JP2008243980A - 非製品ウェハの在庫管理システム、在庫管理方法及びプログラム - Google Patents

Abstract

【課題】半導体装置の生産ラインにおける再生ウェハの利用率を高め、新品購入数量を低減する。
【解決手段】ホストコンピュータ２０は、保管棚１１を用いて、非製品ウェハをウェハ厚により、新品、Ａ〜Ｃの区分に分けて管理する。払出端末３０から非製品ウェハの在庫照会や払出要求を受けた場合、ホストコンピュータ２０は、使用工程や使用用途に適合する在庫中から、最も薄いウェハ厚区分に属するウェハの在庫を優先して払い出すよう在庫回答、払出し管理を行う。
【選択図】図１

Description

本発明は、半導体装置の生産ラインで用いられる非製品ウェハの在庫管理システム、在庫管理方法及びプログラムに関する。

半導体装置の生産ラインでは、製品ウェハ以外に、製品ウェハの品質保証や、拡散炉、スパッタ装置等各種プロセス装置の管理を目的として、非製品ウェハ（Ｎｏｎ Ｐｒｏｄｕｃｔ Ｗａｆｅｒ；以下、「ＮＰＷ」と略記する。）が用いられている。例えば、特開２００１−１７６７６３号公報に、半導体装置の生産ラインにおけるこのＮＰＷの自動化処理方法が開示されている。

上記特開２００１−１７６７６３号公報にも記されているとおり、ＮＰＷには、用途に応じて各種あり、主に、ダミーウェハ、モニターウェハに区分される。ここでいうダミーウェハとは、多くは製品ウェハと同じ材質で作られ同じ形状であり、製造装置の機械的チェックに用いられたり、種々の目的で特定の製造装置での処理を行うために用いられるウェハである。ダミーウェハには、ランニングダミー、プロセスダミー、クリーニングダミー、エキストラダミー等が存在する。ランニングダミーは、装置のメンテナンス後などの装置立ち上げ時に装置の安定化を図るために用いる。プロセスダミーは、製品ウェハを処理する直前に処理し、プロセス条件の安定化を図るために用いる。プロセスダミーは装置内に常設されており、装置が必要（条件の変化、処理間隔等）に応じて製品ウェハ処理前に使用する。クリーニングダミーは、装置内のクリーニングのためにある頻度で用いられる。エキストラダミーは、バッチ装置での処理枚数が標準より少ない場合に、処理結果を標準枚数の場合と同じにする目的のための補充用ウェハとして用いられる。

モニターウェハは、プロセスチェックのために、製品と同じキャリア内に収納され、製品と同時に処理される。また、装置内の搬送や処理動作によってウェハに付着するパーティル数をカウントし、装置内の清浄度をモニターするモニターウェハも用いられる。

上記のように、半導体装置の生産ラインでは、多くの種類のＮＰＷを使用しており、使用枚数や使い方によっては生産ラインのコストに大きな影響を与える。そのため、一度使用したウェハ（ＮＰＷを含む。）をエッチング、洗浄、研削、研磨により再生してＮＰＷとして再利用するといったことが行われている。例えば、特開２００３−２２９４５号公報では、ダミーウェハやモニタウェハが不足しないよう、拡散処理を行った後のダミーウェハやモニタウェハを検知し、所定の廃棄規準の範囲内で確実に再生処理を行うよう管理することが記載されている。

また、特開２００５−１５０２５９号公報では、基板処理装置における検査に用いられた回数又は時間でダミーウェハの寿命を判断し、最も寿命の短いカセット（グループ）のなかの最も寿命の長いダミーウェハを次の検査に用いることが記載されている。
特開２００１−１７６７６３号公報 特開２００３−２２９４５号公報 特開２００５−１５０２５９号公報

特許文献２にも記載されているとおり、ＮＰＷの再生可能回数にも限度があるところ、再生処理における研削・研磨によりＮＰＷのウェハ厚は薄くなっていくため、撓みや装置内割れを避ける観点から、使用する装置や条件に応じて使用可能な条件を設定することが必要になる。例えば８インチウェハでは、図７に示すような条件で使用することが望ましい。

