KR20220029393A - 반도체 제조 시스템, 제어 장치, 및 제어 방법 - Google Patents

반도체 제조 시스템, 제어 장치, 및 제어 방법 Download PDF

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겐이치 고바야시
다케히로 기노시타
다카시 오에
노리아키 가나야
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도쿄엘렉트론가부시키가이샤
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Abstract

본 개시는, 로컬 조작 단말 및 1대 이상의 리모트 단말마다 반도체 제조 장치의 상이한 장치 화면을 동시에 표시할 수 있고, 장치 화면으로부터 반도체 제조 장치에 대한 조작을 접수하는 기술을 제공하는 것을 목적으로 한다.
반도체 제조 장치의 장치 화면을 표시하는 로컬 조작 단말과, 반도체 제조 장치와 네트워크를 통해 접속되고, 장치 화면을 표시하는 리모트 조작 단말과, 로컬 조작 단말 및 리모트 조작 단말이 유저로부터 접수한 조작에 기초하여 반도체 제조 장치를 제어하는 제어 장치를 가지며, 제어 장치는, 로컬 조작 단말 및 리모트 조작 단말로부터의 동시 로그인 상태를 관리하는 수단과, 로컬 및 리모트 조작 단말의 장치 화면 표시 상태를 관리하는 수단과, 로컬 및 리모트 조작 단말에 송신하는 장치 화면의 화면 데이터를, 동시 로그인 상태 및 장치 화면 표시 상태에 기초하여, 로컬 및 리모트 조작 단말마다 작성하는 수단을 가짐으로써 상기 과제를 해결한다.

Description

반도체 제조 시스템, 제어 장치, 및 제어 방법{SEMICONDUCTOR MANUFACTURING SYSTEM, CONTROL DEVICE, AND CONTROL METHOD}
본 개시는, 반도체 제조 시스템, 제어 장치, 제어 방법 및 프로그램에 관한 것이다.
예컨대 반도체 제조 장치는 자신의 동작을 제어하기 위한 제어 장치를 구비하고 있다. 제어 장치에는, 입력 장치와 표시 장치가 설치된다. 조작자는, 입력 장치를 통해 제어 장치에 지령이나 정보를 입력하여 반도체 제조 장치를 제어하고, 표시 장치에 표시된 반도체 제조 장치의 처리 조건 설정이나 현재의 상태 등을 확인한다. 조작자는, 클린룸 내의 반도체 제조 장치가 설치된 장소에서, 제어 장치에 설치된 입력 장치나 표시 장치로부터 반도체 제조 장치를 제어하거나 감시하거나 할 수 있다.
통상, 반도체 제조 장치는 클린룸 내에 설치되어 있다. 클린룸 내부는 환경을 일정하게 유지해야 하기 때문에, 사람의 출입을 극력 억제할 필요가 있다. 클린룸 내에 설치된 반도체 제조 장치를 클린룸 밖의 컴퓨터에 네트워크를 통해 접속하고, 컴퓨터에 의해 처리 장치의 동작을 제어하거나 감시하거나 하는 원격 제어 시스템은 종래부터 알려져 있다(예컨대, 특허문헌 1 참조).
[특허문헌 1] 일본 특허 공개 제2008-251050호 공보
본 개시는, 로컬 조작 단말 및 1대 이상의 리모트 단말마다 반도체 제조 장치의 상이한 장치 화면을 동시에 표시할 수 있고, 장치 화면으로부터 반도체 제조 장치에 대한 조작을 접수하는 기술을 제공한다.
본 개시의 일 양태의 반도체 제조 시스템은, 반도체 제조 장치의 장치 화면을 표시하는 로컬 조작 단말과, 상기 반도체 제조 장치와 네트워크를 통해 접속되어 있고, 상기 장치 화면을 표시하는 1대 이상의 리모트 조작 단말과, 상기 장치 화면을 표시하는 상기 로컬 조작 단말 및 상기 리모트 조작 단말이 유저로부터 접수한 조작에 기초하여 상기 반도체 제조 장치를 제어하는 제어 장치를 가지며, 상기 제어 장치는, 상기 로컬 조작 단말 및 상기 리모트 조작 단말로부터의 동시 로그인 상태를 관리하는 로그인 상태 관리 수단과, 로그인 중의 상기 로컬 조작 단말 및 상기 리모트 조작 단말의 장치 화면 표시 상태를 관리하는 장치 화면 표시 상태 관리 수단과, 상기 로그인 중의 상기 로컬 조작 단말 및 상기 리모트 조작 단말에 송신하는 상기 장치 화면의 화면 데이터를, 상기 동시 로그인 상태 및 상기 장치 화면 표시 상태에 기초하여, 상기 로컬 조작 단말 및 상기 리모트 조작 단말마다 작성하는 화면 데이터 작성 수단을 갖는다.
본 개시에 따르면, 로컬 조작 단말 및 1대 이상의 리모트 단말마다 반도체 제조 장치의 상이한 장치 화면을 동시에 표시할 수 있고, 장치 화면으로부터 반도체 제조 장치에 대한 조작을 접수하는 기술을 제공할 수 있다.
도 1은 본 실시형태에 따른 반도체 제조 시스템의 일례의 구성도이다.
도 2는 컴퓨터의 일례의 하드웨어 구성도이다.
도 3은 본 실시형태에 따른 제어 장치의 일례의 기능 블록도이다.
