JP2008253967A - 二酸化炭素除去装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザ加工装置におけるレーザ発振部とレーザ出射部とを結ぶ光路に流されるパージガスに含有される二酸化炭素を除去するための圧力変動吸着式の二酸化炭素除去装置300において、二酸化炭素を吸着するための吸着筒302の内部に4A型ゼオライトを収容した。
【選択図】図2
Description
(a)二酸化炭素を選択的に吸着しうる吸着剤を収容した吸着筒の内部圧力を上昇させることにより、前記吸着剤に二酸化炭素を吸着させる吸着工程と、
(b)前記吸着筒を減圧することにより、前記吸着剤に吸着されていた二酸化炭素を脱着させ、前記吸着剤の二酸化炭素吸着能を再生させる再生工程と、
を交互に繰り返すことにより、原料ガスから二酸化炭素を除去するようにした圧力変動吸着法を利用したものが知られているが(例えば、特許文献2)、
レーザ加工装置のパージガスを生成するための二酸化炭素除去装置として好適に使用できるものは見当たらなかった。
4A型 : Na12[(AlO2)12(SiO2)12]・27H2O
また、3A型ゼオライト、5A型ゼオライト及び13X型ゼオライトは、それぞれ、K−A型、Ca−A型、Na−X型とも呼ばれ、通常、下記の化学式で表される化学組成を有している。
3A型 : K9Na3[(AlO2)12(SiO2)12]27H2O
5A型 : Ca4.5Na3[(AlO2)12(SiO2)12]30H2O
13X型 : Na86[(AlO2)86(SiO2)106]276H2O
本実施態様のレーザ加工装置100は、図1に示すように、レーザを発振するためのレーザ発振部101と、レーザ発振部101で発振されたレーザを加工対象物200に照射するためのレーザ照射部102とを備えたものとなっている。レーザ発振部101とレーザ照射部102とを結ぶ光路は、遮光性材料で作られたチューブ103によって覆われている。チューブ103における屈曲箇所には、ミラー104が配置されている。このため、レーザ発振部101で発振されたレーザは、チューブ103の中を通り、ミラー104によって反射されながらレーザ照射部102まで導かれるようになっている。レーザ照射部102は、図示省略の移動手段によって移動するようになっており、加工対象物200へ所望の加工を施すことができるようになっている。チューブ103は、レーザ照射部102の動きに追従できるように、所定箇所で屈曲角度を変化させたり、所定箇所が伸縮したりすることのできる構造となっている。
続いて、図1のレーザ加工装置100に使用した二酸化炭素除去装置300について説明する。図2は、図1におけるレーザ加工装置100に使用した圧力変動吸着式の二酸化炭素除去装置300の全体構成を示したブロック図である。図3は、図2における吸着筒302の内部を示した断面図である。
(a)4A型ゼオライトを収容した吸着筒302の内部へ原料ガスを供給することにより、吸着筒302の内部圧力を上昇させ、原料ガスに含有される二酸化炭素を4A型ゼオライトに吸着させる吸着工程と、
(b)吸着筒302を外気へ開放することにより、吸着筒302の内部圧力を下降させ、4A型ゼオライトに吸着されていた二酸化炭素を脱着して吸着筒302の外部へ排出し、4A型ゼオライトの二酸化炭素吸着能を再生する再生工程と、
を異なる吸着筒302で交互に行うことにより、二酸化炭素濃度の低下したパージガスを連続的に生成することができるものとなっている。吸着工程と再生工程の切り替えは、吸着筒切替弁303を切り替えることによって行うようになっている。
101 レーザ発振部
102 レーザ照射部
103 チューブ
104 ミラー
105 パージガス導入口
106 パージガス導出口
200 加工対象物
300 二酸化炭素除去装置
301 原料ガス導入口
302 吸着筒
303 吸着筒切替弁
304 バッファタンク
305 パージガス導出口
306 逆止弁
307 二酸化炭素排出口(サイレンサ)
308 オリフィス
309 活性炭槽
310 フィルタ
311 酸素濃度検知手段
312 二方向電磁弁
313 オリフィス
314 圧力検知手段
315 フィルタ
316 二方向電磁弁
317 圧力調整手段(減圧弁)
Claims (7)
- レーザ加工装置におけるレーザ発振部とレーザ出射部とを結ぶ光路に流されるパージガスに含有される二酸化炭素を除去するための圧力変動吸着式の二酸化炭素除去装置であって、二酸化炭素を吸着するための吸着筒の内部に4A型ゼオライトを収容したことを特徴とする二酸化炭素除去装置。
- 吸着筒の内部に、4A型ゼオライトとともに5A型ゼオライト及び/又は13X型ゼオライトを収容した請求項1記載の二酸化炭素除去装置。
- 吸着筒の内部における4A型ゼオライトを収容した部分よりも上流側に5A型ゼオライト及び/又は13X型ゼオライトを収容した請求項2記載の二酸化炭素除去装置。
- 吸着筒の内部に収容したゼオライトの全体の重量W0に対する4A型ゼオライトの重量W1の比W1/W0が0.3以上である請求項2又は3記載の二酸化炭素除去装置。
- 吸着筒から送出されたパージガスを一時的に貯留するためのバッファタンクと、バッファタンクから取り出されるパージガスの圧力を調整するための圧力調整手段とを備えた請求項1〜4いずれか記載の二酸化炭素除去装置。
- パージガスに含有される有機物を除去しうる活性炭を収容した活性炭槽を備えた請求項1〜5いずれか記載の二酸化炭素除去装置。
- パージガスの酸素濃度を検知するための酸素濃度検知手段と、酸素濃度検知手段によって検知されたパージガスの酸素濃度に異常が認められた場合に警報を出力するための警報出力手段とを備えた請求項1〜6いずれか記載の二酸化炭素除去装置。
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-
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