JP2018048805A - Heating device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、液晶表示パネルやプラズマ表示パネルなどの構成部材であるガラス基板や半導体リードフレームあるいはその他の金属板や合成樹脂板などの各種板状部材の熱処理に使用される加熱装置に関する。 The present invention relates to a heating apparatus used for heat treatment of various plate-like members such as glass substrates, semiconductor lead frames, other metal plates, and synthetic resin plates, which are constituent members of liquid crystal display panels and plasma display panels.
液晶表示パネルなどの構成部材であるガラス基板を熱処理する装置としては、従来、加熱気体循環方式のクリーンオーブンが使用されている(例えば、特許文献1参照。)。このクリーンオーブンは、ガラス基板などの被熱処理物を恒温槽内に収容し、この恒温槽内においてファンによって循環する加熱気体を用いて被加熱物の熱処理を行うものである。 As a device for heat-treating a glass substrate which is a constituent member such as a liquid crystal display panel, a heated gas circulation type clean oven has been conventionally used (for example, see Patent Document 1). This clean oven accommodates an object to be heat treated such as a glass substrate in a thermostat and heat-treats the object to be heated using a heated gas circulated by a fan in the thermostat.
しかしながら、加熱気体循環方式のクリーンオーブンの場合、ガラス基板などの被加熱物を多段状に収容する構造を採用しやすいので、スペース効率に優れている反面、加熱温度分布を均一化することが困難であり、加熱気体の攪拌によりクリーン度が悪化する可能性が高い。また、被加熱物が比較的軽量である場合、加熱気体の循環対流によって被加熱物が所定の位置から移動することがある。 However, in the case of a heated gas circulation type clean oven, it is easy to adopt a structure that accommodates a heated object such as a glass substrate in multiple stages, so it is excellent in space efficiency, but it is difficult to make the heating temperature distribution uniform. There is a high possibility that the cleanliness will deteriorate due to the stirring of the heated gas. When the object to be heated is relatively light, the object to be heated may move from a predetermined position by circulating convection of the heated gas.
このような問題を解決するため、内部に発熱体を有する放熱板の両面に遠赤外線放射セラミックスの薄層が被覆され、この放熱板の加熱によって両面から遠赤外線を放射する両面加熱式の遠赤外線パネルヒータからなる多数の棚状ヒータが、炉本体内に上下方向に一定間隔で多段配置され、これらの棚状ヒータの間に形成される各空間部分をそれぞれ乾燥室とした加熱炉が開発されている(例えば、特許文献2参照。)。 In order to solve such a problem, both sides of a heat sink having a heating element inside are coated with a thin layer of far infrared radiation ceramics, and far-infrared infrared radiation that emits far infrared rays from both sides by heating this heat sink. A large number of shelf heaters composed of panel heaters are arranged in multiple stages in the furnace body at regular intervals in the vertical direction, and a heating furnace has been developed in which each space formed between these shelf heaters is a drying chamber. (For example, refer to Patent Document 2).
特許文献2記載の加熱炉の場合、両面加熱式の遠赤外線パネルヒータからなる多数の棚状ヒータが配置されているため、これらの棚状ヒータの間に形成される各空間部(乾燥室)を効率的に加熱することができる点では優れている。 In the case of the heating furnace described in Patent Document 2, a large number of shelf heaters composed of double-sided heating type far-infrared panel heaters are arranged, and thus each space portion (drying chamber) formed between these shelf heaters. Is superior in that it can be heated efficiently.
しかしながら、この加熱炉においては、上下方向に配置された多数の棚状ヒータから発される熱は、加熱炉内を上昇して炉内の天壁寄りの領域に集まる傾向があるため、炉内上部領域の温度は、炉内下部領域の温度より高くなっており、このような炉内上部領域と炉内下部領域との間の温度差をなくすことは極めて困難である。 However, in this heating furnace, heat generated from a large number of shelf heaters arranged in the vertical direction tends to rise in the heating furnace and collect in a region near the top wall in the furnace. The temperature in the upper region is higher than the temperature in the lower region in the furnace, and it is extremely difficult to eliminate such a temperature difference between the upper region in the furnace and the lower region in the furnace.
