KR101265026B1 - 조이스틱을 이용하는 반도체 계측장비의 원격제어 장치 - Google Patents

조이스틱을 이용하는 반도체 계측장비의 원격제어 장치 Download PDF

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Abstract

조이스틱을 이용한 반도체 계측장비의 원격제어 장치가 개시된다. 본 발명에 의한 조이스틱을 이용한 반도체 계측장비의 원격제어 장치는 네트워크를 통해 원격지에서 접속한 원격지 컴퓨터(10)가 KVM 모듈(120), DVR 모듈(160), 조이스틱 신호처리 모듈(170) 또는 ICS 모듈(190) 가운데 하나 이상으로 접근할 수 있도록 상기 KVM 모듈(120), DVR 모듈(160), 조이스틱 신호처리 모듈(170) 또는 ICS 모듈(190)의 ip 구성을 제어하는 IP 컨트롤러(110); 반도체 계측장비(20)의 입력장치 커넥터에 연결되는 입력장치 연결수단(121); 상기 반도체 계측장비(20)의 디스플레이 커넥터에 연결되어 상기 반도체 계측장비(20)로부터 디스플레이 신호를 제공받는 영상연결수단(122); 및 상기 원격지에서 접속한 원격지 컴퓨터(10)로부터 입력장치 신호를 입력받으면 상기 입력장치 연결수단(121)을 통해 상기 반도체 계측장비(20)로 전송하는 KVM 제어수단(123);을 구비하는 KVM 모듈(120); 상기 KVM 모듈(120)로부터 상기 반도체 계측장비(20)에서 출력된 디스플레이 신호를 제공받아 스케일링 모듈로 제공하는 분배하는 영상분배기(130); 상기 영상분배기(130)로부터 입력된 아날로그 디스플레이 신호를 HD급 디지털 신호로 바꾸어 신호컨버터 모듈로 제공하는 스케일링 모듈(140); 스케일링 모듈(140)로부터 받은 영상을 HD-SDI 영상으로 변환하여 DVR 모듈로 인가하는 신호 컨버터 모듈(150); 상기 신호 컨버터 모듈(150)로부터 제공된 HD-SDI 영상을 저장하는 DVR 모듈(160); 상기 원격지에서 접속한 원격지 컴퓨터(10)로부터 조이스틱 좌표값을 입력받으면, 스테이지의 x 및 y축 제어신호로 변환하여 상기 반도체 계측장비(20)로 출력하는 조이스틱 신호처리 모듈(170); 상기 반도체 계측장비를 향하여 설치되어 영상을 촬영하되, 촬영된 영상을 DVR 모듈로 출력하는 하나 또는 그 이상의 카메라(180); 상기 반도체 계측장비(20)의 타워램프시그널 출력포트와 연결되는 통신수단(191); 및 상기 반도체 계측장비로부터 입력된 타워램프시그널을 판독하여 소정의 값에 해당할 때 이를 상기 원격지 컴퓨터(10)로 제공하는 ICS 제어수단(192);를 구비하는 ICS 모듈(190);을 구비한다.

Description

조이스틱을 이용하는 반도체 계측장비의 원격제어 장치{REMOTE CONTROLLER OF SEMICONDUCTOR MEASURING DEVICE USING JOYSTICK}
본 발명은 반도체 계측장비의 원격제어 장치에 관한 것으로, 구체적으로는 레시피 셋업이나 웨이퍼 인스펙션 후의 디펙트 리뷰시 매뉴얼로 스테이지 제어를 하기 위한 것이다.
일반적으로 반도체 소자는 웨이퍼 상에 회로 패턴을 형성하는 포토 공정과 이온주입공정, 박막을 증착하는 박막증착 공정 및 증착된 박막을 연마하는 평탄화 공정 등의 단위공정들을 반복 수행함으로써 제조된다.
이때, 각 단위 공정의 공정진행조건을 레시피로 저장하여 제조설비와 구동프로그램이 이를 참조로 자동으로 공정을 진행하게 되며, 작업자는 제조하고자 하는 반도체 소자별로 레시피를 셋업한다.
한편, 웨이퍼의 이상유무를 검사하는 웨이퍼 인스펙션 공정이 수행되는데 이후 필요에 따라 작업자는 매뉴얼로 스테이지를 제어한다.
이와 같은 스테이지의 수동 조작은 반도체 라인 내에서 작업자가 제조공정을 모니터링하다 필요하다 판단되는 경우에 수행하게 된다.
한편, 작업자 등에 의해 발생되는 미세한 분진은 반도체 공정에 치명적인 결과를 초래할 수 있으며, 이러한 까닭에 장비의 오작동을 점검하거나 조작하기 위해서 작업자는 필히 방진복을 착용한 상태에서야 비로소 반도체 라인에 들어갈 수 있다.