도 4는 로그인 중에 표시되는 화면의 일례의 이미지도이다.
도 5는 로그인 중에 표시되는 화면의 일례의 이미지도이다.
도 6은 로그인 중에 표시되는 화면의 일례의 이미지도이다.
도 7은 본 실시형태에 있어서의 장치 화면의 배타 제어(排他制御)의 일례를 나타낸 분류도이다.
도 8은 본 실시형태에 따른 제어 장치의 처리의 일례의 흐름도이다.
이하, 도면을 참조하여, 본 발명을 실시하기 위한 형태의 설명을 행한다.
<시스템 구성>
도 1은 본 실시형태에 따른 반도체 제조 시스템(1)의 일례의 구성도이다. 도 1에 도시된 반도체 제조 시스템(1)은, 반도체 제조 장치(10), 로컬 조작 단말(12),및 리모트 조작 단말(20)을 갖는다. 반도체 제조 시스템(1)은, 반도체 제조 장치(10)를 로컬 조작 단말(12) 및 1대 이상의 리모트 조작 단말(20)로부터 원격 제어(원격 제어)하기 위해 구축된 시스템이다.
반도체 제조 장치(10)는 클린룸(2) 내에 1대 이상 설치되어 있다. 반도체 제조 장치(10)는 LAN(Local Area Network) 등의 네트워크(24)를 통해 통신 가능하게 접속된다. 반도체 제조 장치(10)는, 예컨대 성막 처리, 에칭, 포토리소그래피 등의 처리를 행하는 장치이다.
반도체 제조 장치(10)는, 피처리체의 처리를 행하는 처리부와, 처리부의 제어를 행하는 제어 장치를 갖고 있다. 도 1에서는 반도체 제조 장치(10) 내에 설치되어 있는 제어 장치를 도시하고 있지 않지만, 제어 장치의 표시·입력 장치인 로컬 조작 단말(12)이 반도체 제조 장치(10)에 부착된 상태를 일례로서 나타내고 있다.
리모트 조작 단말(20)은, 클린룸(2) 밖의 예컨대 사무실 내에 설치되고, LAN 등의 네트워크(22)를 통해 통신 가능하게 접속된다. 네트워크(22)는 클린룸(2) 내의 네트워크(24)와 통신 가능하게 접속된다. 사무실 내부 등에 설치되어 있는 리모트 조작 단말(20)은 네트워크(22 및 24)를 통해 반도체 제조 장치(10)의 제어 장치와 통신할 수 있다.
도 1의 반도체 제조 시스템(1)에서는 반도체 제조 장치(10)의 장치 화면을 로컬 조작 단말(12) 및 리모트 조작 단말(20)에 표시하고, 그 장치 화면에 대한 유저(조작자)의 조작에 기초하여 반도체 제조 장치(10)를 제어할 수 있다. 반도체 제조 장치(10)의 제어 장치는, 후술하는 바와 같이, 복수의 유저에 의한 동시 로그인(멀티 로그인)을 접수하고, 로그인 중의 유저가 조작하는 로컬 조작 단말(12) 및 리모트 조작 단말(20)[이하에서는, 로그인 중의 로컬 조작 단말(12) 및 리모트 조작 단말(20)이라고 부름]에, 상이한 장치 화면을 표시시킬 수 있다.
이것에 의해, 도 1의 반도체 제조 시스템(1)에서는, 동일한 반도체 제조 장치(10)의 제어 장치에 로그인 중의 로컬 조작 단말(12) 및 1대 이상의 리모트 조작 단말(20)에, 동시에 상이한 장치 화면을 독립적으로 표시시키고, 상이한 장치 화면으로부터의 반도체 제조 장치(10)의 제어를 가능하게 하고 있다. 또한, 반도체 제조 장치(10)의 제어 장치는, 로그인 중의 로컬 조작 단말(12) 및 1대 이상의 리모트 조작 단말(20)에 표시하는 장치 화면의 배타 제어를 후술하는 바와 같이 행한다.
도 1의 반도체 제조 시스템(1)은, 동일한 반도체 제조 장치(10)의 제어 장치에 로컬 조작 단말(12) 및 1대 이상의 리모트 조작 단말(20)로부터 각각 로그인 중의 유저가, 상이한 장치 화면을 열람하고, 상이한 (개별의) 장치 화면으로부터 동일한 반도체 제조 장치(10)를 조작할 수 있다.
로컬 조작 단말(12)은 로컬/리모트 전환 스위치(14)를 구비하고, 유저로부터 로컬 조작 단말(12) 또는 리모트 조작 단말(20)의 선택을 유저로부터 접수한다. 로컬 조작 단말(12) 및 리모트 조작 단말(20)은, 예컨대 퍼스널 컴퓨터(PC)나 태블릿 단말, 스마트폰, 전용 단말 등에 의해 실현된다.
또한, 반도체 제조 장치(10)는 도 1과 같이 제어 장치가 내장되어 있어도 좋고, 통신 가능하게 접속되어 있으면 반드시 내장되어 있지 않아도 좋다. 제어 장치는, 반도체 제조 장치(10)를 제어하는 컴퓨터 구성을 가진 컨트롤러이다. 예컨대 제어 장치는 레시피에 따라 반도체 제조 장치(10)의 제어 부품을 제어하는 파라미터를 반도체 제조 장치(10)에 출력한다.
