JP2008249217A - Heating device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、液晶表示パネルやプラズマ表示パネルなどの構成部品であるガラス基板、半導体リードフレームなどの金属基板あるいは樹脂基板などの熱処理に使用される加熱装置に関する。 The present invention relates to a heating apparatus used for heat treatment of a glass substrate, a metal substrate such as a semiconductor lead frame, or a resin substrate, which is a component such as a liquid crystal display panel or a plasma display panel.
液晶表示パネルやプラズマ表示パネルなどの構成部品であるガラス基板の熱処理を行う場合、従来、加熱気体循環方式のクリーンオーブンが使用されている(例えば、特許文献1参照。)。このクリーンオーブンは、被加熱物である複数のガラス基板を恒温槽内に多段状に配列して収容し、送風ファンによって恒温槽内を循環する加熱気体で被加熱物を加熱することにより熱処理を行う。 When heat-treating a glass substrate which is a component such as a liquid crystal display panel or a plasma display panel, a heated gas circulation type clean oven has been conventionally used (for example, see Patent Document 1). In this clean oven, a plurality of glass substrates that are to be heated are arranged in a thermostatic chamber in a multi-stage shape, and heat treatment is performed by heating the heated object with a heated gas that circulates in the thermostatic chamber by a blower fan. Do.
前述した加熱気体循環方式のクリーンオーブンの場合、ガラス基板などの被加熱物を多段状に収容することができるので、スペース効率が高い反面、恒温槽内の温度分布を均一化することが困難である。また、送風ファンで加熱気体を撹拌して循環させるので、恒温槽内のクリーン度が悪化する可能性が高い。さらに、リードフレームなどの軽量部材を熱処理する場合、循環対流する加熱気体の風圧によって被加熱物が所定の位置から移動することがある。 In the case of the above-mentioned heated gas circulation type clean oven, the object to be heated such as a glass substrate can be accommodated in multiple stages, so it is difficult to make the temperature distribution in the thermostat uniform even though the space efficiency is high. is there. Further, since the heated gas is stirred and circulated by the blower fan, there is a high possibility that the cleanliness in the thermostatic chamber will deteriorate. Further, when a lightweight member such as a lead frame is heat-treated, the object to be heated may move from a predetermined position due to the wind pressure of the circulating convection heating gas.
そこで、遠赤外線を両面から放射する機能を備えた遠赤外線パネルヒータからなる複数の棚状ヒータが炉体内に多段状に配置され、これらの棚状ヒータの間に形成される空間分をそれぞれ加熱領域とした加熱炉が提案されている(例えば、特許文献2参照。)。 Therefore, a plurality of shelf heaters composed of far infrared panel heaters having a function of radiating far infrared rays from both sides are arranged in multiple stages in the furnace body, and each space formed between these shelf heaters is heated. A heating furnace as a region has been proposed (for example, see Patent Document 2).
特許文献2記載の多段加熱炉の場合、両面加熱式の遠赤外線パネルヒータを利用した多数の棚状ヒータが配置されているため、これらの棚状ヒータの間に形成される空間部をそれぞれ効率的に加熱することができる点では優れている。しかしながら、この多段加熱炉を使用して実際に熱処理を行う場合、棚状ヒータの間に形成される多数の空間部に被加熱物を一つずつ収容したり、取り出したりしなければならないので、これらの作業に多大な労力と時間を要している。 In the case of the multistage heating furnace described in Patent Document 2, a large number of shelf heaters using double-sided heating type far-infrared panel heaters are arranged. Therefore, the spaces formed between these shelf heaters are each made efficient. It is excellent in that it can be heated automatically. However, when actually performing heat treatment using this multi-stage heating furnace, it is necessary to house or take out the heated objects one by one in a large number of spaces formed between the shelf heaters, These operations require a great deal of labor and time.
また、半導体リードフレームなどの基板類は、近年、その複数個をマガジンに収容した状態で取り扱う方式が主流となっているため、熱処理工程においても、マガジンとともに加熱領域内に入れたり、出したりすることが可能な加熱装置の需要が高まっている。 In recent years, a method for handling a plurality of substrates such as semiconductor lead frames in a state in which they are accommodated in a magazine has become the mainstream, and therefore, in the heat treatment process, the substrate is placed in or out of the heating area together with the magazine. There is a growing demand for heating devices that can do this.
