JP5017605B2 - 目視検査支援装置、目視検査支援システム並びに目視検査支援方法 - Google Patents

Description

本発明は、基板についての目視検査支援装置、この目視検査支援装置を用いた目視検査支援システム並びにこれらの装置、システムによる目視検査支援方法に関する。

実装密度の高くなった電気・電子回路基板又はその他の工業製品の検査を、全ての要検査部位について、脱落なく、かつ正面からの観察だけでは分からない不良をも見逃すことなく、更に型番等の見間違いもなく、確実な検査を疲れを生じさせずに行えるように支援する工業製品の目視検査支援装置が提供されるようになってきた。

特許文献１には、検査対象を保持する保持手段と、上記検査対象を正面から撮影する、ズーム機能及び絞り機能を備えた正面用ビデオカメラ、上記検査対象を斜め方向から撮影する、ズーム機能及び絞り機能を備えた斜め用ビデオカメラ及び該斜め用ビデオカメラと反対側に配したバランサを一体に組み合わせたカメラユニットであって、正面用ビデオカメラを中心に回転させる回転手段を備えたカメラユニットと、前記検査対象を、必要に応じて、上記カメラユニットに対して相対的にＸ、Ｙ、Ｚの三次元方向の全部又は一部の方向に移動させ得るように、該検査対象及び前記カメラユニットの双方又は一方に備えさせた移動手段と、前記カメラユニットの正面用ビデオカメラ及び斜め用ビデオカメラの撮影した画像信号を選択的に再生し得る画像モニタと、前記保持手段及び前記カメラユニットをそれぞれ移動させる移動手段、前記カメラユニットを回転させる回転手段、前記カメラユニットに於ける正面用ビデオカメラ及び斜め用ビデオカメラ並びに前記画像モニタのそれぞれを、検査対象の要検査部位を順次予め設定した順序と撮影態様で撮影して前記画像モニタで再生すべく制御する制御装置と、上記制御装置に撮影の進行の指示を与える指示装置と、で構成した工業製品の目視検査支援装置が記載されている。

特許文献２には、目視検査装置の集中管理システムが記載されており、この目視検査装置の集中管理システムは、各目視検査装置よりの画像信号を制御装置からの切替信号により切り替える切替器と、切り替えられた画像信号により画像を表示するモニタを備え、不良と判定された箇所の検査を前記モニタの表示画像により行うようにして良否判定を集中して一人の人間が行えるようにしている。

特許文献３には複数の同一計測ユニットが複数の半導体素子に一対一に接続されてなる電気的特性検査装置を用いて、複数の半導体素子を検査する際に、同時に複数の第１の検査項目について半導体素子を検査し、第２の検査項目については、全ての半導体素子を同時には検査しないようにしたことを特徴とする半導体素子の並列検査方法が記載されている。

特許文献４には、複数検査ラインについての優先選択方法が記載されている。

特許第３５４２１１４号公報 特開平１０−１５３５５６号公報 特許第３３０５６３２号公報 特開平１０−８１２７３号公報

一般的な目視検査では、当該装置１台に対して１名の検査員が必要になる。そのような場合、下記のような問題が発生する。

・検査員の人件費の削減
品質を向上させるために目視検査支援装置を導入・増設する場合、目視検査支援装置の装置導入費用以外に導入・増設する台数分の検査員が必要となる。検査員の人件費は運用を続ける期間は継続して発生する費用であり、生産コストに大きく影響する。
したがって、検査員による検査効率を向上させ、検査員の数を減らすことが望ましい。

・検査員の違いによる検査品質のばらつき
複数台の目視検査支援装置を運用する場合、複数の検査員が必要となる。通常は検査員の教育等を実施して目視検査の品質を安定させるように努めるが、体調不良や退職等の事由によって経験の浅い検査員によって検査を行わなければならないこともある。運用する台数が増えれば増えるほどそのようなリスクが増える傾向にある。また、検査員に対して適切な教育を行った場合でも、作業員ごとの目視検査の品質を完全に一致させることは困難である。
したがって、１名の検査員で複数の目視検査支援装置を運用し、同一の観点で検査を行うことが望ましい。

・作業中の待ち時間の削減
上述した検査機の人件費の削減あるいは検査員の違いによる検査品のばらつきを低減し、品質の均一化を図る場合に目視検査装置についての集中管理システムが採用されることになる。この場合に、集中管理に伴なって待ち時間が増大するおそれがあり、待ち時間を極力削減することが求められることになる。

これらの課題を解決すれば、目視検査支援装置を導入した場合の検査コストを低減し、目視検査の品質も安定させ、待ち時間を削減させることが可能である。

本発明は、かかる点に鑑みて複数の目視検査装置を採用し、目視検査支援装置を導入して作業の集中化を図った場合に、検査コストを低減し、目視検査の品質を安定させ、待ち時間を削除することのできる目視検査支援装置、目視検査支援システム並びに目視検査支援方法を提供することを目的とする。

本発明は、基板の検査部位を撮影して得られた撮影画像を画像モニタ手段で再生し、検査部位についての目視検査結果を入力、格納する目視検査集中管理装置において、
前記基板の検査部位の撮影を行うカメラをそれぞれ備えた複数の目視検査装置にそれぞれ通信手段を介して接続されて目視検査撮影画像を入力する入力手段と、該目視検査撮影画像に基づいて検査部位を画面に表示する前記画像モニタ手段と、画面に表示された検査部位について目視判定結果を次々に格納する格納手段と、各目視検査装置に備えたカメラを検査部位に前記通信手段を介して移動制御する制御手段と、を有し、
前記モニタ手段は、複数の目視検査装置から送信された検査部位についての目視検査撮影画像をスケジュールに従って順次画面に表示し、前記制御手段は、画面に表示された、スケジュール化された目視検査撮影画像についてカメラの角度を変えた目視検査撮影画像の要求があると、カメラの角度を変えて当該検査部位について目視検査撮影画像を取得させて前記スケジュール化された目視検査撮影画像と共に、またはこれに代えて前記モニタ手段に表示させることを特徴とする目視検査集中管理装置を提供する。