上記のように用途が限られた再生ＮＰＷは敬遠され、使用の制限が殆どない新品ウェハが保管棚から次々と払いだされる傾向にある。そうなると、新品ウェハを次々と購入することになるが、そのための費用が莫大になるという問題点がある。

そこで、保管棚に保管してある新品ウェハや再生ウェハをどのように払い出していくがか問題となってくるが、上記各特許文献に記載の技術のいずれにも、上記に対する解決策が記載されていない。

本発明の第１の視点によれば、払出端末からの在庫照会に応じて非製品ウェハの在庫を確認し、払出要求を受け付け払出処理を行う非製品ウェハの管理システムであって、前記非製品ウェハをウェハ厚により区分して管理する在庫管理部と、前記払出端末から非製品ウェハの在庫照会を受けた条件（使用工程、使用目的、あるいはこれらにより導出された品名等）に適合する在庫中から、最も薄いウェハ厚区分に属するウェハの在庫を優先して払い出すよう回答する在庫照会処理部と、を備えたこと、を特徴とする非製品ウェハの管理システムが提供される。

本発明の第２の視点によれば、コンピュータシステムを用いた非製品ウェハの管理方法であって、前記コンピュータシステムが、入出庫される非製品ウェハをウェハ厚により区分して管理し、前記コンピュータシステムが、払出端末から非製品ウェハの在庫照会を受け付け、前記払出端末から非製品ウェハの在庫照会を受けた条件に適合する在庫中から、最も薄いウェハ厚区分に属するウェハの在庫を優先して払い出すよう回答すること、を特徴とする非製品ウェハの管理方法が提供される。

本発明の第３の視点によれば、非製品ウェハの在庫管理システムを構成するホストコンピュータに実行させるプログラムであって、入出庫される非製品ウェハをウェハ厚により区分して管理する処理と、前記払出端末から非製品ウェハの在庫照会を受けた条件に適合する在庫中から、最も薄いウェハ厚区分に属するウェハの在庫を優先して払い出すよう回答する処理とを、前記非製品ウェハの在庫管理システムのホストコンピュータに実行させるプログラムが提供される。

本発明によれば、非製品ウェハの用途に耐えうる範囲で再生ウェハの利用率を高くし、新品のウェハの購入数量を低減でき、ひいては、製造コストを低減することが可能となる。その理由は、指定された用途に使用可能な非製品ウェハのうち、最も薄いウェハ厚のものから払出を行うよう構成したことにある。

続いて、本発明を実施するための最良の形態について図面を参照して詳細に説明する。図１は、本発明の一実施形態に係るＮＰＷの管理システムの構成を表した図である。図１を参照すると、工場内ＬＡＮによって接続された非製品ウェハを保管するための保管棚１１と、保管棚１１からのＮＰＷの入出庫を管理する棚管理端末１０と、払出端末３０からの在庫照会、払出要求に応じるホストコンピュータ２０と、ＮＰＷの在庫数量を管理する在庫データベース（在庫ＤＢ）２１と、払出端末３０と、が示されている。

保管棚１１は、ＮＰＷの厚さや新品といった複数のグレード（区分）に応じたキャリアが用意され、ウェハを収納・分類できるようになっている。棚管理端末１０は、これら複数のグレード毎のＮＰＷの在庫枚数をホストコンピュータ２０を介して在庫ＤＢ２１に登録する。なお、以下、本実施形態では、図７に示すとおりＮＰＷには、ウェハ厚によりＡ、Ｂ、Ｃの３つのグレードがあり、新品ウェハとともに、それぞれ在庫枚数を管理し、払い出していくものとして説明する。