そこで、本出願人は、温度分布の均一性及びクリーン度の安定性に優れた加熱装置を提案している(例えば、特許文献3参照。)。この加熱装置は、断熱材で囲まれた空間内に距離を隔てて対向配置された複数の加熱用壁体と、加熱用壁体に設けられた発熱手段と、加熱用壁体の間に距離を隔てて配置された複数の伝熱壁体と、伝熱用壁体の間に棚状に配置された複数の熱放射部材と、上下方向に隣り合う熱放射部材の間に設けられた被加熱物の収容スペースとを備えている。 Therefore, the present applicant has proposed a heating device that is excellent in uniformity of temperature distribution and stability of cleanliness (see, for example, Patent Document 3). This heating device has a distance between a plurality of heating walls disposed opposite to each other in a space surrounded by a heat insulating material, heating means provided on the heating wall, and the heating wall. A plurality of heat transfer walls disposed across the heat transfer wall, a plurality of heat radiation members disposed in a shelf shape between the heat transfer walls, and a heat radiation member provided between the heat radiation members adjacent in the vertical direction. And a storage space for a heated object.
特許文献3記載の加熱装置は、温度分布の均一性及びクリーン度の安定性に優れているが、収容スペース内に収容することのできる被加熱物のサイズが限定されるので、所定サイズから外れた被加熱物は収容スペースに収容困難であるのが実状である。 Although the heating device described in Patent Document 3 is excellent in uniformity of temperature distribution and stability of cleanliness, the size of an object to be heated that can be accommodated in the accommodation space is limited. In fact, it is difficult to accommodate the object to be heated in the accommodation space.
即ち、特許文献3記載の加熱装置において加熱処理可能な被加熱物のサイズ(幅、厚さ)は、複数の加熱用壁体の間に距離を隔てて配置された複数の伝熱壁体に形成された水平方向の保持溝の対向間隔及び垂直方向の溝幅よって定まるので、幅方向のサイズが前記対向間隔未満若しくはこれを超える被加熱物、及び、厚さが前記垂直方向の溝幅を超える被加熱物は収容スペース内に収容することができない。 That is, the size (width, thickness) of the object to be heated in the heating device described in Patent Document 3 is set to a plurality of heat transfer wall bodies arranged at a distance between the plurality of heating wall bodies. Since it is determined by the facing interval and the vertical groove width of the formed horizontal holding grooves, the object to be heated whose width direction size is less than or exceeding the facing interval, and the thickness is the vertical groove width. The object to be heated cannot be accommodated in the accommodation space.
従って、加熱処理の対象である被加熱物のサイズ(幅、厚さ)が変更された場合、複数の伝熱壁体の配置間隔を変更して保持溝の対向間隔を調整したり、保持溝の垂直方向の溝幅を変更したりする必要がある。このため、被加熱物のサイズ変更に迅速に対応することが困難である。 Therefore, when the size (width, thickness) of the object to be heated is changed, the arrangement interval of the plurality of heat transfer wall bodies is changed to adjust the opposing interval of the holding grooves, or the holding groove It is necessary to change the vertical groove width. For this reason, it is difficult to respond quickly to the size change of the object to be heated.
そこで、本発明が解決しようとする課題は、温度分布の均一性及びクリーン度の安定性に優れ、少なくとも被加熱物の幅方向サイズの変更に容易に対応することのできる加熱装置を提供することにある。 Therefore, the problem to be solved by the present invention is to provide a heating device that is excellent in uniformity of temperature distribution and stability of cleanliness, and can easily cope with at least a change in the width direction size of an object to be heated. It is in.