上記目視検査集中管理装置において、前記モニタ手段は、前記カメラの角度を変えての当該検査部位についての目視検査撮影画像を連続した画像もしくは動画として画面に表示することを特徴とする。

上記目視検査集中管理装置において、前記制御手段は、目視判定結果を入力させ、この画面表示、目視判定結果を入力させる間に、他の目視検査装置のカメラを所定の検査部位の撮影のために移動設定する制御を行うことを特徴とする。

本発明は、基板の検査部位を撮影して得られた撮影画像を画像モニタ手段で再生し、検査部位についての目視検査結果を入力、格納する目視検査集中管理システムにおいて、
前記基板の検査部位の撮影を行うカメラをそれぞれ備えた複数の目視検査装置と、
これらの目視検査装置にそれぞれ通信手段を介して格納されて目視検査撮影画像を入力する入力手段と、該目視検査撮影画像に基づいて検査部位を画面に表示する前記画像モニタ手段と、画面に表示された検査部位について目視判定結果を次々に格納する格納手段と、各目視検査装置に備えたカメラを検査部位に前記通信手段を介して移動制御する制御手段と、を備えた目視検査集中管理装置を有し、
該目視検査集中管理装置は、複数の目視検査装置から送信された検査部位についての目視検査撮影画像を前記画像モニタ手段の画面に表示し、前記制御手段は、画面に表示された、スケジュール化された目視検査撮影画像についてカメラの角度を変えた目視検査撮影画像の要求があると、カメラの角度を変えて当該検査部位について目視検査撮影画像を取得させて前記スケジュール化された目視検査撮影画像と共に、またはこれに代えて前記モニタ手段に表示し、目視判定結果を入力し、この画像表示、目視判定結果を入力する間に、他の目視検査装置のカメラを所定の検査部位の撮影のために移動設定させることを行うことを特徴とする目視検査集中管理システムを提供する。

上記目視検査システムにおいて、目視検査装置が前記目視検査装置と該検査部位について自動目視検査を行う自動目視検査装置から構成され、前記格納手段には各検査部位について自動目視検査装置による目視検査結果と前記目視検査集中管理装置による目視判定結果が格納され、前記モニタ手段は、前記カメラの角度を変えての当該検査部位についての目視検査撮影画像を連続した画像もしくは動画として画像に表示すると共に、同一画面に前記自動外観検査装置が撮像した当該検査部位についての検査画像およびこの検査画像についての静止参照画像を表示することを特徴とする。

本発明は、基板の検査部位を撮影して得られた撮影画像を画像モニタ手段で再生し、検査部位についての目視検査結果を入力、格納する目視検査集中管理装置による目視検査集中管理方法において、
入力手段によって、前記基板の検査部位の撮影を行うカメラをそれぞれ備えた複数の目視検査装置にそれぞれ通信手段を介して接続されて目視検査撮影画像を入力し、格納手段に、該目視検査撮像画像に基づいて検査部位を画面に表示された検査部位について目視判定結果を次々に格納し、制御手段によって、各目視検査装置に備えたカメラを検査部位に前記通信手段を介して移動制御し、
前記画像モニタ手段は、複数の目視検査装置から送信された検査部位についての目視検査撮影画像を予め定めたスケジュールに従って順次画面に表示し、かつ画面に表示されたスケジュール化された目視検査撮影画像についてカメラの態様を変えての当該検査部位についての目視検査撮影画像を前記スケジュール化された目視検査撮影画像と共に、またはこれに代えて画面に表示することを特徴とする目視検査集中管理方法を提供する。

上記目視検査集中管理方法において、前記制御手段によって目視判定結果を入力させ、この画面表示、目視判定結果を入力させる間に、他の目視検査装置のカメラを所定の検査部位の撮影のために移動設定する制御を行うことを特徴とする。

上記目視検査集中管理方法において、前記モニタ手段に、前記カメラの態様を変えての当該検査部位についての目視検査撮影画像を連続した画像もしくは動画として画面に表示することを特徴とする。

上記目視検査集中管理方法において、前記目視検査集中管理装置は、備えた判定手段によって、どの目視検査装置が目視検査状態にあるか、またどの目視検査装置のカメラが移動状態であるかを判定し、カメラの移動完了を示す信号に基づいていずれかの目視検査装置に優先順位を付与し、目視検査が完了すると、優先順位の上位にある目視検査装置によって撮影された目視検査撮影画像を優先して画面に表示することを特徴とする。

本発明によれば、複数の外観検査装置を採用し、目視検査支援装置を導入して作業の集中化を図ることが出来、この場合に、検査コストを低減し、目視検査の品質を安定させ、待ち時間を削除することのできる目視検査支援装置、目視検査支援システム並びに目視検査支援方法を提供することが出来る。

以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明する。

図１は、本発明の１つの実施例である目視検査支援システムをブロック図で示す。図１において、目視検査集中管理システム（目視検査支援システム）１００は、目視検査集中管理装置（例えば、１台もしくは複数のパソコン）９０および外観検査装置（外部検査手段ともいう。以下、同じ。）８０を備え、両者間は通信手段７０によって接続される。