ホストコンピュータ２０は、在庫ＤＢ２１と連携して非製品ウェハの在庫を管理する在庫管理部と、払出端末３０から非製品ウェハの在庫照会を受け付け回答する在庫照会処理部と、を備えて構成される。また、在庫照会処理部は、後記するように、払出し端末３０のオペレータが入力したＮＰＷの使用工程、使用目的に応じて、適切なＮＰＷの品名（型番）を検索する機能が備えられている。ここで、ＮＰＷの品名は使用される装置と目的に応じて設定されている。

また、ホストコンピュータ２０は、上記ＮＰＷの品名（型番）から、使用可能なＮＰＷのグレードを求めるための品名マスターを保持している。図２は、ホストコンピュータ２０に保持された品名マスターの一例である。図２の品名マスターでは、使用可能なグレードが○、使用制限により使用が禁止されているグレードが×で示されている。ホストコンピュータ２０は、この品名マスターを参照して、任意の品名に対して、如何なるグレードのウェハを使用できるか（如何なるグレードのウェハから作成できるか）を判定する。図２によると、例えば、品名「ＮＰＷＡＡＡＤＵＭ」は、新品ウェハしか使用できないと判定され、同様に、品名「ＮＰＷＹＹＹＭＯＮ」は、新品からＡ、Ｂ、ＣすべてのグレードのＮＰＷでも使用できると判定される。

ここで、本実施形態に係るウェハ管理システムにおけるウェハのライフサイクルについて図３を参照して説明する。まず、図３のステップＳ００１の保管棚１１から新品ウェハを払出した時点から説明する。

払出された新品ウェハは、当該目的用のＮＰＷとして使用可能なように、使用目的（品名）に応じた処理が行われて作成される（ステップＳ１００）。例えば、パーティクル測定を行うためのＮＰＷ品名が指定された場合には、洗浄してパーティクルの初期値を測定する処理が行われ、また例えば、金属膜の成膜後の抵抗値モニターに使用するためのＮＰＷ品名が指定された場合には、酸化膜を成膜する処理が行われる。

その後、所望の工程・装置・目的で使用され（ステップＳ１０１）、ＮＰＷとしての使用が終わると、１回終わる毎に、当該ＮＰＷのエッチング再生回数が、所定の閾値（Ｅ再生限度）以内であるか否かの判定が行われる（ステップＳ１０２）。ここで、エッチング再生回数限度以内である場合には、エッチング、洗浄による再生処理が行われる（ステップＳ１０３）。エッチング、洗浄により再生処理されたＮＰＷは、通常は、ステップＳ１０１と同じ工程・装置・目的でＮＰＷとして再び使用される（ステップＳ１０４へ）。ここでは、新品ウェハを払い出しているので、エッチングや洗浄を複数回経ていても、ウェハの厚さは通常Ａグレードに収まるため、Ａグレードとして使用され続ける。ＮＰＷの使用の際にはＮＰＷの品名により所望の装置で使用可能であるか否かが区別される。ここで、所望の装置で使用可能であるか否かは、ある品名に対して使用可能な装置を定めたデータベースをホストコンピュータ２０若しくは当該使用装置のいずれか一方又は双方に設けておくことにより正しく判別することができる。このように、ＮＰＷの品名は、使用させる装置と目的に応じて予め設定されているため、対象装置で使用に適さないグレードのウェハを使用することを避けることが可能となっている。

一方、ステップＳ１０２にて、エッチング再生回数が所定の閾値（Ｅ再生限度）を超えていると判定された場合は、次に、研削・研磨再生回数が、所定の閾値（Ｋ再生限度）以内であるか否かの判定が行われる（ステップＳ１０５）。ここで、研削・研磨再生回数が所定の閾値（Ｋ再生限度）以内である場合には、研削・研磨で再生が行われるとともに、ウェハの厚さの測定が行われる（ステップＳ１０６）。測定されたウェハの厚さにより、Ａ、Ｂ、Ｃのグレードの区分識別が付与された後（ステップＳ１０７）、保管棚１１に保管され、在庫管理される。

