CN114114976A - 半导体制造系统、控制装置、控制方法和存储介质 - Google Patents

半导体制造系统、控制装置、控制方法和存储介质 Download PDF

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Abstract

本公开提供一种半导体制造系统、控制装置、控制方法和存储介质。具有：本地操作终端，其显示半导体制造装置的装置画面；远程操作终端，其经由网络来与半导体制造装置连接，显示装置画面；以及控制装置，其基于本地操作终端和远程操作终端从用户处接受到的操作，来控制半导体制造装置，控制装置具有以下单元：对来自本地操作终端和远程操作终端的同时登录状态进行管理；对本地及远程操作终端的装置画面显示状态进行管理；以及基于同时登录状态和装置画面显示状态，来针对本地操作终端及每个远程操作终端制作向本地操作终端和远程操作终端发送的装置画面的画面数据。

Description

半导体制造系统、控制装置、控制方法和存储介质
技术领域
本公开涉及一种半导体制造系统、控制装置、控制方法和程序。
背景技术
例如，半导体制造装置具备用于控制半导体制造装置自身的动作的控制装置。在控制装置设置有输入装置和显示装置。操作者借助输入装置向控制装置输入指令、信息来控制半导体制造装置，并确认显示于显示装置的半导体制造装置的处理条件设定、当前的状态等。操作者能够在洁净室内的设置有半导体制造装置的场所处借助设置于控制装置的输入装置、显示装置来控制或监视半导体制造装置。
通常，半导体制造装置设置在洁净室内。由于需要将洁净室内的环境维持固定，因此需要极力抑制人的出入。以往，已知有以下的远距离控制系统：将设置在洁净室内的半导体制造装置经由网络来与洁净室外的计算机进行连接，并利用计算机来控制或监视处理装置的动作(例如，参照专利文献1)。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2008-251050号公报
发明内容
发明要解决的问题
本公开提供如下一种技术：能够在一台以上的远程终端和本地操作终端的各终端同时显示半导体制造装置的不同的装置画面，并从装置画面接受对半导体制造装置的操作。
用于解决问题的方案
本公开的一个方式的半导体制造系统具有：本地操作终端，其显示半导体制造装置的装置画面；一台以上的远程操作终端，所述一台以上的远程操作终端经由网络来与所述半导体制造装置连接，显示所述装置画面；以及控制装置，其基于显示所述装置画面的所述本地操作终端和所述远程操作终端从用户处接受到的操作，来控制所述半导体制造装置，其中，所述控制装置具有：登录状态管理单元，其对来自所述本地操作终端和所述远程操作终端的同时登录状态进行管理；装置画面显示状态管理单元，其对处于登录的所述本地操作终端和所述远程操作终端的装置画面显示状态进行管理；以及画面数据制作单元，其基于所述同时登录状态和所述装置画面显示状态，来针对所述本地操作终端和每个所述远程操作终端制作向所述处于登录的所述本地操作终端和所述远程操作终端发送的所述装置画面的画面数据。
发明的效果
根据本公开，能够提供如下一种技术：能够在一台以上的远程终端和本地操作终端的各终端同时显示半导体制造装置的不同的装置画面，并从装置画面接受对半导体制造装置的操作。
附图说明
图1是本实施方式所涉及的半导体制造系统的一例的结构图。
图2是计算机的一例的硬件结构图。
图3是本实施方式所涉及的控制装置的一例的功能框图。
图4是在处于登录的期间显示的画面的一例的构想图。
图5是在处于登录的期间显示的画面的一例的构想图。
图6是在处于登录的期间显示的画面的一例的构想图。
图7是示出了本实施方式中的装置画面的排它控制的一例的分类图。
图8是本实施方式所涉及的控制装置的处理的一例的流程图。
附图标记说明