本発明が解決しようとする課題は、複数の被加熱物を収容したマガジン単位での出し入れおよび熱処理が可能であって、温度分布の均一性にも優れた加熱装置を提供することにある。 The problem to be solved by the present invention is to provide a heating apparatus which can be put in and out and heat-treated in a magazine unit containing a plurality of objects to be heated, and has excellent temperature distribution uniformity.
本発明の加熱装置は、断熱性を有する壁体で形成された箱体状の外部炉体内に対向配置された複数の加熱用側壁と、被加熱物が収納されたマガジンを収容するため前記加熱用側壁の間に設けられたマガジン室と、前記マガジン室の背面側に配置された加熱用背壁と、前記加熱用側壁および前記加熱用背壁に設けられた発熱手段と、前記マガジン室の正面側の前記加熱用側壁から離れた位置に開閉可能に配置された扉体と、を備え、
前記壁体を、隙間を隔てて配置した複数の板材で形成したことを特徴とする。
The heating device according to the present invention includes a plurality of heating side walls disposed opposite to each other in a box-shaped external furnace body formed of a wall body having heat insulation properties, and a heating chamber for storing a magazine in which an object to be heated is stored. A magazine chamber provided between the side walls for heating, a heating back wall disposed on the back side of the magazine chamber, heating means provided on the heating side walls and the heating back wall, A door body arranged to be openable and closable at a position away from the heating side wall on the front side,
The wall body is formed of a plurality of plate members arranged with a gap therebetween.
このような構成とすれば、複数の被加熱物が収納されたマガジンをそのままの状態でマガジン室に収容し、マガジン室の正面を扉体で閉じた後、発熱手段で加熱用側壁および加熱用背壁を発熱させることにより、マガジンに収容された被加熱物を熱処理することができる。そして、熱処理終了後、扉体を開けば、マガジンに収容された被加熱物をそのままの状態でマガジン室から取り出すことができる。マガジン室は、複数の加熱用側壁および加熱用背壁により少なくとも三方向から加熱され、且つ、隙間を隔てて配置した複数の板材で形成された断熱性を有する壁体で囲まれた箱体状の外部炉体内に位置しているため、温度分布の均一性にも優れている。 With such a configuration, a magazine in which a plurality of objects to be heated is stored in the magazine chamber as it is, the front of the magazine chamber is closed with a door, and then the heating side wall and the heating By heating the back wall, the object to be heated contained in the magazine can be heat-treated. When the door is opened after the heat treatment, the article to be heated accommodated in the magazine can be taken out of the magazine chamber as it is. The magazine chamber is heated in at least three directions by a plurality of heating side walls and a heating back wall, and is surrounded by a wall having heat insulation formed by a plurality of plates arranged with a gap therebetween. Because it is located inside the external furnace, it has excellent temperature distribution uniformity.
ここで、マガジンを載置した状態で前記マガジン室に出し入れ可能なマガジン保持部材を前記マガジン室に設ければ、被加熱物を収容したマガジンをマガジン室へ装入したり、取り出したりする際に、マガジン保持部材にマガジンを載置して作業を行うことが可能となるので、出し入れ作業を迅速化することができる。 Here, if a magazine holding member that can be taken in and out of the magazine chamber is provided in the magazine chamber in a state in which the magazine is placed, when the magazine containing the article to be heated is inserted into or removed from the magazine chamber Since it becomes possible to perform work by placing the magazine on the magazine holding member, it is possible to speed up the loading and unloading work.
また、前記マガジン室内におけるマガジンの収容領域を変更可能とすれば、被加熱物の種類やサイズあるいは熱処理条件などが変更された場合、マガジンの収容領域を変更することによって対応できるようになるので、汎用性が高まる。 Also, if the magazine storage area in the magazine chamber can be changed, if the type or size of the object to be heated or the heat treatment conditions are changed, it becomes possible to cope by changing the magazine storage area. Increased versatility.
一方、前記加熱用背壁に、前記マガジン室へ加熱用気体を供給するための気体供給手段と、少なくとも一つの気体拡散室と、前記気体拡散室へ気体を供給する給気経路と、前記気体拡散室と連通して前記マガジン室に臨む面に開設された複数の気体供給孔と、を設け、前記加熱用背壁の背面部に前記発熱手段を設けることが望ましい。 On the other hand, a gas supply means for supplying a heating gas to the magazine chamber, at least one gas diffusion chamber, an air supply path for supplying gas to the gas diffusion chamber, and the gas It is desirable to provide a plurality of gas supply holes opened on the surface facing the magazine chamber in communication with the diffusion chamber, and to provide the heat generating means on the back surface of the heating back wall.