なお、この研削・研磨による再生処理を繰り返すことにより、ウェハの厚さが薄くなっていくので、ＮＰＷのグレードは、使用を経るに従って、Ａ、Ｂ、Ｃの順で下位に下がっていく。最終的に、研削・研磨再生回数が所定の閾値（Ｋ再生限度）を超えると、ＮＰＷとして使用するにはウェハが薄く（Ｃグレードより薄い）、割れてしまう可能性が大きいため、廃棄指示される（ステップＳ１０８）。

以上により、新品ウェハからＮＰＷとして使用され始めたウェハは、エッチング、洗浄による再生、研削・研磨による再生を経ることによって、ＡグレードのＮＰＷ、ＢグレードのＮＰＷ、ＣグレードのＮＰＷとして、保管棚１１に保管され、再利用される。

上記のようにして、新品として払出された新品ウェハは、少なくとも１回の研削・研磨を経ると、Ａ、Ｂ、Ｃ各グレードのＮＰＷとして保管棚１１に保管され、棚管理端末１１により、その数量が在庫ＤＢ２１に登録される。

保管棚１１から必要な枚数のＮＰＷを払出す場合、ホストコンピュータ２０は、品名マスターを参照して、払出要求を受けた品名のＮＰＷを、最下位のグレードであるＣグレードのＮＰＷから作成可能であるか否かを判断する（ステップＳ００２）。なお、使用工程や使用目的による品名検索機能については、後に説明する。

またここで例えば、図２の品名マスターの品名「ＮＰＷＸＸＹＰＲＯ」の払出し要求が行われた場合、ＣグレードのＮＰＷからは作成不可能であると判断できるので、次のＣグレードのＮＰＷの在庫有無の確認（ステップＳ００３）は省略される。

一方、ＣグレードのＮＰＷから要求を受けた品名のＮＰＷを作成可能である場合、次に、ホストコンピュータ２０は、ＣグレードのＮＰＷの在庫があるか否かを確認する（ステップＳ００３）。ＣグレードのＮＰＷの在庫がある場合は、ホストコンピュータ２０は、在庫数量を表示し、払出すＮＰＷと、払出数量等を受け付ける（ステップＳ００４）。

ステップＳ００４で、ホストコンピュータ２０は、ＣグレードのＮＰＷの払出し要求のみを受け付けるものとし、Ｃグレードよりも上位のグレードのＮＰＷ（Ｂグレード、Ａグレード、新品）の払出し要求が行われた場合、払出不可との警告メッセージを表示する（ステップＳ００５）。

ステップＳ００４でＣグレードのＮＰＷの払出要求を受け付けると（ステップＳ００６）、先に説明したように、使用目的（品名）に応じたＮＰＷの作成が行われ（ステップＳ１００）、当該グレードのＮＰＷとして使用される（ステップＳ１０４）。その後は、ステップＳ１０５で研削・研磨による再生不可と判定されるまで、エッチング、洗浄による再生や、研削・研磨による再生・再利用が適宜行われる。

一方、ステップＳ００２にて、払出し要求を受けた品名に対し、ＣグレードのＮＰＷからでは作成不可能であると判定した場合は、ホストコンピュータ２０は、次に上位のグレードであるＢグレードのＮＰＷから払出し要求を受けた品名のＮＰＷを作成可能であるか否かを判断する（ステップＳ００７）。

ここで、ＢグレードのＮＰＷから要求を受けた品名のＮＰＷを作成可能である場合、次に、ホストコンピュータ２０は、ＢグレードのＮＰＷの在庫があるか否かを確認する（ステップＳ００８）。ＢグレードのＮＰＷの在庫がある場合は、ホストコンピュータ２０は、在庫数量を表示し、払出すＮＰＷと、払出数量等を受け付ける（ステップＳ００９）。

ステップＳ００９で、ホストコンピュータ２０は、ＢグレードのＮＰＷの払出し要求のみを受け付けるものとし、Ｂグレードよりも上位のグレードのＮＰＷ（Ａグレード、新品）の払出し要求が行われた場合、払出不可との警告メッセージを表示する（ステップＳ０１０）。

