JP2002268721A - 保守診断方法及びそのシステム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】遠隔地から各種装置の故障に対する保守診断を
迅速かつ的確に行なうこと。 【解決手段】ユーザ側Ａ、Ｂの各製造検査装置１、２の
動作状態を検出し、この検出された製造検査装置１、２
の動作状態を解析して故障、異常が発生したときにその
部位の動作状態を撮像し、この撮像により得られた異常
時の画像データを遠隔地のメーカ側Ｑに送信して製造検
査装置１、２の保守診断を行なう。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体ウエ
ハや液晶表示パネルの製造検査装置などの保守対象装置
の保守診断を遠隔地の保守サービスセンタで行なうよう
にした保守診断方法及びそのシステムに関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウエハや液晶表示パネルなどの電
子デバイスの製造ラインの各工程に配備された検査装置
は、故障が発生しないように常時監視し保守することが
望ましいが、仮に故障が発生したとしても、その故障原
因を早急に究明、処置できるようにすることが必要であ
る。この故障原因の究明にあたっては、作業者が製造検
査装置の異常現象を確認してその故障原因の究明にあた
るが、それでも解決できない場合には、製造検査装置を
製造販売したメーカ側の保守サービスセンタに電話等を
用いて異常を報告することになる。

【０００３】この保守サービスセンタの技術者は、予め
知り得た経験を基に、電話等による報告内容から製造検
査装置の故障原因の究明を行ない、その製造検査装置が
設置されている現地（ユーザ側）まで出掛け、その地に
おいて故障箇所の修復を行なうことになる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ユーザ
側において作業者が自己の経験に照らして故障原因を究
明するにも、近年、製造検査装置の構成が複雑化するに
伴ってその故障原因も多岐にわたることから、故障原因
の究明には多くの時間と労力とが必要となる。しかも、
作業者の経験に頼らざるを得ないことから、作業者の故
障原因の究明の熟練を必要とする。又は、作業者は、故
障した製造検査装置に対してときに誤った処置をとる場
合もある。

【０００５】とりわけ、ユーザ側の作業者によって製造
検査装置の故障原因を究明できない場合は、上記の如
く、先ずは電話等により保守サービスセンタの技術者に
連絡してメンテナンスを依頼することになるが、電話だ
けでは製造検査装置の故障原因の正確な情報及びユーザ
側の意志が伝わらないこともあり、保守サービスセンタ
では的確な指示を出せないおそれがある。

【０００６】このような状況になると、結局保守サービ
スセンタの技術者は、ユーザ側の製造検査装置が設置さ
れている工場などに出掛け、そこで製造検査装置の診断
及びその修復を行なうが、電話によりユーザ側の作業者
から受けた故障原因の情報では、あまりにもその情報量
が少なく正確な診断予測ができないために、予想外の故
障が発生していると必要な部品や修理工具を予め持参で
きないことがあり、場合によっては部品調達のために一
度保守サービスセンタに戻り、再度ユーザ側に出掛ける
といった事態が起こる。この保守サービスセンタの技術
者が部品調達のために一度メーカに戻って再度ユーザ側
を訪問するまで間、製造検査装置は、その稼動を停止し
なければならず、生産性の低下を招いてしまう。

【０００７】又、定期的なメンテナンスにおいても、メ
ンテナンスの必要性がないのに関わらず、ユーザ側まで
出かけていかなければならず、製造検査装置のメンテナ
ンスを行なうのに効率が悪い。

【０００８】そこで本発明は、保守サービスセンタ側か
らユーザ側の各種装置の故障に対する保守情報を通信回
線を介して迅速かつ的確に得ることができる保守診断方
法及びそのシステムを提供することを目的とする。

【０００９】又、本発明は、保守サービスセンタ側から
ユーザ側の各種装置の定期的なメンテナンス情報を通信
回線を介してメンテナンスの必要性を容易に確認できる
保守診断方法及びそのシステムを提供することを目的と
する。

【００１０】

【課題を解決するための手段】請求項１記載による本発
明は、保守サービスセンタから通信回線を介してユーザ
側の各種装置の保守診断を行なう保守診断方法におい
て、前記検査装置の動作状態を検出し、この検出された
前記各種装置の動作状態を解析して少なくとも前記各種
装置に異常が発生したときに前記各種装置の動作を撮像
手段で撮像し、この撮像により得られた画像データを前
記保守サービスセンタに送信して前記検査装置の保守診
断を行なうことを特徴とする保守診断方法である。

【００１１】請求項２記載による本発明は、請求項１記
載の保守診断方法において、前記各種装置の動作を前記
カメラにより定期的に撮像して正常動作時の画像データ
を取得し、かつ前記各種装置に異常が発生したときに前
記各種装置の動作を撮像して異常時の画像データを取得
し、この異常時の画像データと共に前記正常動作時の画
像データを前記保守サービスセンタに送信することを特
徴とする。

【００１２】請求項３記載による本発明は、請求項１記
載の保守診断方法において、前記各種装置の動作を前記
撮像手段により撮像し、この画像データを前記保守サー
ビスセンタに送信してメンテナンスを行なうことを特徴
とする。

【００１３】請求項４記載による本発明は、請求項１記
載の保守診断方法において、前記保守サービスセンタか
ら前記各種装置における撮像部位を撮影する前記撮像手
段を遠隔操作制御することを特徴とする。

