウェハの表面を酸化させる。ステップ12(CVD)では、ウェハの表面に絶縁膜を形成する。ステップ13(電極形成)では、ウェハ上に電極を蒸着などによって形成する。ステップ14(イオン打ち込み)では、ウェハにイオンを打ち込む。ステップ15(レジスト処理)では、ウェハに感光剤を塗布する。ステップ16(露光)では、露光装置200によってマスクの回路パターンをウェハに露光する。ステップ17(現像)では、露光したウェハを現像する。ステップ18(エッチング)では、現像したレジスト像以外の部分を削り取る。ステップ19(レジスト剥離)では、エッチングが済んで不要となったレジストを取り除く。これらのステップを繰り返し行うことによってウェハ上に多重に回路パターンが形成される。本実施形態のデバイス製造方法によれば、従来よりも高品位のデバイスを製造することができる。このように、露光装置200を使用するデバイス製造方法、並びに結果物としてのデバイスも本発明の一側面を構成する。
以上、本発明の好ましい実施例について説明したが、本発明はこれらの実施例に限定されないことはいうまでもなく、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。例えば、本発明の冷却装置は、ArFエキシマレーザーやF2レーザーなどのEUV光以外の波長200nm以下の紫外線用の光学部材に適用することもでき、マスクやウェハにも適用可能である。
M1 第1反射面
M2 第2反射面
M3 第3反射面
M4 第4反射面
M5 第5反射面
M6 第6反射面
M7 第7反射面
M8 第8反射面
MS マスク(物体面)
W ウェハ(像面)
AX 光軸
AS 開口絞り
M2 第2反射面
M3 第3反射面
M4 第4反射面
M5 第5反射面
M6 第6反射面
M7 第7反射面
M8 第8反射面
MS マスク(物体面)
W ウェハ(像面)
AX 光軸
AS 開口絞り
Claims (13)
- 物体面上のパターンを像面上に縮小投影する投影光学系であって、
前記物体面からの光を順に反射する、凹面形状の第1反射面、凸面形状の第2反射面、凹面形状の第3反射面、第4反射面、第5反射面、第6反射面、第7反射面、及び第8反射面を有し、
前記第1反射面と前記第2反射面との間の光路上に開口絞りが配置され、
前記第4反射面と前記第5反射面との間の光路上に中間像が形成されることを特徴とする投影光学系。 - 以下の条件を満足することを特徴とする請求項1に記載の投影光学系。
−0.3<{La−(Lb+f2)}/La<0.3
ただし、Laは前記第1反射面と該第1反射面により形成される前記物体面上のパターンの実像との光軸上距離の絶対値、Lbは前記第1反射面と前記第2反射面との間の面頂点距離の絶対値、f2は前記第2反射面の焦点距離の絶対値である。 - 以下の条件を満足することを特徴とする請求項1又は2に記載の投影光学系。
0.4<Lb/La<0.6
ただし、Laは前記第1反射面と該第1反射面により形成される前記物体面上のパターンの実像との光軸上距離の絶対値、Lbは前記第1反射面と前記第2反射面との間の面頂点距離の絶対値である。 - 以下の条件を満足することを特徴とする請求項1から3のいずれか1つに記載の投影光学系。
0.2<f3/TT<0.7
ただし、TTは前記投影光学系の光軸上の全長、f3は前記第3反射面の焦点距離の絶対値である。 - 前記第4反射面が、凹面形状を有することを特徴とする請求項1から4のいずれか1つに記載の投影光学系。
- 前記第5反射面が、凹面形状を有することを特徴とする請求項1から5のいずれか1つに記載の投影光学系。
- 前記第6反射面が、凸面形状を有することを特徴とする請求項1から6のいずれか1つに記載の投影光学系。
- 前記第7反射面が、凸面形状を有することを特徴とする請求項1から7のいずれか1つに記載の投影光学系。
- 前記第8反射面が、凹面形状を有することを特徴とする請求項1から8のいずれか1つに記載の投影光学系。
- 前記各反射面への光線の入射角度の最大値が、45度以下であることを特徴とする請求項1から9のいずれか1つに記載の投影光学系。
- 前記第1反射面と前記第2反射面との間の光路長をLstとするとき、
前記開口絞りが、前記第1反射面及び前記第2反射面のそれぞれから、
Lst/10
以上離れていることを特徴とする請求項1から10のいずれか1つに記載の投影光学系。 - 光源からの光を用いて前記物体面上のパターンを照明する照明光学系と、
前記物体面上のパターンを前記像面上に縮小投影する請求項1から11のいずれか1つに記載の投影光学系とを有することを特徴とする露光装置。 - 請求項12に記載の露光装置を用いて被処理体を露光するステップと、
露光された前記被処理体に対してデバイスを製造するためのプロセスを行うステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007100112A JP2008258461A (ja) | 2007-04-06 | 2007-04-06 | 反射型縮小投影光学系、露光装置及びデバイスの製造方法 |
US12/061,158 US20080247067A1 (en) | 2007-04-06 | 2008-04-02 | Catoptric reduction projection optical system, exposure apparatus, and method for manufacturing device |
TW097112304A TW200907588A (en) | 2007-04-06 | 2008-04-03 | Catoptric reduction projection optical system, exposure apparatus, and method for manufacturing device |
