KR101974278B1 - 반도체장비의 원격제어시스템 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체 장비의 가동상태 및 알람유무를 원격지에서 모니터링 하고 제어할 수 있는 원격제어시스템에 관한 것이다. 보다 구체적으로는 반도체장비의 원격제어시스템은 RCS 서버와 하나 이상의 RCS 모듈을 포함하고, RCS 서버는 원격에서 접속하는 사용자 정보 및 사용자별 권한을 저장하는 사용자정보 저장부와, 반도체장비의 기본정보 및 해당 RCS 모듈의 접속정보를 저장하는 장비정보 저장부와, 사용자의 접속 로그정보를 저장하는 시스템 로그정보 저장부와, 반도체장비의 FA 데이터의 이벤트 정보를 저장하는 FA 데이터 저장부를 포함하고, RCS 모듈은 RCS모듈 데이터처리부와, 하나 이상의 PC접속부와, 하나 이상의 LAN접속부를 포함하되, RCS 서버는 원격에서 원격사용자 PC로 접속하는 사용자의 권한에 따라 접속가능 장비의 정보를 원격사용자 PC로 전송하되 해당 RCS모듈에 먼저 접속 중인 사용자가 있으면 나중에 접속하는 사용자는 View Only Mode만 허용하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면 RCS모듈의 보안성을 강화하고, 원격지에서 최소 인원이 다수의 반도체 장비들을 모니터링 및 관리가 가능하도록 하여 유지 보수 인원을 최소화하며, 장비 자체와 공정 상태를 동시에 모니터링할 수 있으면서도 제어권을 관리할 수 있는 효과가 있다.

Description

반도체장비의 원격제어시스템 {Remote Control System for Semiconductor Equipment}
본 발명은 반도체 장비의 가동상태 및 알람유무를 원격지에서 모니터링하고 제어할 수 있는 원격제어시스템(Remote Control System)에 관한 것이다.
반도체를 생산하기 위한 장비, 즉 반도체장비는 공정 특성상 미세한 먼지 등에 치명적인 영향을 받기 때문에 생산 라인에 작업자를 최소화하고 무인 자동화 생산을 하는 경우가 대부분이다. 특히 설비의 모니터링 및 간단한 조작을 위해 라인 내 작업자가 상주할 경우 작업자는 휴먼 파티클 소스가 될 수 있다. 따라서 반도체를 생산하고 검사하는 등의 각종 반도체 장비의 가동시 작업자가 클린룸에 들어가지 아니하더라도 원격지에서 제어할 수 있는 기술들이 개발되고 있다. 종래기술로 현재까지 개발된 원격제어장치는 원격 사용자 PC에서 반도체장비에 접속된 RCS(Remote Control System)모듈로 직접 접속하는 형태로 구성되어 왔다. 하지만 이럴 경우 원격 사용자 및 관리자는 반도체장비에 접속할 수 있는 IP주소를 알고 있어야 하는데 이는 관리자가 모든 반도체장비의 IP주소를 별도로 관리해야 하는 부담이 있고, 또한 IP주소만 알고 있으면 원격에서 누구든지 바로 접속할 수 있어서 보안에 취약하다는 문제점이 있다.
한편 반도체장비에는 장비를 제어하고 관리하는 시스템 PC와 공정을 모니터하는 EPD(End Point Detecion) PC가 연결되어서 이들 양 PC를 원격에서 동시에 모니터링과 제어를 가능하게 할 필요성이 제기되어 왔다. 반도체장비를 관리하는 관리자 입장에서는 장비 자체의 이상유무도 중요하지만 그와 더불어 공정의 흐름을 모니터링하는 것도 매우 중요하기 때문이다. 원격에서 공정 상태를 모니터링하면서 동시에 장비를 제어할 필요도 있기 때문이다. 하지만 종래기술로는 RCS모듈을 2대 이상 사용하여야 하고, 원격의 사용자PC도 각각 별개의 모니터링 프로그램을 구동해야 하는 불편함이 있으며, 복수의 사용자가 하나의 장비에 접속하는 것이 곤란하거나 복수의 사용자로부터의 제어 명령으로 인해 이중으로 제어가 발생할 수 있다는 문제점이 있다.
