JP2008243267A - 磁気再生ヘッド及び磁気ヘッド - Google Patents
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Abstract
【課題】高記録密度化に対応するために、高分解能で、読み滲み幅が少なく、磁気揺らぎノイズが少ない磁気再生ヘッドが求められている。
【解決手段】上下磁気シールド層1,2と磁気抵抗効果膜10の間に、媒体対向面付近にのみ電極3,4を配置し、感知電流を磁気抵抗効果膜10の媒体対向面近傍に局在して通電させることによって、実効的な磁気的スペーシングを小さくし、高分解能で読み滲みが小さい磁気再生ヘッドを実現することができる。さらに、素子高さ後部において磁気抵抗効果膜10の体積を大きくすることで、磁気揺らぎノイズを抑制し、高SN比を示す磁気再生ヘッドを実現することができる。
【選択図】図1
【解決手段】上下磁気シールド層1,2と磁気抵抗効果膜10の間に、媒体対向面付近にのみ電極3,4を配置し、感知電流を磁気抵抗効果膜10の媒体対向面近傍に局在して通電させることによって、実効的な磁気的スペーシングを小さくし、高分解能で読み滲みが小さい磁気再生ヘッドを実現することができる。さらに、素子高さ後部において磁気抵抗効果膜10の体積を大きくすることで、磁気揺らぎノイズを抑制し、高SN比を示す磁気再生ヘッドを実現することができる。
【選択図】図1
Description
本発明は磁気記録再生装置に用いられる磁気ヘッドに係り、特に、高分解能特性を有する磁気再生ヘッドに関する。
一般に磁気再生素子は、一対の上下磁気シールド層と、その間に配置された磁気抵抗効果膜と、磁気抵抗効果膜に電気的に接続される一対の電極から構成される。面記録密度が1平方インチあたり200ギガビットを超える磁気記録再生装置の場合には、磁気抵抗効果膜としてトンネル磁気抵抗効果膜(TMR膜)もしくは垂直通電型巨大磁気抵抗効果膜(CPP-GMR)といった高感度再生素子が利用される。これらの磁気抵抗効果膜は、強磁性自由層、中間層および強磁性固定層を有し、強磁性自由層の磁化は、情報が記録されている媒体からの漏洩磁場の変化に応じて回転する。一方、強磁性固定層の磁気モーメントの方向は、概ね固定されている。これらの磁気抵抗効果膜に感知電流を通電すると、強磁性自由層と強磁性固定層の磁化間の為す角度に依存して素子の電圧が変化し、これを再生信号として検出する。CPP-GMR膜では中間層は導体であるが、TMR膜では、酸化物などが用いられている。
磁気再生ヘッドは、強磁性自由層を単一磁区構造にするために、磁区制御層を有する構造となっている。これは、強磁性自由層の磁区が記録素子や上下磁気シールド等から磁気的に影響を受けても、単一磁区構造を維持し、記録再生装置の誤動作を防止するためである。磁区制御構造として、磁気抵抗効果膜のトラック幅方向両端部に一対の永久磁石を配置する構造が一般的に用いられている(特許文献1)。この構造では、永久磁石が発生させる磁場によって、強磁性自由層の磁区を単一磁区構造に保っている。またTMR膜やCPP-GMR膜の場合には、磁区制御層を強磁性自由層に積層する構造が提案されている。この磁区制御層として、永久磁石を用いるものや(特許文献2)、反強磁性膜と強磁性膜との積層膜を用いるもの(特許文献3)が知られている。
磁気記録再生装置の高密度化のためには、記録ビットの狭小化が必要となり、これに対応するため、(1)磁気再生ヘッドの上下磁気シールドの間隔と、再生トラック幅を狭くする必要がある。また、(2)磁気抵抗効果膜と記録媒体表面との距離である磁気的スペーシングを小さくする必要がある。何故なら、磁気的スペーシングが大きいと、各記録ビットからの媒体磁場が重ね合わされ、記録情報の正確な再生が困難になるからである。(1)に関しては,電極間隔や磁気抵抗効果膜のトラック幅方向の幅を狭く形成することで対応してきた。一方、(2)に関しては、磁気ヘッドの浮上量の低減や、記録媒体の保護膜の薄膜化等で対応してきた。一般には(1)と(2)を同時に実現することが重要である。即ち、上下磁気シールド間隔と再生トラック幅の狭小化が進んだとしても、磁気スペーシングが小さくならないと、分解能向上や読み滲み抑制に大きな効果が期待できないということである。そして、その逆も同様である。
