JP2008251050A - 制御装置及び制御方法、処理装置、及びプログラム - Google Patents

Abstract

【課題】本発明は、半導体製造等に使用される処理装置を制御するために、処理装置の画面と同じ画面を端末の画面上に表示しながら処理装置を制御する技術を用いた遠隔制御システムにおける制御装置及び制御方法、処理装置、及びプログラムを提供することを課題とする。
【解決手段】クリーンルーム３に設置された複数の処理装置１とクリーンルーム３外に配置されたコンピュータ２とをネットワーク４，６を介して接続する。処理装置１の操作画面と同じ操作画面をコンピュータ２で表示しながらコンピュータ２における操作で処理装置１を遠隔制御する。処理装置１の制御装置は、操作権が付与されて処理装置１の制御を行うことができる端末以外の端末に対して一定の時間間隔毎に送信する画面情報の送信間隔を延長する。
【選択図】図１

Description

本発明は遠隔制御システムに係り、特に、処理装置が設置された室の外に配置されたコンピュータと処理装置とをネットワークで接続した遠隔制御システムにおける制御装置及び制御方法、処理装置、及びプログラムに関する。

半導体製造装置のような処理装置は自身の動作を制御するための制御装置を備えており、制御装置には入力装置と表示装置とが設けられる。操作者は入力装置を通じて制御装置に指令や情報を入力し、処理装置の処理条件設定や現在の状態などが表示装置に表示される。したがって、操作者はクリーンルーム内の処理装置が設置された場所において処理装置を制御したり監視したりすることができる。

通常、半導体製造装置のような処理装置はクリーンルーム内に設置されているが、クリーンルーム内の環境を一定に維持する必要があるため、クリーンルームへの人の出入りは極力抑える必要がある。そこで、クリーンルーム内に設置された処理装置をネットワークを介してクリーンルーム外のコンピュータに接続し、コンピュータにより処理装置の動作を制御したり監視したりする遠隔制御システムが提案されている。

上述のような遠隔制御システムでは、処理装置の制御装置に設けられた表示装置に表示された画面をクリーンルーム外のコンピュータの表示装置にそのまま表示し、コンピュータ上の画面を介して操作入力することにより、処理装置の制御装置の画面を介して行なう制御や操作と同じ制御や操作を行なうことができる。
ＶＮＣ研究会著、白井徹也編、「Virtual Network Computing 入門」初版、株式会社カットシステム、１９９６年６月 Tristan Richardson, Quentin Stafford-Foster, Kenneth R. Wood & Andy Hopper, "virtual Network Computing" IEEE Internet Computing, Vol.2 No.1, Jan/Feb 1998 pp33-38

上述のように装置が設置された室の外に配置されたコンピュータと当該装置とをネットワークで接続し、装置の操作画面と同じ操作画面を端末で表示しながら端末における操作で装置を制御可能とした遠隔制御システムは、一般的なネットワークにおけるコンピューティングや制御を対象として開発された技術であり、具体的な個々のネットワーク制御システムに対してそのまま適用することはできない。したがって、半導体製造等に使用される処理装置を制御するための遠隔制御システムに適用することのできるように変更あるいは改善した技術の開発が望まれている。

本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、処理装置を制御するために、処理装置の画面と同じ画面を端末の画面上に表示しながら処理装置を制御する技術を用いた遠隔制御システムにおける制御装置及び制御方法、処理装置、及びプログラムを提供することを目的とする。

上記の課題を解決するために、本発明によれば、複数の処理装置が設置された室の外に配置された端末と該処理装置とがネットワークを介して接続され、該処理装置の操作画面と同じ操作画面を該端末で表示しながら前記端末における操作で前記処理装置を制御可能な遠隔制御システムに用いられるよう構成された、前記処理装置に組み込まれる制御装置であって、前記端末の操作画面に表示する情報のうち所定の部分を削除して送信することにより、情報の前記所定の部分が前記端末の操作画面に表示されないようにする情報削除手段を有することを特徴とする制御装置が提供される。

上述の発明において、前記情報削除手段が削除する情報の前記所定の部分は、パスワードを入力する画面の情報であることとしてもよい。

また、本発明によれば、複数の処理装置が設置された室の外に配置された端末と該処理装置とがネットワークを介して接続され、該処理装置の操作画面と同じ操作画面を該端末で表示しながら前記端末における操作で前記処理装置を制御可能な遠隔制御システムに用いられる制御方法であって、前記処理装置に組み込まれた制御装置から画面情報を送信する際に、前記端末の操作画面に表示する情報のうち所定の部分を削除して送信することにより、情報の前記所定の部分が前記端末の操作画面に表示されないようにすることを特徴とする制御方法が提供される。

また、本発明によれば、複数の処理装置が設置された室の外に配置された端末と該処理装置とがネットワークを介して接続され、該処理装置の操作画面と同じ操作画面を該端末で表示しながら前記端末における操作で前記処理装置を制御可能な遠隔制御システムにおいて用いられるように構成された、前記処理装置に組み込まれた制御装置に組み込まれるプログラムであって、前記端末の操作画面に表示する情報のうち所定の部分を削除して送信することにより、情報の前記所定の部分が前記端末の操作画面に表示されないようにする手順を記述したことを特徴とするプログラムが提供される。

また、本発明によれば、自身が設置された室の外に配置された複数の端末とネットワークを介して接続され、自身の操作画面と同じ操作画面を該端末で表示することにより前記端末における操作で制御可能な処理装置であって、被処理体を処理する処理部と、前記処理部の動作を制御し、且つ前記ネットワークを介して前記端末に画像情報を送信する制御装置とを有し、前記制御装置は、前記端末の操作画面に表示する情報のうち所定の部分を削除して送信することにより、情報の前記所定の部分が前記端末の操作画面に表示されないようにする情報削除手段を有することを特徴とする処理装置が提供される。

本発明によれば、複数の処理装置が設置された室の外に配置された端末と該処理装置とがネットワークを介して接続され、該処理装置の操作画面と同じ操作画面を該端末で表示しながら前記端末における操作で前記処理装置を制御可能な遠隔制御システムに用いられるよう構成された、前記処理装置に組み込まれる制御装置であって、操作権が付与されて前記処理装置の制御を行うことができる端末以外の端末に対して一定の時間間隔毎に送信する画面情報の送信間隔を延長する送信間隔延長手段を有することを特徴とする制御装置が提供される。