ステップＳ００９でＢグレードのＮＰＷの払出要求を受けつけると（ステップＳ０１１）、先に説明したように、使用目的（品名）に応じたＮＰＷの作成が行われ（ステップＳ１００）、当該グレードのＮＰＷとして使用される（ステップＳ１０４）。その後は、ステップＳ１０５で研削・研磨による再生不可と判定されるまで、エッチング、洗浄による再生や、研削・研磨による再生が適宜行われ、当該ＮＰＷは、Ｂグレード、Ｃグレードと遷移していく。

一方、ステップＳ００７にて、払出し要求を受けた品名に対し、ＢグレードのＮＰＷからでは作成不可能であると判定した場合は、ホストコンピュータ２０は、次に上位のグレードであるＡグレードのＮＰＷから、払出し要求を受けた品名のＮＰＷを作成可能であるか否かを判断する（ステップＳ０１２）。

ここで、ＡグレードのＮＰＷから要求を受けた品名のＮＰＷを作成可能である場合、次に、ホストコンピュータ２０は、ＡグレードのＮＰＷの在庫があるか否かを確認する（ステップＳ０１３）。ＡグレードのＮＰＷの在庫がある場合は、ホストコンピュータ２０は、在庫数量を表示し、払出すＮＰＷと、払出数量等を受け付ける（ステップＳ０１４）。

ステップＳ０１４で、ホストコンピュータ２０は、ＡグレードのＮＰＷの払出し要求のみを受け付けるものとし、Ａグレードよりも上位のグレードのＮＰＷ（新品）の払出し要求が行われた場合、払出不可との警告メッセージを表示する（ステップＳ０１５）。

ステップＳ０１４でＡグレードのＮＰＷの払出要求を受けつけると（ステップＳ０１６）、先に説明したように、使用目的（品名）に応じたＮＰＷの作成が行われ（ステップＳ１００）、当該グレードのＮＰＷとして使用される（ステップＳ１０４）。その後は、ステップＳ１０５で研削・研磨による再生不可と判定されるまで、エッチング、洗浄による再生や、研削・研磨による再生が適宜行われ、当該ＮＰＷは、Ａグレード、Ｂグレード、Ｃグレードと遷移していく。

一方、ステップＳ０１２にて、払出し要求を受けた品名に対し、ＡグレードのＮＰＷからでも作成不可能であると判定した場合、ホストコンピュータ２０は、新品のＮＰＷの在庫があるか否かを確認する（ステップＳ０１７）。新品のＮＰＷの在庫がある場合は、新品のＮＰＷを、入力された数量分を払出す処理を実行する。一方、ステップＳ０１７で新品のＮＰＷの在庫もないと判明した場合には、ホストコンピュータ２０は、在庫不足の警告メッセージを出力する（ステップＳ０１８）。

続いて、上記ステップＳ００２〜Ｓ０１８における払出端末３０とホストコンピュータ２０間の在庫照会と、払出が行われるまでの対話的処理について、図４のフローチャート及び図５の在庫管理画面を参照して詳細に説明する。

払出端末３０のオペレータがホストコンピュータ２０にアクセスすると、払出端末３０の表示装置上に、図５に例示するＮＰＷ在庫管理画面（図５の（ａ））が表示される。

ここで、払出端末３０のオペレータが、検索条件入力欄に、使用工程、使用目的、使用枚数を入力し（ステップＳ２０１）、検索ボタンをクリックすると（ステップＳ２０２）、入力された条件に対応するＮＰＷの品名が確定し（ステップＳ２０３）、当該品名のＮＰＷを作成できるＮＰＷと、在庫数の確認が開始される。なお、使用工程と使用目的の欄は、複数の選択肢を選択することによって入力が完了する方式を採用する方法が便利である。

まず、ＣグレードのＮＰＷを使用可能な場合において（ステップＳ２０４のＮｏ）、ＣグレードのＮＰＷの在庫が必要数あれば（ステップＳ２０６のＹｅｓ）、払出可能在庫表示が行われるが（ステップＳ２１６；図５の（ｂ）参照）、ＣグレードのＮＰＷの在庫が必要数未満である場合は、ＢグレードのＮＰＷの在庫の確認が行われる（ステップＳ２０８）。