図１にあっては、外観検査装置８０として３台の外観検査装置Ａ，Ｂ，Ｃ（それぞれ８０Ａ，８０Ｂ，８０Ｃ）が表示してあるが、これに限定されず、４台以上であってもよいし、２台であってもよい。いずれにしても複数台の外観検査装置８０が設けられ、それぞれ通信手段７０に接続される。

各外観検査装置８０は、自動外観検査装置１１および基板の目視検査支援装置１２を備える。各外観検査装置８０を構成する自動外観検査装置，目視検査支援装置にはＡ，Ｂ，Ｃを付けてそれぞれ区別している。従って、各外観検査装置８０の構成は実質的に同一とされ、自動外観検査装置１１および目視検査支援装置１２自体は公知の各装置を採用することができる。ここで目視検査支援装置として「目視」を使用するが、目視のための画像情報を取る機能を有し、目視検査支援装置として機能するという意味で使用する。

自動外観検査装置１１は、ビデオカメラなど（以下、カメラという。）により電子部品を実装した基板（例えば、プリント基板）の撮影、すなわち基板の検査部位を撮影して得られる画像を取り込み、基板上の部品やはんだ付けの有無などの良否を自動的に、すなわち機械的電子的に判定することを行う。

自動外観検査装置１１は、検査部位について不良を検出すると、不良が発生したことを通信手段７０経由で目視検査集中管理装置９０である集中管理装置に連絡する。目視検査集中管理装置９０の検査員は、モニタ画面に映った画像を見、自動外観検査装置１１が不良と判定した検査部位の良否を判定し、再確認する。モニタ画面に検査部位の画像を表示し、再確認するために外観検査装置８０は検査部位撮影装置である目視検査支援装置１２を備える。

この場合に、目視検査集中管理システム１００は、通信手段７０に接続されたサーバ６０を備えることができ、自動外観検査装置１１による自動的に撮影された撮像画像はサーバ６０に蓄積し、格納することができる。従って、目視検査集中管理装置９０への画像提供はサーバ６０を検索することによってなし得る。また、サーバ６０に代えて、もしくはサーバ６０と共に自動外観検査装置１１Ａ，１１Ｂ，１１Ｃにそれぞれサーバ６０Ａ，６０Ｂ，６０Ｃを付属させて設けて、これらのサーバを検索することによって撮像画像を取得することができる。

従って、自動外観検査装置１１は目視検査支援装置１２の上流側に配置され、再確認すべき検査部位を特定し、目視検査支援装置１２は特定された検査部位について撮影する。自動外観検査装置１１と目視検査支援装置１２を一体的なものとして構成してもよい。

また、自動外観検査装置１１が撮影する検査部位は予めプログラムによって定めており、この検査部位についての正常状態での参照画像がサーバ６０あるいはサーバ６０Ａ，６０Ｂ，６０Ｃに格納されている。格納手段は他の手段によって行ってもよい。

検査員が検査部位について不良と判定した場合、検査員は特定された基板、検査部位と共に検査判定結果を後述するように格納する。検査員はその検査部位が良品である場合には、検査データを変更する必要があるかどうかを確認し、必要に応じて検査データの変更を行う。この変更した検査データは、目視検査支援装置１２から通信手段７０を介して自動外観検査装置１１に転送され、以後の検査に生かされることになる。

目視検査支援装置１２には、以下の２種類がある。
・オフライン型
検査対象物の取り付けと取り外しを手動で行う方式のもの。検査開始前に検査対象物を手動で目視検査支援装置に取り付ける必要があり、検査後もその検査対象物を手動で取り外すことを要する。
・インライン型
検査対象物の取り付けと取り外しは検査装置によって自動的に行われる方式のもの。他の検査装置、検査対象物を収納するラック、コンベア等と接続して使用し、検査対象物の移動、取り付け、取り外し等は各装置によって自動的に行われる。そのため、検査員が検査対象物に触れる必要はない。

これらの構成を持つ目視検査支援装置において、オフライン型目視検査支援装置の場合は検査対象物を手動で取り付けたり取り外したりする必要があるため、検査員の人数を減らすことには限りがある。そのため、上記の課題を解決するための手段としてインライン型の目視検査支援装置を使用することが望ましく、以下、インライン型の目視検査支援装置を使用した実施例について説明する。

目視検査集中管理装置９０は、入力部（入力手段）３１、格納部（格納手段）３２、画像モニタ部（画像モニタ手段）３３、目視判定結果入力部（目視判定結果入力手段）３４および制御部（制御手段）３５を備える。画像モニタ部３３は、スケジュール化された検査部位についての画像表示機能３８、この画像の参照画像表示機能３９および検査部位についての一連の画像もしくは動画を表示する機能４０を備える。格納部３２はサーバ６０を使用することができ、その場合、サーバ６０を格納部３２と読み替えることとする。制御部３５は画面表示指示手段４１、目視判定結果入力指示手段４２、目視検査状態検出、判定並びにカメラ移動状態検出、移動完了を判定する判定手段４３、表示すべき画像についてカメラ移動指示手段４５を備える。