本発明の加熱装置は、距離を隔てて対向配置された複数の加熱用壁体と、前記加熱用壁体に設けられた発熱手段と、複数の前記加熱用壁体の対向領域に上下方向に距離を隔てて棚状に配置された複数の熱放射部材と、複数の前記熱放射部材の間に設けられた被加熱物の収容スペースと、前記収容スペース内に収容される被加熱物を所定姿勢に保持可能であって前記被加熱物の保持範囲を変更可能な保持手段と、を備え、前記保持手段として、前記被加熱物を載置可能な複数の支持部材と、前記支持部材の間隔を変更可能な拡縮機構と、を設け、前記支持部材は、前記収容スペース内の幅方向に離れた左右2つの領域をそれぞれ奥行き方向に水平貫通した状態で配置された左側の支持バー材及び右側の支持バー材であり、前記拡縮機構は、前記収容スペースの左側の正面、背面からそれぞれ突出した前記左側の支持バー材の正面部、背面部にそれぞれ取り付けられた左正面側の支柱、左背面側の支柱と、前記収容スペースの右側の正面、背面からそれぞれ突出した前記右側の支持バー材の正面部、背面部にそれぞれ取り付けられた右正面側の支柱、右背面側の支柱と、前記左正面側の支柱及び前記左背面側の支柱と、前記右正面側の支柱及び前記右背面側の支柱と、の間隔を拡縮させる移動機構であることを特徴とする。 The heating apparatus according to the present invention includes a plurality of heating walls arranged opposite to each other at a distance, a heat generating unit provided on the heating wall, and a vertical region in a facing region of the plurality of heating walls. A plurality of heat radiating members arranged in a shelf shape at a distance, a space to be heated to be provided between the plurality of heat radiating members, and a heated object to be accommodated in the accommodation space are predetermined. Holding means capable of holding in a posture and changing a holding range of the object to be heated, and a plurality of support members on which the object to be heated can be placed as the holding means, and an interval between the support members And a support bar member on the left side and a right side member arranged in a state of horizontally penetrating two left and right regions separated in the width direction in the accommodation space in the depth direction. Support bar material, and the expansion / contraction mechanism is The left front of the container space, the front part of the left support bar material protruding from the back, the left front pillar attached to the back part, the left rear pillar, and the right front of the accommodation space, The front portion of the right support bar member protruding from the back, the right front column attached to the back portion, the right back column, the left front column and the left back column, It is a moving mechanism that expands or contracts the distance between the right front side support column and the right back side support column.
このような構成とすれば、被加熱物の収容スペースは左右に加熱用壁体が配置され、上下に熱放射部材が配置された構造となり、それぞれの収容スペース内は、発熱手段の熱によって昇温した左右の加熱用壁体から放射される熱と、これらの加熱用壁体からの熱伝導により発熱する熱放射部材から上下に放射される熱とによって加熱されるため、それぞれの収容スペース内はむらなく均等に加熱され、温度分布の均一性に優れたものとなる。 With such a configuration, the space for storing the object to be heated has a structure in which heating walls are arranged on the left and right sides and heat radiating members are arranged on the upper and lower sides. Heat is radiated from the heated left and right heating walls and heat radiated up and down from the heat radiating member that generates heat by heat conduction from these heating walls. Is evenly heated and has excellent uniformity of temperature distribution.
発熱手段は加熱用壁体のみに設けられており、各収容スペースは、それぞれの左右に位置する加熱用壁体と、上下に位置する熱放射部材によって区画されているため、各収容スペース内における温度分布の均一性も優れているだけでなく、熱気の上昇に起因する上部空間における熱蓄積現象および過熱現象が発生しない。また、ファンによって加熱気体を攪拌したり、循環させたりすることもないので、クリーン度の安定性も優れており、気体 流によって被加熱物が移動することもない。 The heating means is provided only in the heating wall, and each storage space is partitioned by the heating wall positioned on the left and right and the heat radiation member positioned on the top and bottom, Not only is the temperature distribution uniform, it does not cause heat accumulation and overheating in the upper space due to the rise of hot air. Further, since the heated gas is not stirred or circulated by the fan, the stability of the cleanliness is excellent, and the heated object is not moved by the gas flow.
また、保持手段による被加熱物の保持範囲は、被加熱物の幅に応じて変更することができるため、少なくとも被加熱物の幅方向サイズの変更に容易に対応することができる。 In addition, since the holding range of the object to be heated by the holding unit can be changed according to the width of the object to be heated, it is possible to easily cope with at least a change in the width direction size of the object to be heated.
ここで、前記保持手段として、被加熱物を載置可能な複数の支持部材と、前記支持部材の間隔を変更可能な拡縮機構と、を設けることが望ましい。このような構成とすれば、被加熱物は支持部材により下支え状態で保持することが可能となるので、被加熱物の厚さが変更された場合でも容易に対応することができる。 Here, as the holding means, it is desirable to provide a plurality of support members on which an object to be heated can be placed and an expansion / contraction mechanism capable of changing the interval between the support members. With such a configuration, the object to be heated can be held in a supported state by the support member, so that even when the thickness of the object to be heated is changed, it can be easily handled.