제어 장치는, 반도체 제조 장치(10)에 대한 조작을 유저로부터 접수함과 더불어, 반도체 제조 장치(10)에 관한 정보를 유저에게 열람시키는 유저 인터페이스(UI) 기능을 갖는다. 예컨대 제어 장치의 UI 기능은, 로컬 조작 단말(12) 및 리모트 조작 단말(20)에 표시시키는 장치 화면을 후술하는 바와 같이 관리한다.
또한, 도 1의 반도체 제조 시스템(1)은 일례이며, 용도나 목적에 따라 다양한 시스템 구성예가 있는 것은 말할 필요도 없다. 예컨대 반도체 제조 시스템(1)은, 각각의 반도체 제조 장치(10)의 제어 장치가, 복수의 반도체 제조 장치(10)용 제어 장치로 통합된 구성이나 더 분할된 구성 등, 다양한 구성이 가능하다.
<하드웨어 구성>
도 1에 도시된 반도체 제조 시스템(1)의 제어 장치는, 예컨대 도 2에 도시된 바와 같은 하드웨어 구성의 컴퓨터(100)에 의해 실현된다. 도 2는 컴퓨터의 일례의 하드웨어 구성도이다.
컴퓨터(100)는, 주제어부(101)와, 기억 장치(105)와, 외부 인터페이스(106)와, 이들을 서로 접속하는 버스(107)를 구비하고 있다. 주제어부(101)는 CPU(Central Processing Unit)(111)와, RAM(Random Access Memory)(112)과, ROM(Read Only Memory)(113)을 갖고 있다. 기억 장치(105)는 제어에 필요한 프로그램이나 정보의 기록 및 판독을 행하도록 되어 있다. 기억 장치(105)는, HDD(Hard Disk Drive) 등의 컴퓨터 판독 가능한 기억 매체를 갖고 있다. 기억 매체에는, 웨이퍼에 대한 원하는 처리의 레시피 등이 기억되어 있다.
제어 장치에서는, CPU(111)가, RAM(112)을 작업 영역으로 이용하여, ROM(113) 또는 기억 장치(105)의 기억 매체에 저장된 프로그램을 실행함으로써, 로컬 조작 단말(12) 및 리모트 조작 단말(20)에 장치 화면을 표시시키고, 유저의 장치 화면에 대한 조작에 기초하여 반도체 제조 장치(10)를 제어한다.
반도체 제조 장치(10)의 제어 장치는, 예컨대 도 2의 컴퓨터(100)의 하드웨어 구성으로 프로그램을 실행함으로써, 도 3의 각종 기능을 실현할 수 있다.
<기능 구성>
본 실시형태에 따른 반도체 제조 시스템(1)의 제어 장치(30)는, 예컨대 도 3의 기능 블록을 실현한다. 도 3은 본 실시형태에 따른 제어 장치의 일례의 기능 블록도이다. 도 3의 기능 블록도는, 본 실시형태의 설명에 불필요한 구성에 대해서 도시를 생략하고 있다.
제어 장치(30)는 프로그램을 실행함으로써, 로그인 처리부(32), 화면 데이터 취득 요구 접수부(34), 화면 데이터 송신부(36), 조작 정보 접수부(38), 화면 관리부(40), 기계 제어부(42), 입출력부(44), 및 로컬/리모트 전환 스위치 상태 판정부(46)를 실현하고 있다.
로그인 처리부(32)는, 로컬 조작 단말(12) 및 리모트 조작 단말(20)로부터의 로그인 요구에 대한 로그인 처리를 행한다. 화면 데이터 취득 요구 접수부(34)는, 로컬 조작 단말(12) 및 리모트 조작 단말(20)에 탑재된 애플리케이션 프로그램(이하, 단순히 앱이라고 부름) 등으로부터의 화면 데이터 취득 요구를 접수한다. 화면 데이터 송신부(36)는, 화면 데이터 취득 요구에 기초하여 작성한 화면 데이터를, 화면 데이터 취득 요구원의 로컬 조작 단말(12) 및 리모트 조작 단말(20)에 송신한다.
로컬 조작 단말(12) 및 리모트 조작 단말(20)에 탑재된 앱 등은, 수신한 화면 데이터에 기초한 화면을 표시한다. 수신한 화면 데이터에 기초한 화면에는, 반도체 제조 장치(10)의 장치 화면이 포함된다. 로컬 조작 단말(12) 및 리모트 조작 단말(20)을 조작하는 유저는, 장치 화면을 조작함으로써 반도체 제조 장치(10)를 제어할 수 있다.
예컨대 장치 화면을 표시하는 로컬 조작 단말(12) 및 리모트 조작 단말(20)은, 장치 화면에 대한 유저의 조작에 기초하여, 조작 정보를 제어 장치(30)에 송신한다. 여기서, 조작 정보는, 로컬 조작 단말(12) 및 리모트 조작 단말(20)이 표시하는 장치 화면 등의 화면에 대한 유저의 조작을, 제어 장치(30)에 통지할 수 있는 정보이면 좋다. 제어 장치(30)의 조작 정보 접수부(38)는 로컬 조작 단말(12) 및 리모트 조작 단말(20)로부터 송신된 조작 정보를 접수한다.