1：半导体制造系统；2：洁净室；10：半导体制造装置；12：本地操作终端；14：本地远程切换开关；20：远程操作终端；30：控制装置；32：登录处理部；34：画面数据获取请求接受部；36：画面数据发送部；38：操作信息接受部；40：画面管理部；42：机械控制部；44：输入输出部；46：本地远程切换开关状态判定部；50：登录状态管理部；52：装置画面显示状态管理部；54：排它控制部；56：画面数据制作部；58：操作信息判定部；60：执行指示部；62：远程操作切断部。
具体实施方式
下面，参照附图来对用于实施本发明的方式进行说明。
<系统结构>
图1是本实施方式所涉及的半导体制造系统1的一例的结构图。图1所示的半导体制造系统1具有半导体制造装置10、本地操作终端12以及远程操作终端20。半导体制造系统1是为了从本地操作终端12和一台以上的远程操作终端20对半导体制造装置10进行远距离控制(远程控制)而构建的系统。
在洁净室2内设置有一台以上的半导体制造装置10。半导体制造装置10经由LAN(Local Area Network：局域网)等网络24以能够通信的方式连接。半导体制造装置10例如是进行成膜处理、蚀刻、光刻等处理的装置。
半导体制造装置10具有用于对被处理体进行处理的处理部和用于对处理部进行控制的控制装置。在图1中未图示设置在半导体制造装置10内的控制装置，但是作为一例示出了作为控制装置的显示输入装置的本地操作终端12安装于半导体制造装置10的状态。
远程操作终端20设置在洁净室2外的例如办公室内，经由LAN等网络22以能够通信的方式连接。网络22与洁净室2内的网络24以能够通信的方式连接。设置在办公室内等的远程操作终端20能够经由网络22以及网络24来与半导体制造装置10的控制装置进行通信。
在图1的半导体制造系统1中，能够将半导体制造装置10的装置画面显示于本地操作终端12及远程操作终端20，并基于用户(操作者)对该装置画面的操作来控制半导体制造装置10。如后所述，半导体制造装置10的控制装置能够接受多个用户的同时登录(多用户登录)，并使处于登录的用户操作的本地操作终端12及远程操作终端20(下面称为处于登录的本地操作终端12及远程操作终端20)显示不同的装置画面。
由此，在图1的半导体制造系统1中，能够使处于登录于同一半导体制造装置10的控制装置的本地操作终端12及一台以上的远程操作终端20同时独立地显示不同的装置画面，并能够从不同的装置画面来控制半导体制造装置10。此外，半导体制造装置10的控制装置如后述那样对处于登录的本地操作终端12及一台以上的远程操作终端20中显示的装置画面进行排它控制。
在图1的半导体制造系统1中，分别从本地操作终端12及一台以上的远程操作终端20登录于同一半导体制造装置10的控制装置的用户能够阅览不同的装置画面，并从不同的(个别的)装置画面操作同一半导体制造装置10。
本地操作终端12具备本地远程切换开关14，从用户接受对本地操作终端12或远程操作终端20的选择。本地操作终端12及远程操作终端20例如由个人计算机(PC)、平板终端、智能手机、专用终端等来实现。
另外，半导体制造装置10可以如图1那样内置有控制装置，如果与控制装置以能够通信的方式连接则也可以不必内置控制装置。控制装置是具有对半导体制造装置10进行控制的计算机结构的控制器。例如，控制装置按照制程将控制半导体制造装置10的控制部件的参数输出到半导体制造装置10。
控制装置具有用户接口(UI)功能，该用户接口功能用于从用户接受针对半导体制造装置10的操作，并且用于使用户阅览与半导体制造装置10有关的信息。例如，控制装置的UI功能如后述那样管理使本地操作终端12及远程操作终端20显示的装置画面。
此外，图1的半导体制造系统1是一例，根据用途、目的而存在各种系统结构例，这是不言而喻的。例如，半导体制造系统1能够是以下结构等各种结构：各个半导体制造装置10的控制装置被合并为多个半导体制造装置10用的控制装置，或各个半导体制造装置10的控制装置被进一步分割。
<硬件结构>