따라서 종래기술의 RCS모듈의 보안 취약성을 개선하고, 원격지에서 최소 인원이 다수의 반도체장비들을 모니터링 및 관리가 가능하도록 하여 유지 보수 인원을 최소화하며, 장비 자체와 공정 상태를 동시에 모니터링할 수 있으면서도 제어권을 관리할 수 있도록 개선할 필요성이 있다.
국내공개특허 제10-2013-0096439호(2013.08.30)
본 발명은 상기와 같은 종래기술의 문제점을 해소하기 위한 것으로서, RCS 서버를 이용하여 사용자의 장비 관리 권한을 등록하고 접속된 사용자의 제어 권한을 할당함으로서 장비의 제어권을 명확히 하고, 하나의 RCS 모듈로 원격의 사용자에게 반도체장비의 EPD PC와 시스템 PC를 각각 또는 동시에 모니터링 및 제어를 할 수 있는 반도체장비의 원격제어시스템의 제공을 그 목적으로 한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 의한 반도체장비의 원격제어시스템은 RCS 서버와 하나 이상의 RCS 모듈을 포함하고, RCS 서버는 원격에서 접속하는 사용자 정보 및 사용자별 권한을 저장하는 사용자정보 저장부와, 반도체장비의 기본정보 및 해당 RCS 모듈의 접속정보를 저장하는 장비정보 저장부와, 사용자의 접속 로그정보를 저장하는 시스템 로그정보 저장부와, 반도체 장비간의 통신을 위한 표준에 따른 FA 데이터의 이벤트 정보를 저장하는 FA 데이터 저장부를 포함하고, 반도체장비의 주변에 위치하는 RCS 모듈은 반도체 장비의 공정을 모니터링하는 EPD PC와 접속하는 EPD PC 접속부와, 반도체장비를 제어하고 관리하는 시스템 PC와 접속하는 시스템 PC 접속부와, 모니터와 마우스와 키보드와 연결되어 현장에서 EPD PC와 시스템 PC를 조작할 수 있는 EPD PC용 I/O 접속부와 시스템 PC용 I/O 접속부와, 하나 이상의 LAN 접속부와, EPD PC와 시스템 PC의 모니터 영상을 압축 또는 비압축 상태로 원격사용자 PC로 전송하고 원격사용자 PC로부터의 마우스 및 키보드 입력을 EPD PC 또는 시스템 PC로 보내는 역할을 수행하는 RCS모듈 데이터처리부를 포함하며, 원격사용자 PC는 RCS 서버로 반도체장비 접속에 필요한 IP주소 및 Port정보를 요청하여 전달받고, 상기 IP주소 및 Port정보를 이용해 RCS 모듈에 접속하여 반도체장비를 모니터링 및 제어하되, RCS 서버는 원격에서 원격사용자 PC로 접속하는 사용자의 권한에 따라 접속가능 장비의 정보를 원격사용자 PC로 전송하되 해당 RCS모듈에 먼저 접속 중인 사용자가 있으면 나중에 접속하는 사용자는 View Only Mode만 허용하는 것을 특징으로 한다.
삭제
또한 RCS 모듈의 상기 하나 이상의 LAN 접속부는 반도체장비의 LAN 포트와 접속하는 FA LAN 접속부와, 외부의 네트워크와 접속하는 외부 LAN 접속부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 반도체장비를 원격에서 모니터링하고 제어함에 있어서 RCS 서버와 RCS 모듈로 구성되는 원격제어시스템을 제공함으로서 종래기술의 RCS모듈의 보안 취약성을 개선하고, 원격지에서 최소 인원이 다수의 반도체 장비들을 모니터링 및 관리가 가능하도록 하여 유지 보수 인원을 최소화하며, 장비 자체와 공정 상태를 동시에 모니터링할 수 있으면서도 제어권을 관리할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 원격제어시스템의 전체 구성도이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 RCS 서버의 내부 구성도이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 RCS 모듈의 내부 구성도이다.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 원격제어시스템의 접속도이다.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 RCS 모듈의 외형도이다.