また、本発明の加熱装置において、前記支持部材は、前記収容スペース内の幅方向に離れた左右2つの領域をそれぞれ奥行き方向に水平貫通した状態に配置された左側の支持バー材及び右側の支持バーであり、前記拡縮機構は、前記収容スペースの左側の正面、背面からそれぞれ突出した前記左側の支持バー材の正面部、背面部にそれぞれ取り付けられた左正面側の支柱、左背面側の支柱と、前記収容スペースの右側の正面、背面からそれぞれ突出した前記右側の支持バー材の正面部、背面部にそれぞれ取り付けられた右正面側の支柱、右背面側の支柱と、前記左正面側の支柱及び前記左背面側の支柱と、前記右正面側の支柱及び前記右背面側の支柱と、の間隔を拡縮させる移動機構である。このような構成とすれば、移動機構によって複数の支柱の間隔を拡縮するだけで、支持バー材の間隔を変更することが可能となるため、比較的簡素な構造でありながら、操作性及び安定性に優れた調整手段を形成することができる。 Further, in the heating device of the present invention, the support member includes a left support bar member and a right support member disposed in a state of horizontally penetrating two left and right regions separated in the width direction in the accommodation space. And the expansion / contraction mechanism includes a left front support column and a left back support column respectively attached to the front and back portions of the left support bar member protruding from the left front and back surfaces of the accommodation space. And the front side of the right side of the housing space, the front part of the right support bar member protruding from the back side, the right front side column attached to the back side, the right back side column, and the left front side It is a moving mechanism that expands and contracts the space between the support column and the left back side support column, and the right front side support column and the right back side support column. With such a configuration, it is possible to change the interval between the support bars simply by expanding or reducing the interval between the plurality of support columns by the moving mechanism. It is possible to form an adjusting means having excellent properties.
さらに、複数の加熱用壁体の対向領域外から前記保持手段の保持範囲を変更可能な操作機構を設けることもできる。このような構成とすれば、被加熱物の収容スペースの外側から保持手段の保持領域を変更することが可能となるため、操作性がさらに向上する。 Furthermore, it is possible to provide an operation mechanism capable of changing the holding range of the holding means from the outside of the facing region of the plurality of heating walls. With such a configuration, it becomes possible to change the holding area of the holding means from the outside of the accommodation space for the object to be heated, so that the operability is further improved.
一方、前記収容スペース内の気体を排出可能な排気経路と、前記収容スペース内に気体を導入可能な給気経路と、を設けることもできる。このような構成とすれば、収容スペース内の空気を不活性ガスあるいは特定ガスと置き換えることが可能となるため、不活性ガスにより被加熱物の酸化を防止したり、特定ガスとの反応を利用して被加熱物に表面処理を施したりすることができる。 On the other hand, it is also possible to provide an exhaust path through which the gas in the storage space can be discharged and an air supply path through which the gas can be introduced into the storage space. With such a configuration, it becomes possible to replace the air in the accommodation space with an inert gas or a specific gas, so that the object to be heated is prevented from being oxidized by the inert gas, or a reaction with the specific gas is used. Then, a surface treatment can be applied to the object to be heated.
本発明により、温度分布の均一性及びクリーン度の安定性に優れ、少なくとも被加熱物の幅方向サイズの変更に迅速に対応することのできる加熱装置を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a heating device that is excellent in uniformity of temperature distribution and stability of cleanliness, and can at least quickly respond to a change in the width-direction size of an object to be heated.