さらに、ＢグレードのＮＰＷの在庫が、必要数に満たない場合は、ＡグレードのＮＰＷの在庫の確認が行われる（ステップＳ２１１）。

このようにして、使用数（払出要求数量）の２０に対し、ＣグレードのＮＰＷの在庫が、例えば１０枚しかない場合は、一つ上位のＢグレードのＮＰＷ在庫が同時に表示される（ステップＳ２１６；図６参照）。同様に、使用数（払出要求数量）の３０に対し、Ｃグレード、ＢグレードのＮＰＷの在庫が、各１０枚しかない場合には、更に上位のＡグレードのＮＰＷ在庫が同時に表示される（ステップＳ２１６）。

このようにして、確定した品名のＮＰＷを作成可能なグレードのＮＰＷであるという条件の下、下位のグレードのＮＰＷの在庫が優先して払出されるよう回答していくが（ステップＳ２０４〜Ｓ２１４）、上位のグレードのＮＰＷや新品ウェハの在庫をもってしても、使用数（払出要求数量）を賄うことができない場合には、在庫不足表示が行われる（ステップＳ２１５）。

オペレータは、図５の（ｂ）や図６に例示する払出可能在庫表示を参照して、次の払出ＮＰＷ入力画面（図５の（ｃ））にて、実際に払出すＮＰＷのグレード、品名、払出枚数を入力し（ステップＳ２１７）、払出ボタンをクリックする（ステップＳ２１８）。

払出要求を受けたホストコンピュータ２０は、払出要求を受けたグレードのＮＰＷより下位のＮＰＷの在庫があるか否かを確認し（ステップＳ２１９）、下位のグレードのＮＰＷの在庫があれば、エラー表示を出力する（ステップＳ２２０）。例えば、図６のような払出可能在庫表示が行われた場合において、先に、ＢグレードのＮＰＷを２０枚払出要求したような場合は、エラー表示が行われる。

これにより、オペレータは、入力したグレードのＮＰＷより下位のグレードのＮＰＷを先に払出しすべきであることを知ることとなる。例えば、図６のような払出可能在庫表示が行われた場合において、ＣグレードのＮＰＷの払出要求を先にすることにより、不足分をＢグレードのＮＰＷから払出すことが可能となる。

一方、払出要求を受けたグレードのＮＰＷより下位のＮＰＷの在庫がない場合（払出要求を受けたグレードが使用可能な最下位のグレードである場合）は、入力された枚数にて在庫引き当てが行われる（ステップＳ２２１）。

以上のように、在庫照会の段階でまず、使用工程や使用目的に応じたＮＰＷを作成できるという条件の下、ウェハ厚が薄いＮＰＷから先に払出すよう管理する（上位のグレードは在庫があっても回答しない）とするとともに、払出し時にも、同様の管理を行うこととしたため、再生ウェハの利用率を高くし、新品のウェハの購入数量を低減でき、ひいては、製造コストを低減することが可能となる。

以上、本発明の好適な実施形態を説明したが、異なるウェハ厚の在庫がある場合、同一用途のＮＰＷ要求に対して、ウェハ厚が薄いＮＰＷから先に払出し、ウェハ厚の厚いＮＰＷを温存するという本発明の要旨を逸脱しない範囲で各種の変形を行うことが可能である。例えば、図７に示したグレードと使用制限があるものとして説明したが、ウェハサイズや、装置・工程等から生ずる使用制限に応じて、ウェハ厚と、グレードと、使用制限との対応関係を定めることができる。

また、上記実施形態では、図２の品名マスターを用いて簡単に説明したが、冒頭に述べたとおり、実際の半導体装置の生産ラインによっては、はるかに多くの種類のＮＰＷが使用される。この場合も、同様の考え方で、本システムが導入される半導体装置の生産ラインで使用されるＮＰＷにそれぞれ、使用可能なＮＰＷのグレードを対応付けることにより本発明を実現することができる。