따라서, 반도체를 생산하고 검사하는 등의 각종 반도체 장비의 가동시 작업자가 클린룸에 들어가지 아니하고서 원격지에서 제어하기 위한 기술들이 개발되고 있다.
스테이지의 매뉴얼 조작의 경우에도 장비를 직접 눈으로 확인하고, 작업자의 판단에 따라 스테이지를 수동으로 조작해야할 필요성이 있어 원격지에서의 제어가 쉽지 않을 뿐, 원격지에서 이러한 작업이 가능하도록 하기 위한 기술개발의 필요성은 동일하다.
그러나, 기존의 공정장비에 대한 원격 제어기술은 생산 자동화를 위한 데이터 베이스 및 스케쥴링 기술의 측면에 초점이 맞추어져 있어, 작업자에 의한 정밀한 제어와 계측작업의 원격제어에 그대로 적용하기 어렵다는 문제점이 있다.
따라서, 원격지에서 반도체 계측장비를 직관적이고도 정확하게 조작하기 위한 제어시스템의 개발이 필요하다.
[문헌 1] 대한민국 특허공개 제10-2008-59730호 "오버레이 계측장비의 포커싱을 위한 스테이지 승강장치" [문헌 2] 대한민국 등록특허 제10-292028호 "반도체 장비의 실시간 제어방법"
본 발명은 본 출원인에 의한 2012년 2월 22일자 특허출원번호 제10-2012-0017880호 "반도체 장비의 원격 모니터링 및 제어 시스템", 2012년 5월 17일자 특허출원번호 제10-2012-0052544호 "CD-SEM의 원격 제어 장치"를 더욱 개선한 것으로,
반도체 계측장비의 원격 제어 장치에 조이스틱을 구비함으로써 원격지에서 매뉴얼 스테이지 제어를 할 수 있도록 하는 조이스틱을 이용하는 반도체 계측장비의 원격제어 장치의 제공을 목적으로 한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 의한 반도체 계측장비의 원격제어 장치는 네트워크를 통해 원격지에서 접속한 원격지 컴퓨터(10)가 KVM 모듈(120), DVR 모듈(160), 조이스틱 신호처리 모듈(170) 또는 ICS 모듈(190) 가운데 하나 이상으로 접근할 수 있도록 상기 KVM 모듈(120), DVR 모듈(160), 조이스틱 신호처리 모듈(170) 또는 ICS 모듈(190)의 ip 구성을 제어하는 IP 컨트롤러(110);
반도체 계측장비(20)의 입력장치 커넥터에 연결되는 입력장치 연결수단(121); 상기 반도체 계측장비(20)의 디스플레이 커넥터에 연결되어 상기 반도체 계측장비(20)로부터 디스플레이 신호를 제공받는 영상연결수단(122); 및 상기 원격지에서 접속한 원격지 컴퓨터(10)로부터 입력장치 신호를 입력받으면 상기 입력장치 연결수단(121)을 통해 상기 반도체 계측장비(20)로 전송하는 KVM 제어수단(123);을 구비하는 KVM 모듈(120);
상기 KVM 모듈(120)로부터 상기 반도체 계측장비(20)에서 출력된 디스플레이 신호를 제공받아 스케일링 모듈로 제공하는 분배하는 영상분배기(130);
상기 영상분배기(130)로부터 입력된 아날로그 디스플레이 신호를 HD급 디지털 신호로 바꾸어 신호컨버터 모듈로 제공하는 스케일링 모듈(140);
스케일링 모듈(140)로부터 받은 영상을 HD-SDI 영상으로 변환하여 DVR 모듈로 인가하는 신호 컨버터 모듈(150);
상기 신호 컨버터 모듈(150)로부터 제공된 HD-SDI 영상을 저장하는 DVR 모듈(160);
상기 원격지에서 접속한 원격지 컴퓨터(10)로부터 조이스틱 좌표값을 입력받으면, 스테이지의 x 및 y축 제어신호로 변환하여 상기 반도체 계측장비(20)로 출력하는 조이스틱 신호처리 모듈(170);
상기 반도체 계측장비를 향하여 설치되어 영상을 촬영하되, 촬영된 영상을 DVR 모듈로 출력하는 하나 또는 그 이상의 카메라(180);
상기 반도체 계측장비(20)의 타워램프시그널 출력포트와 연결되는 통신수단(191); 및 상기 반도체 계측장비로부터 입력된 타워램프시그널을 판독하여 소정의 값에 해당할 때 이를 상기 원격지 컴퓨터(10)로 제공하는 ICS 제어수단(182);를 구비하는 ICS 모듈(190);을 구비하되,
상기 DVR 모듈(160)은 카메라(180)에 의해 촬영된 영상을 더 저장하며, 원격지에서 접속한 원격지 컴퓨터(10)의 요청에 따라 기 저장된 영상을 제공하거나, 상기 카메라(180)로부터 제공되는 영상을 실시간으로 전송하는 것을 특징으로 한다.