上述の発明において、前記送信間隔延長手段は、前記一定の時間間隔での画像情報の送信を間びくことにより前記送信間隔を延長することが好ましい。

また、本発明によれば、複数の処理装置が設置された室の外に配置された端末と該処理装置とがネットワークを介して接続され、該処理装置の操作画面と同じ操作画面を該端末で表示しながら前記端末における操作で前記処理装置を制御可能な遠隔制御システムに用いられる制御方法であって、操作権が付与されて前記処理装置の制御を行うことができる端末以外の端末に対して一定の時間間隔毎に送信する画面情報の送信間隔を延長することを特徴とする制御方法が提供される。

また、本発明によれば、複数の処理装置が設置された室の外に配置された端末と該処理装置とがネットワークを介して接続され、該処理装置の操作画面と同じ操作画面を該端末で表示しながら前記端末における操作で前記処理装置を制御可能な遠隔制御システムにおいて用いられるように構成された、前記処理装置に組み込まれた制御装置に組み込まれるプログラムであって、操作権が付与されて前記処理装置の制御を行うことができる端末以外の端末に対して一定の時間間隔毎に送信する画面情報の送信間隔を延長する手順を記述したことを特徴とするプログラムが提供される。

また、本発明によれば、自身が設置された室の外に配置された複数の端末とネットワークを介して接続され、自身の操作画面と同じ操作画面を該端末で表示することにより前記端末における操作で制御可能な処理装置であって、被処理体を処理する処理部と、前記処理部の動作を制御し、且つ前記ネットワークを介して前記端末に画像情報を送信する制御装置とを有し、前記制御装置は、操作権が付与されて前記処理装置の制御を行うことができる端末以外の端末に対して一定の時間間隔毎に送信する画面情報の送信間隔を延長する送信間隔延長手段を有することを特徴とする処理装置が提供される。

また、本発明によれば、複数の処理装置が設置された室の外に配置された端末と該処理装置とがネットワークを介して接続され、該処理装置の操作画面と同じ操作画面を該端末で表示しながら前記端末における操作で前記処理装置を制御可能な遠隔制御システムに用いられるよう構成された、前記処理装置に組み込まれる制御装置であって、前記端末に操作権が付与されて前記処理装置を制御可能であって、且つ前記処理装置に異常が発生したことを検出した際に、前記操作権を前記処理装置に強制的に移行させる操作権移行手段を有することを特徴とする制御装置が提供される。

上述の発明において、前記操作権移行手段は、検出した予め想定される異常以外の異常の場合に前記操作権を前記処理装置に強制的に移行させる操作権移行手段を有することが好ましい。

また、本発明によれば、複数の処理装置が設置された室の外に配置された端末と該処理装置とがネットワークを介して接続され、該処理装置の操作画面と同じ操作画面を該端末で表示しながら前記端末における操作で前記処理装置を制御可能な遠隔制御システムに用いられる制御方法であって、前記端末に操作権が付与されて前記処理装置を制御可能であって、且つ前記処理装置に異常が発生したことを検出した際に、前記操作権を前記処理装置に強制的に移行させることを特徴とする制御方法が提供される。

また、本発明によれば、複数の処理装置が設置された室の外に配置された端末と該処理装置とがネットワークを介して接続され、該処理装置の操作画面と同じ操作画面を該端末で表示しながら前記端末における操作で前記処理装置を制御可能な遠隔制御システムにおいて用いられるように構成された、前記処理装置に組み込まれた制御装置に組み込まれるプログラムであって、前記端末に操作権が付与されて前記処理装置を制御可能であって、且つ前記処理装置に異常が発生したことを検出した際に、前記操作権を前記処理装置に強制的に移行させる手順を記述したことを特徴とするプログラムが提供される。

また、本発明によれば、自身が設置された室の外に配置された複数の端末とネットワークを介して接続され、自身の操作画面と同じ操作画面を該端末で表示することにより前記端末における操作で制御可能な処理装置であって、被処理体を処理する処理部と、前記処理部の動作を制御し、且つ前記ネットワークを介して前記端末に画像情報を送信する制御装置とを有し、前記制御装置は、前記端末に操作権が付与されて前記処理装置を制御可能であって、且つ前記処理装置に異常が発生したことを検出した際に、前記操作権を前記処理装置に強制的に移行させる操作権移行手段を有することを特徴とする処理装置が提供される。

また、本発明によれば、複数の処理装置が設置された室の外に配置された端末と該処理装置とがネットワークを介して接続され、該処理装置の操作画面と同じ操作画面を該端末で表示しながら前記端末における操作で前記処理装置を制御可能な遠隔制御システムに用いられるよう構成された、前記処理装置に組み込まれる制御装置であって、前記処理装置が所定の状態にあるときには、前記端末への操作権の付与を禁止する操作権付与禁止手段を有することを特徴とする制御装置が提供される。

上述の発明において、前記所定の状態は、前記制御装置が所定の操作を行っている状態であることとしてもよい。あるいは、前記所定の状態は、前記制御装置が所定の画面を表示している状態であることとしてもよい。さらに、前記所定の状態は、前記処理装置の表示入力部が操作中の場合、前記端末への操作権の付与を禁止する画面が表示されている場合、制御操作のレベル設定が所定のレベル以上である場合、及び、前記端末に操作権を付与することができない場合のうちのいずれかであることとしてもよい。

また、本発明によれば、複数の処理装置が設置された室の外に配置された端末と該処理装置とがネットワークを介して接続され、該処理装置の操作画面と同じ操作画面を該端末で表示しながら前記端末における操作で前記処理装置を制御可能な遠隔制御システムに用いられる制御方法であって、前記処理装置が所定の状態にあるときには、前記端末への操作権の付与を禁止することを特徴とする制御方法が提供される。