特許文献4には、CPP構造を採用する磁気センサにおいて、加工が容易であり、所望出力に対応するようにほぼ正確に微小なCPP構造を実現するために、下端子層、磁気感知膜はほぼ同一のサイズにパターン形成し、上端子層は磁気感知膜との対向面を小さく形成する発明が開示されている。この磁気センサによれば、磁気感知膜を電流が通過する部位、即ちCPP部分のサイズは、上端子層の小さな対向面のサイズにより規定される。しかしながら、下端子層と磁気感知膜のサイズは、トラック幅よりも大きいので、隣接トラックからの信号磁場や、記録素子からの記録磁界の影響を受けやすく、磁気感知膜の特性が変化するので、記録密度を高めるためには改良が必要な構成である。
前述のとおり、磁気記録再生装置の記録密度を向上すべく、これまでは磁気ヘッドの素子サイズを微細に形成してきた。一般に素子サイズが小さくなる程、再生出力が低下し、信号ノイズ比(SN比)は劣化していく。そこで、素子サイズが微小になっても、十分なSN比を確保すべく、磁気抵抗効果膜の感度を向上させてきた。そのような磁気抵抗効果膜として、TMR膜やCPP-GMR膜が現在期待されている。一方、磁気ヘッドの磁気的スペーシングも、記録密度の増加と共に狭くなってきている。ここで、磁気ヘッドの再生時の分解能を向上させ、読み滲みを改善するには、素子サイズの微小化と浮上量低下を同時に行うことが必須である。しかし近年、ヘッドの素子サイズの微小化は進んでいるが、磁気的スペーシングの狭小化はそれほど進んでいない。この場合、分解能や読み滲みは、素子サイズを微小化しても大きく改善はしない。分解能が十分でないと、各記録ビットからの媒体磁場が重ねあわされノイズが増加する。また、読み滲みが大きいと、隣接トラックからの信号磁場を読んでしまい、これもノイズ増加に繋がる。従って、分解能が十分でなく読み滲みが大きいヘッドでは、ノイズが著しく増加し、SN比が大幅に低下する。
更に、素子の微小化が進むと、磁化揺らぎノイズが顕在化することが指摘されている。磁化揺らぎノイズは、主に自由層磁化の熱揺らぎによって生じるノイズである。一般に磁性体の体積が減少すると、磁化の熱的な揺らぎが大きくなる。従って、素子が微小になると、自由層の体積が減少し、自由層磁化の熱揺らぎが大きくなる。このような場合、自由層磁化と固定層磁化の間の相対角度が大きく揺らぎ、その結果、ノイズが増加する。さらに、磁気抵抗効果膜の感度を高くし、出力を大きくしても、原理上、磁化揺らぎノイズは出力に比例して増加するという特徴を持つ。これは、単に出力を向上させても、磁化揺らぎノイズ自身を抑制しない限り、SN比は向上しないことを意味する。この磁化揺らぎを抑制するには、自由層の磁化量を大きくするか、自由層に印加されている磁区制御磁場を大きくする必要がある。現状のヘッド構造では、前者による改善は困難である。後者に関しては、磁区制御磁場を必要以上に大きくすると、自由層磁化の回転が抑えられ、再生出力が低下し、SN比は向上しない。従って、この磁化揺らぎノイズを有効に抑制し、SN比を向上させるのは極めて困難である。
このように,記録密度向上に伴いノイズの大幅な増加が予想され、TMR膜やCPP-GMR膜といった高感度磁気抵抗効果膜を用いたとしても、十分なSN比を確保するのは困難である。仮にこのような低SN比のヘッドを磁気記録再生装置に組み込んだ場合、装置が正常に動作しないことは明らかである。
本発明の目的は、読み滲みが少なく、高分解能であり、且つ磁化揺らぎノイズが十分抑制された磁気再生ヘッドを提供することである。