【００１４】請求項５記載による本発明は、請求項１記
載の保守診断方法において、前記保守サービスセンタに
おいて、送信されてきた前記各種装置の動作状態の画像
データを表示し前記各種装置に発生する異常の兆候を判
断することを特徴とする。

【００１５】請求項６記載による本発明は、保守サービ
スセンタに設置された保守システムから通信回線を介し
てユーザ側の各種装置の保守診断を行なう保守診断シス
テムにおいて、前記各種装置の動作状態を検出する検出
手段と、前記各種装置の動作を撮像する撮像手段と、前
記検出手段により検出された前記各種装置の動作状態を
解析して少なくとも前記各種装置に異常が発生したとき
に前記撮像手段により撮像された前記各種装置の動作の
画像データを前記通信回線を介して前記保守システムに
送信する送信手段とを具備したことを特徴とする保守診
断システムである。

【００１６】請求項７記載による本発明は、請求項６記
載の保守診断システムにおいて、前記撮像手段は、前記
各種装置の動作状態の解析結果に基づいて前記各種装置
における前記異常が発生した部位を撮像することを特徴
とする。

【００１７】請求項８記載による本発明は、請求項６記
載の保守診断システムにおいて、前記撮像手段は、撮像
方向を固定、撮像方向を可変、撮像倍率を可変、撮像位
置を移動する各機能とのうち少なくとも１つの機能を有
することを特徴とする。

【００１８】請求項９記載による本発明は、請求項６記
載の保守診断システムにおいて、前記保守システムは、
前記通信回線を介して前記各種装置における撮像部位を
撮影する前記撮像手段を遠隔操作制御する機能を有する
ことを特徴とする。

【００１９】請求項１０記載による本発明は、請求項６
記載の保守診断システムにおいて、前記保守システム
は、送信されてきた前記各種装置の動作状態の画像デー
タをディスプレイ画面上に表示し前記各種装置に発生す
る異常の兆候を判断する機能を有することを特徴とす
る。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態につ
いて図面を参照して説明する。

【００２１】図１は保守診断システムの全体構成図であ
る。日本国内の各地又は海外などの複数のユーザ、例え
ばユーザＡ、Ｂの工場には、製造販売会社（メーカ側）
Ｑから購入した例えば半導体ウエハや液晶表示パネルな
どの製造検査装置１、２がそれぞれ製造ラインに設置さ
れている。これら製造検査装置１、２は、例えば各種顕
微鏡を用いて、フラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）
のガラス基板やカラーフィルタ、半導体ウエハなどの大
型基板表面に付着したごみ、異物などの外観検査を行う
外観検査装置などである。

【００２２】ユーザ側Ａにおいて、製造検査装置１は、
端末装置としてのパーソナルコンピュータ（制御装置）
３によってその動作状態が制御、監視されている。この
パーソナルコンピュータ３は、コンピュータ本体４と液
晶ディスプレイ５とからなっている。このパーソナルコ
ンピュータ３は、メールサーバ６を介して通信ネットワ
ーク（例えば電話回線、インターネットなど）７に接続
されている。

【００２３】このパーソナルコンピュータ３は、製造検
査装置１の動作状態を検出し、この動作状態を解析して
当該装置１に故障が発生したときに、当該装置１の動作
を撮像し、この撮像により得られた画像データを遠隔地
のメーカ側（保守サービスセンタ）に送信する機能を有
している。

【００２４】メールサーバ６は、例えばインターネット
上でＴＣＰ／ＩＰをベースとするメール送信に使われる
プロトコルのＳＭＴＰ（Simplre Mail Transfer Pro
tocol）サーバが用いられている。

【００２５】ユーザ側Ｂについてもユーザ側Ａと同様
に、製造検査装置２は、端末装置としてのパーソナルコ
ンピュータ（制御装置）８によってその動作状態が制
御、監視されている。このパーソナルコンピュータ８
は、コンピュータ本体９と液晶ディスプレイ１０とから
なっている。このパーソナルコンピュータ８は、ＳＭＴ
Ｐのメールサーバ１１を介して通信ネットワーク７に接
続されている。

【００２６】パーソナルコンピュータ８は、上記パーソ
ナルコンピュータ３と同様に、製造検査装置２の動作状
態を検出し、この動作状態を解析して当該装置２に故障
が発生したときに、当該装置２の動作を撮像し、この撮
像により得られた画像データを遠隔地のメーカ側（保守
サービスセンタ）に送信する機能を有している。

【００２７】なお、各ユーザ側Ａ、Ｂでは、それぞれ１
台づつ製造検査装置１、２を設置しているが、複数台づ
つ製造検査装置１、２を設置すれば、これら装置の動作
状態を制御、監視するパーソナルコンピュータをそれぞ
れ該ユーザＡ、Ｂの各メールサーバ６、１１に接続する
ものとなる。