目視検査集中管理装置９０は、各目視検査支援装置１２のモニタ手段を有し、操作機能としての操作盤を備える。この場合に、各目視検査支援装置１２と各モニタ手段、各操作盤とは対応形式として配線を延長して接続し、集中した目視検査支援を行うことができる。各目視検査支援装置１２に対応してモニタ手段および操作盤を個別に設け、運用するモニタ手段および操作盤を選択する方式とした一箇所集中型とすることができ（一箇所集中選択型）、また一箇所集中型とすることは同一であるが、前者と異なり、複数のモニタ手段、操作盤に対して切替器を使用して各目視検査支援装置１２に対応したモニタ手段、操作盤を切り替えて運用することができる（一箇所集中切替え型）。この場合に、目視検査支援装置１２からの切替え信号を受け取って自動的に切替えることを行うことができる。切替器としては市販の切替器を採用することができる。配線の延長方法は一般的な延長ケーブルに限らず、光通信やネットワーク通信に変換しての延長も可能である。

これらの場合、図１に示す目視検査管理集中手段としての目視検査管理集中装置９０は、目視検査支援方式において使用されるパソコン目視検査管理集中機能を備えることとなり、他のパソコンとの通信を行う。この例の場合、特定のパソコンに当該目視検査管理集中機能を設けることを要しない。

図２は、目視検査集中管理装置９０が備える目視検査支援機能を示す。入力部５１は、検査部位についての自動外観検査画像（ＡＯＩ）９１および目視検査支援装置１２によって取得された検査部位撮影画像および動画撮影画像９２を入力する機能を有する。前述したように、この場合、サーバ６０もしくはサーバ６０Ａ，６０Ｂ，６０Ｃに格納、蓄積された検査部位撮影画像を入力することができる。画像モニタ部３３は、自動外観検査画像すなわち検査部位撮影画像および検査部位動画撮影画像もしくは検査部位連続一連撮影画像を画像モニタ表示する機能５２を有する。

目視判定結果入力部３４は、画像モニタ部３３に表示された画像について検査員の目視検査による不良判定結果を入力する目視検査結果入力機能５８を有する。制御部３５は、複数の自動外観検査装置１１によって取得された目視検査撮影画像について正常な参照画像との照合を行って検査部位についての検査の要旨を判定し、複数の目視検査装置１２について、格納されたプログラムによって検査順位についてスケジュール化を行う。

制御部３５は、スケジュール化された検査順位に従って目視検査支援装置１２に検査部位を撮影させ、入力させ、画像モニタ部３３に画像モニタ表示させる。これによって、画像モニタ部３３は、複数の目視検査装置１２から送信された検査部位についての目視検査撮影画像を予め定められたスケジュールに従って順次画面に表示することができる。自動外観検査装置１１によって取得された目視検査撮影画像を参照画像と照合した時に、目視検査を要しない程に明瞭な欠陥（ＮＧ）と判断された場合には、スケジュール化から除外して直ちにＮＧであることを格納部３２に格納することができる。勿論スケジュールに入れて目視による確認を行うようにしてもよい。

制御部３５の画面表示指示手段４１は、画像モニタ部３３に画像を表示させる機能を有する。制御部３５の目視判定結果入力指示手段４２は、目視判定結果を格納部３２に入力させる機能を有する。

また、制御部３５は、次の目視検査撮影画像の表示に行く前に、スケジュールされ、画面に表示された目視検査撮影画像について検査員の入力に従って、検査部位についての詳細確認指示を目視検査支援装置１２に送信する。この指示が与えられた目視検査支援装置１２Ａ，１２Ｂまたは１２Ｃは、画面に表示されたスケジュール化された目視検査撮影画像について、カメラの角度あるいは／および拡大度（ズーム度）、すなわちカメラの態様を変えての当該検査部位についての目視検査撮影画像を取得する。

この場合に、目視検査支援装置１２は、プログラムによって一連の連続した目視検査撮影画像、あるいは一連の連続した目視検査撮影画像によって動画として撮影し、直ちに入力部３１を介して目視検査集中管理装置１００に送信することを行う。画像モニタ部３３に一連の連続した目視検査撮影画像についての表示がなされ、検査員による判定結果が入力されると、スケジュール化された次の検査部位についての画面へと移行する。従って、一連の連続した目視検査撮影画像はスケジュール化された検査部位についての目視検査撮影画像表示中に割込んだ形で画面表示されることになる。そして、この場合に、割込んだ形の目視検査撮影画像はプログラムによって一連の連続した画像としてあり、検査員に負担を掛けることなく迅速に表示されることになる。一連の連続した画像によって動画とすることによって更に検査員の負担は軽減することになる。

制御部３５の判定手段４３は、上述した判定機能に加えて、検査部位が指定されると、目視検査状態にあるかを検出する機能を有する。この検出は検査員の操作動作あるいは機械（パソコン）による自動検出、例えばスケジュール化された画面の切替えを検出して行うことができる。更に、この判定手段４３は、目視検査結果が入力指示されたことによって目視検査が終了したかを判定する機能および検査部位へのカメラ移動状態を検出し、カメラ移動が完了したかを判定する機能５４を有する。

制御部３５のカメラ移動指示手段４５は、目視検査中に、すなわち目視検査状態検出中に他のいずれかの外観検査装置８０、目視検査支援装置１２のカメラを検査部位に移動制御する制御機能５５を有する。これによって、目視検査状態検出とカメラ移動制御とを並列作業させる制御を行うことができる。ここでカメラを検査部位に移動するとは、カメラ操作のためのロボットを移動し、カメラによって検査部位を撮影する位置にセットすることを意味する。

格納部３２は、目視検査装置毎、検査部位毎に自動検出画像、撮影画像および目視判定結果を格納する格納機能５６を有する。

以上のように、これらの実施例による目視検査管理集中装置９0は、基板の検査部位の撮影を行うカメラをそれぞれ備えたそれぞれ目視検査支援装置１２を含めた複数の外観検査装置８０にそれぞれ通信手段７０を介して接続されて目視検査撮影画像を入力する入力部３１と、目視検査撮像画像に基づいて再生された検査部位を画面に表示する複数の画像モニタ部３３と、画面に表示された検査部位について目視判定結果を次々に格納する複数の格納部３２と、各外観検査装置に備えたカメラを検査部位に通信手段７０を介して移動制御する分散配置の制御部３５と、を有する。