이때, 상기 조이스틱 신호처리 모듈(170)은 상기 원격지에서 접속한 원격지 컴퓨터(10)로부터 조이스틱 좌표값을 입력받음에 따라, 상기 반도체 계측장비(20)로 스테이지의 매뉴얼 조작모드로 전환하기 위한 모드전환 신호를 인가한 후, 스테이지의 x 및 y축 제어신호로 변환하여 출력한다.
한편, 상기 조이스틱 신호처리 모듈(170)에 의하여 상기 반도체 계측장비(20)로 스테이지의 x 및 y축 제어신호가 인가됨에 따라, 상기 반도체 계측장비(20)가 인가된 제어신호에 따라 스테이지를 제어하면,
상기 신호 컨버터 모듈(150)은 상기 반도체 계측장비(20)의 TDI 모니터에 표시되는 스테이지 조작영상을 더 제공받아 HD-SDI 영상으로 변환하여 DVR 모듈로 인가한다.
이러한 본 발명에 의할 때, 레시피 셋업이나 웨이퍼 인스펙션 후의 디펙트 리뷰시 원격지에서 매뉴얼로 스테이지 제어를 할 수 있다는 효과가 있다.
더 나아가, 반도체 계측장비의 화면 및 다수의 카메라를 통해 촬영된 반도체 계측장비의 작동영상을 원격지에서 실시간으로 모니터링할 수 있게 된다.
뿐만 아니라, 에러 발생시 작업자는 원격지 컴퓨터를 통해 실시간으로 그 사실을 인지할 수 있게 되며, 더 나아가 저장된 동영상을 재생함으로써 에러 발생시점의 반도체 계측장비의 화면과 카메라로 촬영된 반도체 계측장비의 작동영상으로부터 에러의 발생이유를 용이하게 판정할 수 있게 된다.
도 1은 본 발명에 의한 조이스틱을 이용하는 반도체 계측장비의 원격제어 장치와 반도체 계측장비 및 원격지 컴퓨터의 연결관계를 설명하는 연결 구성도이며,
도 2는 본 발명에 의한 조이스틱을 이용하는 반도체 계측장비의 원격제어 장치의 구성을 설명하는 기능블록도이며,
도 3은 본 발명에 의한 조이스틱을 이용하는 반도체 계측장비의 원격제어 장치의 외형을 도시하는 참고도이며,
도 4는 조이스틱 조작에 의해 스테이지의 제어가 이루어지는 과정을 설명하는 참고도이며,
도 5는 원격지 컴퓨터의 화면을 통해 반도체 계측장비를 원격 모니터링 및 제어하는 모습을 설명하는 화면예시도이다.
이하에서는 본 발명의 바람직한 실시예 및 첨부하는 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명한다. 한편, 본 발명을 명확히 하기 위하여 본 발명의 구성과 관련없는 내용은 생략하기로 하되, 도면의 동일한 참조부호는 동일한 구성요소를 지칭함을 전제하여 설명한다.
한편, 발명의 상세한 설명 또는 특허청구범위에서 어느 하나의 구성요소가 다른 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 당해 구성요소만으로 이루어지는 것으로 한정되어 해석되지 아니하며, 다른 구성요소들을 더 포함할 수 있는 것으로 이해되어야 한다.
또한, 발명의 상세한 설명 또는 특허청구범위에서 "~수단", "~부", "~모듈", "~블록"으로 명명된 구성요소들은 적어도 하나 이상의 기능이나 동작을 처리하는 단위를 의미하며, 이들 각각은 소프트웨어 또는 하드웨어, 또는 이들의 결합에 의하여 구현될 수 있다.
도 1은 본 발명에 의한 조이스틱을 이용하는 반도체 계측장비의 원격제어 장치와 반도체 계측장비 및 원격지 컴퓨터의 연결관계를 설명하는 연결 구성도이다.
한편, 도 2는 본 발명에 의한 조이스틱을 이용하는 반도체 계측장비의 원격제어 장치의 구성을 설명하는 기능블록도이다.
도 1에 도시된 바에 의할 때, 반도체 계측장비(20)는 본 발명에 의한 조이스틱을 이용하는 반도체 계측장비의 원격제어 장치(100)와 연결된다.