图1所示的半导体制造系统1的控制装置例如由图2所示那样的硬件结构的计算机100来实现。图2是计算机的一例的硬件结构图。
计算机100具备主控制部101、存储装置105、外部接口106以及将它们相互连接的总线107。主控制部101具有CPU(Central Processing Unit：中央处理单元)111、RAM(Random Access Memory：随机存取存储器)112以及ROM(Read Only Memory：只读存储器)113。存储装置105进行控制所需的程序及信息的记录和读取。存储装置105具有HDD(HardDisk Drive：硬盘驱动器)等计算机可读取的存储介质。在存储介质中存储有用于对晶圆进行的期望的处理的制程等。
在控制装置中，CPU 111将RAM 112用作作业区域来执行保存于ROM 113或存储装置105的存储介质的程序，由此使本地操作终端12及远程操作终端20显示装置画面，并基于用户对装置画面的操作来控制半导体制造装置10。
半导体制造装置10的控制装置例如能够通过以图2的计算机100的硬件结构执行程序，来实现图3的各种功能。
<功能结构>
本实施方式所涉及的半导体制造系统1的控制装置30例如实现图3的功能块。图3是本实施方式所涉及的控制装置的一例的功能框图。图3的功能框图中省略了对在本实施方式的说明中不需要的结构的图示。
控制装置30通过执行程序，来实现登录处理部32、画面数据获取请求接受部34、画面数据发送部36、操作信息接受部38、画面管理部40、机械控制部42、输入输出部44以及本地远程切换开关状态判定部46。
登录处理部32对来自本地操作终端12及远程操作终端20的登录请求进行登录处理。画面数据获取请求接受部34接受来自搭载于本地操作终端12及远程操作终端20的应用程序(下面仅称为应用)等的画面数据获取请求。画面数据发送部36将基于画面数据获取请求而制作出的画面数据发送到作为画面数据获取请求源的本地操作终端12及远程操作终端20。
搭载于本地操作终端12及远程操作终端20的应用等显示基于接收到的画面数据的画面。基于接收到的画面数据的画面中包含半导体制造装置10的装置画面。对本地操作终端12及远程操作终端20进行操作的用户能够通过操作装置画面来控制半导体制造装置10。
例如，显示装置画面的本地操作终端12及远程操作终端20基于用户对装置画面的操作来向控制装置30发送操作信息。在此，操作信息只要是能够将用户对本地操作终端12及远程操作终端20所显示的装置画面等画面进行的操作通知给控制装置30的信息即可。控制装置30的操作信息接受部38接受从本地操作终端12及远程操作终端20发送的操作信息。
此外，控制装置30开放多个通信端口，以接受多个用户从本地操作终端12及远程操作终端20进行的同时登录，并使处于登录的本地操作终端12及远程操作终端20显示不同的装置画面。控制装置30例如能够启动多个VNC(Virtual Network Computing：虚拟网络计算)服务器，利用端口号使本地操作终端12及远程操作终端20同时显示独立的个别的装置画面。
画面管理部40进行与使处于登录的本地操作终端12及远程操作终端20显示的画面有关的管理。画面管理部40的结构具有登录状态管理部50、装置画面显示状态管理部52、排它控制部54、画面数据制作部56、操作信息判定部58、执行指示部60以及远程操作切断部62。
登录状态管理部50对与处于登录的本地操作终端12及远程操作终端20有关的信息(登录状态)进行管理。装置画面显示状态管理部52对与处于登录的本地操作终端12及远程操作终端20正在显示的装置画面有关的信息(装置画面显示状态)进行管理。排它控制部54对处于登录的本地操作终端12及一台以上的远程操作终端20中显示的装置画面进行排它控制。在本实施方式的半导体制造系统1中，处于登录的本地操作终端12及一台以上的远程操作终端20同时显示独立的装置画面，因此需要进行包含可否显示的排它控制。