また、本発明によれば、複数の処理装置が設置された室の外に配置された端末と該処理装置とがネットワークを介して接続され、該処理装置の操作画面と同じ操作画面を該端末で表示しながら前記端末における操作で前記処理装置を制御可能な遠隔制御システムにおいて用いられるように構成された、前記処理装置に組み込まれた制御装置に組み込まれるプログラムであって、前記処理装置が所定の状態にあるときには、前記端末への操作権の付与を禁止する手順を記述したことを特徴とするプログラムが提供される。

また、本発明によれば、自身が設置された室の外に配置された複数の端末とネットワークを介して接続され、自身の操作画面と同じ操作画面を該端末で表示することにより前記端末における操作で制御可能な処理装置であって、被処理体を処理する処理部と、前記処理部の動作を制御し、且つ前記ネットワークを介して前記端末に画像情報を送信する制御装置とを有し、前記制御装置は、前記処理装置が所定の状態にあるときには、前記端末への操作権の付与を禁止する操作権付与禁止手段を有することを特徴とする処理装置が提供される。

上述の如く本発明によれば、ＶＮＣ技術を用いた遠隔制御システムにおいて、特に半導体製造等に使用される処理装置を制御するのに適した制御装置及び制御方法、処理装置、及びプログラムを実現することができる。

次に、本発明の実施の形態について図面と共に説明する。

図１は本発明が適用される遠隔制御システムの全体構成を示す図である。図１に示す遠隔制御システムは、半導体製造用の複数の処理装置１を複数のコンピュータ２により遠隔制御するために構築されたシステムである。

処理装置１はクリーンルーム３内に設置され、クリーンルーム内の処理装置１はネットワーク４により互いに接続されている。処理装置１は、例えば半導体製造用の成膜処理、エッチング、フォトリソグラフィ処理等の処理を行なう装置である。処理装置１の各々は、被処理体の処理を行う処理部と、処理部の制御を行なうための制御装置とを有している。図１において、制御装置は処理装置１内に設けられるため示されていないが、制御装置の表示・入力装置であるタッチパネル５が処理装置１に取り付けられた状態が示されている。

ホスト装置としてのコンピュータ２は、クリーンルーム３の外部である例えばオフィス内に配置され、ネットワーク６により接続されている。処理装置１をコンピュータ２により制御するために、クリーンルーム内のネットワーク４はクリーンルーム外のネットワーク６に接続され、コンピュータ２と処理装置との間で通信を行なうことができる。

以上のようなネットワーク構成において、コンピュータ２の各々に制御用のソフトウェアを導入することにより、コンピュータ２から処理装置１を制御する。本実施例における制御用のソフトウェアは、処理装置１の各々に設けられたタッチパネル５の画面と同じ画面を、コンピュータ２の表示装置上に表示することができ、コンピュータ２の表示装置に表示された画面を操作することにより、処理装置１を制御するためのものである。このソフトウェアを以下、ＶＮＣｖｉｅｗｅｒと称する。

処理装置１の画面と同じ画面がコンピュータ２に表示されるため、コンピュータ２の画面上において、処理装置１の制御操作を行うことができる。したがって、ネットワーク操作やコンピュータ操作になれていない操作者であっても、処理装置１から離れた場所においてあたかも処理装置１を操作しているように制御操作を行なうことができる。

コンピュータ２の各々は互いに接続されたネットワーク４及びネットワーク６を介して処理装置１の各々と通信を行い、処理装置１の画面情報を取得し、コンピュータ２からの操作・制御情報を処理装置に送る。上述のように処理装置１には制御装置が組み込まれており、この制御装置とコンピュータ２とが通信を行なう。

図２は処理装置１に組み込まれた制御装置１０の概略機能ブロック図である。図２に示す制御装置１０は、制御・演算部１１、表示・入力部１２（図１のタッチパネル５に相当）、フレキシブルディスク装置等の外部記憶部１３、及びプリンタ等の印刷部１４を有する。

制御・演算部１１は、ＣＰＵとＲＯＭ，ＲＡＭ等のメモリからなる一般的なコンピュータハードウェアにより構成され、処理装置１全体の動作や設定を制御する。制御・演算部１１はネットワーク４，６を介して表示・入力部１２に表示する画面情報をコンピュータ２に送信する。これにより、コンピュータ２の画面に表示・入力部１２に表示された画面を表示することができる。

また、制御・演算部１１は、コンピュータ２の画面操作により入力された情報をネットワーク４，６を介して受信し、この情報に基づいて処理装置１を制御する。具体的には、制御・演算部１０は内部のバス１５を介して機械制御・演算部１６に接続され、制御・演算部１０から制御情報が機械制御・演算部１６に供給される。機械制御・演算部１６はＣＰＵとＲＯＭ，ＲＡＭ等からなるコンピュータハードウェアからなり、供給された制御情報に基づいて処理装置１の各部の動作や設定を制御する。機械制御・演算部１６からの制御指令は入出力部１７を介して対応する各部に供給される。

以上のような制御装置１０において、コンピュータ２にインストールされたＶＮＣｖｉｅｗｅｒに対応するソフトウェア（プログラム）が制御・演算部１１のメモリ内に格納されており、このプログラムとコンピュータ２側のＶＮＣｖｉｅｗｅｒとにより遠隔制御システムが構築されている。したがって、処理装置１の制御・演算部１１のメモリに格納されたプログラムを変更することにより、遠隔制御システムの動作内容を変更することができる。

本発明では以下のような機能を上述の遠隔制御システムに加えることで、クリーンルーム内に設置された半導体製造用の処理装置１を遠隔制御する際の問題を解決したものであり、改善された遠隔制御システムが提供される。なお、以下の説明では、コンピュータ２を端末と称し、処理装置１を単に装置と称することもある。また、処理装置１はクリーンルームに設置されているものとしているが、清浄度が求められるクリーンルームに限ることなく、例えば製造設備が配置されるような通常の環境の室でもよい。

１）装置の操作権を有する端末を１つに限定する。

この機能は、一度に複数の端末から一つの処理装置に対して一度に異なる指令が出された場合などに処理装置１が誤動するおそれがあり、これを防止するために設けられる。

２）装置において特定の操作を行なうときに、端末の画面の一部をマスクして見えなくする。

この機能は、処理装置１において行なわれる操作中に表示される画面のうち、端末の画面により他の操作者が見ることができないようにしたい場合があり、これに対処するために設けられる。