【００２８】一方、メーカ側Ｑにおいては、ＳＭＴＰの
上記メールサーバ１２が通信ネットワーク７に接続され
ている。このメールサーバ１２には、保守システムＷを
構成する複数のパーソナルコンピュータ、例えば２台の
パーソナルコンピュータ１３、１４が接続されている。
このメールサーバ１２は、各ユーザ側Ａ、Ｂから送信さ
れてくる情報、例えば故障発生時の製造検査装置１又は
２などの画像データを受け取り、これら画像データを各
パーソナルコンピュータ１３、１４に転送する機能を有
している。これらパーソナルコンピュータ１３、１４
は、メールサーバ１２から転送されてきた画像データを
ディスプレイに表示して各ユーザ側Ａ、Ｂ側の各製造検
査装置１又は２の保守管理担当者に保守診断を行なわさ
せる。

【００２９】次に、各製造検査装置１、２について説明
する。図２及び図３はこれら製造検査装置１、２の外観
図であって、図２は正面図、図３は上方から見た図であ
る。例えば３つのウエハキャリア２０には、それぞれ検
査対象物として例えば半導体ウエハが格納されている。
これらウエハキャリア２０を配置したウエハ搬送部に隣
接して半導体ウエハの外観検査を行なう顕微鏡等の検査
部２１を備えたミクロステーションが並設されている。
なお、これらウエハキャリア２０と検査部２１との間に
は、半導体ウエハを搬送する搬送ロボットが設けられて
おり、この搬送ロボットによってウエハキャリア２０に
格納されている未検査の半導体ウエハが検査部２１のス
テージ２２に搬送され、この検査部２１での検査済みの
半導体ウエハがウエハキャリア２０に戻されるものとな
っている。

【００３０】図４及び図５は検査部２１の外観図であっ
て、図４は正面図、図５は上方から見た図である。この
検査部２１は、半導体ウエハを載置して移動するための
ステージ２２と、このステージ２２上に載置されている
半導体ウエハをミクロ観察するための対物レンズを備え
た顕微鏡ヘッド等の観察部２３とを備えている。このう
ちステージ２２は、通常、モータ等の駆動部２４と、こ
の駆動部２４の回転運動を直線運動に変換するためのボ
ールネジ２５と、このステージ２２の移動を案内するた
めのガイド等の案内２７とからなっている。

【００３１】従って、検査部２１は、ステージ２２上に
半導体ウエハが載置されると、このステージ２２の動作
により半導体ウエハが観察部２３の下方に観察位置に移
動され、ここで観察部２３により半導体ウエハが観察さ
れるものとなっている。

【００３２】この検査部２１は、半導体ウエハへの塵な
どの付着を防止するためにカバー２８によって覆われて
いる。

【００３３】ユーザ側Ａ、Ｂの各パーソナルコンピュー
タ（制御装置）３又は８は、それぞれ製造検査装置１、
２の動作状態を制御、監視するもので、図６に機能ブロ
ック図を示す。パーソナルコンピュータ（制御装置）３
又は８は、信号解析部３０と画像データ制御部３１との
各機能を有している。

【００３４】信号解析部３０には、複数の検出部３２−
１〜３２−ｎからの各検出信号が入力している。これら
検出部３２−１〜３２−ｎは、ウエハキャリア２０内の
半導体ウエハが搬送装置によって検査部２１に搬送され
る動作状態や、搬送された半導体ウエハを観察部２３に
移動させるステージ２２の動作状態、半導体ウエハを観
察する観察部２３の動作状態などをそれぞれ検出するも
ので、これら動作状態を検出するための各部位に配置さ
れている。これら検出部３２−１〜３２−ｎは、上記各
動作状態を検出するために例えばリミットセンサ、振動
センサ、音検出センサなどが用いられている。

【００３５】信号解析部３０は、各検出部３２−１〜３
２−ｎから出力される各検出信号を受け取り、これら検
出信号を解析して製造検査装置１、２の動作状態が異常
であるかの判断、例えばリミットセンサがオン（ＯＮ）
しない、振動がある、音が鳴る、ステージ２２の移動速
度が遅いなどの異常を判断する機能を有している。

【００３６】画像データ制御部３１には、複数のカメラ
３３−１〜３３−ｍから出力される各画像信号を入力す
るものとなっている。これらカメラ３３−１〜３３−ｍ
は、製造検査装置１、２の各部位を観察するために設置
されたもので、それぞれ固定カメラ３３−１、３３−
２、移動カメラ３３−３、及び回転カメラ３３−ｍとな
っている。

【００３７】固定カメラ３３−１は、図２及び図３に示
すように製造検査装置１、２の全体を観察するためのも
ので、パーソナルコンピュータ３又は８や、メーカ側Ｑ
の保守システムＷの操作部から指示を受けて例えば撮像
方向を上下左右に可変できるようになっている。又、こ
の固定カメラ３３−１は、撮像倍率を可変すなわち撮像
する対象を拡大できるような例えばズームレンズ等を備
え、製造検査装置１、２における観察したい部位を拡大
して撮像する機能を備えている。

【００３８】固定カメラ３３−２は、図４及び図５に示
すように検査部２１における故障しやすい部位やメンテ
ナンスが必要な部位を観察するためにステージ２２に固
定され、このステージ２２の移動に伴って移動するもの
となっている。この固定カメラ３３−２は、撮像倍率を
可変できるような例えばズームレンズ等を備え、パーソ
ナルコンピュータ３又は８や、メーカ側Ｑの保守システ
ムＷの操作部からの指示を受けて検査部２１における観
察したい部位を拡大して撮像できるものとなっている。