画面数据制作部56按照从处于登录的本地操作终端12及远程操作终端20接受到的画面数据获取请求、登录状态、装置画面显示状态以及排它控制的结果，来制作画面数据。由画面数据制作部56制作画面数据的装置画面根据要显示的信息的种类而存在多个画面。
例如，在通常运用时，装置画面有时按照气流状态、温度等每个数据种类而显示为不同的画面。另外，在维护作业时，装置画面有时按照每个作业种类而显示不同的画面。画面数据制作部56制作与从装置画面的多个画面中且从处于登录的本地操作终端12及远程操作终端20接受到的画面数据获取请求相应的画面数据。
操作信息判定部58基于从处于登录的本地操作终端12及一台以上的远程操作终端20接受到的操作信息，来判定是否能够针对半导体制造装置10进行与操作信息相应的执行指示。在本实施方式的半导体制造系统1中，处于登录的本地操作终端12及一台以上的远程操作终端20同时显示独立的装置画面，因此需要进行包含可否进行与操作信息相应的执行指示的判定。如果能够针对半导体制造装置10进行与操作信息相应的执行指示，则执行指示部60进行与操作信息相应的执行指示。
当本地远程切换开关14被从选择远程操作终端20的状态切换为选择本地操作终端12的状态时，远程操作切断部62使处于登录的远程操作终端20退出，切断来自远程操作终端20的远距离控制。
机械控制部42基于来自画面管理部40的请求、执行指示来控制半导体制造装置10的各部的动作、设定。输入输出部44将从机械控制部42发送的控制指令发送到对应的半导体制造装置10的各部，并从各部接收需要的信息。输入输出部44接收的信息中包含传感器输出数据。机械控制部42将输入输出部44从半导体制造装置10的各部接收到的信息发送到画面管理部40。例如，画面管理部40将从半导体制造装置10的各部接收到的信息利用于装置画面的画面数据的制作。本地远程切换开关状态判定部46判定本地远程切换开关14是选择远程操作终端20的状态还是选择本地操作终端12的状态。
<画面>
图4是在处于登录的期间显示的画面的一例的构想图。图4的画面1000显示于处于登录的本地操作终端12及远程操作终端20。在图4的画面1000中，能够利用标签1002和标签1004来切换显示仪表盘画面和装置画面。图4的画面1000是被选择了标签1002从而显示有仪表盘画面的例子。
另外，在画面1000显示有装置状态显示栏1006。装置状态显示栏1006显示半导体制造装置10的装置名、本地操作终端12的登录状态、本地操作终端12的登录用户名、远程操作终端20的利用状况、远程操作终端20的登录用户名、半导体制造装置10的信号塔的状态、半导体制造装置10的警报状态、本地远程切换开关14的状态、制程执行状态等信息。
当在图4的画面1000中选择标签1004时，如图5所示，在画面1000中显示用于在半导体制造装置10的装置画面进行连接、切断、或装置画面的设定的命令图标1010。另外，在图5的画面1000中显示利用用户显示栏1012。利用用户显示栏1012显示远程本地识别信息、用户名和终端名等，来作为正在利用处于登录的半导体制造装置10的(处于登录的)用户的用户信息。
当在图5的画面1000中选择了连接的命令图标1010时，如图6所示，在画面1000中显示处于登录的半导体制造装置10的装置画面1014。对显示有图6的装置画面1014的本地操作终端12及远程操作终端20进行操作的用户能够通过操作装置画面1014，来阅览处于登录的半导体制造装置10的气流状态、工艺状态、系统状态等。
另外，对显示有图6的装置画面1014的本地操作终端12及远程操作终端20进行操作的用户能够通过操作装置画面1014，来控制处于登录的半导体制造装置10。但是，也可以设为对装置画面1014从远程操作终端20接受的操作设置限制。例如，可以限制为装置画面1014不从远程操作终端20接受包含半导体制造装置10的动作的操作。
另外，例如，也可以设为，显示于远程操作终端20的装置画面1014在本地操作终端12处于登录的情况下不接受包含半导体制造装置10的动作的操作。另外，还可以限制为在本地操作终端12处于登录的情况下，远程操作终端20不显示包含半导体制造装置10的动作的操作的装置画面1014。