以下、図1〜図6に基づいて、本発明の実施形態である加熱装置100について説明する。図1〜図6に示すように、加熱装置100は、距離を隔てて対向配置された複数の加熱用壁体10L,10Rと、加熱用壁体10L,10Rに設けられた発熱手段である複数の電気ヒータ11と、複数の加熱用壁体10L,10Rの対向領域に上下方向に距離を隔てて棚状に配置された複数の熱放射部材12と、上下方向に隣り合う熱放射部材12の間に設けられた被加熱物13の収容スペース14と、収容スペース14内に収容される被加熱物13を略水平姿勢に保持可能であって、被加熱物13の保持範囲を変更可能な保持手段30と、を備えている。
Hereinafter, based on FIGS. 1-6, the
加熱用壁体10L,10Rの上端側及び下端側はそれぞれ天板19及び底板20によって連結され、加熱用壁体10L,10Rの下面にはそれぞれ脚部材21L,21R,22L,22Rが取付けられ、これらの脚部材21L,21R,22L,22Rの下端部は基台23に固定されている。加熱用壁体10L,10Rの正面側から背面側まで水平方向に複数の貫通孔24が開設され、これらの貫通孔24内にそれぞれ電気ヒータ11が着脱可能に挿入されている。
The upper and lower ends of the
加熱装置100においては、加熱用壁体10L,10Rはステンレス鋼で形成され、天板19、底板20、脚部材21L,21R,22L,22R及び基台23は加熱用壁体10L,10Rと同材質のステンレス鋼で形成され、熱放射部材12は、表面に黒色メッキを施したアルミニウム板で形成されている。ただし、これらの材料に限定しないので、加熱用壁体10L,10R、天板19、底板20、脚部材21L,21R,22L,22R及び基台23などをアルミニウムやアルミニウム合金(あるいは輻射熱の発散を抑制するため光沢のない表面処理を施したアルミニウムやアルミニウム合金)で形成することもできる。また、熱放射部材12の表面処理についても黒色メッキに限定しないので、輻射熱の発散を抑制することのできる表面処理、例えば、光沢のない表面処理を施したものを採用することもできる。
In the
保持手段30として、被加熱物13を載置可能な支持部材である複数の支持バー材17L,17Rと、支持バー材17L,17Rの間隔を変更可能な拡縮機構40と、が設けられている。拡縮機構40は、複数の支持バー材17L,17Rを略水平姿勢に保持する複数の支柱15L,15R,16L,16Rと、支柱15L,15Rの間隔及び支柱16L,16Rの間隔を拡縮させる移動機構50と、を備えている。
As the holding means 30, a plurality of
支持バー材17L,17Rは帯板形状の部材であり、その長手方向が奥行き方向Dと平行をなし、その幅方向が垂直方向をなすような状態で配置されている。即ち、複数の支持バー材17Lはそれぞれ収容スペース14内を奥行き方向Dに水平貫通した状態で支柱15L,16Lに取り付けられ、同様に、複数の支持バー材17Rはそれぞれ収容スペース14内を奥行き方向Dに水平貫通した状態で支柱15L,16Rに取り付けられている。
The
支柱15L,16Lにおける支持バー材17Lの取付部分の直上、及び、支柱15R,16Rにおける支持バー材17Rの取付部分の直上にはそれぞれ、奥行き方向Dに開通する係止溝15Lt,16Lt,15Rt,16Rtが設けられている。また、加熱用壁体 10L,10Rの内側面(収容スペース14に臨む面)には、それぞれ係止溝15Lt,16Lt,15Rt,16Rtと同じ高さ位置に複数の係止溝10Lt,10Rtが奥行き方向Dに形成されている。
Locking grooves 15Lt, 16Lt, 15Rt, which are opened in the depth direction D, are directly above the mounting portions of the support bars 17L in the
移動機構50は、支柱15L,16Lの上端同士、支柱15R,16Rの上端同士をそれぞれ連接する主動スライダ51L,51Rと、主動スライダ51L,51Rに開設された雌ネジ孔51La,51Raを水平方向に貫通して螺着した状態で回転自在に配置された雄ネジ軸52と、雄ネジ軸52の片端部に取り付けられた操作ハンドル53と、を備えている。支柱15L,16Lの下端同士、支柱15R,16Rの下端同士はそれぞれ従動スライダ54L,54Rで連接され、従動スライダ54L,54Rに開設された貫通孔54La,54Raを水平方向に貫通した状態で支軸55が配置されている。支軸55は雄ネジ軸52と平行に配置され、支軸55の両端部はそれぞれ脚部材21L,21Rに係止されている。従動スライダ54L,54Rは支軸55の長手方向に沿ってスライド可能である。
The moving
操作ハンドル53を、雄ネジ軸52の軸心52c中心に正転、逆転させると、主動スライダ51L,51Rが軸心52c方向に沿って互いに離隔、接近し、これと連動して、支柱15L,15Rの間隔及び支柱16L,16Rの間隔が離隔、接近する。これに伴い、複数の支持バー材17L,17Rの間隔が離隔、接近するので、被加熱物13の保持範囲が収容スペース14の幅方向Wに拡縮する。
When the operation handle 53 is rotated forward and backward about the