도 6은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 원격제어시스템의 동작 흐름도이다.
도 7은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 원격사용자 PC의 사용자 화면을 나타내는 도면이다.
아래에서 본 발명은 첨부된 도면에 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되지만 실시 예는 본 발명의 명확한 이해를 위한 것으로 본 발명은 이에 제한되지 않는다. 아래의 설명에서 서로 다른 도면에서 동일한 도면부호를 가지는 구성요소는 유사한 기능을 가지므로 발명의 이해를 위하여 필요하지 않는다면 반복하여 설명이 되지 않으며 공지의 구성요소는 간략하게 설명이 되거나 생략이 되지만 본 발명의 실시 예에서 제외되는 것으로 이해되지 않아야 한다.
이하에서는 본 발명의 원격제어시스템에 대하여 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 원격제어시스템에 관한 전체적인 구성도이다. 도 1에 도시한 바와 같이, 반도체공장(FAB)에는 다양한 종류의 반도체장비(50)가 다수 설치되어 있다. 반도체장비(50)에는 일반적으로 EPD PC(60)와 시스템 PC(70)가 구비되어 있으므로 장비 바로 앞에서 모니터링 및 제어를 할 수 있지만 이들 PC들을 원격에서도 모니터링과 제어를 하기 위해서는 별도의 해결책이 필요하다. 원격에서의 모니터링 및 제어를 제공하기 위해서 본 발명에 따른 원격제어시스템은 RCS(Remote Control System) 서버(100)와 하나 이상의 RCS 모듈(200)을 포함한다. 사내 사무실에서 사용자는 원격사용자 PC(30)로 RCS 서버(100)를 통하여 원격의 공장 내에 설치된 반도체장비(50)에 연결된 RCS 모듈(200)에 네트워크를 통하여 접속하여 반도체장비(50)를 모니터링 및 제어할 수 있게 된다. RCS 모듈(200)의 설치 장소는 반도체장비(50)와 가까운 곳에 위치하지만 RCS 서버(100)는 반도체 공장 내이거나 사무실 영역 중 어느 곳이라도 가능하다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 RCS 서버(100)의 내부 구성도이다. 도 2에 도시한 바와 같이, RCS 서버(100)는 사용자정보 저장부(110), 장비정보 저장부(120), 시스템 로그정보 저장부(130), FA 데이터 저장부(140), RCS 서버 데이터처리부(150), 네트워크 접속부(160)를 포함할 수 있다. 사용자정보 저장부(110)는 사용자 ID, 비밀번호(P/W), 사용자 등급과 같은 사용자 정보를 저장하고 관리한다. 사용자 등급은 해당 사용자가 접속할 수 있는 장비의 종류 및 제어 권한의 수준을 결정할 수 있다.
장비정보 저장부(120)는 접속가능한 반도체장비(50)의 장비명, IP주소, Port 번호 등과 같은 장비정보를 저장하고 관리한다. 관리자는 필요에 따라 장비정보 저장부(120)를 수정할 수 있다.
시스템 로그정보 저장부(130)는 RCS 서버(100)에 접속하는 사용자의 로그 정보와 사용자가 접속한 반도체장비(50)에 대한 이벤트 정보 등을 저장하고 관리한다. 관리자는 시스템 로그정보를 검색하여 과거 또는 현재의 사용자 접속 상황 및 모니터링 및 제어 사용상황에 대한 기록을 살펴볼 수 있다.
FA 데이터 저장부(140)는 반도체장비(50)에서 FA 서버로 전송되는 데이터 중에서 필요한 데이터를 저장할 수 있다. 이후 설명되는 RCS 모듈(200)은 FA LAN 접속부(230)를 통해서 반도체장비(50)로부터 전송되는 FA 데이터 중에서 필요에 따라 선택되는 데이터를 FA 데이터 저장부(140)에 저장하도록 RCS 서버(100)로 전송한다.