이러한 반도체 계측장비(20) 및 조이스틱을 이용하는 반도체 계측장비의 원격제어 장치(100)는 반도체 계측장비(20)의 인근 라인 내에 설치되며, 반도체 계측장비(20) 및 조이스틱을 이용하는 반도체 계측장비의 원격제어 장치(100)는 후술하는 바와 같이 데이터 송수신을 위한 규격에 따라 몇 가지의 케이블로 연결될 수 있다.
한편, 원격지 컴퓨터(10)는 원격지에서 네트워크를 통해 본 발명에 의한 조이스틱을 이용한 반도체 계측장비의 원격제어 장치(100)으로 접속한다.
이때, 네트워크는 근거리의 LAN(Local Area Network)이나 상대적으로 장거리인 WAN(Wide Area Network)일 수도 있으며, 유무선 통신방식을 포괄하는 광의의 인터넷 망이 될 수도 있다.
작업자는 원격지 컴퓨터(10)를 이용하여 본 발명에 의한 조이스틱을 이용하는 반도체 계측장비의 원격제어 장치(100)으로 접속하여 반도체 계측장비(20)의 상황을 실시간으로 모니터링한다.
이때, 레시피 셋업이나 웨이퍼 인스펙션 후의 디펙트 리뷰시 원격지 컴퓨터(10)에 연결된 조이스틱을 이용하여 매뉴얼로 반도체 계측장비(20)의 스테이지 제어를 할 수 있다.
도 5는 원격지 컴퓨터의 화면을 통해 반도체 계측장비를 원격 모니터링 및 제어하는 모습을 설명하는 화면예시도이다.
도 5에 예시된 바에 의할 때, 우측에는 반도체 계측장비로부터 출력된 화면과 3개의 카메라를 통해 촬영된 반도체 계측장비의 동작영상이 실시간으로 표시되며, 좌측에는 반도체 계측장비를 제어하기 위한 사용자 인터페이스가 제공됨을 확인할 수 있다.
작업자는 이와 같은 반도체 계측장비의 화면을 보면서 조이스틱을 조작함으로써 매뉴얼로 반도체 계측장비(20)의 스테이지 제어를 할 수 있다.
특히, 반도체 계측장비는 주 모니터 이외에 스테이지 영상을 표시하는 별도의 TDI 모니터를 구비하는데, 도 5에 도시된 바와 같은 사용자 인터페이스상에 TDI 영상이 표시되어 라인 내에서 직접 스테이지를 조작하는 것과 동일한 경험을 할 수 있다.
한편, 도 2에 의할 때 본 발명에 의한 조이스틱을 이용한 반도체 계측장비의 원격제어 장치(100)는 IP 컨트롤러(110), KVM 모듈(120), 영상분배기(130), 신호컨버터 모듈(150), DVR 모듈(160), 조이스틱 신호처리 모듈(170), 카메라(180) 및 ICS 모듈(190)을 구비한다.
이러한 본 발명에 의한 조이스틱을 이용한 반도체 계측장비의 원격제어 장치(100)는 일체로 구성되어 도 3에 예시된 바와 같이 제조될 수 있다.
IP(Internet Protocol) 컨트롤러(110)는 네트워크를 통해 원격지에서 접속한 원격지 컴퓨터(10)가 KVM 모듈(120), DVR 모듈(160), 조이스틱 신호처리 모듈(170) 또는 ICS 모듈(190) 가운데 하나 이상으로 접근할 수 있도록 상기 KVM 모듈(120), DVR 모듈(160), 조이스틱 신호처리 모듈(170) 또는 ICS 모듈(190)의 ip 구성을 제어한다.
IP 컨트롤러(110)는 원격지 컴퓨터(10)에 설치된 소프트웨어에 의해 KVM 모듈(120), DVR 모듈(160), 조이스틱 신호처리 모듈(170) 또는 ICS 모듈(190)로 데이터 패킷이 정확하게 도달할 수 있도록 라우팅한다.
KVM(Keyboard Video Mouse Switch) 모듈(120)은 입력장치 연결수단(121), 영상연결수단(122) 및 KVM 제어수단(123)을 구비한다.
입력장치 연결수단(121)은 반도체 계측장비(20)의 키보드나 마우스 연결포트에 연결된다. 반도체 계측장비(20)는 동작의 제어를 위하여 키보드나 마우스와 같은 입력장치를 지원하며 그 연결을 위하여 일반적으로 둘 이상의 PS2를 구비하는데, 입력장치 연결수단(121)은 PS2 혹은 하나의 USB 케이블에 의해 상기 반도체 계측장비(20)의 포트에 연결된다.