KR1020080031424A KR20080091014A (ko) | 2007-04-06 | 2008-04-04 | 반사형 투영광학계, 노광장치, 및 디바이스의 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007100112A JP2008258461A (ja) | 2007-04-06 | 2007-04-06 | 反射型縮小投影光学系、露光装置及びデバイスの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008258461A true JP2008258461A (ja) | 2008-10-23 |
Family
ID=39826659
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007100112A Pending JP2008258461A (ja) | 2007-04-06 | 2007-04-06 | 反射型縮小投影光学系、露光装置及びデバイスの製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20080247067A1 (ja) |
JP (1) | JP2008258461A (ja) |
KR (1) | KR20080091014A (ja) |
TW (1) | TW200907588A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP2013535826A (ja) * | 2010-07-30 | 2013-09-12 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | 結像光学系及びこの種の結像光学系を有するマイクロリソグラフィのための投影露光装置 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5868728A (en) * | 1995-02-28 | 1999-02-09 | Photogenesis, Inc. | Medical linear actuator for surgical delivery, manipulation, and extraction |
DE10052289A1 (de) * | 2000-10-20 | 2002-04-25 | Zeiss Carl | 8-Spiegel-Mikrolithographie-Projektionsobjektiv |
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TW573234B (en) * | 2000-11-07 | 2004-01-21 | Asml Netherlands Bv | Lithographic projection apparatus and integrated circuit device manufacturing method |
JP2005189247A (ja) * | 2003-12-24 | 2005-07-14 | Nikon Corp | 投影光学系および該投影光学系を備えた露光装置 |
JP4957548B2 (ja) * | 2005-08-24 | 2012-06-20 | 株式会社ニコン | 投影光学系、および露光装置 |
US7470033B2 (en) * | 2006-03-24 | 2008-12-30 | Nikon Corporation | Reflection-type projection-optical systems, and exposure apparatus comprising same |
-
2007
- 2007-04-06 JP JP2007100112A patent/JP2008258461A/ja active Pending
-
2008
- 2008-04-02 US US12/061,158 patent/US20080247067A1/en not_active Abandoned
- 2008-04-03 TW TW097112304A patent/TW200907588A/zh unknown
- 2008-04-04 KR KR1020080031424A patent/KR20080091014A/ko not_active Application Discontinuation
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US9182578B2 (en) | 2009-06-24 | 2015-11-10 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Imaging optical system and illumination optical system |
JP2013535826A (ja) * | 2010-07-30 | 2013-09-12 | カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー | 結像光学系及びこの種の結像光学系を有するマイクロリソグラフィのための投影露光装置 |
US9541841B2 (en) | 2010-07-30 | 2017-01-10 | Carl Zeiss Smt Gmbh | Imaging optical system and projection exposure installation for microlithography including same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW200907588A (en) | 2009-02-16 |
KR20080091014A (ko) | 2008-10-09 |
US20080247067A1 (en) | 2008-10-09 |
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