또한, 제어 장치(30)는 복수의 유저에 의한 로컬 조작 단말(12) 및 리모트 조작 단말(20)로부터의 동시 로그인을 접수하고, 로그인 중의 로컬 조작 단말(12) 및 리모트 조작 단말(20)에, 상이한 장치 화면을 표시시키기 위해, 복수의 통신 포트를 개방한다. 제어 장치(30)는 예컨대 복수의 VNC(Virtual Network Computing) 서버를 가동하고, 포트 번호로 로컬 조작 단말(12) 및 리모트 조작 단말(20)에 독립된 개별 장치 화면을 동시에 표시 가능하게 한다.
화면 관리부(40)는 로그인 중의 로컬 조작 단말(12) 및 리모트 조작 단말(20)에 표시시키는 화면에 관한 관리를 행한다. 화면 관리부(40)는, 로그인 상태 관리부(50), 장치 화면 표시 상태 관리부(52), 배타 제어부(54), 화면 데이터 작성부(56), 조작 정보 판정부(58), 실행 지시부(60), 및 리모트 조작 차단부(62)를 갖는 구성이다.
로그인 상태 관리부(50)는 로그인 중의 로컬 조작 단말(12) 및 리모트 조작 단말(20)에 관한 정보(로그인 상태)를 관리한다. 장치 화면 표시 상태 관리부(52)는 로그인 중의 로컬 조작 단말(12) 및 리모트 조작 단말(20)이 표시 중의 장치 화면에 관한 정보(장치 화면 표시 상태)를 관리한다. 배타 제어부(54)는, 로그인 중의 로컬 조작 단말(12) 및 1대 이상의 리모트 조작 단말(20)에 표시하는 장치 화면의 배타 제어를 행한다. 본 실시형태의 반도체 제조 시스템(1)에서는, 로그인 중의 로컬 조작 단말(12) 및 1대 이상의 리모트 조작 단말(20)이 독립된 장치 화면을 동시에 표시하기 때문에, 표시 가부를 포함한 필요한 배타 제어를 행한다.
화면 데이터 작성부(56)는, 로그인 중의 로컬 조작 단말(12) 및 리모트 조작 단말(20)로부터 접수한 화면 데이터 취득 요구, 로그인 상태, 장치 화면 표시 상태, 및 배타 제어의 결과에 따라, 화면 데이터를 작성한다. 화면 데이터 작성부(56)가 화면 데이터를 작성하는 장치 화면은, 표시하는 정보의 종류에 따라 복수의 화면이 존재한다.
예컨대 통상 운용시에 있어서, 장치 화면은 가스 플로우 상태나 온도 등의 데이터의 종류마다 다른 화면에 표시하는 경우가 있다. 또한, 메인터넌스 작업시에 있어서, 장치 화면은 작업의 종류마다 다른 화면을 표시하는 경우가 있다. 화면 데이터 작성부(56)는, 장치 화면의 복수의 화면 중으로부터, 로그인 중의 로컬 조작 단말(12) 및 리모트 조작 단말(20)로부터 접수한 화면 데이터 취득 요구에 따른 화면 데이터를 작성한다.
조작 정보 판정부(58)는, 로그인 중의 로컬 조작 단말(12) 및 1대 이상의 리모트 조작 단말(20)로부터 접수한 조작 정보에 기초하여, 조작 정보에 따른 반도체 제조 장치(10)에의 실행 지시가 가능한지 여부를 판정한다. 본 실시형태의 반도체 제조 시스템(1)에서는, 로그인 중의 로컬 조작 단말(12) 및 1대 이상의 리모트 조작 단말(20)이 독립된 장치 화면을 동시에 표시하기 때문에, 조작 정보에 따른 실행 지시의 가부를 포함한 필요한 판정을 행한다. 실행 지시부(60)는 조작 정보에 따른 반도체 제조 장치(10)에의 실행 지시가 가능하면, 조작 정보에 따른 실행 지시를 행한다.
리모트 조작 차단부(62)는 로컬/리모트 전환 스위치(14)가 리모트 조작 단말(20)의 선택 상태에서 로컬 조작 단말(12)의 선택 상태로 전환되면, 로그인 중인 리모트 조작 단말(20)을 로그아웃시켜, 리모트 조작 단말(20)로부터의 원격 제어를 차단한다.
기계 제어부(42)는, 화면 관리부(40)로부터의 요구나 실행 지시에 기초하여 반도체 제조 장치(10)의 각부의 동작이나 설정을 제어한다. 입출력부(44)는 기계 제어부(42)로부터 송신된 제어 지령을 대응하는 반도체 제조 장치(10)의 각부에 송신하고, 필요한 정보를 각부로부터 수신한다. 입출력부(44)가 수신하는 정보에는, 센서 출력 데이터가 포함된다. 기계 제어부(42)는 입출력부(44)가 반도체 제조 장치(10)의 각부로부터 수신한 정보를 화면 관리부(40)에 송신한다. 예컨대 화면 관리부(40)는 반도체 제조 장치(10)의 각부로부터 수신한 정보를 장치 화면의 화면 데이터의 작성에 이용한다. 로컬/리모트 전환 스위치 상태 판정부(46)는, 로컬/리모트 전환 스위치(14)가 리모트 조작 단말(20)의 선택 상태인지, 로컬 조작 단말(12)의 선택 상태인지를 판정한다.