한편, 영상연결수단(122)은 반도체 계측장비(20)의 디스플레이 커넥터에 연결되어 상기 반도체 계측장비(20)로부터 디스플레이 신호를 제공받다.
반도체 계측장비(20)는 모니터를 통한 영상출력을 위해 DVI 또는 D-SUB와 같은 규격의 디스플레이 커넥터를 구비하며, 영상연결수단(122)은 상기 반도체 계측장비(20)의 디스플레이 커넥터에 연결되어 상기 반도체 계측장비(20)로부터 모니터 디스플레이 출력과 TDI 모니터의 디스플레이 출력을 제공받는다.
한편, KVM 제어수단(123)은 원격지에서 접속한 원격지 컴퓨터(10)로부터 입력장치 신호를 입력받으면 상기 입력장치 연결수단(121)을 통해 상기 반도체 계측장비(20)로 전송한다.
즉, 원격지에서 작업자가 원격지 컴퓨터(10)를 이용하여 키보드나 마우스 입력을 하면 이를 반도체 계측장비(20)로 전송하는 역할을 한다.
한편 영상분배기(130)는 상기 영상연결수단(122)을 통해 수신한 반도체 계측장비(20)의 모니터와 TDI 모니터의 디스플레이 신호 각각을 아날로그 신호의 형태로 수신하여 이를 스케일링 모듈(140) 및 반도체 장비의 모니터(미도시)로 분배한다.
스케일링 모듈(140)은 수신한 상기 반도체 계측장비(20)의 모니터와 TDI 모니터의 디스플레이 신호 각각을 HD 표준규격의 DVI신호로 변환한 다음 신호컨버터 모듈(150)로 전송한다.
신호컨버터 모듈(150)은 상기 스케일링 모듈(140)로부터 제공받은 고화질 디지털 영상을 DVR모듈(160)로 전송하기 위하여 HD-SDI신호로 한번 더 변환한다. 신호컨버터 모듈(150)에 의해 HD-SDI 영상이 동축케이블을 통해 DVR 모듈(160)로 제공된다.
즉, 도 2에 도시된 바와 같이 반도체 계측 장비(20)의 모니터 출력은 영상분배기(130)를 거쳐 스케일링 모듈(140)로 인가되고, 신호컨버터 모듈(150)에서 컨버팅되어 DVR(160)에서 녹화되어 저장된다.
한편, 상기 반도체 계측 장비(20)의 스테이지 영상을 표시하는 별도의 보조 모니터인 TDI 모니터의 출력은 영상분배기(130)를 거쳐 스케일링 모듈(140)로 인가되고, 신호컨버터 모듈(150)에서 컨버팅되어 DVR(160)에서 녹화되어 저장된다.
종래기술에 의한 DVR 장비는 반도체 계측장비(20)와 BNC 방식에 의해 연결되어 영상을 저장하기 때문에 버스 규격상 320*240의 해상도 한계를 가지고 있었으나, 본 발명에서는 720P(1280*720) HD 또는 Full HD 1080P(1920*1080) 급이상의 동영상의 녹화가 가능해진다.
반도체 계측장비 특성상 녹화된 장비 영상을 통해 오류 및 오작동의 원인을 확인하게 되는데, 기존 320*240의 해상도로는 장비 영상에 비춰진 글씨를 명확하게 인식할 수 없다는 문제점이 있으나 이와 같이 우회적인 방식에 의해 저장함으로써 해상도의 문제점이 해소된다.
DVR(Digital Video Recorder) 모듈(160)은 신호컨버터 모듈(150)로부터 제공받은 고해상도 영상을 저장한다. 한편, DVR 모듈(160)은 카메라(180)로부터 전송된 영상신호를 더 저장한다.
한편, DVR 모듈(160)은 원격지 컴퓨터(10)의 요청시 기 저장된 영상을 제공하거나 또는 카메라(180)로부터 제공받은 영상을 실시간으로 전송한다.
일반적으로 SD카메라는 49만 화소를 지원하지만 카메라(180)는 200만화소를 지원하므로 더 선명하고 깨끗한 화질로 녹화를 할수 있다.
이러한 카메라(180)는 라인 내에서 반도체 계측장비(20)를 향해 설치될 수 있다.
조이스틱 신호처리 모듈(170)은 원격지에서 접속한 원격지 컴퓨터(10)로부터 조이스틱 좌표값을 입력받으면, 스테이지의 x 및 y축 제어신호로 변환하여 상기 반도체 계측장비(20)로 출력한다.