【００３９】移動カメラ３３−３は、検査部２１及びそ
の周辺の複数個所に設置できるようになっており、検査
部２１における狭くて観察しずらい部位、又はパーソナ
ルコンピュータ３又は８やメーカ側Ｑの保守システムＷ
からの指示を受けて観察したい所望の部位の近傍に移動
させて撮像できるように、例えば光ファイバースコープ
やビデオマイクロスコープ等のハンドタイプのカメラか
ら構成されている。この移動カメラ３３−３も、撮像倍
率を可変できるような例えばズームレンズ等を備え、メ
ーカ側Ｑの保守システムＷの操作部からの指示を受けて
検査部２１における観察したい部位を拡大して撮像でき
るものとなっている。又、ユーザ側の作業者は、メーカ
側の技術者からの電話等による指示を受けて移動カメラ
３３−３を手に持って指示された場所を撮影することも
可能である。この移動カメラ３３−３をユーザ側の作業
者が移動させる際、もしくは手に持って撮影する際に
は、検査装置のメカ駆動系を全べて停止させる。

【００４０】回転カメラ３３−ｍは、検査部２１の全体
を観察するためのもので、パーソナルコンピュータ３又
は８や、メーカ側Ｑの保守システムＷの操作部から指示
を受けて例えば撮像方向を３６０°回転できるようにな
っている。又、この回転カメラ３３−ｍは、撮像倍率を
可変すなわち撮像する対象を拡大できるような例えばズ
ームレンズ等を備え、検査部２１における観察したい部
位を拡大して撮像する機能を備えている。

【００４１】画像データ制御部３１は、信号解析部３０
の解析結果を受け、この解析結果から製造検査装置１、
２の動作状態に異常が発生したことが判断されると、こ
の異常が発生した部位を含む部分を撮像するためのカメ
ラ３３−１〜３３−ｍを選択し、選択された例えばカメ
ラ３３−１を自動的に動作させ、その異常が発生した部
位を含む部分の画像データを異常時の画像データとして
取得してデータ保存部３４に保存する機能を有してい
る。

【００４２】又、画像データ制御部３１は、各カメラ３
３−１〜３３−ｍを定期的に動作させてそれぞれの部位
の各画像データを取得してその撮像部位を示すアドレス
と対応させてデータ保存部３４に保存し、製造検査装置
１、２の動作状態に異常が発生したときにその異常が発
生した部位の画像データを異常時の画像データとしてデ
ータ保存部３４から取り出す機能を有している。

【００４３】又、画像データ制御部３１は、一定の期
間、例えば１日おき１時間、１０日おき１時間、１ヶ月
おき１時間、さらには一定のメンテナンス期間ごとに各
カメラ３３−１〜３３−ｍを常時動作させてそれぞれの
部位の各画像データ（正常時の画像データ）を取得して
その撮像部位を示すアドレスと対応させてデータ保存部
３４に保存した後、前回の正常時の画像データを消去す
る。また、画像データ制御部３１は、製造検査装置１、
２の動作状態に異常が発生したときに各カメラ３３−１
〜３３−ｍを動作させて、その異常が発生した部位の異
常時の画像データと異常発生箇所、異常発生の日時、振
動音などの診断に役に立つ異常発生時の各種データをデ
ータ保存部３４に保存し、かつこの異常が発生した時点
よりも以前における同異常が発生した部位の正常時の画
像データとをデータ保存部３４から取り出す機能を有し
ている。

【００４４】各パーソナルコンピュータ３、８は、信号
解析部３０により製造検査装置１、２の動作状態に異常
が発生したことが判断されたときに、画像データ制御部
３１により取得された異常が発生した部位を含む部分の
異常時の画像データを受け取り、この異常時の画像デー
タと異常発生時の各種データをメーカ側Ｑの保守システ
ムＷに送信する機能を有している。

【００４５】又、パーソナルコンピュータ３、８は、信
号解析部３０により製造検査装置１、２の動作状態に異
常が発生したことが判断されたときに、製造検査装置
１、２の動作状態に異常が発生した部位の異常時の画像
データと異常発生時の各種データをデータ保存部３４か
ら受け取ると共に、この異常が発生した時点よりも以前
における同異常が発生した部位の正常時の画像データを
データ保存部３４から受け取り、これら異常時と正常時
の各画像データをメーカ側Ｑの保守システムＷに送信す
る機能を有している。

【００４６】一方、メーカ側Ｑの保守システムＷは、メ
ールサーバ１２を通して各ユーザ側Ａ、Ｂからの異常時
の画像データを受け取ってそれぞれのパーソナルコンピ
ュータ１３、１４のディスプレイ画面上に表示し、メー
カ側Ｑの技術者の故障の原因や異常動作の原因究明の情
報とするものとなっている。

【００４７】又、各パーソナルコンピュータ１３、１４
は、メーカ側Ｑの技術者によるキーボードやマウスの操
作により各ユーザ側Ａ、Ｂにおける各カメラ３３−１〜
３３−ｍに対するそれぞれ撮像方向や倍率を可変する指
示を発し、各カメラ３３−１〜３３−ｍを遠隔に操作制
御できるものとなっている。また、メーカ側のキーボー
ドやマウスの操作によりユーザ側の検査装置を遠隔に操
作制御できることが好ましい。