<화면>
도 4는 로그인 중에 표시되는 화면의 일례의 이미지도이다. 도 4의 화면(1000)은 로그인 중의 로컬 조작 단말(12) 및 리모트 조작 단말(20)에 표시된다. 도 4의 화면(1000)에서는 탭(1002 및 1004)에 의해 대시보드 화면 및 장치 화면을 전환하여 표시할 수 있다. 도 4의 화면(1000)은 탭(1002)이 선택되고, 대시보드 화면이 표시되어 있는 예이다.
또한, 화면(1000)에는 장치 상태 표시란(1006)이 표시된다. 장치 상태 표시란(1006)은, 반도체 제조 장치(10)의 장치명, 로컬 조작 단말(12)의 로그인 상태, 로컬 조작 단말(12)의 로그인 유저명, 리모트 조작 단말(20)의 이용 상황, 리모트 조작 단말(20)의 로그인 유저명, 반도체 제조 장치(10)의 시그널 타워의 상태, 반도체 제조 장치(10)의 알람 상태, 로컬/리모트 전환 스위치(14)의 상태, 레시피 실행 상태 등의 정보가 표시된다.
도 4의 화면(1000)에 있어서 탭(1004)이 선택되면, 화면(1000)에는 도 5에 도시된 바와 같이, 반도체 제조 장치(10)의 장치 화면에 접속, 절단, 또는 장치 화면의 설정을 행하기 위한 커맨드 아이콘(1010)이 표시된다. 또한, 도 5의 화면(1000)에는 이용 유저 표시란(1012)이 표시된다. 이용 유저 표시란(1012)은, 로그인한 반도체 제조 장치(10)를 이용하고 있는(로그인 중인) 유저의 유저 정보로서, 리모트/로컬 식별 정보, 유저명, 및 단말명 등이 표시된다.
도 5의 화면(1000)에 있어서 접속의 커맨드 아이콘(1010)이 선택되면, 화면(1000)에는 도 6에 도시된 바와 같이, 로그인 중의 반도체 제조 장치(10)의 장치 화면(1014)이 표시된다. 도 6의 장치 화면(1014)이 표시된 로컬 조작 단말(12) 및 리모트 조작 단말(20)을 조작하는 유저는, 장치 화면(1014)을 조작함으로써 로그인 중의 반도체 제조 장치(10)의 가스 플로우 상태, 프로세스 상태, 시스템 상태 등을 열람할 수 있다.
또한, 도 6의 장치 화면(1014)이 표시된 로컬 조작 단말(12) 및 리모트 조작 단말(20)을 조작하는 유저는, 장치 화면(1014)을 조작함으로써 로그인 중의 반도체 제조 장치(10)를 제어할 수 있다. 단, 장치 화면(1014)은 리모트 조작 단말(20)로부터 접수하는 조작에 제한을 두도록 하여도 좋다. 예컨대 장치 화면(1014)은 반도체 제조 장치(10)의 동작을 포함하는 조작을 리모트 조작 단말(20)로부터 접수하지 않도록 제한하여도 좋다.
또한, 예컨대 리모트 조작 단말(20)에 표시된 장치 화면(1014)은 로컬 조작 단말(12)이 로그인 중인 경우에, 반도체 제조 장치(10)의 동작을 포함하는 조작을 접수하지 않도록 하여도 좋다. 또한, 로컬 조작 단말(12)이 로그인 중인 경우에, 리모트 조작 단말(20)은 반도체 제조 장치(10)의 동작을 포함하는 조작의 장치 화면(1014)을 표시하지 않도록 제한하여도 좋다.
또한, 로그인 중의 로컬 조작 단말(12) 및 리모트 조작 단말(20)에 개별 장치 화면(1014)을 동시에 표시할 수 있기 때문에, 본 실시형태의 반도체 제조 시스템(1)에서는 장치 화면(1014) 사이의 배타 제어를 행한다. 예컨대 레시피를 편집 가능한 장치 화면(1014)은 레시피의 편집 중에 록 상태가 되어, 다른 로컬 조작 단말(12) 및 리모트 조작 단말(20)로부터의 레시피 편집의 조작을 접수하지 않는다.
또한, 예컨대 로컬 조작 단말(12)이 로그인 중인 경우에, 리모트 조작 단말(20)에 표시된 파라미터 편집의 장치 화면(1014)으로부터의 파라미터 편집의 조작을 접수하지 않도록 하여도 좋다.
도 7은 본 실시형태에 있어서의 장치 화면의 배타 제어의 일례를 나타낸 분류도이다. 도 7에 도시된 장치 화면(1014)의 배타 제어는, 로컬과 리모트의 동시 조작, 제한의 종류, 및 제한 상태의 변화에 따라 분류되어 있다.
예컨대 로컬과 리모트의 동시 조작이 「가능」이며, 제한의 종류가 「제한 없음」인 장치 화면(1014)은, 로그인 중의 로컬 조작 단말(12) 및 리모트 조작 단말(20)로부터 항상 조작 가능하다.
로컬과 리모트의 동시 조작이 「가능」이며, 제한의 종류가 「화면 표시 불가능」인 장치 화면(1014)은, 제한 상태의 변화가 「고정」인 로그인 유저의 조작 제한에 따른 표시 제한, 또는 제한 상태의 변화가 「동적 변화」인 반도체 제조 장치(10)의 상태에 따른 표시 제한이 있다.
로컬과 리모트의 동시 조작이 「가능」이며, 제한의 종류가 「화면 표시 가능, 동시 사용 가능, 커맨드 실행 제한」인 장치 화면(1014)은, 제한 상태의 변화가 「고정」인 로그인 유저의 조작 제한에 따른 조작 제한, 또는 제한 상태의 변화가 「동적 변화」인 반도체 제조 장치(10)의 상태에 따른 조작 제한이 있다.