즉, 작업자가 원격지 컴퓨터(10)에 구비된 조이스틱을 조작함에 따라 원격지 컴퓨터(10)가 x축과 y축 조이스틱 좌표값을 생성하여 네트워크를 통해 IP 컨트롤러(110)로 전송하면, IP 컨트롤러(110)가 수신한 조이스틱 좌표값을 조이스틱 신호처리 모듈(170)로 제공한다.
조이스틱 신호처리 모듈(170)은 우선 반도체 계측장비(20)의 스테이지 조작모드를 매뉴얼 모드로 전환한다.
이후, 입력받은 조이스틱 좌표값을 분석하되, x좌표가 양의 값인 경우 스테이지가 오른쪽으로 움직이도록, x좌표가 음의 값인 경우 스테이지가 왼쪽으로 움직이도록 x축 제어신호를 생성하여 반도체 계측장비(20)로 인가한다.
이에 따라, 도 4에 도시된 바와 같이 작업자가 원격지에서 조이스틱을 좌우로 조작하는 것에 의해 스테이지가 좌우로 움직일 수 있게 된다.
한편, y좌표가 양의 값인 경우 스테이지가 뒤쪽으로 움직이도록, y표가 음의 값인 경우 스테이지가 앞쪽으로 움직이도록 y축 제어신호를 생성하여 반도체 계측장비(20)로 인가한다.
이에 따라, 작업자가 원격지에서 조이스틱을 앞뒤로 조작하는 것에 의해 도 4에 도시된 바와 같이 스테이지가 전후로 움직일 수 있게 된다.
한편, 상기 조이스틱 신호처리 모듈(170)에 의하여 상기 반도체 계측장비(20)로 스테이지의 x 및 y축 제어신호가 인가됨에 따라, 상기 반도체 계측장비(20)가 인가된 제어신호에 따라 스테이지를 제어하면,
신호 컨버터 모듈(150)은 상기 반도체 계측장비(20)의 TDI 모니터에 표시되는 스테이지 조작영상을 더 제공받아 HD-SDI 영상으로 변환하여 DVR 모듈(160)로 제공하며, DVR 모듈(160)은 이를 녹화한다.
이에 의할 때, 도 5에 예시된 바와 같은 사용자 인터페이스 화면상에 TDI 모니터 영상이 더 표시된다.
이에 따라, 사용자는 조이스틱 조작에 따라 스테이지가 매뉴얼 모드에서 조작되는 영상을 실시간으로 원격지 컴퓨터(10)의 화면을 통해 확인할 수 있게 된다. 뿐만 아니라 TDI 모니터를 통해 출력되는 조이스틱에 의한 계측장비(20)의 조작화면을 DVR 모듈(160)에 의해 녹화하였다가 이를 재생하여 볼 수 있게 된다.
ICS 모듈(190)은 통신수단(191) 및 ICS 제어수단(182)을 구비한다. 이때, 통신수단(191)은 반도체 계측장비(20)의 타워램프시그널 출력포트와 연결된다. 한편, 이때 ICS 모듈(190)은 전원을 인가받아, 외부 반도체 계측장비 또는 기타 추가장비로 전원을 공급한다.
타워램프시그널 출력포트와는 시리얼 통신방식에 의하여 통신할 수 있으며, 이때 바람직하게는 SECS(SEMI Equipment Communications Standard) 프로토콜을 이용할 수 있다.
ICS 모듈(190)은 반도체 계측장비(20)는 에러 발생시 이를 타워램프시그널 출력포트로 송출하며 통신수단(191)을 통해 이를 수신한다.
ICS 제어수단(182)은 이와 같이 반도체 계측장비(20)로부터 입력된 타워램프시그널을 판독하여 에러발생 여부를 판정한다.
에러가 발생된 것으로 판정되면 ICS 제어수단(182)은 통신수단(191)을 통해 이를 원격지 컴퓨터(10)로 알린다.
이에 의해 원격지 컴퓨터(10)는 모니터 화면상에 도 5에 예시된 바와 같이 반도체 계측장비(20)에 에러가 발생했음을 표시한다.
한편, ICS 제어수단(182)은 더 나아가 타워램프시그널을 판독하여 상기 반도체 계측장비(20)의 에러 발생시 에러종류를 판정하되, 에러발생시점 정보를 생성하며, 각 장비별로 에러발생시점 및 에러종류정보를 포함하는 히스토리를 생성할 수 있다.
즉, 어느 장비(20)에서 어떤 에러가 언제 발생했었는지에 관한 정보를 생성하여 원격지 컴퓨터(10)로 제공하며, 원격지 컴퓨터(10)는 도 5의 좌측 하단에 예시적으로 도시된 바와 같이 화면상에 시간경과에 따라 반도체 계측장비(20)의 상태를 표시할 수 있다.