上記目的を達成するために、本発明の代表的な磁気再生ヘッドは、上部および下部磁気シールド層と、その間に形成された素子高さ方向の後部において体積が大きくなる磁気抵抗効果膜と、媒体対向面近傍において上下磁気シールド層および磁気抵抗効果膜に電気的に接合された上部及び下部電極を備える。
前記上部及び下部電極と磁気抵抗効果膜が接合された部分では、磁気抵抗効果膜のトラック幅方向の長さが一定である。
前記上部及び下部電極と磁気抵抗効果膜が接合された部分では、磁気抵抗効果膜のトラック幅方向の長さが再生トラック幅に相当していることが望ましい。
前記上部及び下部電極の素子高さ方向の厚さが、媒体対向面における前記上部及び下部電極間の距離よりも小さいことが望ましい。
前記上部及び下部電極と磁気抵抗効果膜が接合された部分では、磁気抵抗効果膜のトラック幅方向の長さが一定である。
前記上部及び下部電極と磁気抵抗効果膜が接合された部分では、磁気抵抗効果膜のトラック幅方向の長さが再生トラック幅に相当していることが望ましい。
前記上部及び下部電極の素子高さ方向の厚さが、媒体対向面における前記上部及び下部電極間の距離よりも小さいことが望ましい。
本発明によれば、読み滲みが少なく、高分解能であり、且つ磁化揺らぎノイズが十分抑制された磁気再生ヘッドを提供することができる。この磁気再生ヘッドを搭載することにより、面記録密度が1平方センチあたり300ギガビットを上回る磁気ディスク装置を実現することができる。
図1に、本発明の実施例1による磁気再生ヘッドの、磁気抵抗効果膜のトラック幅方向中心での断面から見た概念図を示す。図2に、上部磁気シールド側から見た断面図を拡大して示す。磁気抵抗効果膜10は、一対の下部磁気シールド層1及び上部磁気シールド層2の間に配置されている。磁気抵抗効果膜10と下部磁気シールド層1及び上部磁気シールド層2の間に、媒体対向面近傍にのみ、下部電極3及び上部電極4が配置され、電極の素子高さ後部には、下部絶縁層5と上部絶縁層6が配置されている。下部電極3及び上部電極4は、磁気抵抗効果膜10と下部磁気シールド層1及び上部磁気シールド層2に電気的に接合されている。磁気抵抗効果膜10として、垂直電流印加型のTMR膜もしくはCPP-GMR膜などを採用することができるが、本実施例ではTMR膜を採用した。磁区制御層41として永久磁石が、TMR膜10のトラック幅方向両端に配置されている。さらに、電極の素子高さ方向の厚さtsが、上下電極間距離Gsよりも小さく設定されている。半分以下に設定されるのが望ましい。このように構成することで、感知電流iを媒体対向面近傍に集中させることができ、媒体信号磁場の殆どが、媒体対向面近傍で感知されることになる。これに対し、従来構造の再生ヘッドでは、磁気抵抗効果膜の素子高さ後部でも媒体信号磁場を感知してしまう。換言すれば、本実施例の磁気再生ヘッドは、従来ヘッドに比べて、実効的な磁気スペ−シングが小さくできることを意味する。この電流集中効果によって、分解能を向上させ、且つ読み滲みを抑制する。
図2からわかるように、TMR膜10は、媒体対向面(ABS)から見た面積は小さいが、素子高さ方向の後部においては、その面積は大きくなっている。すなわち、媒体対向面から素子高さ方向に所定の距離tFPだけ一定の幅(再生トラック幅に相当)であり、そこから後部(素子高さ方向)に向けてt3だけ幅が広がり、所定の幅に達した後は再び一定幅となる。体積比で、本実施例のTMR膜10の体積は従来構造の約150倍である。磁化揺らぎノイズは、自由層体積が大きいほど小さくなるので、本実施例の磁気再生ヘッドは、従来構造ヘッドに比べ磁化揺らぎノイズを大幅に抑えられることがわかる。なお、本実施例においては、再生感度は従来構造ヘッドに比べてやや低下するが、ノイズが大幅に低下するので、SN比は寧ろ向上する。