RCS 서버 데이터처리부(150)는 사용자정보 저장부(110), 장비정보 저장부(120), 시스템 로그정보 저장부(130), FA 데이터 저장부(140), 네트워크 접속부(160)를 관리하며 외부 장비와 통신하는 데이터들을 처리하는 역할을 수행한다. RCS 서버 데이터처리부(150)는 중앙처리장치(CPU)일 수 있다. 특히 RCS 서버 데이터처리부(150)는 원격사용자 PC(30)로부터 사용자가 접속하면 사용자 ID 등급에 해당하는 권한을 허용하며 사용자가 원격사용자 PC(30)에서 RCS 모듈(200)로 접속할 수 있는 정보, 구체적으로 장비정보 저장부(120)에 저장된 장비정보 등을 제공한다. 다수의 원격사용자 PC(30)에서 RCS 서버(100)로 사용자들이 접속할 수 있는데 만약 특정 반도체장비(50)에 먼저 접속한 사용자가 있다면, 제어권 충돌을 방지하기 위하여 RCS 서버 데이터처리부(150)는 나중에 접속한 사용자는 제어는 불가능하고 모니터링만 가능한 View Only Mode로 접속을 허용할 수 있다.
네트워크 접속부(160)는 이더넷 등 네트워크와의 접속을 통해 다른 장비와의 통신을 수행한다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 RCS 모듈(200)의 내부 구성도이고, 도 4는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 원격제어시스템의 접속도이고, 도 5는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 RCS 모듈의 외형도이다.
이하에서는 도 3과 도 4와 도 5를 참조하여 설명한다.
도 3에 도시한 바와 같이, RCS 모듈(200)은 데이터처리부와 하나 이상의 PC 접속부와, 하나 이상의 LAN 접속부를 포함한다. 보다 상세하게는 EPD PC 접속부(210), 시스템 PC 접속부(220), FA LAN 접속부(230), 외부 LAN 접속부(240), RCS모듈 데이터처리부(250), Remote 모듈 접속부(260), EPD PC용 I/O 접속부(270), 시스템 PC용 I/O 접속부(280)을 포함할 수 있다.
도 4에 도시한 바와 같이 RCS 모듈(200)과 접속되는 장비에는 반도체장비(50), EPD PC(60), 시스템 PC(70), Remote 모듈(80) 및 PC용 모니터, 마우스 및 키보드가 포함될 수 있다.
EPD PC 접속부(210)는 반도체장비의 공정을 모니터링하는 EPD(End Point Detection) PC와 접속한다. 구체적으로 EPD PC의 모니터 출력, 마우스 및 키보드 입력 등이 해당한다. 이들 입출력은 도 5에 도시한 바와 같이 하나의 커넥터로 제공될 수 있다. EPD PC 접속부(210)에서 입력되는 모니터 영상 신호는 RCS모듈 데이터처리부(250)에서 비압축 또는 압축 영상으로 처리되어 원격의 원격사용자 PC(30)로 제공되고 원격사용자 PC(30)로부터의 마우스 및 키보드 입력은 EPD PC 접속부(210)를 통해 EPD PC(60)로 입력된다. 이를 통해 원격사용자 PC(30)에서 EPD PC(60)를 공장 내부에서 직접 조작하는 것과 같은 효과를 낼 수 있다.
시스템 PC 접속부(220)는 반도체장비(50)를 제어하고 관리하는 시스템 PC(70)와 접속한다. EPD PC 접속과 유사한 방법으로 모니터 출력, 마우스 및 키보드 입력 등을 통하여 원격사용자 PC(30)에서 시스템 PC(70)를 원격 조작할 수 있다.
FA LAN 접속부(230)는 반도체장비(50)의 LAN 포트와 접속하여 FA 데이터를 송수신한다. FA 데이터는 반도체 장비간의 통신 구축을 위한 표준에 따른 데이터일 수 있다.
외부 LAN 접속부(240)는 이더넷과 같은 네트워크망에 접속되어 RCS 서버(100) 및 원격사용자 PC(30)와 통신할 수 있도록 한다.