このような構成とすれば、気体供給手段で加熱用背壁に供給された気体は、給気経路を経由して気体拡散室へ流入し、この中を流動、拡散した後、複数の気体供給孔を通過してマガジン室へ供給される。従って、気体拡散室へ流入した気体は、その内部で加熱、撹拌され均等な温度となった後、マガジン室へ供給されることとなり、温度分布の均一性をさらに高めることができる。また、発熱手段によって発熱した加熱用背壁全体で気体を加熱することにより気体を均一加熱することができるため、温度分布の均一性を高める上で有効である。 With this configuration, the gas supplied to the heating back wall by the gas supply means flows into the gas diffusion chamber via the air supply path, flows and diffuses therein, and then supplies a plurality of gases. It passes through the hole and is supplied to the magazine chamber. Therefore, the gas flowing into the gas diffusion chamber is heated and agitated in the interior to reach a uniform temperature, and then supplied to the magazine chamber, so that the uniformity of the temperature distribution can be further improved. Further, since the gas can be heated uniformly by heating the gas over the entire heating back wall generated by the heating means, it is effective in improving the uniformity of the temperature distribution.
また、前記外部炉体内に冷却手段を設けることもできる。このような構成とすれば、マガジン室内で加熱処理された被加熱物を冷却手段で速やかに冷却することができるため、冷却時間を短縮することができ、作業工程の効率化を図ることができる。また、被加熱物を急冷したり、冷却速度を制御したりすることも可能となるため、冷却工程の多様化を図ることができる。 Further, a cooling means can be provided in the external furnace body. With such a configuration, the object to be heated in the magazine chamber can be quickly cooled by the cooling means, so that the cooling time can be shortened and the efficiency of the work process can be improved. . In addition, since the object to be heated can be rapidly cooled and the cooling rate can be controlled, the cooling process can be diversified.
この場合、前記冷却手段として、前記外部炉体内へ冷却用気体を吹き出す気体流路を設ければ、外部炉体内へ吹き出す冷却用気体によってマガジン室内の被加熱物を急速冷却することができる。 In this case, if the gas flow path for blowing the cooling gas into the external furnace is provided as the cooling means, the object to be heated in the magazine chamber can be rapidly cooled by the cooling gas blown into the external furnace.
一方、前記冷却手段として、冷却用流体が流動可能な管状体を前記外部炉体内に配置すれば、マガジン室内の被加熱物に冷却用気体などを接触させることなく冷却することができるため、冷却用気体などによる悪影響を回避することができる。 On the other hand, if a tubular body through which a cooling fluid can flow is disposed as the cooling means in the external furnace body, cooling can be performed without bringing cooling gas into contact with an object to be heated in the magazine chamber. It is possible to avoid adverse effects due to the working gas.
また、前記外部炉体内の気体を排出する排気手段を設ければ、熱処理中に発生する、被加熱物に有害なガスなどを外部へ排出することができる。また、炉体内を真空化することによりマガジン室内の被加熱物を真空雰囲気で熱処理することができるため、気体による悪影響を受けない熱処理を行うことができる。 Further, if an exhaust means for exhausting the gas in the external furnace body is provided, a gas harmful to the object to be heated generated during the heat treatment can be exhausted to the outside. Further, since the object to be heated in the magazine chamber can be heat-treated in a vacuum atmosphere by evacuating the furnace body, heat treatment that is not adversely affected by gas can be performed.
本発明により、複数の被加熱物を収容したマガジン単位での出し入れおよび熱処理が可能であって、温度分布の均一性にも優れた加熱装置を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a heating apparatus that can be put in and out and is heat-treated in a magazine unit that accommodates a plurality of objects to be heated, and that has excellent temperature distribution uniformity.