３）操作権を有する端末以外の端末の画面を更新する時間間隔を長くする。

この機能は、操作権をもっていない端末への通信データ量を削減してＣＰＵの負荷低減やネットワークのトラフィックを軽減するために設けられる。

４）装置と通信可能な端末を制限する。

この機能は、ネットワーク上の端末であっても、処理装置の制御には関係ない端末から処理装置の情報を取得することができないようにし、セキュリティを強化するために設けられる。

５）エラー発生時に、操作権を強制的に装置に移す。

この機能は、端末からの制御操作だけで解決できないようなエラーが発生した場合に、処理装置を直接操作することにより制御しなければならないようにするために設けられる。

６）装置において特定の画面の表示中、あるいは特定の操作を行なっているときには、端末への操作権の移行を禁止する。

この機能は、意図しない中断によりデータの不整合が発生し、誤動作や操作不能になるおそれがあるため、意図しない中断を起こさせないように設けられる。また、操作権を端末に移行して端末から制御操作が直ぐに行なわれた場合に、すでに行なわれている操作が中断したり無効となってしまうおそれがある場合に、操作権が移行できないようにするために設けられる。

７）装置から端末へ操作権を移行可能とした際には、いずれかの端末が最初にログインした時点で、処理装置をログアウトする。

この機能は、処理装置から端末に操作権を移行可能にした時点からいずれかの端末が操作権を取得するための操作を行なう時点までの間では、ログイン用の画面を表示せずに通常の画面を表示しておくために設けられる。

８）複数の装置の特定の状態を監視し、装置に対応するＶＮＣｖｉｅｗｅｒが起動しているか否かを画面上で認識できるようにする。

この機能は、複数の処理装置の状態を一つの画面で認識するために設けられる。

以上のような機能１）〜８）のうち、機能１）〜７）は主に処理装置１の制御装置側のプログラムを変更することにより達成し、機能８）はコンピュータ２（端末）側に専用のプログラムをインストールことで達成する。

次に、上述の機能１）〜８）についてさらに詳細に説明する。

１）装置の操作権を有する端末を１つに限定する機能。

この機能は、一度に複数のコンピュータ２(端末）から一つの処理装置に対して一度に異なる指令が出された場合などに処理装置１が誤動作するおそれがあり、これを防止するために設けられる。ここで、操作権とは、処理装置１を制御操作することのできる権利であり、処理装置１を制御することのできる画面が表示されたコンピュータ２又は処理装置１が、操作権を持った端末又は装置となる。

複数のコンピュータ２が同時に同じ処理装置１の操作権を取得することが可能な場合、複数のコンピュータ２から同時に制御指令が処理装置１に送信されるおそれがある。例えば、複数の制御指令が異なる指令であると、指令を出した操作者の意図に反した制御が行なわれるおそれがある。また、全く異なる指令が同時にあるいは短い時間に入力されると処理装置１の制御装置が誤動作を起こすおそれがある。

そこで、ある一つのコンピュータ２あるいは処理装置１が操作権を持っている場合、当該コンピュータ２あるいは処理装置１が操作権を放棄するか失うまで、他のコンピュータ２は操作権を取得できないようにする。

ここで、処理装置１又はコンピュータ２が操作権を取得する方法としては以下の二つの方法がある。

操作権を取得する一つの方法は、処理装置１に設けられているローカル／リモート切り換えスイッチ７を操作して、当該処理装置１が操作権を取得する方法である。ローカル／リモート切り換えスイッチ７をローカル側に切り換えると、操作権は常に処理装置１だけに付与され、リモート側、すなわちコンピュータ２は操作権を取得することはできない。

したがって、ローカル／リモート切り換えスイッチ７をローカル側に切り換えているときは、処理装置１だけに操作権が付与され、操作権は１台にのみ付与された状態となる。

操作権を取得するもう一つの方法は、ローカル／リモート切り換えスイッチ７をリモート側に切り換えておき、いずれかのコンピュータ２がその画面上からログインを行なうことである。この場合、ログインを行なったコンピュータ２に操作権が付与される。

図３は、ローカル／リモート切り換えスイッチ７がリモート側に切り換えられた場合にコンピュータ２に表示されるログイン画面を示す。図３に示すログイン画面の上部にある"LOGIN REMOTE"と表示されたキーをクリックすることにより、クリックした操作者、すなわちその画面を表示しているコンピュータ２に操作権が付与される。

どれか一つのコンピュータ２、又は処理装置１がログインを行なうと、全てのコンピュータ２と処理装置１に表示されていたログイン画面は消えてしまうため、ログインを行なったコンピュータ２以外のコンピュータ２はログインを行なうことはできない。ログイン画面が表示されるのは、操作権を取得したコンピュータ２が、図４に示すログアウト画面を選択して、"Logout"キーをクリックすることによりログアウトして操作権を放棄した後である。したがって、一つのコンピュータ２が操作権を取得した後、当該コンピュータ２が操作権を放棄するまで他のコンピュータ及び処理装置１は操作権を取得することができず、操作権を有するコンピュータは１台に限られる。

ただし、あるコンピュータ２が操作権を有している場合であっても、上述のローカル／リモート切り換えスイッチ７をローカル側に切り換えることで、強制的に処理装置１に操作権を移すことができる。この場合であっても、操作権はコンピュータ２から処理装置１に移るので、処理装置１の一台だけである。

なお、ローカル／リモート切り換えスイッチ７の近傍又はスイッチ自体には、ＬＥＤ等の表示器が設けられ、例えばスイッチ７がローカル側に切り換えられている場合はＬＥＤを消灯させ、リモート側に切り換えられている場合はＬＥＤを点灯させる。これにより、処理装置１を操作している操作者は容易にスイッチ７の状態をＬＥＤの点灯・消灯で確認することができる。すなわち、現在操作権が処理装置１に存在するのか、あるいは遠隔のコンピュータ２に存在するのかを容易に認識することができる。