로컬과 리모트의 동시 조작이 「가능」이며, 제한의 종류가 「화면 표시 가능, 동시 사용 가능, 편집 제한」인 장치 화면(1014)은, 제한 상태의 변화가 「고정」인 로그인 유저의 조작 제한에 따른 조작 제한, 또는 제한 상태의 변화가 「동적 변화」인 반도체 제조 장치(10)의 상태 또는 로컬 조작 단말(12)의 로그인 상태에 따른 조작 제한이 있다.
예컨대 로컬과 리모트의 동시 조작이 「불가능」이며, 제한의 종류가 「로컬만 조작 가능」인 장치 화면(1014)은, 로그인 중의 로컬 조작 단말(12)만 조작 가능하다.
<처리>
도 8는 본 실시형태에 따른 제어 장치의 처리의 일례의 흐름도이다. 반도체 제조 장치(10)의 제어 장치(30)는 로컬 조작 단말(12) 및 리모트 조작 단말(20)로부터의 로그인 요구에 대한 로그인이 성공하면, 단계 S10에서 S12로 진행한다. 단계 S12에 있어서, 제어 장치(30)는 로그인에 성공한 로컬 조작 단말(12) 또는 리모트 조작 단말(20)이 표시하는 초기의 화면 데이터를 작성한다. 로그인에 성공한 로컬 조작 단말(12) 또는 리모트 조작 단말(20)이 표시하는 초기의 화면 데이터는, 예컨대 도 4의 화면(1000)의 화면 데이터이다.
제어 장치(30)는, 로그인에 성공한 로그인 유저가 조작하는 로컬 조작 단말(12) 또는 리모트 조작 단말(20)에 초기의 화면 데이터를 송신한다. 초기의 화면 데이터를 수신한 로컬 조작 단말(12) 또는 리모트 조작 단말(20)은, 예컨대 도 4의 화면(1000)과 같은 초기의 화면을 표시한다.
예컨대 도 4의 화면(1000)이 표시된 로컬 조작 단말(12) 또는 리모트 조작 단말(20)의 유저는 탭(1004)을 선택한 후, 접속의 커맨드 아이콘(1010)을 선택함으로써, 장치 화면(1014)의 표시 요구를 행할 수 있다. 또한, 도 8의 흐름도에서는 도 4의 화면(1000)의 갱신 처리에 대해서 생략하고 있다.
로그인 유저가 조작하는 로컬 조작 단말(12) 또는 리모트 조작 단말(20)로부터 장치 화면(1014)의 표시 요구를 접수하면, 제어 장치(30)는 단계 S16으로 진행한다. 제어 장치(30)는 단계 S16에 있어서, 배타 제어를 위한 정보로서, 다른 유저의 장치 화면 표시 상태를 확인한다.
단계 S18에 있어서, 제어 장치(30)는 상기한 배타 제어에 의해, 로그인 유저가 조작하는 로컬 조작 단말(12) 또는 리모트 조작 단말(20)에 장치 화면(1014)을 표시 가능한지 여부를 판정한다. 표시 가능하다고 판정하면, 제어 장치(30)는 단계 S20에 있어서 장치 화면(1014)의 화면 데이터를 작성하고, 로그인 유저가 조작하는 로컬 조작 단말(12) 또는 리모트 조작 단말(20)에 송신한다. 또한, 표시 가능하지 않다고 판정하면, 제어 장치(30)는 단계 S28로 진행하고, 예컨대 장치 화면(1014)을 표시할 수 없음을 통지하는 에러 처리를 행한다.
장치 화면(1014)의 화면 데이터를 수신한 로컬 조작 단말(12) 또는 리모트 조작 단말(20)은, 예컨대 도 6과 같은 장치 화면(1014)을 표시한다. 예컨대 도 6의 장치 화면(1014)이 표시된 로컬 조작 단말(12) 또는 리모트 조작 단말(20)의 유저는, 장치 화면(1014)을 조작함으로써 로그인 중의 반도체 제조 장치(10)에 대한 조작 정보를 제어 장치(30)에 송신할 수 있다.
로그인 유저가 조작하는 로컬 조작 단말(12) 또는 리모트 조작 단말(20)로부터 조작 정보를 접수하면, 제어 장치(30)는 단계 S22에서 S24로 진행한다. 제어 장치(30)는 단계 S24에 있어서, 상기한 배타 제어에 의해, 로그인 유저가 조작하는 로컬 조작 단말(12) 또는 리모트 조작 단말(20)로부터 접수한 조작 정보에 기초하여, 조작 정보에 따른 반도체 제조 장치(10)에의 실행 지시가 가능한지 여부를 판정한다.
실행 지시가 가능하다고 판정하면, 제어 장치(30)는 단계 S26에 있어서 조작 정보에 따른 실행 지시를 행하고, 로그인 중의 반도체 제조 장치(10)를 제어한다. 또한, 실행 지시가 가능하지 않다고 판정하면, 제어 장치(30)는 단계 S30으로 진행하고, 예컨대 장치 화면(1014)으로부터 접수한 반도체 제조 장치(10)를 조작할 수 없음을 통지하는 에러 처리를 행한다.