이때, 더 나아가 도 5의 우측에 예시적으로 도시된 바와 같은 반도체 계측장비의 화면, 반도체 계측장비의 작동영상에 에러발생 사실을 오버레이하여 표시할 수도 있다.
이를 위하여 상기 ICS 제어수단(182)은 타워램프시그널을 판독하여 상기 반도체 계측장비(20)의 에러발생시 에러 종류를 판정하되, 이를 이용하여 반도체 계측장비(20)의 에러가 발생한 부분을 판단한다.
이 경우 상기 DVR 모듈(160)은 상기 다수의 카메라(161, 162)를 통해 촬영된 영상을 상기 원격지 컴퓨터(10)로 실시간 제공함에 있어 반도체 계측장비(20) 에러 발생 부분을 촬영하던 카메라(180)에 의해 촬영된 영상에 에러발생 여부를 오버레이하여 표시할 수 있다.
한편, ICS 제어수단(182)은 타워램프시그널을 판독하여 상기 반도체 계측장비(20)의 에러발생시 이를 상기 DVR 모듈(160)로 제공할 수 있다.
이 경우 DVR 모듈(160)은 동영상의 녹화시 동영상에 에러발생 여부를 오버레이하여 표시할 수 있다.
더 나아가 DVR 모듈(160)은 에러발생시점의 정보를 동영상 저장시 함께 저장함으로써 작업자가 원격지 컴퓨터(10)를 이용하여 에러 발생 시점의 영상을 재생하고자 하는 경우 수동으로 돌려보며 찾지 않고서도 마치 책갈피 기능을 이용하듯 쉽게 해당 에러 발생 시점 전후의 영상을 재생할 수 있도록 한다.
한편, 도 4에 도시된 바에 의할 때 콘센트 포트가 노출되어 있는 것을 확인할 수 있는데, ICS 모듈(190)에는 이와 같은 콘센트 포트가 더 구비된다. ICS 모듈(190)은 외부전원을 인가받아 상기 콘센트 포트를 통해 연결된 기타 장비로 전원을 제공한다. 즉, 외부 반도체 계측장비 또는 기타 추가장비의 콘센트를 상기 포트에 꽂는 것에 의해 전원을 공급받을 수 있다.
이러한 ICS 모듈(190)은 네트워크를 통해 접속한 원격지 컴퓨터(10)의 제어에 따라서 상기 콘센트 포트의 전원을 켜거나 끌 수 있다.
본 발명은 첨부 도면 및 상기와 같은 실시예를 참조하여 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 권리범위는 오직 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의하여 정해져야 할 것이며 상기와 같은 실시예에 국한되지 아니한다.
본 발명은 반도체 공정 및 검사장비를 원격지에서 모니터링하는 기술에 적용될 수 있다.
10 : 원격지 컴퓨터
20 : 반도체 계측장비
100 : 조이스틱을 이용한 반도체 계측장비의 원격제어 장치
110 : IP 컨트롤러
120 : KVM 모듈
121 : 입력장치 연결수단
122 : 영상연결수단
123 : KVM 제어수단
130 : 영상분배기
140 : 스케일링 모듈
150 : 신호컨버터 모듈
160 : DVR 모듈
170 : 조이스틱 신호처리 모듈
180 : 카메라
190 : ICS 모듈
191 : 통신수단
192 : ICS 제어수단

Claims (8)

  1. 네트워크를 통해 원격지에서 접속한 원격지 컴퓨터(10)가 KVM 모듈(120), DVR 모듈(160) 또는 조이스틱 신호처리 모듈(170) 가운데 하나 이상으로 접근할 수 있도록 상기 KVM 모듈(120), DVR 모듈(160) 또는 조이스틱 신호처리 모듈(170)의 ip 구성을 제어하는 IP 컨트롤러(110);
    반도체 계측장비(20)의 키보드, 마우스 및 모니터 입출력단자에 연결되는 KVM 모듈(120);
    상기 KVM 모듈(120)로부터 상기 반도체 계측장비(20)에서 출력된 디스플레이 신호를 제공받아 분배하는 영상분배기(130);
    상기 영상분배기(130)로부터 제공된 영상을 저장하는 DVR 모듈(160);
    상기 원격지에서 접속한 원격지 컴퓨터(10)로부터 조이스틱 좌표값을 입력받으면, 스테이지의 x 및 y축 제어신호로 변환하여 상기 반도체 계측장비(20)로 출력하는 조이스틱 신호처리 모듈(170);
    상기 반도체 계측장비를 향하여 설치되어 영상을 촬영하되, 촬영된 영상을 DVR 모듈로 출력하는 하나 또는 그 이상의 카메라(180);을 구비하되,
