JP2008245026A - 弾性表面波装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 圧電基板1の上面に弾性表面波素子領域を複数形成する工程と、圧電基板1の上面のIDT電極2が形成された励振電極領域を囲むようにして枠体5を形成する工程と、枠体5の上面に蓋体6を載置して枠体と接合した封止部材を形成する工程と、圧電基板1の下面を保護用樹脂シート14上に接着する工程と、圧電基板1をダイシングテープ15を残して各領域ごとに分断する工程と、分断によって形成された間隙及び各領域を覆って樹脂保護層16を形成する工程と、樹脂保護層16を間隙の部位で分断し弾性表面波装置を複数個製造する工程と、を具備する。
【選択図】図2
Description
2:IDT電極(励振電極)
3:パッド電極
4:保護膜
5:枠体
6:蓋体
9:フォトレジスト
10:メッキ用ガイド
11:柱状電極
12:保護カバー
13:半田バンプ
14:保護用樹脂シート
15:ダイシングテープ(下地樹脂シート)
16:保護樹脂層
Claims (4)
- 圧電基板の上面に励振電極及びそれに接続された、前記励振電極と外部回路とを接続するためのパッド電極を有して成る弾性表面波素子領域を複数形成する工程と、
前記圧電基板の上面の前記励振電極が形成された励振電極領域を囲むようにして枠体を形成する工程と、
前記枠体の上面に蓋体を載置して前記枠体と接合することにより、前記各励振電極領域を覆うとともに前記枠体の内側を密閉空間とする封止部材を形成する工程と、
前記圧電基板の下面を樹脂シート上に接着する工程と、
前記樹脂シートを残して前記圧電基板を前記各弾性表面波素子領域ごとに分断する工程と、
分断によって形成された間隙及び前記各弾性表面波素子領域を覆うように樹脂保護層を形成する工程と、
前記樹脂保護層を前記間隙の部位で分断することによって、上面及び側面が前記樹脂保護層で覆われるとともに下面に前記樹脂シートが接着された弾性表面波装置を複数個製造する工程と、を具備する弾性表面波装置の製造方法。 - 前記封止部材を形成する工程の後に、
前記各弾性表面波素子領域において前記パッド電極上に柱状電極を形成する工程をさらに含み、
前記樹脂保護層を形成する工程において、
前記柱状電極の上端面を残して覆うように樹脂保護層を形成する、請求項1に記載の弾性表面波装置の製造方法。 - 前記封止部材を形成する工程の後に、
前記各弾性表面波素子領域において前記パッド電極上に柱状電極を形成する工程と、
前記柱状電極の上端面を残して、前記各弾性表面波素子領域を覆うように保護カバーを形成する工程と、をさらに含む請求項1に記載の弾性表面波装置の製造方法。 - 圧電基板の上面に励振電極及びそれに接続された、前記励振電極と外部回路とを接続するためのパッド電極を有して成る弾性表面波素子領域を複数形成する工程と、
前記圧電基板の上面の前記励振電極が形成された励振電極領域を囲むようにして枠体を形成する工程と、
前記枠体の上面に蓋体を載置して前記枠体と接合することにより、前記各励振電極領域を覆うとともに前記枠体の内側を密閉空間とする封止部材を形成する工程と、
前記各弾性表面波素子領域において前記パッド電極上に柱状電極を形成する工程と、
前記柱状電極の上端面を残して、前記各弾性表面波素子領域を覆うように保護カバーを形成する工程と、
前記保護カバーを樹脂シート上に接着する工程と、
前記樹脂シートを残して前記圧電基板と前記保護カバーとを前記各弾性表面波素子領域ごとに分断する工程と、
分断によって形成された間隙及び前記圧電基板を覆うように樹脂保護層を形成する工程と、
前記樹脂保護層を前記間隙の部位で分断することによって、下面及び側面が前記樹脂保護層で覆われるとともに上面が前記保護カバーで覆われた弾性表面波装置を複数個製造する工程と、を具備する弾性表面波装置の製造方法。
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