JP2008251613A - 半導体チップ検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 半導体チップ検査装置が、半導体集積回路チップを撮像する撮像光学系を有する。半導体集積回路チップの画像から少なくとも欠陥等を検査する。撮影光学系が作る最大の視野サイズより大きい視野サイズの撮像素子を設ける。前記撮像素子の撮影した画像の一部を切り出して少なくとも欠陥の有無を調べる。検査対象の半導体チップの大きさ情報から最適検査が行なえるように切り出す範囲を決定する。
【選択図】 図2
Description
20 撮像部
21 撮像素子
22 光学系視野
23 利用領域
25 撮像素子
26 撮像素子
30 移動部
33 ウエハ
40 演算処理手段
41 制御部
42 記憶部
50 モニタ
60 入力部
Claims (8)
- 半導体集積回路チップの画像から少なくとも欠陥を検査する半導体チップ検査装置において、撮像素子が、半導体集積回路チップを撮像する光学系の視野に接する矩形の撮像面を有し、撮影素子の撮像面の利用領域が、視野移動方向と直交する方向において最大の効率を有するサイズに設定され、前記撮像素子の撮影した画像の一部を切り出して少なくとも欠陥の有無を調べる画像処理手段と、検査対象の半導体チップの大きさ情報から最適検査が行なえるように切り出す範囲を決定する演算手段とを有する半導体チップ検査装置。
- 撮像素子の撮像面は、最大視野像の直径より対角長さが大きくなるサイズから、撮像面の横幅(視野移動方向と直交する方向の幅)が視野直径と同じになる大きさまでの範囲であることを特徴とする請求項1に記載の半導体チップ検査装置。
- 撮像素子の撮像面は、長方形であり、視野の移動方向に短辺を有し、それと直交する方向に長辺を有することを特徴とする請求項1に記載の半導体チップ検査装置。
- 長方形の撮像面が円形の視野に内接していることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の半導体チップ検査装置。
- 長方形の撮像面が円形の視野に外接していることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の半導体チップ検査装置。
- 最適検査は、検査時間が最短である検査であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の半導体チップ検査装置。
- 検査途中で視野を変更しながら検査するレシピを発生するレシピ演算装置を有することを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の半導体チップ検査装置。
- 撮像素子は正方形の撮像面を持つことを特徴とする請求項1、2、6および7のいずれか1項に記載の半導体チップ検査装置。
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