RCS모듈 데이터처리부(250)는 EPD PC 접속부(210), 시스템 PC 접속부(220), FA LAN 접속부(230), 외부 LAN 접속부(240), Remote 모듈 접속부(260), EPD PC용 I/O 접속부(270), 시스템 PC용 I/O 접속부(280)를 관리하고 제어하며 이들 간의 데이터를 처리하는 역할을 수행한다. RCS모듈 데이터처리부(250)는 CPU일 수 있으며 EPD PC와 시스템 PC의 모니터 영상을 압축 또는 비압축 상태로 원격사용자 PC(30)로 전송하고 원격사용자 PC(30)로부터의 마우스 및 키보드 입력을 EPD PC 또는 시스템 PC로 보내는 역할을 수행한다. 또한 FA LAN 접속부(230)를 통해 전송되는 FA 데이터 중에서 필요에 따라 선택되는 데이터를 수집하여 RCS 서버(100)로 보내어 FA 데이터 저장부(140)에 저장되도록 데이터를 처리할 수 있다.
Remote 모듈 접속부(260)는 외부의 REMOTE 모듈(80)과 접속한다. 시스템 PC용 I/O 접속부(280)는 현재 RCS 모듈(200)을 통해 반도체장비(50)에 접속중인 사용자 정보를 표시하여 알리거나, 현장에서 장비를 제어할 경우 원격 접속을 차단하도록 RCS모듈 데이터처리부(250)에 알리는 역할을 수행한다.
EPD PC용 I/O 접속부(270)와 시스템 PC용 I/O 접속부(280)는 모니터, 마우스 및 키보드와 연결되어 현장에서 EPD PC(60)와 시스템 PC(70)를 조작할 수 있도록 인터페이스를 제공한다.
도 6은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 원격제어시스템의 동작 흐름도이다. S10 단계에서 원격의 사용자는 반도체장비(50)를 모니터링 및 제어하기 위하여 원격사용자 PC(30)에서 ID, P/W 입력하여 RCS 서버(100)로 로그인하게 된다. S20 단계에서 RCS 서버(100)는 원격사용자 PC(30)로부터 입력된 ID등급에 해당하는 접속 가능 장비에 대한 설정 값을 원격사용자 PC(30)로 전달한다.
S30 단계에서 원격의 사용자는 RCS 서버(100)로 반도체장비(50) 접속에 필요한 정보를 요청한다. 이때 접속에 필요한 정보는 IP주소, Port정보, 원격자격 취득가능 여부 등이 될 수 있다. S40 단계에서 RCS 서버(100)는 사용자가 요청하는 정보를 사용자 등급과 해당 반도체장비(50)에 먼저 접속 중인 사용자 유무 등을 고려하여 검토하고 원격사용자 PC(30)로 요청 정보를 전송한다.
한편 S40 단계에서 RCS 서버(100)는 해당 반도체장비(50)에 먼저 접속 중인 사용자가 있는 경우 나중에 접속한 사용자는 제어는 불가능하고 모니터링만 가능한 View Only Mode만 허용한다. S50 단계에서 원격사용자 PC는 RCS 서버로부터 전달받은 정보를 이용해 RCS 모듈에 접속하여 반도체장비를 모니터링 및 제어하게 된다. S60 단계에서 RCS 서버(100)는 원격의 사용자들이 접속한 원격접속 이벤트를 시스템 로그정보 저장부에 기록하게 된다.
도 7은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 원격사용자 PC의 사용자 화면을 나타내는 도면이다. 원격의 사용자는 원격사용자 PC(30)에서 로그인을 마치면 도 7의 화면을 접할 수 있다. 사용자 등급에 따라서 접속할 수 있는 장비가 표시된다. 접속가능한 각각 장비별로 메뉴가 구분된다. 각 장비별 메뉴에는 장비접속 버튼, EPD 접속 버튼, EPD 파일 버튼이 표시된다. 접속을 원하는 장비의 장비접속 버튼을 클릭하면 해당 시스템 PC로 접속하게 된다. 이 경우 도 7에 도시된 바와 같이 해당 시스템PC의 원격 접속 화면이 원격사용자 PC(30) 화면의 일측에 POP-UP된다. 유사하게 접속을 원하는 장비의 EPD접속 버튼을 클릭하면 해당 EPD PC로 접속되고 해당 EPD PC의 원격 접속 화면이 POP-UP된다.