本発明の一実施形態に係るＮＰＷの管理システムの構成を表した図である。 本発明の一実施形態に係るＮＰＷの管理システムのホストコンピュータに保持される品名マスターの例である。 本発明の一実施形態に係るＮＰＷの管理システムによるウェハの全体的な管理の流れを表したフローチャートである。 本発明の一実施形態に係るＮＰＷの管理システムにおける在庫管理処理の流れを表したフローチャートである。 本発明の一実施形態に係るＮＰＷの管理システムの払出端末に表示されるＮＰＷ在庫管理画面の例である。 複数のグレードのＮＰＷの在庫が回答される場合のＮＰＷ在庫管理画面の例である。 直径が８インチサイズのウェハを用いる半導体装置の生産ラインにおける、ＮＰＷのウェハ厚等による使用制限の例である。

符号の説明

１０ 棚管理端末
１１ 非製品ウェハ（ＮＰＷ）の保管棚
２０ ホストコンピュータ
２１ 在庫データベース（在庫ＤＢ）
３０ 払出端末

Claims (6)

1. 払出端末からの在庫照会に応じて非製品ウェハの在庫を確認し、払出要求を受け付け払出処理を行う非製品ウェハの管理システムであって、
   前記非製品ウェハをウェハ厚により区分して管理する在庫管理部と、
   前記払出端末から非製品ウェハの在庫照会を受けた条件に適合する在庫中から、最も薄いウェハ厚区分に属するウェハの在庫を優先して払い出すよう回答する在庫照会処理部と、を備えたこと、
   を特徴とする非製品ウェハの管理システム。
2. 前記在庫管理部は、所定回数再生されて、最も薄いウェハ厚区分に属さなくなった非製品ウェハを廃棄指示すること、
   を特徴とする請求項１に記載の非製品ウェハの管理システム。
3. 前記在庫照会処理部は、前記在庫照会を受けた条件に適合する在庫中で最もウェハ厚の薄い区分に属するウェハの在庫枚数が、前記在庫照会されたウェハ枚数以上である場合は、該区分に属するウェハの在庫のみを回答すること、
   を特徴とする請求項１又は２に記載の非製品ウェハの管理システム。
4. 前記在庫照会処理部は、前記在庫照会を受けた条件に適合する在庫中で最もウェハ厚の薄い区分に属するウェハの在庫枚数が、前記在庫照会されたウェハ枚数未満である場合は、該区分に属するウェハの在庫枚数と、該区分より上位の区分に属するウェハの在庫枚数とをそれぞれ回答し、
   前記払出し端末からの払出し要求に際して、下位の区分に属するウェハの払出しにより在庫がなくなってから、前記上位の区分に属するウェハの払出要求を受け付けること、
   を特徴とする請求項１乃至３いずれか一に記載の非製品ウェハの管理システム。
5. コンピュータシステムを用いた非製品ウェハの管理方法であって、
   前記コンピュータシステムが、入出庫される非製品ウェハをウェハ厚により区分して管理し、
   前記コンピュータシステムが、
   払出端末から非製品ウェハの在庫照会を受け付け、
   前記払出端末から非製品ウェハの在庫照会を受けた条件に適合する在庫中から、最も薄いウェハ厚区分に属するウェハの在庫を優先して払い出すよう回答すること、
   を特徴とする非製品ウェハの管理方法。
6. 非製品ウェハの在庫管理システムを構成するホストコンピュータに実行させるプログラムであって、
   入出庫される非製品ウェハをウェハ厚により区分して管理する処理と、
   前記払出端末から非製品ウェハの在庫照会を受けた条件に適合する在庫中から、最も薄いウェハ厚区分に属するウェハの在庫を優先して払い出すよう回答する処理とを、
   前記非製品ウェハの在庫管理システムのホストコンピュータに実行させるプログラム。

Images