并且，在处于登录的本地操作终端12及远程操作终端20中能够同时显示个别的装置画面1014，因此在本实施方式的半导体制造系统1中，进行装置画面1014之间的排它控制。例如，能够编辑制程的装置画面1014在制程的编辑期间成为锁定状态，不接受来自其它的本地操作终端12及远程操作终端20的制程编辑的操作。
另外，例如，也可以设为，在本地操作终端12处于登录的情况下，不接受来自显示于远程操作终端20的参数编辑的装置画面1014的参数编辑的操作。
图7是表示本实施方式中的装置画面的排它控制的一例的分类图。图7所示的装置画面1014的排它控制是根据本地与远程的同时操作、限制的种类以及限制状态的变化来分类的。
例如，对于本地与远程的同时操作为“能够进行”且限制的种类为“无限制”的装置画面1014，能够始终从处于登录的本地操作终端12及远程操作终端20对装置画面1014进行操作。
对于本地与远程的同时操作为“能够进行”且限制的种类为“不能进行画面显示”的装置画面1014，存在限制状态的变化为“固定”的根据登录用户的操作限制进行的显示限制、或者限制状态的变化为“动态变化”的根据半导体制造装置10的状态进行的显示限制。
对于本地与远程的同时操作为“能够进行”且限制的种类为“能够进行画面显示、能够同时使用、限制命令执行”的装置画面1014，存在限制状态的变化为“固定”的根据登录用户的操作限制进行的操作限制、或者限制状态的变化为“动态变化”的根据半导体制造装置10的状态进行的操作限制。
对于本地与远程的同时操作为“能够进行”且限制的种类为“能够进行画面显示、能够同时使用、限制编辑”的装置画面1014，存在限制状态的变化为“固定”的根据登录用户的操作限制进行的操作限制、或者限制状态的变化为“动态变化”的根据半导体制造装置10的状态或本地操作终端12的登录状态进行的操作限制。
例如，对于本地与远程的同时操作为“不能进行”且限制的种类为“仅能够对本地进行操作”的装置画面1014，能够仅对处于登录的本地操作终端12进行操作。
<处理>
图8是本实施方式所涉及的控制装置的处理的一例的流程图。半导体制造装置10的控制装置30在针对来自本地操作终端12及远程操作终端20的登录请求的登录成功时，从步骤S10进入S12。在步骤S12中，控制装置30制作登录成功的本地操作终端12或远程操作终端20要显示的初始的画面数据。登录成功的本地操作终端12或远程操作终端20要显示的初始的画面数据例如是图4的画面1000的画面数据。
控制装置30向登录成功的登录用户操作的本地操作终端12或远程操作终端20发送初始的画面数据。接收到初始的画面数据的本地操作终端12或远程操作终端20显示例如图4的画面1000那样的初始的画面。
显示有例如图4的画面1000的本地操作终端12或远程操作终端20的用户在选择了标签1004之后选择连接的命令图标1010，由此能够进行装置画面1014的显示请求。此外，在图8的流程图中省略了图4的画面1000的更新处理。
当从登录用户操作的本地操作终端12或远程操作终端20接受到装置画面1014的显示请求时，控制装置30进入步骤S16。控制装置30在步骤S16中确认其它用户的装置画面显示状态来作为用于排它控制的信息。
在步骤S18中，控制装置30通过上述的排它控制来判定是否能够在登录用户操作的本地操作终端12或远程操作终端20显示装置画面1014。当判定为能够进行显示时，控制装置30在步骤S20中制作装置画面1014的画面数据，并发送到登录用户操作的本地操作终端12或远程操作终端20。此外，当判定为不能进行显示时，控制装置30进入步骤S28，进行通知例如不能进行装置画面1014的显示的错误处理。