【００４８】又、各パーソナルコンピュータ１３、１４
は、一定のメンテナンス期間ごとに各ユーザ側Ａ、Ｂか
ら送信されてくる当該ユーザ側Ａ、Ｂの画像データを受
け取り、これら画像データをディスプレイ画面上に表示
し、メーカ側Ｑの技術者の故障や異常動作の兆候を判断
する情報として用いるものとなっている。

【００４９】次に、上記の如く構成された装置による保
守診断の作用について説明する。

【００５０】（ａ）第１の保守診断方法について図７に
示す保守診断フローチャートを参照して説明する。

【００５１】ユーザ側Ａ、Ｂの各製造検査装置１、２に
おいて、搬送ロボットは、ウエハキャリア２０に格納さ
れている未検査の半導体ウエハを保持して検査部２１の
ステージ２２に搬送し、この検査部２１のステージ２２
上の検査済みの半導体ウエハと交換して未検査の半導体
ウエハをステージ２２上にセットし、検査済みの半導体
ウエハを保持してウエハキャリア２０内に収納する。

【００５２】検査部２１は、ステージ２２上に半導体ウ
エハが載置されると、このステージ２２を動作して半導
体ウエハを観察部２３の下方の観察位置に移動し、ここ
で観察部２３により半導体ウエハを観察する。

【００５３】各製造検査装置１、２では、上記動作を繰
り返して複数の半導体ウエハに対する検査を行なう。

【００５４】このような動作を行なっているとき、各製
造検査装置１、２に配置されている複数の検出部（例え
ばリミットセンサ、振動センサ、音検出センサなど）３
２−１〜３２−ｎは、ステップ＃１において、それぞれ
ウエハキャリア２０内の半導体ウエハが搬送ロボットに
よって検査部２１に搬送される動作状態や、搬送された
半導体ウエハを観察部２３に移動させるステージ２２の
動作状態、半導体ウエハを観察する観察部２３の動作状
態などを検出し、その各検出信号を出力する。

【００５５】次に、信号解析部３０は、ステップ＃２〜
＃３において、各検出部３２−１〜３２−ｎから出力さ
れる各検出信号を受け取り、これら検出信号を解析して
製造検査装置１、２の動作状態が異常であるかの判断、
例えばリミットセンサがオン（ＯＮ）しない、振動があ
る、音が鳴る、ステージ２２の移動速度が遅いなどの異
常を判断する。

【００５６】この判断の結果、例えば製造検査装置１の
動作状態に異常があると判断されると、画像データ制御
部３１は、直ちにステップ＃４において、異常が発生し
た部位を含む部分を撮像するためのカメラ３３−１〜３
３−ｍ、例えば固定カメラ３３−２を選択し、この選択
された固定カメラ３３−２を自動的に動作させ、その異
常が発生した部位を含む部分の画像を取得させる。

【００５７】この固定カメラ３３−２は、図４及び図５
に示すようにステージ２２の移動に伴って移動しながら
検査部２１における故障しやすい部位やメンテナンスが
必要な部位を撮像し、その画像信号を出力する。この画
像信号は、画像データ制御部３１によって画像信号を異
常時の画像データとして取得してデータ保存部３４に保
存される。

【００５８】次に、パーソナルコンピュータ３は、ステ
ップ＃５において、データ保存部３４に保存された異常
時の画像データを読み取り、この異常時の画像データを
メーカ側Ｑの保守システムＷに送信する。

【００５９】この異常時の画像データは、メールサーバ
６から通信ネットワーク７を経由してメーカ側Ｑのメー
ルサーバ１２に送られる。

【００６０】メーカ側Ｑの保守システムＷは、メールサ
ーバ１２を通してユーザ側Ａからの異常時の画像データ
を受け取ってそれぞれのパーソナルコンピュータ１３、
１４のディスプレイ画面上に表示し、メーカ側Ｑの技術
者によりユーザ側Ａの製造検査装置１の故障の原因や異
常動作の原因究明の情報とする。

【００６１】メーカ側Ｑの技術者により製造検査装置１
の故障の原因や異常動作の原因究明を行なうとき、メー
カ側Ｑの技術者は、これら故障の原因や異常動作の原因
究明にあたって製造検査装置１における観察したい部位
を変更したい場合がある。

【００６２】このようなときメーカ側Ｑの技術者は、例
えばパーソナルコンピュータ１３のキーボードやマウス
を操作して製造検査装置１における観察したい部位を撮
像する例えばカメラ３３−２の撮像方向や倍率を可変す
る指示を与えたり、カメラ３３−３の倍率を可変する指
示を与え、各カメラ３３−２、３３−３を遠隔操作して
所望の箇所を撮影する。

【００６３】これらカメラ３３−２、３３−３に対する
指示は、パーソナルコンピュータ１３から指示信号とし
て発せられ、メールサーバ１２から通信ネットワーク７
を経由してユーザ側Ａのメールサーバ６に届く。

【００６４】このユーザ側Ａのパーソナルコンピュータ
３は、カメラ３３−２の撮像方向や倍率の指示、カメラ
３３−３の倍率の指示を受け、これらカメラ３３−２の
撮像方向や倍率を可変制御し、かつカメラ３３−３の倍
率を可変制御する。