図1及び図2を参照して具体的な構成を製造工程順に説明する。図示しないセラミックス基板上にベースアルミナを介して、厚さ3μmのNiFeからなる下部磁気シールド層1を形成する。下部磁気シールド層1の上には、厚さ15nm,素子高さ方向長さtsが30nmのNiFeからなる下部電極3と、厚さ15nmのアルミナからなる下部絶縁層5を形成する。ここで下部電極3は媒体対向面近傍に形成し、下部絶縁層5は素子高さ方向後部に形成する。下部電極3と下部絶縁層5の上には、TMR膜10を形成する。TMR膜10の具体的な構成については後述する。TMR膜10の上には、厚さ15nm,素子高さ方向長さtsが30nmのNiFeからなる上部電極4と、厚さ15nmのアルミナからなる上部絶縁層6を形成する。ここで、上部電極4は媒体対向面近傍に形成し、上部絶縁層6は素子高さ方向後部に形成する。上部電極4と上部絶縁層6の上には、厚さ3μmのNiFeからなる上部磁気シールド層2を形成する。
図3は、本実施例による磁気再生ヘッドの媒体対向面を拡大して示す図である。TMR膜10は、基板側から下地層12,厚さ7nmのIrMnからなる反強磁性層13,厚さ2nmのNiFeからなる第一の強磁性固定層14,厚さ1nmのRuからなる非磁性分離層15,厚さ3nmのNiFeからなる第二の強磁性固定層16,厚さ0.8nmの非磁性絶縁材(アルミナ)からなる障壁層17,厚さ4nmのNiFeからなる強磁性自由層18,厚さ10nmのRuからなるキャップ層19から構成される。反強磁性層13は、場合によっては、省略することができる。TMR膜10のトラック幅方向の両端部には、絶縁層30を介して、厚さ40nm程度のCoCrPtからなる磁区制御用永久磁石41が設けられる。なお、実施例1では、磁気抵抗効果膜としてTMR膜10を用いたが、TMR膜の代わりにCPP−GMR膜を用いても良い。
前記のTMR膜やCPP−GMR膜などを構成する薄膜は高周波マグネトロンスパッタリング装置により以下のように作製する。1から6ミリトールのAr雰囲気中にて、厚さ1mmのセラミックス基板に以下の材料を順次積層する。スパッタリングターゲットとして、Ta,Ni−20at%Fe合金,Cu,Co,IrMn,Ru,アルミナの各ターゲットを用いた。Coターゲット上には、FeおよびNiの1センチ角のチップを適宜配置して組成を調整した。積層膜は、各ターゲットを配置したカソードに各々高周波電力を印加して装置内にプラズマを発生させておき、各カソードに配置されたシャッターを一つずつ開閉して順次各層を形成した。膜形成時には永久磁石を用いて基板に平行におよそ640A/mの磁場を印加して、一軸異方性をもたせた。形成した膜を、真空中,磁場中で270℃、3時間の熱処理を行ってIrMn反強磁性膜13を相変態させ、室温での磁気抵抗を測定して評価した。また、熱処理後に室温で硬磁性膜の着磁処理を行った。
TMR膜10は、媒体対向面において強磁性自由層18のトラック幅方向の幅が所望の値になるようにパターニングし、実施例1では90nmとした。パターニングは、所定の幅に形成したフォトレジストなどを上記TMR膜10の上に配置し、これをマスクとして不要となる部分をエッチングする。その後、このマスクを除去する前に、アルミナもしくはシリコン酸化物などからなる絶縁層30を形成する。さらに絶縁層30の上には、厚さ25nm程度の磁区制御用永久磁石41を形成する。上記マスクを除去した後に、上記のようにパターニングされたTMR膜10の上に、30nmのNiFeからなる上部電極4を形成し、その素子高さ後部に、厚さ15nmのアルミナからなる上部絶縁層6を形成する。TMR膜10が配置されている部分での上部電極4と下部電極3との間隔Gsは約42nmである。一方、強磁性自由層18と磁区制御用永久磁石41とのトラック幅方向の間隔tspは約8nmである。上下磁気シールド間隔Gsの値を調整する場合には、下地層12,反強磁性層13,キャップ層19の膜厚を変化させると良い。