한편 EPD PC에 저장되어 있는 EPD DATA 파일을 COPY하기 위해 EPD 파일 버튼을 클릭할 수 있다. 버튼을 클릭하면 EPD PC와 파일 공유 방식으로 EPD PC에 저장되어 있는 DATA 파일을 복사하기 위한 Windows POP-UP이 열리고 사용자는 파일을 복사하여 원격사용자 PC(30)로 가져올 수 있다. 이는 원격에서 EPD PC의 이벤트 로그 기록을 분석할 수 있게 하기 위함이다.
이상으로 본 발명의 기술적 사상을 예시하기 위한 바람직한 실시 예와 관련하여 설명하였지만, 첨부된 청구 범위는 이에 제한되지 않으며, 기재된 기본 사항을 포함하여 통상의 기술자가 필요에 따라 구성의 곤란성 없이 변형 가능한 다른 모든 대안적인 구성을 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
10 : 원격제어시스템 20 : HUB
30 : 원격사용자 PC 50 : 반도체장비
60 : EPD PC 70 : 시스템 PC
80 : Remote 모듈
100 : RCS 서버 110 : 사용자정보 저장부
120 : 장비정보 저장부 130 : 시스템 로그정보 저장부
140 : FA 데이터 저장부 150 : RCS 서버 데이터처리부
160 : 네트워크 접속부
200 : RCS모듈 210 : EPD PC 접속부
220 : 시스템 PC 접속부 230 : FA LAN 접속부
240 : 외부 LAN 접속부 250 : RCS모듈 데이터처리부
260 : Remote 모듈 접속부 270 : EPD PC용 I/O 접속부
280 : 시스템 PC용 I/O 접속부

Claims (3)

  1. 반도체장비의 원격제어시스템에 있어서
    반도체장비의 원격제어시스템은 RCS 서버와 하나 이상의 RCS 모듈을 포함하고,
    RCS 서버는 원격에서 접속하는 사용자 정보 및 사용자별 권한을 저장하는 사용자정보 저장부와, 반도체장비의 기본정보 및 해당 RCS 모듈의 접속정보를 저장하는 장비정보 저장부와, 사용자의 접속 로그정보를 저장하는 시스템 로그정보 저장부와, 반도체 장비간의 통신을 위한 표준에 따른 FA 데이터의 이벤트 정보를 저장하는 FA 데이터 저장부를 포함하며,
    반도체장비의 주변에 위치하는 RCS 모듈은 반도체 장비의 공정을 모니터링하는 EPD PC와 접속하는 EPD PC 접속부와, 반도체장비를 제어하고 관리하는 시스템 PC와 접속하는 시스템 PC 접속부와, 모니터와 마우스와 키보드와 연결되어 현장에서 EPD PC와 시스템 PC를 조작할 수 있는 EPD PC용 I/O 접속부와 시스템 PC용 I/O 접속부와, 하나 이상의 LAN 접속부와, EPD PC와 시스템 PC의 모니터 영상을 압축 또는 비압축 상태로 원격사용자 PC로 전송하고 원격사용자 PC로부터의 마우스 및 키보드 입력을 EPD PC 또는 시스템 PC로 보내는 역할을 수행하는 RCS모듈 데이터처리부를 포함하고,
    원격사용자 PC는 RCS 서버로 반도체장비 접속에 필요한 IP주소 및 Port정보를 요청하여 전달받고, 상기 IP주소 및 Port정보를 이용해 RCS 모듈에 접속하여 반도체장비를 모니터링 및 제어하되,
    RCS 서버는 원격에서 원격사용자 PC로 접속하는 사용자의 권한에 따라 접속가능 장비의 정보를 원격사용자 PC로 전송하되 해당 RCS모듈에 먼저 접속 중인 사용자가 있으면 나중에 접속하는 사용자는 View Only Mode만 허용하는 것을 특징으로 하는 반도체장비의 원격제어시스템.
  2. 삭제
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 RCS모듈의 상기 하나 이상의 LAN 접속부는 반도체장비의 LAN 포트와 접속하는 FA LAN 접속부와, 외부의 네트워크와 접속하는 외부 LAN 접속부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체장비의 원격제어시스템.

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