제어 장치(30)는 로그인 유저가 조작하는 로컬 조작 단말(12) 또는 리모트 조작 단말(20)로부터 로그아웃의 요구가 있을 때까지 단계 S14∼S32의 처리를 반복하고, 로그아웃의 요구가 있으면 도 8의 흐름도의 처리를 종료한다.
<정리>
본 실시형태의 반도체 제조 시스템(1)에 있어서, 장치 화면(1014)은 가스 플로우 상태나 온도 등의 유저가 열람하고 싶은 데이터의 종류에 따라, 예컨대 20 이상 등의 복수의 화면에 데이터를 표시한다.
본 실시형태의 반도체 제조 시스템(1)은, 로그인 중의 로컬 조작 단말(12) 및 1대 이상의 리모트 조작 단말(20)이 독립된 장치 화면(1014)을 동시에 표시할 수 있기 때문에, 통상 운용시 및 메인터넌스시의 작업 효율을 향상시킬 수 있다.
예컨대 본 실시형태의 반도체 제조 시스템(1)에서는, 통상 운용시, 반도체 제조 장치(10)의 온도를 열람하고 싶은 유저, 가스 플로우 상태를 열람하고 싶은 유저, 다음 클리닝의 시기를 알고 싶은 유저가, 동시에 다른 장치 화면(1014)을 열람하고, 개별 장치 화면(1014)으로부터 반도체 제조 장치(10)의 조작을 동시 병행으로 행할 수 있다.
또한, 예컨대 본 실시형태의 반도체 제조 시스템(1)에서는, 메인터넌스시, 반도체 제조 장치(10)의 메인터넌스 화면 A를 참조하고 싶은 유저, 반도체 제조 장치(10)의 메인터넌스 화면 B를 참조하고 싶은 유저가, 동시에 다른 장치 화면(1014)으로부터 메인터넌스 화면 A 또는 메인터넌스 화면 B를 열람하고, 반도체 제조 장치(10)의 메인터넌스 작업을 동시 병행으로 행할 수 있다.
또한, 본 실시형태의 반도체 제조 시스템(1)에서는, 트러블시, 로컬 조작 단말(12)로 오퍼레이터가 투입·불출(拂出) 처리를 행하면서, 리모트 조작 단말(20)로부터 엔지니어가 레시피 설정, 파라미터 설정, 및 센서 상태를 병렬로 확인 등이 가능하기 때문에, 업무를 효율화할 수 있다.
이상, 본 발명의 바람직한 실시예에 대해서 상세히 설명하였으나, 본 발명은, 전술한 실시예에 제한되지 않고, 본 발명의 범위를 일탈하는 일없이, 전술한 실시예에 여러 가지 변형 및 치환을 가할 수 있다.

Claims (10)

  1. 반도체 제조 시스템으로서,
    반도체 제조 장치의 장치 화면을 표시하는 로컬 조작 단말과,
    상기 반도체 제조 장치와 네트워크를 통해 접속되어 있고, 상기 장치 화면을 표시하는 1대 이상의 리모트 조작 단말과,
    상기 장치 화면을 표시하는 상기 로컬 조작 단말 및 상기 리모트 조작 단말이 유저로부터 접수한 조작에 기초하여 상기 반도체 제조 장치를 제어하는 제어 장치
    를 포함하고,
    상기 제어 장치는,
    상기 로컬 조작 단말 및 상기 리모트 조작 단말로부터의 동시 로그인 상태를 관리하는 로그인 상태 관리 수단과,
    로그인 중의 상기 로컬 조작 단말 및 상기 리모트 조작 단말의 장치 화면 표시 상태를 관리하는 장치 화면 표시 상태 관리 수단과,
    상기 로그인 중의 상기 로컬 조작 단말 및 상기 리모트 조작 단말에 송신하는 상기 장치 화면의 화면 데이터를, 상기 동시 로그인 상태 및 상기 장치 화면 표시 상태에 기초하여, 상기 로컬 조작 단말 및 상기 리모트 조작 단말마다 작성하는 화면 데이터 작성 수단
    을 포함하는 것인, 반도체 제조 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제어 장치는, 상기 동시 로그인 상태 및 상기 장치 화면 표시 상태에 기초하여, 상기 로그인 중의 상기 로컬 조작 단말 및 상기 리모트 조작 단말에 표시하는 상기 장치 화면을 상이하게 하도록 상기 화면 데이터 작성 수단이 작성하는 상기 화면 데이터를 제어하는 배타 제어 수단(排他制御手段)을 더 포함하는 것인, 반도체 제조 시스템.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 배타 제어 수단은, 상기 로컬 조작 단말이 로그인 중인 경우에, 상기 리모트 조작 단말에 송신하는 상기 장치 화면의 화면 데이터로서, 상기 반도체 제조 장치의 동작을 포함하는 조작을 유저로부터 접수하는 상기 장치 화면의 화면 데이터를 작성하지 않는 것인, 반도체 제조 시스템.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 배타 제어 수단은, 상기 로컬 조작 단말이 로그인 중이 아닌 경우에, 상기 리모트 조작 단말에 송신하는 상기 장치 화면의 화면 데이터로서, 상기 반도체 제조 장치의 동작을 포함하는 조작을 유저로부터 접수하는 상기 장치 화면의 화면 데이터를 작성하는 것인, 반도체 제조 시스템.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제어 장치는,