    상기 DVR 모듈(160)은 카메라(180)에 의해 촬영된 영상을 더 저장하며, 원격지에서 접속한 원격지 컴퓨터(10)의 요청에 따라 기 저장된 영상을 제공하거나, 상기 카메라(180)로부터 제공되는 영상을 실시간으로 전송하는 것을 특징으로 하는 조이스틱을 이용한 반도체 계측장비의 원격제어 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 조이스틱 신호처리 모듈(170)은 상기 원격지에서 접속한 원격지 컴퓨터(10)로부터 조이스틱 좌표값을 입력받음에 따라, 상기 반도체 계측장비(20)로 스테이지의 매뉴얼 조작모드로 전환하기 위한 모드전환 신호를 인가한 후, 스테이지의 x 및 y축 제어신호로 변환하여 출력하는 것을 특징으로 하는 조이스틱을 이용한 반도체 계측장비의 원격제어 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 영상분배기(130)로부터 분배된 디스플레이 신호를 HD-SDI 영상으로 변환하여 DVR 모듈로 인가하는 신호 컨버터 모듈(150);을 더 구비하되,
    상기 조이스틱 신호처리 모듈(170)에 의하여 상기 반도체 계측장비(20)로 스테이지의 x 및 y축 제어신호가 인가됨에 따라, 상기 반도체 계측장비(20)가 인가된 제어신호에 따라 스테이지를 제어하면,
    상기 신호 컨버터 모듈(150)은 상기 반도체 계측장비(20)의 모니터에 표시되는 스테이지 조작영상을 더 제공받아 HD-SDI 영상으로 변환하여 DVR 모듈로 인가하는 것을 특징으로 하는 조이스틱을 이용한 반도체 계측장비의 원격제어 장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 반도체 계측장비(20)의 타워램프시그널 출력포트와 연결되는 통신수단(191); 및 상기 반도체 계측장비로부터 입력된 타워램프시그널을 판독하여 소정의 값에 해당할 때 이를 상기 원격지 컴퓨터(10)로 제공하는 ICS 제어수단(192);를 구비하는 ICS 모듈(190);을 더 구비하되,
    상기 ICS 제어수단(192)은 타워램프시그널을 판독하여 상기 반도체 계측장비의 에러 발생시 에러종류를 판정하되, 에러발생시점 정보를 생성하며, 각 장비별로 에러발생시점 및 에러종류정보를 포함하는 히스토리를 생성하는 것을 특징으로 하는 조이스틱을 이용한 반도체 계측장비의 원격제어 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 ICS 제어수단(192)은 타워램프시그널을 판독하여 상기 반도체 계측장비(20)의 에러발생여부를 판정하며,
    DVR 모듈(160)은 에러가 발생함에 따라 동영상의 녹화시 동영상에 에러발생 여부를 오버레이하여 저장하는 것을 특징으로 하는 조이스틱을 이용한 반도체 계측장비의 원격제어 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 DVR 모듈(160)은 동영상의 녹화시 에러발생시점 정보를 동영상의 부대정보로 함께 저장하는 것을 특징으로 하는 조이스틱을 이용한 반도체 계측장비의 원격제어 장치.
  7. 제 4 항에 있어서,
    상기 ICS 제어수단(192)은 타워램프시그널을 판독하여 상기 반도체 계측장비(20)의 에러발생시 에러 종류를 판정하되, 이를 이용하여 반도체 계측장비(20)의 에러가 발생한 부분을 판단하고,
    상기 DVR 모듈(160)은 다수의 카메라(180)를 통해 촬영된 영상을 상기 원격지 컴퓨터(10)로 실시간 제공함에 있어 에러가 발생한 부분을 촬영하던 카메라(180)를 식별하여 해당 카메라(180)에 의해 촬영된 영상에 에러발생 여부를 오버레이하여 표시하는 것을 특징으로 하는 조이스틱을 이용한 반도체 계측장비의 원격제어 장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 KVM 모듈(120)은 반도체 계측장비(20)의 입력장치 커넥터에 연결되는 입력장치 연결수단(121); 상기 반도체 계측장비(20)의 디스플레이 커넥터에 연결되어 상기 반도체 계측장비(20)로부터 디스플레이 신호를 제공받는 영상연결수단(122); 및 상기 원격지에서 접속한 원격지 컴퓨터(10)로부터 입력장치 신호를 입력받으면 상기 입력장치 연결수단(121)을 통해 상기 반도체 계측장비(20)로 전송하는 KVM 제어수단(123);을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 조이스틱을 이용한 반도체 계측장비의 원격제어 장치.
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