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態について説明する。図1は本発明の実施の形態である加熱装置を示す一部切欠正面図、図2は図1に示す加熱装置の平面図、図3は図1に示す加熱装置の側面図、図4は図1に示す加熱装置の背面図、図5は図1におけるA−A線断面図、図6は図1におけるB−B線断面図、図7は図2におけるC−C線断面図である。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. 1 is a partially cutaway front view showing a heating device according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a plan view of the heating device shown in FIG. 1, FIG. 3 is a side view of the heating device shown in FIG. 1 is a rear view of the heating apparatus shown in FIG. 1, FIG. 5 is a sectional view taken along line AA in FIG. 1, FIG. 6 is a sectional view taken along line BB in FIG. .
図1〜図7に示すように、本実施形態の加熱装置10においては、断熱性を有する壁体(背壁11a、底壁11b、側壁11cおよび天壁11d)で形成された箱体状の外部炉体11内に二つの加熱用側壁12が対向配置され、その間にマガジン室13が設けられ、マガジン室13の背面側には加熱用背壁14が配置されている。加熱用側壁12および加熱用背壁14にはそれぞれ発熱手段であるプレートヒータ12h,14hおよび遮熱板25,31が設けられている。そして、マガジン室13の正面側の加熱用側壁12の端面から離れた位置に扉体15が開閉可能に配置されている。
As shown in FIGS. 1-7, in the
扉体15は複数の支軸15aを中心に回動可能に軸支され、扉体15を閉止状態に保つためロック機構付きの開閉レバー15bを備えている。背壁11a、底壁11b、側壁11c,天壁11dおよび扉体15はそれぞれ隙間を隔てて互いに平行に配置された複数の板材11p,15pによって形成されている。扉体15の正面には、多数の貫通孔15cを有する板状の保護カバー15dが扉体15と平行に隙間を隔てて取り付けられている。
The
外部炉体11は前後方向に長い直方体形状であり、その底壁11bの下面には、隙間を隔てて支持板17が取り付けられている。外部炉体11の背面には、1本の給気管18、2本の排気管19および2本の気体流路49がそれぞれ背壁11aを貫通した状態で配管されている。加熱用側壁12および加熱用背壁14の上下に天板20、底板21が取り付けられ、底板21の下面と外部炉体11の底壁11b上面との間に隙間を設けるために複数のスペーサ22が配置されている。このように、マガジン室13は、二つの加熱用側壁12と、加熱用背壁14と、天板20と、底板21とによって、正面を除く5面が包囲され、外部炉体11の背壁11a、底壁11b、側壁11cおよび天壁11dから離れた状態で外部炉体11内に配置されている。
The
図3,図4に示すように、背壁11aには、給気管18,2本の排気管19および2本の気体流路49がそれぞれの開口端を背壁11aから突出させた状態で配管されている。背壁11aの下方には、プレートヒータ12h,14hへの給電、電気信号の授受などを行うためのコネクタ16aを有する制御部16が設けられている。熱処理工程(加熱温度、加熱時間、気体の供給・停止など)を設定することのできる制御装置(図示せず)にコネクタ16aを接続すれば、当該制御装置において予め設定した工程に沿って自動的に熱処理を行うことができる。
As shown in FIGS. 3 and 4, the
図5,図6に示すように、給気管18は背壁11aを貫通して加熱用背壁14の背面に接続され、2本の排気管19はそれぞれ外部炉体11内に連通している。2本の気体流路49はいずれも背壁11aを貫通して外部炉体11内に挿入され、外部炉体11内面と加熱用側壁12外面との隙間にコ字状をなすように配管され、その先端は背壁11aに固定されるとともに閉止部材49sによって閉塞されている。2本の気体流路49にはそれぞれ加熱用側壁12に向かって冷却用気体を吹き出すための多数の吹出孔49aが設けられている。
As shown in FIGS. 5 and 6, the
また、図5,図6に示すように、加熱用背壁14の背面側には、マガジン室13へ気体を供給するための気体供給手段である給気管18が接続され、マガジン室13に供給された気体の排出経路となる複数の排気管19が外部炉体11の背壁11aを貫通して配管されている。加熱用背壁14は、互いに平行配置された内壁14a、中間壁14bおよび外壁14cで構成されている。外壁14cと中間壁14bとの間に第一気体拡散室27が形成され、中間壁14bと内壁14aとの間に第二気体拡散室28が形成されている。
As shown in FIGS. 5 and 6, an