そして、制御部３５は、複数の内の一つの外観検査装置８０から送信された検査部位についての目視検査撮影画像をスケジュールに従って順次いずれかの画像モニタ部の画面に表示させ、目視判定結果を入力させ、この画面表示、目視判定結果を入力させる間に、他の外観検査装置のカメラを所定の検査部位の撮影のために移動設定する制御を次々に行うことになる。

この場合における「スケジュール化」に予め定めたスケジュール化が含まれ、「予め定めたスケジュール化」には、後述するように、いずれかの目視検査支援装置１２のカメラの移動完了を示す信号に基づいて目視検査を行う優先順位を付与するようにプログラム化してある場合を含めるものとする。要は、検査員の指示によって優先順位が定まるのではなく、予め組み込んだプログラムに従って優先順位が定まる方法が採用され、検査員の負担が軽減される。

画像モニタ部３３は、画面に表示されたスケジュール化された目視検査撮影画像についてカメラの態様を変えての当該検査部位についての目視検査撮影画像をスケジュール化された目視検査撮影画像と共に、またはこれに代えて画面に表示することができる。

また、制御部３５は、どの外観検査装置８０Ａ，８０Ｂまたは８０Ｃが目視検査状態にあるか、またどの目視検査装置のカメラが移動状態にあるかを判定する判定手段４３を備えることになる。

更に、システムとして見た場合、目視検査管理集中システム１００は、基板の検査部位の撮影を行うカメラをそれぞれ備えた複数の外観検査装置８０と、これらの外観検査装置８０にそれぞれ通信手段７０を介して格納されて目視検査撮影画像を入力する入力部３１と、目視検査撮影画像に基づいて再生された検査部位を画面に表示する画像モニタ部３３と、画面に表示された検査部位について目視判定結果を次々に格納する格納部３２と、各外観検査装置に備えたカメラを検査部位に通信手段７０を介して移動制御する制御部３５と、を備えた目視検査集中管理装置９０を有することになる。

この目視検査集中管理装置９０は、複数の内の一つの外観検査装置から送信された検査部位についての目視検査撮影画像並びに一連の連続した画像（動画を含めて）を画像モニタ部３３の画面に表示し、目視判定結果を入力し、この画像表示、目視判定結果を入力する間に、他の外観検査装置のカメラを所定の検査部位の撮影のために移動設定させることを次々に行うことになる。

この場合、外観検査装置８０は、基板の検査部位を撮影する目視検査支援装置１２と該検査部位について自動外観検査を行う自動外観検査装置１１から構成され、格納部３２には各検査部位について自動外観検査装置１１による外観検査結果と目視検査集中管理装置９０による目視判定結果が格納されることになる。

また、各目視検査支援方式に備えられた一箇所に集中して配置されたパソコンは全体として目視検査集中管理装置９０を構成し、いずれかのパソコンが使用されて目視判定、カメラ移動を行うかのために各パソコンに備えた選択機能によっていずれかのパソコンが選択され、あるいは切替器による切り替えが行われることになる。

図３は画像モニタ部３３の画面に表示される画像を示す。画像モニタ部３３の画面３３Ａには、自動外観検査画像である検査部位撮影画像を静止画像として表示する画面３３Ｂ、この検査部位撮影画像に対応し、正常な検査部位の撮像画像である静止した参照画像を表示する画面３３Ｃ、検査員が指示入力を行う指示入力画面３３Ｄおよび指示入力があったときに当該検査部位についての撮影のために採用されたカメラ態様に基づいて撮影された一連の連続画像（動画を含めて）を表示する画面３３Ｅが構成される。

この画面では、３つの画像を表示しているが、一連の連続画像表示を全体の１つの画像として表示するように切り替えることができる。また、一連の連続画像と静止画像あるいは一連の連続画像と静止参照画像を表示するようにしてもよい。

指示入力画面３３Ｄは、現状の目視状況情報を示す表示部３３Ｄ１および指示入力表示部３３Ｄ２を備え、コンソールボックスやマウス操作で指示入力がなされる。

図４および図５に実施例２を示す。図４に実施例１の図１に、そして図５は図２に相当する。図１および図２と同一の構成には同一の番号を付してあり、図１および図２について行った説明を援用し、図１および図にない機能を中心にして説明することにする。

実施例２は第三の方法を示す。
第三の方法は、全目視検査支援装置１２を含めた全外観検査装置８０に対して一台のモニタ手段、操作盤を備えたパソコンを使用して集中管理を行って運用する方法である（一括機能集中管理型）。

図４において、一台の目視検査集中管理装置９０は、入力部（入力手段）３１、格納部（格納手段）３２、画像モニタ部（画像モニタ手段）３３、目視判定結果入力部（目視判定結果入力手段）３４および操作盤に内蔵させた制御部（制御手段）３５を備える。制御部３５は画面表示指示手段４１、目視判定結果入力指示手段４２、目視検査状態検出、判定ならびにカメラ移動状態検出、移動完了を判定する判定手段４３、表示すべき画像について優先順位付与を行う優先順位付与手段４４およびカメラ移動指示手段４５を備える。

この実施例は、１人の検査員に対して一台のパソコンに内蔵させた目視検査集中管理装置９０を使用し、この目視検査集中管理装置９０は、制御部３５に優先順位付与手段４４を備えることを特徴とする。