パターンニングしたTMR膜10の各寸法(図2参照)は、次のとおりである。媒体対向面でのトラック幅方向の幅SWは約90nmであり、TMR膜10の素子高さSHは所望の値に設定することができるが、本実施例ではSHを約1000nm(1μm)とした。その他、tFPは約80nm,t2は約200nm,t3は約200nmである。
次に上記実施例1による磁気再生ヘッドの特性を、LLG(ランダウ−リフシッツ−ギルバート)方程式を用いたマイクロマグネティクスシミュレーションの結果を基に定量的に説明する。図4は、従来構造ヘッドにおける、媒体信号磁場を検知した時の自由層磁化回転角の素子高さ方向分布を示したものである。図4から、素子高さ後部になるに従って、自由層磁化の回転が緩やかに減衰していくことがわかる。例えば、素子高さ後部50nmにおいても、自由層磁化は25degも回転している。このことは、媒体の記録層表面よりも遠いところでも、媒体信号磁場を検知していることを示唆している。この場合、物理的なヘッドの浮上量を抑えたとしても、実効的な磁気スペーシングはあまり小さくはならない。今、磁気スペーシングを15nmと仮定すると、図4の結果から、実効的な磁気スペーシングは15+32(平均値)=47nmに達することがわかる。次に、実施例1の磁気再生ヘッドにおいては、上下電極の素子高さ方向厚さtsを30nmに設定しているので、この場合、感知電流は媒体対向面から素子高さ方向後部30nm程度までしか流れない。図5は、実施例1の磁気再生ヘッドにおける、媒体信号磁場を検知した時の自由層磁化回転角の素子高さ方向分布を示したものである。図5の結果から、実効的な磁気スペーシングは15+13(平均値)=28nmであり、従来構造と比較すると19nmも小さくなることがわかる。ここで図5に示した計算では、電流の素子高さ方向への滲みを考慮している。
次に、分解能を計算したところ、従来構造ヘッドでは57%であるのに対し、実施例1のヘッドでは74%に達した。ここで分解能は、線記録密度590kFCI(Flux Change per Inch)の再生信号振幅を、線記録密度118kFCIの再生信号振幅で割った値として定義した。さらに、センサ幅90nmとして読み滲み幅を計算した。読み滲み幅は再生感度分布の最大出力の10%となる位置の幅で定義した。その結果、従来構造ヘッドでは約130nmであったが、実施例1のヘッドでは109nmと極めて小さいものであった。このように実施例1の磁気再生ヘッドは従来構造ヘッドに比較して、分解能は17ポイント高く、読み滲み幅は21nm狭いことがわかる。
さらに、素子の高さ方向後部の体積を十分大きくすることで、磁気揺らぎノイズを抑制することができる。媒体対向面から見たTMR膜10の面積は小さいが、素子高さ後部においては、その面積は大きい。ここで、磁気揺らぎノイズの理論式は(1)式で与えられる。
(1)式において、Vmagは磁気揺らぎノイズ電圧,Isは感知電流,ΔRは磁気抵抗変化量,Hstiffはスティフネス磁場,αは減衰定数,kBはボルツマン定数,Tは温度,μ0は真空中の透磁率,Msは飽和磁化,Vは体積,γは磁化回転比である。(1)式からわかるように、磁化揺らぎノイズ電圧は、磁性体の体積の平方根に反比例している。ここで、実施例1の磁気再生ヘッドのTMR膜10の体積を、従来構造ヘッドの約150倍に設定しているので、実施例1のヘッドでは磁化揺らぎノイズは、従来ヘッドに比べ約12分の1にすぎないことがわかる。このとき、TMR膜10の素子高さSHは、約1.0μmである。従来ヘッドであればこのようにすると、ヘッドの再生効率が大幅に低下し、出力が殆ど期待できない。しかし、実施例1のヘッドは、感知電流を局在化しているので、出力の低下は少ない。例えば、計算から、SWが90nmの従来構造ヘッドと再生感度を比較しても、その80%の再生効率は確保されることが確認できた。以上から、実施例1の磁気再生ヘッドは、従来構造ヘッドに比べ、出力は2割程度低下するものの、磁化揺らぎノイズは12分の1にまで抑えられることがわかる。