２）装置において特定の操作を行なうときに、端末の画面の一部をマスクして見えなくする機能。

この機能は、処理装置１において行なわれる操作中に表示される画面のうち、コンピュータ２の画面を介して他の操作者が見ることができないようにしたい場合があり、これに対処するために設けられる。

処理装置１において行なわれる操作中に表示される画面のうち、コンピュータ２の画面を介して他の操作者に見られたくないような操作の一例として、例えばログインする際にパスワードを入力する操作がある。

処理装置１に設けられた制御装置１０の表示・入力部１２が、タッチパネルである場合、画面上に表示されたキーを選択して触れることでパスワードを入力する。この際、画面上ではキーが触れられたことを示すために、触れられている間は押されたような状態のキーが表示される。このようなキー押し下げ表示は、処理装置１の画面だけでなはく、この処理装置１に接続されてＶＮＣｖｉｅｗｅｒが起動しているコンピュータ２の画面にも現れる。すなわち、コンピュータ２の画面上でキーの押し下げ表示を見ていれば、処理装置１の操作者が入力したパスワードを知ることができる。

したがって、このようなセキュリティ上の問題を防止するために、パスワードの入力操作のときには、コンピュータ２のパスワード入力画面のうちキー操作を促す画面の部分をマスクしてしまい（すなわち表示すべき情報を削除して表示されないようにする）、コンピュータ２からはパスワード入力操作画面をみることができなくしてしまう。これにより、パスワードの入力画面が表示されるのは処理装置１の画面のみとなり、処理装置１の操作者以外にパスワードが知れることを防止することができる。

上述の画面情報の一部の削除は、処理装置１の制御装置１０において行なわれる処理であり、制御装置１０の制御・演算部１１に格納されたプログラムにより行なわれる。

上述のように画面の一部をマスクすることが必要な操作は、パスワード入力操作に限られず、例えば装置のメンテナンスサービス時に表示させる特殊な画面であって、メンテナンス以外の操作者が知る必要のない操作の画面などがある。

３）操作権を有する端末以外の端末の画面を更新する時間間隔を長くする機能。

この機能は、操作権をもっていないコンピュータ２へのデータ送信量を削減してＣＰＵの負荷低減やネットワークのトラフィックを軽減するために設けられる。

操作権を有していないコンピュータ２であっても、ＶＮＣｖｉｅｗｅｒを起動することにより、処理装置１の画面と同じ画面を表示することができる。すなわち、処理装置１はＶＮＣｖｉｅｗｅｒを起動して処理装置と通信を確立しているコンピュータ２の全てに対して一定間隔毎に画面情報を送信する。これにより操作者ではなくても、現在の処理装置１の状態や処理装置１に施されている制御操作を知ることができる。

しかし、ＶＮＣｖｉｅｗｅｒを起動しているコンピュータ２の数が増えると、処理装置１から各コンピュータ２に送信する画面情報量が多くなり、処理装置１に設けられた制御装置１０の制御・演算部１１に設けられたＣＰＵに大きな負荷がかかってしまう。また、ネットワーク４，６上でのデータ転送量も非常に多くなってしまう。

操作権を有していないコンピュータ２は、制御操作をしているわけではないので入力操作は行なわれない。操作権を有している場合には画面を例えば０．５秒に一回更新する必要があるのに対し、操作権を有していない場合には単に処理装置の状態を見るだけであり、頻繁に画面を更新する必要ないものと考えられる。したがって、操作権を有していない場合には画面を例えば２秒に一回程度更新すればよいものと判断することができる。

そこで、操作権を有していないコンピュータ２に対しては、画像情報の送信間隔を長くする、ことによりデータ転送量を低減し、ＣＰＵの負荷を低減すると共に、ネットワーク上のデータ転送量も低減する。すなわち、処理装置１の制御・演算部１１は、操作権を有していないコンピュータ２から一定間隔（例えば０．５秒）で送られてくる画像情報転送要求に対して、何回かに一回（例えば４回に一回）しか画像情報を送信しないように制御する。これにより、処理装置１からの画像情報の転送量を大幅に低減することができる。

４）装置と通信可能な端末を制限する。

この機能は、ネットワーク６に接続されたコンピュータであっても、処理装置１の制御には関係ない端末である場合は、その関係ない端末との通信を処理装置１に拒否させて情報を取得することができないようにし、セキュリティを強化するために設けられる。

コンピュータ２が接続されるネットワーク６には様々な端末が接続されており、異なる製造ラインや部門のコンピュータも接続される。このようなコンピュータにＶＮＣｖｉｅｗｅｒをインストールしてしまえば、容易に処理装置１との通信を確立して画面情報を取得することができる。すなわち、外部の人がコンピュータを介して処理装置１での処理や制御の内容を容易に知ることができ、外部に公開したくない情報が漏洩するおそれがある。

そこで、処理装置１に対してＶＮＣｖｉｅｗｅｒを用いて通信を確立できるコンピュータを予め特定しておくことにより、不特定のコンピュータがＶＮＣｖｉｅｗｅｒを用いて処理装置１との通信を確立できないようにする。コンピュータの特定は、例えば、ネットワーク上の各コンピュータ２に割り当てられたホスト名（Host Name）あるいはＩＰアドレス（IP Address）により行なうことができる。

図５は一つの処理装置１に対して接続可能とするコンピュータ２を登録するための設定画面を示す。設定画面では、登録するホスト名（Host Name）、ポート番号（Port）、ＩＰアドレス（IP Address）及び接続時に使用するパスワード（Password)を入力する。ここで入力するパスワードは、コンピュータ２がログインする際に入力しなければならないパスワードである。

設定画面で登録されたホスト名あるいはＩＰアドレスに相当するコンピュータ２のみが、処理装置１に対してＶＮＣｖｉｅｗｅｒを用いて通信を確立できるように設定される。したがって、登録されていないコンピュータが処理装置１と通信を確立しようとしても、その要求は拒否される。

５）エラー発生時に、操作権を強制的に装置に移す機能。

この機能は、コンピュータ２からの制御操作だけでは解決できないようなエラーが発生した場合に、操作者が処理装置１の設置場所に出向いて直接操作してエラーを解決することを促すために設けられる。