接收到装置画面1014的画面数据的本地操作终端12或远程操作终端20显示例如图6那样的装置画面1014。显示有例如图6的装置画面1014的本地操作终端12或远程操作终端20的用户能够通过对装置画面1014进行操作，来将针对处于登录的半导体制造装置10的操作信息发送到控制装置30。
当从登录用户操作的本地操作终端12或远程操作终端20接受到操作信息时，控制装置30从步骤S22进入步骤S24。控制装置30在步骤S24中通过上述的排它控制，基于从登录用户操作的本地操作终端12或远程操作终端20接受到的操作信息，来判定是否能够针对半导体制造装置10进行与操作信息相应的执行指示。
当判定为能够进行执行指示时，控制装置30在步骤S26中进行与操作信息相应的执行指示，来控制处于登录的半导体制造装置10。此外，当判定为不能进行执行指示时，控制装置30进入步骤S30，进行通知例如无法进行从装置画面1014接受到的对半导体制造装置10的操作的错误处理。
控制装置30重复步骤S14～S32的处理，直到从登录用户操作的本地操作终端12或远程操作终端20存在退出的请求为止，当存在退出的请求时，结束图8的流程图的处理。
<总结>
在本实施方式的半导体制造系统1中，装置画面1014根据气流状态、温度等用户想要阅览的数据的种类，在例如20个以上等的多个画面中显示数据。
在本实施方式的半导体制造系统1中，处于登录的本地操作终端12及一台以上的远程操作终端20能够同时显示独立的装置画面1014，因此能够提高通常运用时及维护时的作业效率。
例如，在本实施方式的半导体制造系统1中，在通常运用时，想要阅览半导体制造装置10的温度的用户、想要阅览气流状态的用户、想要知晓下一次清洁的时期的用户能够同时阅览不同的装置画面1014，并能够从个别的装置画面1014同时并行地对半导体制造装置10进行操作。
另外，例如，在本实施方式的半导体制造系统1中，在维护时，想要参照半导体制造装置10的维护画面A的用户、想要参照半导体制造装置10的维护画面B的用户能够从不同的装置画面1014同时阅览维护画面A或维护画面B，并能够同时并行地对半导体制造装置10进行维护作业。
并且，在本实施方式的半导体制造系统1中，在发生故障时，能够在由操作员利用本地操作终端12进行投入支出处理的同时，由工程师利用远程操作终端20并行地对制程设定、参数设定和传感器状态进行确认等，因此能够将业务效率化。
以上，详细说明了本发明的优选的实施例，但是本发明不限制于上述的实施例，能够不脱离本发明的范围地对上述的实施例施加各种变形和置换。

Claims (10)

1.一种半导体制造系统，其特征在于，具有：
本地操作终端，其显示半导体制造装置的装置画面；
一台以上的远程操作终端，所述一台以上的远程操作终端经由网络来与所述半导体制造装置连接，显示所述装置画面；以及
控制装置，其基于显示所述装置画面的所述本地操作终端和所述远程操作终端从用户处接受到的操作，来控制所述半导体制造装置，
其中，所述控制装置具有：
登录状态管理单元，其对来自所述本地操作终端和所述远程操作终端的同时登录状态进行管理；
装置画面显示状态管理单元，其对处于登录的所述本地操作终端和所述远程操作终端的装置画面显示状态进行管理；以及
画面数据制作单元，其基于所述同时登录状态和所述装置画面显示状态，来针对所述本地操作终端和每个所述远程操作终端制作向所述处于登录的所述本地操作终端和所述远程操作终端发送的所述装置画面的画面数据。
2.根据权利要求1所述的半导体制造系统，其特征在于，
所述控制装置还具有排它控制单元，所述排它控制单元基于所述同时登录状态和所述装置画面显示状态来对所述画面数据制作单元制作出的所述画面数据进行控制，以使所述处于登录的所述本地操作终端和所述远程操作终端显示的所述装置画面不同。
3.根据权利要求2所述的半导体制造系统，其特征在于，
在所述本地操作终端处于登录的情况下，所述排它控制单元不制作从用户处接受包含所述半导体制造装置的动作的操作的所述装置画面的画面数据来作为向所述远程操作终端发送的所述装置画面的画面数据。
4.根据权利要求3所述的半导体制造系统，其特征在于，