また、再生動作の安定性を確認するために、繰り返し記録再生動作を行い、再生出力の変化を測定した。繰り返し記録再生1000000回に対し、再生出力の変動は5.5%と概ね良好であった。ここで再生出力変動を、再生出力の最大値と最小値の差分を、平均値で割った値として定義した。この結果から、安定な再生動作をしていることがわかった。最後に再生ヘッドSN比を測定したところ、約30dBと高い値である。ここで再生ヘッドSN比の計算で用いたノイズは、トータルノイズから媒体ノイズを差し引いたものである。従来構造の磁気再生ヘッドでは、再生ヘッドSN比は、約26dBと、実施例1の磁気再生ヘッドと比較して4dB低い値である。従って、実施例1によれば、感知電流を媒体対向面近傍に集中させ、磁気抵抗効果膜の素子高さ後部の体積を十分大きくすることで、分解能が高く、読みにじみ低減効果が大きく、且つ高SN比を示す磁気再生ヘッドを得ることができる。
次に、図6を参照して、実施例2による磁気再生ヘッドの構成を説明する。実施例2の特徴は、磁区制御層を自由層の上に積層する点にあり、その他の構成は実施例1と同じである。以下、実施例1と同じ構成、製法についての説明は省略し、実施例1との相違点について説明する。実施例2の磁気再生ヘッドの断面構成は、図1に示す実施例1と同じである。図6は、実施例2の磁気再生ヘッドの媒体対向面を拡大して示した図である。磁気抵抗効果膜(TMR膜)100は、基板側から下地層12,厚さ7nmのIrMnからなる反強磁性層13,厚さ2nmのNiFeからなる第一の強磁性固定層14,厚さ1nmのRuからなる非磁性分離層15,厚さ3nmのNiFeからなる第二の強磁性固定層16,厚さ0.8nmのアルミナからなる障壁層17,厚さ4nmのNiFeからなる強磁性自由層18が積層され、強磁性自由層18の上には、強磁性自由層18を単磁区化するための、縦バイアス層21が積層される。縦バイアス層21は、厚さ2nmのTaからなる非磁性分離層20を介して形成された、厚さ2nmのCoFeからなる軟磁性層と厚さ12nmからなるPtMnなどの反強磁性層から構成される。なお、非磁性分離層20は、厚さ1nmのCuと厚さ1nmのRuからなる積層膜でも良い。また縦バイアス層21は、厚さ2nmのTaからなる非磁性分離層20を介して、厚さ2nm程度のCoCrPtなどの硬磁性層から構成しても良い。縦バイアス層21の上には、5nm程度のキャップ層19が形成される。
TMR膜100は、媒体対向面において強磁性自由層18のトラック幅方向の幅が所望の値になるようにパターニングし、90nmとした。パターニングは、所定の幅に形成したフォトレジストなどをTMR膜100の上に配置し、これをマスクとして不要となる部分をエッチングする。その後、このマスクを除去する前に、アルミナもしくはシリコン酸化物などからなる絶縁層30を形成する。上記マスクを除去した後に、TMR膜100及び絶縁層30の上に、厚さ15nm,素子方向高さtsが30nmのNiFeからなる上部電極4を形成し、その素子高さ後部に、厚さ15nmのアルミナからなる上部絶縁層6を形成する。TMR膜100が配置されている部分での上部電極4と下部電極3との間隔Gsは約46nmである。上下磁気シールド間隔Gsの値を調整する場合には、下地層12,反強磁性層13,縦バイアス層21,キャップ層19の膜厚を変化させると良い。
図7に上部磁気シールド側から見た断面図を拡大して示すが、TMR膜100の媒体対向面でのトラック幅方向の幅SWは約90nmであり、TMR膜100の素子高さSHは所望の値に設定できるが、実施例2では約1000nmとした。その他、パターンニングした各寸法は、tFPが約80nm,t2が約200nm,t3が約200nmである。