なんらかのエラーが処理装置１に発生した場合、画面上にはエラー（異常）の発生が表示され、エラーを解決することが要求される。エラーの種類は様々であり、処理条件の異常や処理装置の機械的故障もあれば、制御装置のソフトウェア上のエラーもある。これらエラーのうち、原因が容易に特定できて予め対処方法が分かっているようなエラーの場合は、操作権を持っているコンピュータ２の画面を介してエラーを解決する操作を行ってもよい。しかし、原因不明のエラーや対処法がわからないようなエラーであった場合、遠隔制御することは危険であり、操作者が処理装置の設置場所に出向いて処理装置を直接操作することが望ましい。

そこで、制御装置を含む処理装置１に異常が発生した場合は、強制的に操作権を処理装置１側に移し、異常が取り除かれるまではコンピュータ２に操作権を付与できないようにする。これにより、異常が発生した場合は、操作者が必ず処理装置１の設置場所に出向いて処理装置１の状態を確認することとなり、遠隔制御で実際の処理装置の状態を確認しないまま操作をした場合に起こり得る問題を未然に防止することができる。

なお、全てのエラーが強制的に操作権を処理装置１に移さなければならないようなエラーというわけではなく、例えば、予めその異常の原因が判明していて対処方法もわかっているような異常の場合は、上述の強制的な操作権の移行は行なわなくてもよい。

強制的な操作権の処理装置への移行が必要な異常は、事前に想定できないような異常であり、例えば装置内の搬送ロボットのアームが損傷した場合のような機械的な故障や、制御装置が本来読み込むべきデータが見当たらないというような制御装置のソフトウェアでのデータ処理上の異常などを含んでいる。

６）装置において特定の画面の表示中、あるいは特定の操作を行なっているときには、端末への操作権の移行を禁止する機能。

この機能は、意図しない中断によりデータの不整合が発生し、誤動作や操作不能になるおそれがあるため、意図しない中断を起こさせないように設けられる。また、この機能は、処理装置１から操作権をコンピュータ２に移行してコンピュータ２から制御操作がすぐに行なわれた場合に、すでに行なわれている操作が中断したり無効となってしまうおそれがある場合に、操作権が移行できないようにするために設けられる。

操作権の移行を禁止すべき操作（状態）としては以下のような操作がある。

ａ）処理装置１のタッチパネルが押された状態になっている場合。

この場合は、タッチパネルへの操作を行なわないように注意する表示が行なわれ、コンピュータ２への操作権の移行は禁止される。

ｂ）遷移禁止の画面が表示されている場合。

この場合、現在表示中の画面を終了するように注意する表示が行なわれ、コンピュータ２への操作権の移行は禁止される。

ｃ）現在の操作レベルでは、遠隔操作に移行できない場合。

操作レベルとは、ログインする場合に選定されるレベルであり（図３のログイン画面参照）、通常操作（Normal Operation）、処理操作（Process Operation）、装置操作（Equipment Operation）サービス操作（Service Operation）等がある。例えば、通常操作のレベルは、誰でも操作することが許可されているが、サービス操作の場合は、メンテナンス担当者のみが行なうことのできるレベルの操作を行なうことができる。したがって、コンピュータ２からログインする場合に、通常操作を選定した場合はそのままログインが実行されて操作権がコンピュータ２に付与される。しかし、コンピュータ２からのログインする場合に、サービス操作を選定した場合は、操作レベルを変更するか、あるいはログアウトするように注意する表示が行なわれ、ログインは行なわれない。すなわち、操作権の付与は禁止される。

ｄ）パスワードを入力中の場合。

この場合は、パスワードの入力を終了するように注意する表示が行なわれて、コンピュータ２への操作権の移行は禁止される。

以上のように、処理装置１からコンピュータ２へと操作権を移行すると不具合が発生するおそれがあるような場合には、操作権の移行を禁止する処理が行なわれる。

なお、図６は上述のようにコンピュータ２への操作権の移行を禁止した場合に表示される画面の一例である。操作権の移行を禁止した際に、画面右上の"Select Screen"ボタンが黄色になり、操作権移行禁止の理由が示されたポップアップ画面が中央に表示される。

７）装置から端末へ操作権を移行可能とした際には、いずれかの端末が最初にログインした時点で、処理装置をログアウトする機能。

この機能は、処理装置１からコンピュータ２に操作権を移行可能にした時点からいずれかのコンピュータ２が操作権を取得するための操作を行なう時点までの間では、ログイン用の画面を表示せずに通常の画面を表示しておくために設けられる。

本実施例による遠隔制御システムでは、上述したように、処理装置１にローカル／リモート切り換えスイッチ７が設けられ、これを操作することにより処理装置１のみが操作権を有する状態と、コンピュータ２が操作権を持つことができる状態とを切り換えることができる。

ここで、処理装置１において制御操作を終了して、スイッチ７をリモート側に切り換えた場合を考える。この場合、スイッチ７を切り換えたということは、処理装置に付与されていた操作権が放棄されたことであり、本来なら処理装置１のログアウト処理が行われる。すなわち、処理装置１のログアウトを行わないかぎり、リモート側すなわちコンピュータ２には操作権を移行することができないためである。

ところが、ローカル／リモート切り換えスイッチ７を切り換えた時点で直ちに処理装置１のログアウトを実行すると、処理装置１の画面にはログインを促すログイン画面（図３参照）が表示されてしまう。したがって、全てのコンピュータ２にも処理装置１に表示された画面であるログイン画面が表示されてしまう。

このような場合、それまでコンピュータ２の画面で処理装置１の状態を監視していた操作者がいた場合、ローカル／リモート切り換えスイッチ７を切り換えた時点で処理装置の状態を示す画面がログイン画面に切り替わってしまう。ログイン画面の表示は、コンピュータ２のいずれかがログイン操作を行なうまで継続するので、コンピュータの画面で通常の画面を表示させるには、当該操作者は処理装置１を操作する意図がないのにログインを行なわなければならない。

このような不具合をなくすために、本実施例では、ローカル／リモート切り換えスイッチ７をリモート側に切り換えられた時点では、処理装置１のログアウト処理を行なわず、コンピュータ２のいずれかがログインをするための最初の操作を行なった時点で初めて処理装置１のログアウト処理を行なうこととしている。