【００６５】このようにして取得された各カメラ３３−
２、３３−３の画像データは、上記同様に、メールサー
バ６から通信ネットワーク７を経由してメーカ側Ｑのメ
ールサーバ１２に送られる。そして、これら画像データ
は、パーソナルコンピュータ１３、１４のディスプレイ
画面上に表示され、メーカ側Ｑの技術者によりユーザ側
Ａの製造検査装置１の故障の原因や異常動作の原因究明
の情報として用いられる。

【００６６】（ｂ）第２の保守診断方法について図８に
示す保守診断フローチャートを参照して説明する。

【００６７】上記の如く各製造検査装置１、２により半
導体ウエハに対する検査の動作を行なっているときに、
各製造検査装置１、２に配置されている複数の検出部３
２−１〜３２−ｎは、ステップ＃１において、それぞれ
ウエハキャリア部２０内の半導体ウエハが搬送ロボット
によって検査部２１に搬送される動作状態や、搬送され
た半導体ウエハを観察部２３に移動させるステージ２２
の動作状態、半導体ウエハを観察する観察部２３の動作
状態などを検出し、その各検出信号を出力する。

【００６８】これと共に複数のカメラ３３−１〜３３−
ｍは、ステップ＃１０において、それぞれ製造検査装置
１、２の各部位を撮像してその画像信号を出力する。す
なわち、固定カメラ３３−１は、図３に示すように製造
検査装置１、２の全体を撮像してその画像信号を出力す
る。固定カメラ３３−２は、図４及び図５に示すように
検査部２１における故障しやすい部位やメンテナンスが
必要な部位を撮像してその画像信号を出力する。移動カ
メラ３３−３は、検査部２１における狭くて観察しずら
い部位などを撮像してその画像信号を出力する。回転カ
メラ３３−ｍは、検査部２１の全体を撮像してその画像
信号を出力する。

【００６９】なお、これらカメラ３３−１〜３３−ｍ
は、各パーソナルコンピュータ１３、１４からの指示に
より一定の期間、例えば１日おき１時間、１０日おき１
時間、１ヶ月おき１時間、さらには一定のメンテナンス
期間ごとに撮像動作を行なってもよい。

【００７０】これら画像信号は、画像データ制御部３１
によって正常時の画像データとして取得してデータ保存
部３４に保存され、この画像データを最新のものに更新
することが望ましい。

【００７１】次に、信号解析部３０は、ステップ＃２〜
＃３において、上記各検出部３２−１〜３２−ｎから出
力される各検出信号を受け取り、これら検出信号を解析
して製造検査装置１、２の動作状態が異常であるかの判
断、例えばリミットセンサがオン（ＯＮ）しない、振動
がある、音が鳴る、ステーブ部２２の移動速度が遅いな
どの異常を判断する。

【００７２】この判断の結果、各製造検査装置１、２が
正常であれば、各パーソナルコンピュータ３、８は、そ
れぞれステップ＃１１に移り、定期的なメンテナンスの
時期であるかを判断し、定期的メンテナンス時期であれ
ば、ステップ＃１２において、データ保存部３４に保存
されている正常時の画像データを取り出し、この正常時
の画像データをメーカ側Ｑの保守システムＷに送信す
る。

【００７３】この正常時の画像データは、メールサーバ
６から通信ネットワーク７を経由してメーカ側Ｑのメー
ルサーバ１２に送られる。

【００７４】メーカ側Ｑの保守システムＷは、定期的メ
ンテナンス時期に、メールサーバ１２を通してユーザ側
Ａからの正常時の画像データを受け取ってそれぞれのパ
ーソナルコンピュータ１３、１４のディスプレイ画面上
に表示し、メーカ側Ｑの技術者によりユーザ側Ａ、Ｂの
製造検査装置１、２のメンテナンスを行なう情報とす
る。

【００７５】一方、上記信号解析部３０の判断の結果、
例えば製造検査装置１の動作状態に異常があると判断さ
れると、画像データ制御部３１は、直ちにステップ＃４
において、異常が発生した部位を含む部分を撮像するた
めのカメラ３３−１〜３３−ｍ、例えば固定カメラ３３
−２を選択し、この選択された固定カメラ３３−２の撮
像により取得される画像データを異常時の画像データと
してデータ保存部３４に保存する。

【００７６】次に、パーソナルコンピュータ３は、ステ
ップ＃１３において、製造検査装置１の動作状態に異常
が発生した部位の異常時の画像データをデータ保存部３
４から受け取ると共に、この異常が発生した時点よりも
以前における同部位の正常時の画像データをデータ保存
部３４から受け取り、これら異常時と正常時の各画像デ
ータをメーカ側Ｑの保守システムＷに送信する。

【００７７】これら異常時及び正常時の各画像データ
は、メールサーバ６から通信ネットワーク７を経由して
メーカ側Ｑのメールサーバ１２に送られる。

【００７８】メーカ側Ｑの保守システムＷは、メールサ
ーバ１２を通してユーザ側Ａからの異常時及び正常時の
各画像データを受け取ってそれぞれのパーソナルコンピ
ュータ１３、１４のディスプレイ画面上に表示し、メー
カ側Ｑの技術者によりユーザ側Ａの製造検査装置１の故
障の原因や異常動作の原因究明の情報として用いられ
る。