図５において、制御部３５の優先順位付与手段４４は、各外観検査装置８０、目視検査支援装置１２の備えるカメラの移動完了順に優先順位を付与する機能５７を有する。移動完了順に加えて割り込み制御による順位付与としてもよい。

この実施例の場合には、モニタ手段機能および操作盤機能を備えたパソコンを使用し、イーサネット（登録商標）等のネットワークを介して各目視検査支援装置１２に接続することになる。この方式によれば、遠隔にあるパソコンで目視検査集中管理装置９０を構成し、通信手段としてネットワークを経由して複数の目視検査支援装置１２に接続し、運用することを行う。ネットワーク経由で操作するために、ＴＣＰ／ＩＰ等の一般的なプロトコルに沿って運用する形態とすれば、海外にある外観検査装置８０、目視検査支援装置１２を国内で運用することが可能となる。

複数の目視検査支援装置１２についてそれぞれ目視検査を行うに必要な全機能を含むソフトウェアを遠隔にあるパソコンに、すなわち目視検査集中管理装置９０に搭載し、管理用ソフトウェアと通信を行わせる方法（目視検査支援装置における集中管理方式）と、複数の目視検査支援装置１２についてそれぞれに目視検査を行うために必要な最小限の機能を含むソフトウェアを搭載し、遠隔にあるパソコンの集中管理ソフトウェアと通信させる。

この実施例によれば、画像モニタ部３３が、複数の目視検査装置１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃから送信された検査部位についての目視検査撮影画像を予め定めたスケジュールに従って順次画面に表示するに当って、目視検査集中管理装置１００は、備えた判定手段４３によって、どの目視検査装置１２が目視検査状態にあるか、またどの目視検査装置１２のカメラが移動状態であるかを判定し、カメラの移動完了を示す信号に基づいていずれかの目視検査装置に優先順位を付与し、目視検査が完了すると、優先順位の上位にある目視検査装置によって撮影された目視検査撮影画像を優先して画面モニタ部３３に画面に表示させることができるようにプログラム化しておくことができる。

この場合に、検査員が目視検査を行うために必要な情報は、検査対象物の特定や検査箇所の情報など、検査対象物に関する情報が多い。それに対して、どの目視検査支援装置で検査を行っている箇所であるかを意識しなければならないことは少なく、どの目視検査支援装置で検査を行っているかを積極的に意識させながら検査を行わせる必要は少ないと考えられる。

そこで、複数の目視検査支援装置において、どの装置が検査可能状態であるか移動状態であるか等を集中管理ソフトウェアに制御させ、目視検査が可能である目視検査支援装置の制御を優先的に行うように進行させることは有効である。具体的には、検査箇所への移動が終わって検査が開始できる状況とあった時点で移動完了を示す信号を目視検査支援装置が集中管理ソフトウェアに通知し、その通知を集中管理ソフトウェアが優先順位をつけて管理を行う。これにより、検査員が目視検査後に良否判定を行った時点で集中管理ソフトウェアが次の検査情報を画面に表示することができ、検査員は連続的に目視検査を行うことができるようになり、目視検査の効率が向上する。

・ネットワーク経由による画像の送信方法
複数の目視検査支援装置を運用する際に技術的に解決すべき課題として、ネットワークを経由した場合の画像の送信方法がある。目視検査時には検査員の操作に併せた動画での画像表示が必要であるが、現在の技術では動画でのネットワーク送信には画質的に限界がある恐れがある。現時点でそれを解決する手段としては、検査員が目視検査支援装置のロボット部を操作するような場合には動画を使用し、操作を終了した時点で精細な静止画に切り替える手法が有効であると考えられる。また、今後の技術の進歩によって全画像を動画で表示できるようになる可能性も高い。

以上のように、基板の検査部位の撮影を行うカメラをそれぞれ備えた複数の外観検査装置８０にそれぞれ通信手段７０を介して接続されて目視検査撮影画像を入力する入力部３１と、目視検査撮像画像に基づいて再生された検査部位を画面に表示する１台の画像モニタ部３３と、画面に表示された検査部位について目視判定結果を次々に格納する格納部３２と、各目視検査装置に備えたカメラを検査部位に通信手段７０を介して移動制御する制御部３５と、を有する。

そして、制御部３５は、一つの外観検査装置８０から送信された検査部位についての目視検査撮影画像を１台の画像モニタ部３３の画面に表示させ、目視判定結果を入力させ、この画面表示、目視判定結果を入力させる間に、他の外観検査装置のカメラを所定の検査部位の撮影のために移動設定する制御を次々に行うことになる。

また、この制御部３５は、どの外観検査装置８０Ａ、８０Ｂまたは８０Ｃが目視検査状態にあるか、またどの外観検査装置のカメラが移動状態にあるかを判定する判定手段４３を備えることになる。

更に、システムとして見た場合、目視検査集中管理システム１００は、基板の検査部位の撮影を行うカメラをそれぞれ備えた複数の外観検査装置８０と、これらの目視検査装置にそれぞれ通信手段７０を介して格納されて目視検査撮影画像を入力する入力部３１と、該目視検査撮影画像に基づいて再生された検査部位を画面に表示する画像モニタ部３３と、画面に表示された検査部位について目視判定結果を次々に格納する格納部３２と、各外観検査装置に備えたカメラを検査部位に通信手段を介して移動制御する制御部３５と、を備えた１つの目視検査集中管理装置９０を有することになる。