一方、マガジン室13内の底板21の上面には左右一対のレール24bが設けられ、これらのレール24bに、マガジン23を載置するためのマガジン保持部材24aがスライド可能に取り付けられている。マガジン保持部材24aは、マガジン23が載置される部分に、当該マガジン23の底面より狭い貫通領域24cを設けた枠体形状であり、先端部に開設された長円形の把持孔24dに手指を掛けて前後に操作することにより、レール24bに沿ってスライドさせることができる。マガジン室13内の底板21の中央部分にはストッパ21aが突設され、加熱用背壁14付近の加熱用側壁12寄りの部分には円柱状のストッパ21bが立設されている。
On the other hand, a pair of left and
マガジン保持部材24aの把持孔24dに手指を掛けて引き出すと、その後縁部に垂下状に設けられた当接部24eがストッパ21aに接触してそれ以上引き出せないように係止され、マガジン保持部材24aを押し込むとその後縁部がストッパ21bに接触してその位置に係止される。従って、扉体15を開いた状態でマガジン保持部材24aを引き出し、その上面にマガジン23を載置した後、マガジン保持部材24aがストッパ21bに接触するまで押し込めば、マガジン23はマガジン室13内の所定位置に収容される。
When the
次に、図8〜図10に基づいて加熱装置10を構成する加熱用背壁14の構造、機能などについて説明する。図8は加熱用背壁14を示す斜視図、図9は図8に示す加熱用背壁14の正面図、図10は図9におけるD−D線断面図、図11は図10におけるE−E線断面図、図12は図10におけるF−F線断面図である。
Next, the structure, function, and the like of the heating back
図8〜図12に示すように、加熱用背壁14は、互いに平行配置された内壁14a、中間壁14bおよび外壁14cと、外壁14cの背面側に付設されたプレートヒータ14hおよび遮熱板31と、を備えている。図9に示すように、内壁14aには、内径2mm程度の気体供給孔14yが10mm程度の間隔で縦方向に16個、横方向に7個、合計112個開設されている。また、図11に示すように、中間壁14bには、内径4mm程度の貫通孔14xが20mm程度の間隔で縦方向に8個、横方向に4個、合計28個開設されている。さらに、図12に示すように、外壁14cの中央部には内径15〜20mm程度の貫通孔である給気口14dが1個開設され、この給気口14dに給気管18が接続されている。
As shown in FIGS. 8 to 12, the heating back
図10,図11に示すように、外壁14cの給気口14dと対向する中間壁14bの中央部分には貫通孔14xは開設されていない。これは、給気口14dから出た気体が第一気体拡散室27内で拡散することなく、直接、第二気体拡散室28内へ流入するのを回避するためである。本実施形態においては、中間壁14bにある複数の貫通孔14xの開口面積の総和と、内壁14aにある複数の気体吹出口14yの開口面積の総和とが、ほぼ等しくなるように設定しているが、貫通孔14x、気体供給孔14yおよび給気口14dの内径や個数はこれらに限定するものではない。
As shown in FIGS. 10 and 11, the through
加熱用背壁14において、外部から供給される気体は、給気管18を経由し、給気口14dを通過して第一気体拡散室27内へ導入され、外壁14c背面に付設されたプレートヒータ14hで間接的に加熱される。このため、プレートヒータ14hから気体へ不純物が混入することがない。また、第一気体拡散室27内で加熱された気体は、第一気体拡散室27内で拡散された後、中間壁14bの複数の貫通孔14xを通過して第二気体拡散室28内へ流入し、第二気体拡散室28内で再び拡散された後、内壁14aに開設された複数の気体吹出口14yから放出される。このため、加熱された気体をマガジン室13内の広い範囲に均等に吹き出すことができる。
In the heating back
また、発熱手段であるプレートヒータ14hは第一気体拡散室27を構成する外壁14cの背面に付設されているため、プレートヒータ14hへ給電するための電気配線も簡素であり、メンテナンスも容易である。また、プレートヒータ14hは、外壁14cの背面における気体導入口14dの周辺にも付設されているため、第一気体拡散室27内へ導入直後の気体が存在する気体導入口14d周辺を集中的に加熱することが可能であり、加熱効率も良好である。
Further, since the
さらに、外壁14cの気体導入口14dと、内壁14aの複数の気体吹出口14yとの間に、複数の貫通孔14xを有する中間壁14bを設けている。従って、第一気体拡散室27内において、気体導入口14dから内壁14aの気体吹出口14yに向かって流動する気体は、中間壁14bの複数の貫通孔14xを通過することによって複数の領域に分散され、気体を均一に加熱することができる。なお、中間壁14bを省略して一つの気体拡散室のみを設けた構造、あるいは2以上の中間壁を設けた構造とすることもできる。
Furthermore, an