【００７９】この場合、メーカ側Ｑの技術者は、異常時
の画像データを表示すると共に、正常時の画像データを
も表示するので、製造検査装置１の正常時の動作状態と
異常時の動作状態と比較することにより、製造検査装置
１の故障の原因や異常動作の原因究明が判断し易くな
る。

【００８０】このように上記一実施の形態においては、
ユーザ側Ａ、Ｂの各製造検査装置１、２の動作状態を検
出し、この検出された製造検査装置１、２の動作状態を
解析して故障、異常が発生したときにその部位の動作状
態を撮像し、この撮像により得られた異常時の画像デー
タを遠隔地のメーカ側Ｑに送信して製造検査装置１、２
の保守診断を行なうようにしたので、近年の製造検査装
置１、２の構成が複雑化してその故障原因も多岐にわた
って、ユーザ側Ａ、Ｂの作業者によって製造検査装置
１、２の故障原因が究明できない場合でも、遠隔地のメ
ーカ側の技術者が異常時の画像を観察することにより、
製造検査装置１、２の故障や異常の原因の正確な情報を
伝えることが出来、製造検査装置１、２の故障の原因や
異常動作の原因究明の判断が的確に行なえる。

【００８１】従って、メーカ側Ｑの技術者が、ユーザ側
Ａ、Ｂの製造検査装置１、２が設置されている工場など
に出掛け、そこで製造検査装置１、２の診断及びその修
復を行なう場合でも、製造検査装置１、２の故障の原因
や異常動作の原因に関する多くの情報に基づいて事前に
故障原因を究明し、製造検査装置１、２の修復のため必
要な部品や工具を速やかに調達して上記工場などに出掛
けることができるため、従来に比べて修理、点検に要す
る時間を短縮することが可能となり、製造検査装置１、
２の稼動の停止期間を少なくでき、生産性の低下を最小
限に止めることができる。

【００８２】又、メーカ側Ｑの技術者が製造検査装置
１、２の故障の原因や異常動作の原因究明にあたって製
造検査装置１における観察したい部位を変更したい場
合、メーカ側Ｑから例えばカメラ３３−２の撮像方向や
倍率を可変する指示を与えて遠隔に操作できるので、製
造検査装置１、２の故障の原因や異常動作の原因究明に
あたってメーカ側Ｑの技術者が所望する部位の画像を得
ることができ、製造検査装置１、２の故障の原因や異常
動作の原因究明を的確に行なうことができる。

【００８３】又、製造検査装置１、２に故障、異常が発
生したときに、メーカ側Ｑに製造検査装置１の異常時と
正常時の各画像データを送信するようにしたので、メー
カ側Ｑの技術者は、製造検査装置１の正常時の動作状態
と異常時の動作状態と比較することにより、製造検査装
置１の故障の原因や異常動作の原因究明をより的確に判
断することができる。

【００８４】又、定期的メンテナンス時期であれば、デ
ータ保存部３４に保存されている正常時の画像データを
取り出し、この正常時の画像データをメーカ側Ｑの保守
システムＷに送信するので、遠隔地のメーカ側Ｑにおい
てユーザ側Ａ、Ｂの各製造検査装置１、２を定期的にメ
ンテナンスすることができる。

【００８５】この定期的なメンテナンス時期やその他の
一定期間毎に正常時の画像データをメーカ側Ｑの保守シ
ステムＷに送信すれば、ユーザ側Ａ、Ｂでは、送信され
てきた画像から各製造検査装置１、２において発生する
異常の兆候を判断することができる。これにより、各製
造検査装置１、２を早期に修復して事前に故障や異常動
作が発生しないようにすることができる。

【００８６】以上のようなことから定期的メンテナンス
等の一定期間毎において、例えばステージ部２２の案内
２７やボールネジ２５などのグリスを塗る必要がある部
分に対しては、その位置に固定カメラを設置し、この固
定カメラのズーム機構を利用してグリスの状態等をメー
カ側Ｑにおいて遠隔に拡大観察し、グリスの塗り直す時
期を決定し、この時期に合わせてメンテナンスを行なう
ことができる。

【００８７】又、固定カメラで認識できないような狭い
部位に対しては、上記の如く光ファイバースコープを用
いた移動カメラ３３−３を用いてその部位を容易に観察
できる。

【００８８】さらに、故障しやすい部位やメンテナンス
部位にカメラを取り付けることができるようなカメラア
ダプタを予め設置し、これらカメラアダプタにカメラを
順次取り付けて各画像データを取得することで、複数箇
所ある故障し易い部位やメンテナンス部位にカメラを容
易に設置することができ、かつ、作業者への簡単な指示
によりカメラを確認したい部位に容易に設置できる。

【００８９】なお、本発明は、上記一実施の形態に限定
されるものでなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない
範囲で種々に変形することが可能である。

【００９０】さらに、上記実施形態には、種々の段階の
発明が含まれており、開示されている複数の構成要件に
おける適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出でき
る。例えば、実施形態に示されている全構成要件から幾
つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとす
る課題の欄で述べた課題が解決でき、発明の効果の欄で
述べられている効果が得られる場合には、この構成要件
が削除された構成が発明として抽出できる。