在所述本地操作终端不处于登录的情况下，所述排它控制单元制作从用户处接受包含所述半导体制造装置的动作的操作的所述装置画面的画面数据，来作为向所述远程操作终端发送的所述装置画面的画面数据。
5.根据权利要求1至4中的任一项所述的半导体制造系统，其特征在于，
所述控制装置还具有：
操作信息判定单元，其基于所述同时登录状态和所述装置画面显示状态来判定能否针对所述半导体制造装置进行与从所述处于登录的所述本地操作终端和所述远程操作终端接受到的操作信息相应的执行指示；以及
执行指示单元，在判定为能够针对所述半导体制造装置进行执行指示的情况下，所述执行指示单元针对所述半导体制造装置进行与所述操作信息相应的执行指示，来控制所述半导体制造装置。
6.根据权利要求5所述的半导体制造系统，其特征在于，
在与所述操作信息相应的执行指示同与所述半导体制造装置相关的制程或参数的编辑有关的情况下，所述操作信息判定单元确认作为编辑对象的所述制程或参数的锁定状态，如果作为编辑对象的所述制程或参数不处于锁定状态，则判定为能够将所述制程或参数变更为锁定状态后进行与所述半导体制造装置相关的制程或参数的编辑指示，若作为编辑对象的所述制程或参数为锁定状态，则判定为不能进行与所述半导体制造装置相关的制程或参数的编辑指示。
7.根据权利要求1至6中的任一项所述的半导体制造系统，其特征在于，
所述控制装置还具有：
本地远程切换开关状态判定部，其判定用于选择所述本地操作终端和所述远程操作终端中的某一方的本地远程切换开关的状态；以及
远程操作切断单元，在所述本地远程切换开关状态判定部判定为所述本地远程切换开关被从选择所述远程操作终端的状态切换为选择所述本地操作终端的状态的情况下，所述远程操作切断单元使处于登录的所述远程操作终端退出。
8.一种控制装置，基于显示半导体制造装置的装置画面的本地操作终端和显示所述装置画面的一台以上的远程操作终端从用户处接受到的操作，来控制所述半导体制造装置，所述控制装置的特征在于，具有：
登录状态管理单元，其对来自所述本地操作终端和所述远程操作终端的同时登录状态进行管理；
装置画面显示状态管理单元，其对处于登录的所述本地操作终端和所述远程操作终端的装置画面显示状态进行管理；以及
画面数据制作单元，其基于所述同时登录状态和所述装置画面显示状态，来针对所述本地操作终端和每个所述远程操作终端制作向所述处于登录的所述本地操作终端和所述远程操作终端发送的所述装置画面的画面数据。
9.一种控制方法，基于显示半导体制造装置的装置画面的本地操作终端和显示所述装置画面的一台以上的远程操作终端从用户处接受到的操作，来控制所述半导体制造装置，所述控制方法的特征在于，包括：
登录状态管理步骤，对来自所述本地操作终端和所述远程操作终端的同时登录状态进行管理；
装置画面显示状态管理步骤，对处于登录的所述本地操作终端和所述远程操作终端的装置画面显示状态进行管理；以及
画面数据制作步骤，基于所述同时登录状态和所述装置画面显示状态，来针对所述本地操作终端和每个所述远程操作终端制作向所述处于登录的所述本地操作终端和所述远程操作终端发送的所述装置画面的画面数据。
10.一种存储介质，存储有用于使控制装置执行控制方法的程序，所述控制装置基于显示半导体制造装置的装置画面的本地操作终端和显示所述装置画面的一台以上的远程操作终端从用户处接受到的操作来控制所述半导体制造装置，所述控制方法包括：
登录状态管理步骤，其对来自所述本地操作终端和所述远程操作终端的同时登录状态进行管理；
装置画面显示状态管理步骤，其对处于登录的所述本地操作终端和所述远程操作终端的装置画面显示状态进行管理；以及
画面数据制作步骤，其基于所述同时登录状态和所述装置画面显示状态，来针对所述本地操作终端和每个所述远程操作终端制作向所述处于登录的所述本地操作终端和所述远程操作终端发送的所述装置画面的画面数据。
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