加熱装置10を用いて熱処理を行う場合、前述したように、扉体15を開いてマガジン保持部材24aを引き出し、被加熱物を収容したマガジン23をそのままの状態でマガジン保持部材24a上に載置した後、マガジン保持部材24aを押し込めば、マガジン23はマガジン室13内の所定位置に収容される。この後、扉体15を閉じ、プレートヒータ12h,14hに通電すれば、加熱用側壁12および加熱用背壁14が発熱し、マガジン室13内のマガジン23に収容された被加熱物を加熱することができる。マガジン室13は、断熱性を有する箱体状の外部炉体11内に配置され、二つの加熱用側壁12および加熱用背壁14によって3方向から加熱されるため、温度分布の均一性に優れている。
When performing heat treatment using the
このとき、加熱用背壁14に配管された給気管18へ外部から気体を供給すれば、前述したように、給気管18から給気口14dを経て第一気体拡散室27へ流入した気体はその内部で加熱されながら拡散した後、中間壁14bの複数の貫通孔14xをそれぞれ通過して第二気体拡散室28内へ流入し、その内部で再び加熱されながら拡散した後、所定温度の高温気体となって内壁14aの複数の気体供給孔14yからマガジン室13内へ流入する。
At this time, if gas is supplied from the outside to the
マガジン室13内へ流入した高温気体は、マガジン室13内を背面側から正面側へ流動した後、図5で示した、マガジン室13の正面と扉体15との隙間を通過してマガジン室13の外部へ流出する。そして、外部炉体11とマガジン室13(天板20、底板21および加熱用側壁12)との隙間を流動して、加熱用背壁14の背面側まで到達した後、2本の排気管19を通過して加熱装置10の外部へ排出される。この場合、排気管19にガス吸引手段を連結して強制的に排気を行うこともできる。
The hot gas flowing into the
このように、プレートヒータ14hで加熱されている加熱用背壁14内の第一気体拡散室27および第二気体拡散室28を通過することによって均一加熱された高温気体がマガジン室13内へ供給されるため、マガジン室13内の温度分布の均一性を保つことができる。また、加熱手段であるプレートヒータ14hを加熱用背壁14の背面部に設けたことにより、プレートヒータ14hでした加熱用背壁14全体で気体が加熱されるため、気体を均一加熱することができる。
In this way, the hot gas uniformly heated by passing through the first
さらに、加熱用背壁14から供給される加熱気体は、マガジン室13内を循環した後、外部炉体11に設けられた排気管19から排出されるため、クリーン度の安定性にも優れており、マガジン23内の被加熱物が汚損されることもない。なお、マガジン室13に供給する気体としては窒素が好適であるが、これに限定するものではない。
Furthermore, since the heated gas supplied from the heating back
加熱装置10においては、排気経路である排気管19を外部炉体11の背壁11aに設けているため、マガジン室13の正面と扉体15との隙間からマガジン室13外へ流出した気体は、外部炉体11とマガジン室13(天板20、底板21および加熱用側壁12)との隙間を通過して、加熱用背壁14の背面側へ流入した後、排気管19から排出される。従って、加熱用背壁14からマガジン室13へ供給された気体はマガジン室13の内部および外部を流動した後、排気管19から排出される結果、均一な温度分布を得ることができる。
In the
加熱装置10の外部炉体11を形成する壁体(背壁11a、底壁11b、側壁11c,天壁11d)および扉体15はそれぞれ隙間を隔てて互いに平行に配置された複数の板材11p,15pによって形成されているため、優れた断熱性を発揮し、外部炉体11内に配置されたマガジン室13内の温度分布を均一に保つ上で有効である。
A wall body (
加熱処理が終了すると、加熱用背壁14のプレートヒータ14hへの給電を停止し、給気管18を通じてマガジン室13へ気体を供給することにより、マガジン室13内を冷却することもできる。従って、必要に応じて、マガジン23内の被加熱物を急冷したり、その冷却時間を任意に設定したりすることができる。このため、冷却工程の多様化あるいは冷却時間の短縮による作業工程の効率化を図ることができる。被加熱物が所定温度まで低下したら、扉体15を開いてマガジン保持部材24aを引き出せば、マガジン室13からマガジン23とともに被加熱物を取り出すことができる。
When the heat treatment is completed, the power supply to the
加熱装置10は、マガジン23を載置した状態でマガジン室13に出し入れ可能なマガジン保持部材24aを備えているため、加熱物を収容したマガジン23のマガジン室13への出し入れが容易であり、作業性に優れている。
Since the
また、ストッパ21bの位置やレール24bの間隔を変えることにより、マガジン室13内におけるマガジン23の収容領域を変更可能であるため、被加熱物の種類やサイズあるいは熱処理条件などが変更になった場合、マガジン23の収容領域を変更して対応することができ、汎用性も優れている。