また、複数の収容スペース14の背面側にそれぞれ配置された背壁部材25に、収容スペース14内の気体を排出可能な排気経路26と、収容スペース14内に気体を導入可能な給気経路27と、が設けられている。加熱装置100においては、各背壁部材25において排気経路26の下方に給気経路27が配置されているが、これに限定しないので、上下を逆に配置することもできる。
In addition, an
加熱装置100を使用する場合、被加熱物13の横幅に合わせて、操作ハンドル53を回転させ、支柱15L,15Rの間隔及び支柱16L,16Rの間隔を調整し、被加熱物13の左右側縁がそれぞれ支持バー17L,17R上に載置可能であって、左右側縁の一部がそれぞれ係止溝15Lt,16Lt及び係止溝15Rt,16Rtの内部に収容可能な状態となるように設定する。この後、各収容スペース14内において、被加熱物13の左右側縁をそれぞれ支持バー17L,17R上に載置するとともに、左右側縁の一部をそれぞれ係止溝15Lt,16Lt及び係止溝15Rt,16Rtの内部に収容すると、被加熱物13のセッティングが完了するので、電気ヒータ11に通電を開始すれば、所定のプログラムに従って熱処理を行うことができる。
When the
被加熱物13の収容スペース14は左右に加熱用壁体10L,10Rが配置され、上下に熱放射部材12が配置され、それぞれの収容スペース14内は、電気ヒータ11の熱によって昇温した左右の加熱用壁体10L,10Rから放射される熱と、これらの加熱用壁体からの熱伝導により発熱する熱放射部材12から上下に放射される熱とによって加熱されるため、それぞれの収容スペース14内はむらなく均等に加熱され、加熱装置100全体における温度分布の均一性も良好である。
電気ヒータ11は加熱用壁体10L,10Rのみに設けられており、各収容スペース14は、それぞれの左右に位置する加熱用壁体10L,10Rと、上下に位置する熱放射部材12によって区画されているため、各収容スペース14内における温度分布の均一性も優れており、熱気の上昇に起因する上部空間における熱蓄積現象及び過熱現象が発生しない。また、ファンによって加熱気体を攪拌したり、循環させたりすることもないので、クリーン度の安定性も優れており、気体流によって被加熱物が移動することもない。
The
また、支持バー材17L,17Rによる被加熱物13の幅方向Wの保持範囲は、被加熱物13の横幅に応じて変更することができるため、少なくとも被加熱物13の幅方向サイズの変更に容易に対応することができる。なお、被加熱物13の厚さが過大である場合、その左右側縁を係止溝15Lt,16Lt及び係止溝15Rt,16Rt内に収容することなく、支持バー17L,17R上に載置しただけの状態で加熱処理することもできる。
Moreover, since the holding range of the to-
また、収容スペース14内に複数の支持バー材17L,17Rを配置し、これらの支持バー材17L,17Rをそれぞれ略水平姿勢に支持する複数の支柱15L,15R,16L,16Rと、支柱15L,15Rの間隔及び支柱16L,16Rの間隔を拡縮させる移動機構50を設けたことにより、操作ハンドル53を回転させるだけで、支持バー材17L,17Rの間隔を変更することできるため、構造は簡素であり、操作性及び安定性にも優れている。なお、図2に示すように、被加熱物13より横幅の広い被加熱物13aを加熱処理する場合、支柱15L,15Rの間隔及び支柱16L,16Rの間隔を大きく広げた状態とし、被加熱物13aの左右側縁部をそれぞれ加熱用壁体10L,10Rの係止溝10Lt,10Rtに収容することもできる。
Also, a plurality of
さらに、操作ハンドル53は複数の加熱用壁体10L,10Rの対向領域外に配置されているため、被加熱物13の収容スペース14の外側から保持バー材17L,17Rの保持領域を変更することが可能であり、操作性も良好である。なお、図1に示すように、加熱装置100は断熱性を有するケーシング18内に収容した状態で使用することができるが、ケーシング18なしの状態で使用することもできる。
Further, since the operation handle 53 is disposed outside the opposing region of the plurality of
一方、加熱装置100においては、各収容スペース14内と連通する排気経路26及び給気経路27を設けたことにより、収容スペース14内の空気を不活性ガスあるいは特定ガスと置き換えることも可能であるため、不活性ガス導入により被加熱物13の酸化を防止したり、導入された特定ガスとの反応を利用して被加熱物13に表面処理を施したりすることもできる。
On the other hand, in the
なお、前述した加熱装置100は本発明に係る加熱装置を例示するものであり、本発明は加熱装置100に限定されない。
In addition, the
本発明に係る加熱装置は、ガラス基板や半導体リードフレームあるいはその他の金属板や合成樹脂板などの各種板状部材の熱処理を行う産業分野において広く利用することができる。 The heating device according to the present invention can be widely used in industrial fields in which various plate-like members such as glass substrates, semiconductor lead frames, other metal plates, and synthetic resin plates are heat-treated.