これにより、コンピュータ２のいずれかがログインをするための最初の操作を行なった時点で初めてログイン画面が表示されることとなり、ローカル／リモート切り換えスイッチ７をリモート側に切り換えられた時点以後も継続してコンピュータ２あるいは処理装置において通常の操作画面を表示しておくことができる。ここで、コンピュータ２のいずれかで行なわれるログインのための最初の動作とは、通常の操作画面上の左上に示されるログイン用のボタンを押す（クリックする）ことである。このボタンは図３における"LOGIN REMOTE"ボタンである。

８）複数の装置の特定の状態を監視し、装置に対応するＶＮＣｖｉｅｗｅｒが起動しているか否かを画面上で認識できるようにする機能。

この機能は、複数の処理装置１の状態を一つの画面で認識するために設けられる。図１に示す遠隔制御システムでは、３台の処理装置１が示されているが、処理装置の数は３台に限られず、例えば２０台の処理装置１がネットワーク４に接続されていることを想定する。この場合、２０台の処理装置１の状態を一度に監視しようとすると、一台のコンピュータ２の画面上に２０台分の処理装置の画面情報を表示しなければならない。

このような機能を達成するために、ＶＮＣｖｉｅｗｅｒに加えて専用のソフトウェア（プログラム）をコンピュータ２に組み込む。この専用のプログラムをＲＣＳモニタと称する。ＲＣＳモニタは、接続されて稼動している全ての処理装置１と通信を行い必要な特定の情報のみを表示する処理をコンピュータ２に実行させるプログラムである。

図７はＲＣＳモニタによる表示例を示す図である。この例では１２台の処理装置が稼動中であり、１台のコンピュータ２の画面上に１２台分の小さな表示枠２０が表示されている。本実施例において、各処理装置１に対応する小さな表示枠２０には、図８に示すように、処理装置１の名称２１と、当該処理装置１にアラームが発生しているか否かを示すアラーム情報２２と、ローカル／リモート切り換えスイッチ７の状態を示すスイッチ情報２３と、当該コンピュータ２のＶＮＣｖｉｅｗｅｒが起動しているか否かを示すＶＮＣ情報２４とが表示される。すなわち、本実施例では必要な特定情報とは、当該処理装置１にアラームが発生しているか否かを示す情報２２と、ローカル／リモート切り換えスイッチ７の状態を示す情報２３と、当該コンピュータ２のＶＮＣｖｉｅｗｅｒが起動しているか否かを示す情報２４である。

アラームを示す情報は、処理装置１でアラームが発生していない場合は"ALARM"という表示の周囲が緑色に表示され、アラームが発生している場合は赤色に表示される。したがって、稼動中の処理装置のうちどれが正常に稼動しており、どれが異常でアラームが発生しているかを一目で確認することができる。

また、ローカル／リモート切り換えスイッチ７の状態を示す情報２３は、スイッチ７がローカル側に切り換えられている場合は、"LOCAL"という表示となり、リモート側に切り換えられている場合は、"REMOTE"という表示となる。

また、コンピュータ２のＶＮＣｖｉｅｗｅｒが起動しているか否かを示す情報２４は、ＶＮＣｖｉｅｗｅｒが起動されている場合は、"VNC ACT"の周囲が黄色で表示され、起動されていない場合は、青色で表示される。

以上のような表示の他に、ＲＣＳモニタは全ての処理装置１と通信を行なっており、処理装置１との接続がワイヤの断線等により不意に切断された場合には、それを検知してコンピュータ２の画面上に表示する機能を有している。

また、ＲＣＳモニタは、ＶＮＣｖｉｅｗｅｒが正規のログアウト処理以外で終了した場合にその終了したことを処理装置１に通知する機能を有している。

さらに、ＲＣＳモニタは、コンピュータ２においてＶＮＣｖｉｅｗｅｒが起動されコンピュータ２の画面上に処理装置１の情報が表示可能となったことを処理装置１に通知する機能も有している。

本発明が適用される遠隔制御システムの構成を示す図である。 図１に示す処理装置に組み込まれた制御装置のブロック図である。 ログイン画面を示す図である。 ログアウト画面を示す図である。 接続端末設定画面を示す図である。 操作権付与を禁止した場合の表示画面を示す図である。 ＲＣＳモニタの機能を説明するための図である。 ＲＣＳモニタによる表示内容を説明するための図である。

符号の説明

１ 処理装置
２ コンピュータ
３ クリーンルーム
４，６ ネットワーク
５ タッチパネル
７ ローカル／リモート切り換えスイッチ
１０ 制御装置
１１ 制御・演算部
１２ 表示・入力部
１３ 外部記憶部
１４ 印刷部
１５ バス
１６ 機械制御・演算部
１７ 入出力部
２０ 表示枠
２１ 名称
２２ アラーム情報
２３ スイッチ情報
２４ ＶＮＣ情報

Claims (17)