In addition, since the storage area of the
加熱装置10においては、プレートヒータ12h,14hへの給電を停止した後、給気管18からマガジン室13へ冷却用気体を供給することにより、マガジン23とともに被加熱物を冷却することができるが、その他の冷却手段として、多数の吹き出し孔49aを有する気体流路49を設けている。従って、気体流路49を介して導入した冷却用気体を吹き出し孔49aから外部炉体11内へ吹き出せば、マガジン室13内の被加熱物をさらに急速に冷却することができる。
In the
その他の前記冷却手段として、冷却用流体が流動可能な管状体(図示せず)を気体流路49と同様に外部炉体11内に配管し、外部から供給した冷却用媒体を前記管状体内に通過させるようにすることもできる。このようにすれば、マガジン室13内の被加熱物に冷却用気体などを接触させることなく冷却することができるため、冷却用気体などによる悪影響を回避することができる。
As other cooling means, a tubular body (not shown) through which a cooling fluid can flow is piped in the
また、外部炉体11内の気体を排出するための排気手段(例えば、真空ポンプなど)を排気管19に接続可能な構成とすれば、熱処理中に発生する、被加熱物に有害なガスなどを外部へ排出することができる。この場合、外部炉体11内を真空化することによりマガジン室13内の被加熱物を真空雰囲気で熱処理することも可能となるため、気体による悪影響を受けない熱処理を行うことができる。
Further, if an exhaust means (for example, a vacuum pump) for exhausting the gas in the
本発明の加熱装置は、液晶表示パネルやプラズマ表示パネルなどの構成部材であるガラス基板あるいは半導体リードフレームなどの金属基板や樹脂基板などの熱処理工程において広く利用することができる。 The heating device of the present invention can be widely used in a heat treatment process of a glass substrate or a metal substrate such as a semiconductor lead frame or a resin substrate which is a constituent member of a liquid crystal display panel or a plasma display panel.
10 加熱装置
11 外部炉体
11a 背壁
11b 底壁
11c 側壁
11d 天壁
11p,15p 板材
12 加熱用側壁
12h,14h プレートヒータ
13 マガジン室
14 加熱用背壁
14a 内壁
14b 中間壁
14c 外壁
14d 給気口
14x,15c 貫通孔
14y 気体供給孔
15 扉体
15a 支軸
15b 開閉レバー
15d 保護カバー
16 制御部
16a コネクタ
17 支持板
18 給気管
19 排気管
20 天板
21 底板
21a,21b ストッパ
22 スペーサ
23 マガジン
24a マガジン保持部材
24b レール
24c 貫通領域
24d 把持孔
24e 当接部
25,31 遮熱板
27 第一気体拡散室
28 第二気体拡散室
49 気体流路
49a 吹出孔
49s 閉止部材
DESCRIPTION OF
24a
Claims (8)
前記壁体を、隙間を隔てて配置した複数の板材で形成したことを特徴とする加熱装置。 Provided between a plurality of heating side walls opposed to each other in a box-shaped external furnace body formed of a heat-insulating wall body and the heating side walls for accommodating a magazine in which an object to be heated is stored. Magazine chamber, a heating back wall disposed on the back side of the magazine chamber, the heating side wall and heating means provided on the heating back wall, and the heating side wall on the front side of the magazine chamber And a door body that can be opened and closed at a position away from
A heating apparatus, wherein the wall body is formed of a plurality of plate members arranged with a gap therebetween.
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