10L,10R 加熱用壁体
10Lt,10Rt,15Lt,15Rt,16Lt,16Rt 係止溝
11 電気ヒータ
12 熱放射部材
13,13a 被加熱物
14 収容スペース
15L,15R,16L,16R 支柱
17L,17R 支持バー材
18 ケーシング
19 天板
20 底板
21L,21R,22L,22R 脚部材
23 基台
24,54La,54Ra 貫通孔
25 背壁部材
26 排気経路
27 給気経路
30 保持手段
40 拡縮機構
50 移動機構
51L,51R 主動スライダ
51La,51Ra 雌ネジ孔
52 雄ネジ軸
52c 軸心
53 操作ハンドル
54L,54R 従動スライダ
55 主軸
D 奥行き方向
W 幅方向
10L, 10R Heating wall body 10Lt, 10Rt, 15Lt, 15Rt, 16Lt,
Claims (1)
前記加熱用壁体に設けられた発熱手段と、
複数の前記加熱用壁体の対向領域に上下方向に距離を隔てて棚状に配置されて前記加熱用壁体からの熱を伝導させる金属製の複数の熱伝導部材と、を備え、
前記複数の加熱用壁体と前記複数の熱伝導部材とは、被加熱物をそれぞれ収容するための複数の収容スペースを上下方向に画定し、
前記複数の収容スペースの各々の奥行方向の背部から前部に向けて不活性ガスあるいは特定ガスを供給する供給手段をさらに有し、
対向する前記複数の加熱用壁体は、各々の前記収容スペースに面する側の各壁面の互いに対応する位置に、前記収容スペースの奥行方向に延在する支持面をそれぞれ有し、
前記支持面は、平板状の被加熱物の幅方向の各側縁部の裏面を受け止めることにより当該被加熱物を略水平姿勢に支持可能であり、
前記複数の収容スペースの各々の前部は、前記加熱用壁体と前記熱伝導部材とにより画定された開口部を有し、
前記供給手段は、供給されるガスの吐出口が前記背部側に設けられ、かつ、前記前部の開口部側を向いている、
ことを特徴とする加熱装置。
A plurality of heating walls arranged opposite to each other at a distance;
Heating means provided on the heating wall;
A plurality of metal heat conduction members that are arranged in a shelf shape with a distance in the vertical direction in opposing regions of the plurality of heating wall bodies and conduct heat from the heating wall bodies,
The plurality of heating wall bodies and the plurality of heat conducting members define a plurality of storage spaces in the vertical direction for storing objects to be heated,
A supply means for supplying an inert gas or a specific gas from the back in the depth direction of each of the plurality of storage spaces toward the front;
Each of the plurality of heating wall bodies facing each other has a support surface extending in the depth direction of the storage space at a position corresponding to each of the wall surfaces on the side facing the storage space.
The support surface can support the heated object in a substantially horizontal posture by receiving the back surface of each side edge in the width direction of the flat heated object,
Each front portion of the plurality of receiving spaces has an opening defined by the heating wall and the heat conducting member,
The supply means has a discharge port for a gas to be supplied provided on the back side, and faces the opening side of the front part.
A heating device characterized by that.
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