この目視検査集中管理装置９０は、一つの外観検査装置から送信された検査部位についての目視検査撮影画像を画像モニタ部３３の画面に表示し、目視判定結果を入力し、この画像表示、目視判定結果を入力する間に、他の外観検査手装置のカメラを所定の検査部位の撮影のために移動設定させることを次々に行うことになる。

図６によって、実施例１あるいは実施例２に関連して外部検査装置Ａ（８０Ａ）および外部検査装置Ｂ（８０Ｂ）の２台を使用した場合の動作概要について説明する。３台以上使用した場合は、類推するものとし、プログラムによって判定された優先順位が採用されるものとする。

まず、外部検査手段Ａに基板が搬入され、カメラが検査部位へと移動され、判定待ちとなる（Ｓ１）。判定待ちの状態になり、次に画像モニタ部の画面に検査部位のビデオ映像と目視検査支援装置１２の上流に設置された自動外観検査装置１１の判定結果が表示される（Ｓ２）。

検査員は、目視検査集中管理装置９０が備えるコンソールボックスやマウス操作で起動する。すると、目視検査支援装置１２Ａで取得された撮影画像が画像モニタ部に表示される。検査員は、自動外観検査装置の判定結果によって定められた検査部位である不良ポイントについて目視による不良判定を行う。目視判定結果を入力し、格納する。そして、この間に制御部３５によって目視検査支援装置１２Ｂのカメラの移動指示がなされる（Ｓ３）。この判定状態、入力、格納する間にスケジュールに沿って目視検査支援装置１２Ｂに基板が搬入され、カメラが検査部位へと移動され、判定待ちとなる（Ｓ４）。判定待ちの状態になり、次に画像モニタ部の画面に検査部位のビデオ映像と目視検査支援装置１２Ｂの上流に設置された自動外観検査装置１１の判定結果が表示される（Ｓ５）。これが検査部位撮像画像となる。

検査員は、目視検査集中管理装置９０に接続された目視検査支援装置１２Ｂで取得された撮像画面を見て、自動外観検査装置の判定結果によって定められた検査部位である不良ポイントについて目視による不良判定を行う。目視判定結果を入力し、格納する。そして、この間に制御部３５によって目視検査支援装置１２Ａのカメラの移動指示がなされる（Ｓ６）。この判定状態、入力、格納する間に、該カメラが検査部位へと移動され、判定待ちとなる（Ｓ７）。判定待ちの状態になり、次にスケジュールに沿って画像モニタ部の画面に検査部位のビデオ映像と目視検査支援装置１２の上流に設置された自動外観検査装置１１の判定結果が表示される（Ｓ８）。

目視による不良判定等がＳ３に示すと同じくなされている時に、目視検査支援装置１２Ｂについてはカメラが移動され、判定待ちとなる（Ｓ９）。
以下、同様にして動作が繰り返されて検査部位について検査が行われて検査完了、（Ｓ１０、Ｓ１１）、基板が搬入される（Ｓ１２、Ｓ１３）。

以上の実施例によれば、入力部３１によって、基板の検査部位の撮影を行うカメラをそれぞれ備えた複数の目視検査支援装置１２にそれぞれ通信手段７０を介して接続されて目視検査撮影画像を入力し、格納部３２に、目視検査撮影画像に基づいて再生された検査部位を画面に表示された検査部位について目視判定結果を次々に格納し、制御部３５によって、各目視検査装置に備えたカメラを検査部位に通信手段７０を介して移動制御すること、
制御部３５は、複数の内の一つの目視検査支援装置１２から送信された検査部位についての目視検査撮影画像を画像モニタ部３３の画面に表示させ、目視判定結果を入力させ、この画面表示、目視判定結果を入力させる間に、他の外観検査装置のカメラを所定の検査部位の撮影のために移動設定する制御を行い、画面に表示された目視検査撮影画像についてのカメラの態様を変えての当該検査部位についての目視検査撮影画像を上述した目視検査撮影画像と共にまたはこれに代えた形で画面に表示し、あるいは／および目視検査集中管理装置９０は、備えた判定手段によって、どの外観検査装置が目視検査状態にあるか、またどの外観検査装置のカメラが移動状態であるかを判定し、カメラの移動完了を示す信号に基づいていずれかの目視検査支援装置１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃに予め格納した優先順位を定めるプログラムによって優先順位を付与し、目視検査が完了すると、優先順位の上位にある目視検査支援装置１２Ａ，１２Ｂ，１２Ｃによって撮影された目視検査撮影画像を優先して画面に表示することを特徴とする目視検査集中管理方法が提供される。

本発明の実施例（実施例１）の構成を示すブロック図。 本発明の実施例の機能を示す図。 画面構成の一例を示す図。 本発明の他の実施例の構成を示すブロック図。 本発明の他の実施例（実施例２）の機能を示す図。 実施例１および２についての動作を説明する図。

符号の説明

１１…自動外観検査装置、１２…目視検査支援装置、３１…入力部（入力手段）、３２…格納部（格納手段）、３３…画像モニタ部（画像モニタ手段）、３４…目視判定結果入力部（目視判定結果入力手段）、３５…制御部（制御手段）、４１…画面表示指示手段、４２…目視判定結果入力指示手段、４３…判定手段、４４…優先順位付与手段、４５…カメラ移動指示手段、７０…通信手段、８０，８０Ａ，８０Ｂ，８０Ｃ…外観検査装置（外観検査手段）、９０…目視検査集中管理装置（目視検査集中管理手段）、１００…目視検査集中管理システム（目視検査支援システム）。

Claims (9)