【００９１】上記一実施の形態では、半導体ウエハや液
晶表示パネルなどの製造検査装置１、２の保守診断に適
用した場合について説明したが、これに限らず各種検査
装置の保守診断に適用できることは言うまでもない。

【００９２】

【発明の効果】以上詳記したように本発明によれば、遠
隔地から各種装置の故障に対する保守診断を迅速かつ的
確にできる保守診断方法及びそのシステムを提供でき
る。

【００９３】又、本発明によれば、遠隔地から各種装置
の定期的なメンテナンスの必要性を容易に確認できる保
守診断方法及びそのシステムを提供できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係わる保守診断システムの一実施の形
態を示す構成図。

【図２】本発明に係わる保守診断システムの一実施の形
態における製造検査装置の外観正面図。

【図３】本発明に係わる保守診断システムの一実施の形
態における製造検査装置を上方から見た外観図。

【図４】本発明に係わる保守診断システムの一実施の形
態における製造検査装置の検査部の外観正面図。

【図５】本発明に係わる保守診断システムの一実施の形
態における製造検査装置の検査部を上方から見た外観
図。

【図６】本発明に係わる保守診断システムの一実施の形
態におけるパーソナルコンピュータ（制御装置）の機能
ブロック図。

【図７】本発明に係わる保守診断システムの一実施の形
態における保守診断フローチャート。

【図８】本発明に係わる保守診断システムの一実施の形
態における保守診断フローチャート。

【符号の説明】

Ａ，Ｂ：ユーザ側 Ｑ：製造販売会社（メーカ側） １，２：製造検査装置 ３，８：パーソナルコンピュータ（制御装置） ４，９：コンピュータ本体 ５，１０：液晶ディスプレイ ６，１１：メールサーバ ７：通信ネットワーク １２：メールサーバ １３，１４：パーソナルコンピュータ ２０：ウエハキャリア ２１：検査部 ２２：ステージ ２３：観察部 ２４：駆動部 ２５：ボールネジ ２７：案内 ２８：カバー ３０：信号解析部 ３１：画像データ制御部 ３２−１〜３２−ｎ：検出部 ３３−１〜３３−ｍ：カメラ ３４：データ保存部 Ｗ：保守システム

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 保守サービスセンタから通信回線を介し
   てユーザ側の各種装置の保守診断を行なう保守診断方法
   において、 前記検査装置の動作状態を検出し、この検出された前記
   各種装置の動作状態を解析して少なくとも前記各種装置
   に異常が発生したときに前記各種装置の動作を撮像手段
   で撮像し、この撮像により得られた画像データを前記保
   守サービスセンタに送信して前記検査装置の保守診断を
   行なうことを特徴とする保守診断方法。
2. 【請求項２】 前記各種装置の動作を前記カメラにより
   定期的に撮像して正常動作時の画像データを取得し、か
   つ前記各種装置に異常が発生したときに前記各種装置の
   動作を撮像して異常時の画像データを取得し、この異常
   時の画像データと共に前記正常動作時の画像データを前
   記保守サービスセンタに送信することを特徴とする請求
   項１記載の保守診断方法。
3. 【請求項３】 前記各種装置の動作を前記撮像手段によ
   り撮像し、この画像データを前記保守サービスセンタに
   送信してメンテナンスを行なうことを特徴とする請求項
   １記載の保守診断方法。
4. 【請求項４】 前記保守サービスセンタから前記各種装
   置における撮像部位を撮影する前記撮像手段を遠隔操作
   制御することを特徴とする請求項１記載の保守診断方
   法。
5. 【請求項５】 前記保守サービスセンタにおいて、送信
   されてきた前記各種装置の動作状態の画像データを表示
   し前記各種装置に発生する異常の兆候を判断することを
   特徴とする請求項１記載の保守診断方法。
6. 【請求項６】 保守サービスセンタに設置された保守シ
   ステムから通信回線を介してユーザ側の各種装置の保守
   診断を行なう保守診断システムにおいて、 前記各種装置の動作状態を検出する検出手段と、 前記各種装置の動作を撮像する撮像手段と、 前記検出手段により検出された前記各種装置の動作状態
   を解析して少なくとも前記各種装置に異常が発生したと
   きに前記撮像手段により撮像された前記各種装置の動作
   の画像データを前記通信回線を介して前記保守システム
   に送信する送信手段と、を具備したことを特徴とする保
   守診断システム。
7. 【請求項７】 前記撮像手段は、前記各種装置の動作状
   態の解析結果に基づいて前記各種装置における前記異常
   が発生した部位を撮像することを特徴とする請求項６記
   載の保守診断システム。
8. 【請求項８】 前記撮像手段は、撮像方向を固定、撮像
   方向を可変、撮像倍率を可変、撮像位置を移動する各機
   能とのうち少なくとも１つの機能を有することを特徴と
   する請求項６記載の保守診断システム。
9. 【請求項９】 前記保守システムは、前記通信回線を介
   して前記各種装置における撮像部位を撮影する前記撮像
   手段を遠隔操作制御する機能を有することを特徴とする
   請求項６記載の保守診断システム。
10. 【請求項１０】 前記保守システムは、送信されてきた
    前記各種装置の動作状態の画像データをディスプレイ画
    面上に表示し前記各種装置に発生する異常の兆候を判断
    する機能を有することを特徴とする請求項６記載の保守
    診断システム。