1. 複数の処理装置が設置された室の外に配置された端末と該処理装置とがネットワークを介して接続され、該処理装置の操作画面と同じ操作画面を該端末で表示しながら前記端末における操作で前記処理装置を制御可能な遠隔制御システムに用いられるよう構成された、前記処理装置に組み込まれる制御装置であって、
   操作権が付与されて前記処理装置の制御を行うことができる端末以外の端末に対して一定の時間間隔毎に送信する画面情報の送信間隔を延長する送信間隔延長手段を有することを特徴とする制御装置。
2. 請求項１記載の制御装置であって、
   前記送信間隔延長手段は、前記一定の時間間隔での画像情報の送信を間びくことにより前記送信間隔を延長することを特徴とする制御装置。
3. 複数の処理装置が設置された室の外に配置された端末と該処理装置とがネットワークを介して接続され、該処理装置の操作画面と同じ操作画面を該端末で表示しながら前記端末における操作で前記処理装置を制御可能な遠隔制御システムに用いられる制御方法であって、
   操作権が付与されて前記処理装置の制御を行うことができる端末以外の端末に対して一定の時間間隔毎に送信する画面情報の送信間隔を延長することを特徴とする制御方法。
4. 複数の処理装置が設置された室の外に配置された端末と該処理装置とがネットワークを介して接続され、該処理装置の操作画面と同じ操作画面を該端末で表示しながら前記端末における操作で前記処理装置を制御可能な遠隔制御システムにおいて用いられるように構成された、前記処理装置に組み込まれた制御装置に組み込まれるプログラムであって、
   操作権が付与されて前記処理装置の制御を行うことができる端末以外の端末に対して一定の時間間隔毎に送信する画面情報の送信間隔を延長する手順を記述したことを特徴とするプログラム。
5. 自身が設置された室の外に配置された複数の端末とネットワークを介して接続され、自身の操作画面と同じ操作画面を該端末で表示することにより前記端末における操作で制御可能な処理装置であって、
   被処理体を処理する処理部と、
   前記処理部の動作を制御し、且つ前記ネットワークを介して前記端末に画像情報を送信する制御装置と
   を有し、
   前記制御装置は、操作権が付与されて前記処理装置の制御を行うことができる端末以外の端末に対して一定の時間間隔毎に送信する画面情報の送信間隔を延長する送信間隔延長手段を有することを特徴とする処理装置。
6. 複数の処理装置が設置された室の外に配置された端末と該処理装置とがネットワークを介して接続され、該処理装置の操作画面と同じ操作画面を該端末で表示しながら前記端末における操作で前記処理装置を制御可能な遠隔制御システムに用いられるよう構成された、前記処理装置に組み込まれる制御装置であって、
   前記端末に操作権が付与されて前記処理装置を制御可能であって、且つ前記処理装置に異常が発生したことを検出した際に、前記操作権を前記処理装置に強制的に移行させる操作権移行手段を有することを特徴とする制御装置。
7. 請求項６記載の制御装置であって、
   前記操作権移行手段は、検出した予め想定される異常以外の異常の場合に前記操作権を前記処理装置に強制的に移行させる操作権移行手段を有することを特徴とする制御装置。
8. 複数の処理装置が設置された室の外に配置された端末と該処理装置とがネットワークを介して接続され、該処理装置の操作画面と同じ操作画面を該端末で表示しながら前記端末における操作で前記処理装置を制御可能な遠隔制御システムに用いられる制御方法であって、
   前記端末に操作権が付与されて前記処理装置を制御可能であって、且つ前記処理装置に異常が発生したことを検出した際に、前記操作権を前記処理装置に強制的に移行させることを特徴とする制御方法。
9. 複数の処理装置が設置された室の外に配置された端末と該処理装置とがネットワークを介して接続され、該処理装置の操作画面と同じ操作画面を該端末で表示しながら前記端末における操作で前記処理装置を制御可能な遠隔制御システムにおいて用いられるように構成された、前記処理装置に組み込まれた制御装置に組み込まれるプログラムであって、
   前記端末に操作権が付与されて前記処理装置を制御可能であって、且つ前記処理装置に異常が発生したことを検出した際に、前記操作権を前記処理装置に強制的に移行させる手順を記述したことを特徴とするプログラム。
10. 自身が設置された室の外に配置された複数の端末とネットワークを介して接続され、自身の操作画面と同じ操作画面を該端末で表示することにより前記端末における操作で制御可能な処理装置であって、
    被処理体を処理する処理部と、
    前記処理部の動作を制御し、且つ前記ネットワークを介して前記端末に画像情報を送信する制御装置と
    を有し、
    前記制御装置は、前記端末に操作権が付与されて前記処理装置を制御可能であって、且つ前記処理装置に異常が発生したことを検出した際に、前記操作権を前記処理装置に強制的に移行させる操作権移行手段を有することを特徴とする処理装置。
11. 複数の処理装置が設置された室の外に配置された端末と該処理装置とがネットワークを介して接続され、該処理装置の操作画面と同じ操作画面を該端末で表示しながら前記端末における操作で前記処理装置を制御可能な遠隔制御システムに用いられるよう構成された、前記処理装置に組み込まれる制御装置であって、
    前記処理装置が所定の状態にあるときには、前記端末への操作権の付与を禁止する操作権付与禁止手段を有することを特徴とする制御装置。
12. 請求項１１記載の制御装置であって、
    前記所定の状態は、前記制御装置が所定の操作を行っている状態であることを特徴とする制御装置。
13. 請求項１１記載の制御装置であって、
    前記所定の状態は、前記制御装置が所定の画面を表示している状態であることを特徴とする制御装置。
14. 請求項１１記載の制御装置であって、
    前記所定の状態は、前記処理装置の表示入力部が操作中の場合、前記端末への操作権の付与を禁止する画面が表示されている場合、制御操作のレベル設定が所定のレベル以上である場合、及び、前記端末に操作権を付与することができない場合のうちのいずれかであることを特徴とする制御装置。
15. 複数の処理装置が設置された室の外に配置された端末と該処理装置とがネットワークを介して接続され、該処理装置の操作画面と同じ操作画面を該端末で表示しながら前記端末における操作で前記処理装置を制御可能な遠隔制御システムに用いられる制御方法であって、
    前記処理装置が所定の状態にあるときには、前記端末への操作権の付与を禁止することを特徴とする制御方法。
16. 複数の処理装置が設置された室の外に配置された端末と該処理装置とがネットワークを介して接続され、該処理装置の操作画面と同じ操作画面を該端末で表示しながら前記端末における操作で前記処理装置を制御可能な遠隔制御システムにおいて用いられるように構成された、前記処理装置に組み込まれた制御装置に組み込まれるプログラムであって、
    前記処理装置が所定の状態にあるときには、前記端末への操作権の付与を禁止する手順を記述したことを特徴とするプログラム。
17. 自身が設置された室の外に配置された複数の端末とネットワークを介して接続され、自身の操作画面と同じ操作画面を該端末で表示することにより前記端末における操作で制御可能な処理装置であって、
    被処理体を処理する処理部と、
    前記処理部の動作を制御し、且つ前記ネットワークを介して前記端末に画像情報を送信する制御装置と
    を有し、
    前記制御装置は、前記処理装置が所定の状態にあるときには、前記端末への操作権の付与を禁止する操作権付与禁止手段を有することを特徴とする処理装置。

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