    상기 로그인 중의 상기 로컬 조작 단말 및 상기 리모트 조작 단말로부터 접수한 조작 정보에 따른 실행 지시가, 상기 반도체 제조 장치에 대하여 가능한지 여부를, 상기 동시 로그인 상태 및 상기 장치 화면 표시 상태에 기초하여 판정하는 조작 정보 판정 수단과,
    상기 반도체 제조 장치에 대한 실행 지시가 가능하다고 판정된 경우에, 상기 조작 정보에 따른 실행 지시를 상기 반도체 제조 장치에 대하여 행하고, 상기 반도체 제조 장치를 제어하는 실행 지시 수단
    을 포함하는 것인, 반도체 제조 시스템.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 조작 정보 판정 수단은, 상기 조작 정보에 따른 실행 지시가, 상기 반도체 제조 장치에 관한 레시피 또는 파라미터의 편집에 관한 것인 경우에, 편집 대상의 상기 레시피 또는 파라미터의 록 상태를 확인하고, 편집 대상의 상기 레시피 또는 파라미터가 록 상태가 아니면 록 상태로 변경하여, 상기 반도체 제조 장치에 관한 레시피 또는 파라미터의 편집 지시가 가능하다고 판정하며, 편집 대상의 상기 레시피 또는 파라미터가 록 상태이면, 상기 반도체 제조 장치에 관한 레시피 또는 파라미터의 편집 지시가 가능하지 않다고 판정하는 것인, 반도체 제조 시스템.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제어 장치는,
    상기 로컬 조작 단말 또는 상기 리모트 조작 단말 중 어느 한쪽을 선택하는 로컬/리모트 전환 스위치의 상태를 판정하는 로컬/리모트 전환 스위치 상태 판정부와,
    상기 로컬/리모트 전환 스위치 상태 판정부의 선택이 상기 리모트 조작 단말에서 상기 로컬 조작 단말로 전환된 경우에, 로그인 중인 상기 리모트 조작 단말을 로그아웃시키는 리모트 조작 차단 수단
    을 더 포함하는 것인, 반도체 제조 시스템.
  8. 반도체 제조 장치의 장치 화면을 표시하는 로컬 조작 단말 및 상기 장치 화면을 표시하는 1대 이상의 리모트 조작 단말이 유저로부터 접수한 조작에 기초하여 상기 반도체 제조 장치를 제어하는 제어 장치로서,
    상기 로컬 조작 단말 및 상기 리모트 조작 단말로부터의 동시 로그인 상태를 관리하는 로그인 상태 관리 수단과,
    로그인 중의 상기 로컬 조작 단말 및 상기 리모트 조작 단말의 장치 화면 표시 상태를 관리하는 장치 화면 표시 상태 관리 수단과,
    상기 로그인 중의 상기 로컬 조작 단말 및 상기 리모트 조작 단말에 송신하는 상기 장치 화면의 화면 데이터를, 상기 동시 로그인 상태 및 상기 장치 화면 표시 상태에 기초하여, 상기 로컬 조작 단말 및 상기 리모트 조작 단말마다 작성하는 화면 데이터 작성 수단
    을 포함하는, 제어 장치.
  9. 반도체 제조 장치의 장치 화면을 표시하는 로컬 조작 단말 및 상기 장치 화면을 표시하는 1대 이상의 리모트 조작 단말이 유저로부터 접수한 조작에 기초하여 상기 반도체 제조 장치를 제어하는 제어 방법으로서,
    상기 로컬 조작 단말 및 상기 리모트 조작 단말로부터의 동시 로그인 상태를 관리하는 로그인 상태 관리 단계와,
    로그인 중의 상기 로컬 조작 단말 및 상기 리모트 조작 단말의 장치 화면 표시 상태를 관리하는 장치 화면 표시 상태 관리 단계와,
    상기 로그인 중의 상기 로컬 조작 단말 및 상기 리모트 조작 단말에 송신하는 상기 장치 화면의 화면 데이터를, 상기 동시 로그인 상태 및 상기 장치 화면 표시 상태에 기초하여, 상기 로컬 조작 단말 및 상기 리모트 조작 단말마다 작성하는 화면 데이터 작성 단계
    를 포함하는, 제어 방법.
  10. 비일시적 컴퓨터 판독 가능 기록 매체로서,
    반도체 제조 장치의 장치 화면을 표시하는 로컬 조작 단말 및 상기 장치 화면을 표시하는 1대 이상의 리모트 조작 단말이 유저로부터 접수한 조작에 기초하여 상기 반도체 제조 장치를 제어하는 제어 장치를,
    상기 로컬 조작 단말 및 상기 리모트 조작 단말로부터의 동시 로그인 상태를 관리하는 로그인 상태 관리 수단,
    로그인 중의 상기 로컬 조작 단말 및 상기 리모트 조작 단말의 장치 화면 표시 상태를 관리하는 장치 화면 표시 상태 관리 수단,
    상기 로그인 중의 상기 로컬 조작 단말 및 상기 리모트 조작 단말에 송신하는 상기 장치 화면의 화면 데이터를, 상기 동시 로그인 상태 및 상기 장치 화면 표시 상태에 기초하여, 상기 로컬 조작 단말 및 상기 리모트 조작 단말마다 작성하는 화면 데이터 작성 수단
    으로서 기능시키기 위한 프로그램이 저장된, 비일시적 컴퓨터 판독 가능 기록 매체.
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