1. 基板の検査部位を撮影して得られた撮影画像を画像モニタ手段で再生し、検査部位についての目視検査結果を入力、格納する目視検査集中管理装置において、
   前記基板の検査部位の撮影を行うカメラをそれぞれ備えた複数の目視検査装置にそれぞれ通信手段を介して接続されて目視検査撮影画像を入力する入力手段と、該目視検査撮影画像に基づいて検査部位を画面に表示する前記画像モニタ手段と、画面に表示された検査部位について目視判定結果を次々に格納する格納手段と、各目視検査装置に備えたカメラを検査部位に前記通信手段を介して移動制御する制御手段と、を有し、
   前記モニタ手段は、複数の目視検査装置から送信された検査部位についての目視検査撮影画像をスケジュールに従って順次画面に表示し、前記制御手段は、画面に表示された、スケジュール化された目視検査撮影画像についてカメラの角度を変えた目視検査撮影画像の要求があると、カメラの角度を変えて当該検査部位について目視検査撮影画像を取得させて前記スケジュール化された目視検査撮影画像と共に、またはこれに代えて前記モニタ手段に表示させることを特徴とする目視検査集中管理装置。
2. 請求項１において、前記モニタ手段は、前記カメラの角度を変えての当該検査部位についての目視検査撮影画像を連続した画像もしくは動画として画面に表示することを特徴とする目視検査集中管理装置。
3. 請求項１において、前記制御手段は、目視判定結果を入力させ、この画面表示、目視判定結果を入力させる間に、他の目視検査装置のカメラを所定の検査部位の撮影のために移動設定する制御を行うことを特徴とする目視検査集中管理装置。
4. 基板の検査部位を撮影して得られた撮影画像を画像モニタ手段で再生し、検査部位についての目視検査結果を入力、格納する目視検査集中管理システムにおいて、
   前記基板の検査部位の撮影を行うカメラをそれぞれ備えた複数の目視検査装置と、
   これらの目視検査装置にそれぞれ通信手段を介して格納されて目視検査撮影画像を入力する入力手段と、該目視検査撮影画像に基づいて検査部位を画面に表示する前記画像モニタ手段と、画面に表示された検査部位について目視判定結果を次々に格納する格納手段と、各目視検査装置に備えたカメラを検査部位に前記通信手段を介して移動制御する制御手段と、を備えた目視検査集中管理装置を有し、
   該目視検査集中管理装置は、複数の目視検査装置から送信された検査部位についての目視検査撮影画像を前記画像モニタ手段の画面に表示し、前記制御手段は、画面に表示された、スケジュール化された目視検査撮影画像についてカメラの角度を変えた目視検査撮影画像の要求があると、カメラの角度を変えて当該検査部位について目視検査撮影画像を取得させて前記スケジュール化された目視検査撮影画像と共に、またはこれに代えて前記モニタ手段に表示し、目視判定結果を入力し、この画像表示、目視判定結果を入力する間に、他の目視検査装置のカメラを所定の検査部位の撮影のために移動設定させることを行うことを特徴とする目視検査集中管理システム。
5. 請求項４において、目視検査装置が前記目視検査装置と該検査部位について自動目視検査を行う自動目視検査装置から構成され、前記格納手段には各検査部位について自動目視検査装置による目視検査結果と前記目視検査集中管理装置による目視判定結果が格納され、前記モニタ手段は、前記カメラの角度を変えての当該検査部位についての目視検査撮影画像を連続した画像もしくは動画として画像に表示すると共に、同一画面に前記自動外観検査装置が撮像した当該検査部位についての検査画像およびこの検査画像についての静止参照画像を表示することを特徴とする目視検査システム。
6. 基板の検査部位を撮影して得られた撮影画像を画像モニタ手段で再生し、検査部位についての目視検査結果を入力、格納する目視検査集中管理装置による目視検査集中管理方法において、
   入力手段によって、前記基板の検査部位の撮影を行うカメラをそれぞれ備えた複数の目視検査装置にそれぞれ通信手段を介して接続されて目視検査撮影画像を入力し、格納手段に、該目視検査撮影画像に基づいて検査部位を画面に表示された検査部位について目視判定結果を次々に格納し、制御手段によって、各目視検査装置に備えたカメラを検査部位に前記通信手段を介して移動制御し、
   前記画像モニタ手段は、複数の目視検査装置から送信された検査部位についての目視検査撮影画像を予め定めたスケジュールに従って順次画面に表示し、かつ画面に表示されたスケジュール化された目視検査撮影画像についてカメラの態様を変えての当該検査部位についての目視検査撮影画像を前記スケジュール化された目視検査撮影画像と共に、またはこれに代えて画面に表示することを特徴とする目視検査集中管理方法。
7. 請求項６において、前記制御手段によって目視判定結果を入力させ、この画面表示、目視判定結果を入力させる間に、他の目視検査装置のカメラを所定の検査部位の撮影のために移動設定する制御を行うことを特徴とする目視検査集中管理方法。
8. 請求項６において、前記モニタ手段に、前記カメラの態様を変えての当該検査部位についての目視検査撮影画像を連続した画像もしくは動画として画面に表示することを特徴とする目視検査集中管理方法。
9. 請求項６において、前記目視検査集中管理装置は、備えた判定手段によって、どの目視検査装置が目視検査状態にあるか、またどの目視検査装置のカメラが移動状態であるかを判定し、カメラの移動完了を示す信号に基づいていずれかの目視検査装置に優先順位を付与し、目視検査が完了すると、優先順位の上位にある目視検査装置によって撮影された目視検査撮影画像を優先して画面に表示することを特徴とする目視検査集中管理方法。

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