図8に実施例3として、実施例1あるいは実施例2による磁気再生ヘッドと単磁極型ヘッドを組み合わせた垂直記録用磁気ヘッドの斜視図を示す。図9にこの垂直記録用磁気ヘッドの媒体対向面を示す。磁気再生ヘッドは、実施例1および実施例2で説明したように、下部磁気シールド層1,磁気抵抗効果膜10あるいは100,上部磁気シールド層2で構成され、この磁気再生ヘッドの上に、厚さ500nmのアルミナからなる非磁性分離層64を介して単磁極型ヘッドが設けられる。単磁極型ヘッドは、厚さ2μmのNiFe合金からなる副磁極72と、厚さ200nmのFeCo合金からなる主磁極71と、主磁極71と副磁極72の間のコイル80で構成される。主磁極71は、図中に拡大して示すように、上部の幅が広く下部の幅が狭い逆台形となるように形成され、上部の幅53は130nmである。ABSにおける主磁極71と副磁極72との間の距離は、約5μmである。
主磁極71と副磁極72の間のコイル80に、所望のパターンの記録電流を通電することで、記録磁界101を主磁極71と副磁極72との間の磁気ギャップに発生させ、所望のパターンで媒体(磁気ディスク)200に印加し、媒体の記録層202上に磁化情報201を書き込む。単磁極型ヘッドが発生する磁界をより効果的に垂直記録に用いるため、記録層202の下地には、厚さ5nm程度の非磁性分離膜210と、その下に厚さ200nm程度の軟磁性下地層220が形成されている。また、情報の再生は、記録層202に書かれた磁化情報201から漏洩する磁界を、磁気再生ヘッドの磁気抵抗効果膜10あるいは100で検出することで行う。なお、磁気再生ヘッドと単磁極型ヘッドは、同一の基板上に積層されて一体形成される。
図10に、主磁極71の両側及びトレーリング側に磁気シールド(トレーリング・サイドシールド)を配置する構成を示す。この構成によれば、サイドシールドによりトラック幅方向の磁界の広がりを抑制し、トレーリングシールドにより磁界勾配を急峻にすることができる。
図11に、実施例4として、実施例1あるいは実施例2による磁気再生ヘッドと磁気誘導型記録ヘッドを組み合わせた複合型磁気ヘッドの斜視図を示す。上部磁気コア51と下部磁気コア50の間に、磁束を発生させるためのコイル52が設けられており、これに所望のパターンの記録電流を通電することで、記録磁場を上下磁気コア51,50の間の記録ギャップに発生させ、所望のパターンで磁気媒体に印加し、磁気媒体に所望の磁化方向を有する磁化情報を書き込む。また、磁気媒体に書かれた磁化情報から漏洩する磁場を、磁気抵抗効果膜10あるいは100で検出することで、情報を再生する。
図12に、上記実施例3による垂直記録用磁気ヘッドを搭載した磁気ディスク装置の概略構成を示す。磁気情報を保持する磁気ディスク200はスピンドルモータ93に支持されて回転される。また、ヘッドスライダ90は、アクチュエータ92に支持され、磁気ディスク200のトラック上に誘導される。即ち磁気ディスク装置においては、ヘッドスライダ90に搭載された磁気再生ヘッド及び/又は磁気記録ヘッドが、アクチュエータ92によってディスク91上の所定のトラックに近接して相対運動し、信号を順次再生及び/又は記録する。アクチュエータ92は例えばロータリーアクチュエータである。記録信号は信号処理系94を通じて単磁極型ヘッドに供給され、磁気ディスク上に記録される。磁気再生ヘッドの出力は、信号処理系94を経て信号として復号される。さらに垂直記録用磁気ヘッドを所望のトラック上へ移動せしめるに際して、磁気再生ヘッドからの高感度な出力を用いてトラック上の位置を検出し、アクチュエータ92を制御して、ヘッドスライダ90の位置決めを行うことができる。本図ではヘッドスライダ90,磁気ディスク200を各1個示したが、これらは複数であっても構わない。また磁気ディスク200は両面に記録層202を有して情報を記録してもよい。情報の記録がディスク両面の場合は、ヘッドスライダ90は磁気ディスク200の両面に配置される。なお、上記の磁気ディスク装置では、実施例3による垂直記録用磁気ヘッドを搭載したが、勿論、実施例4による複合型磁気ヘッド、実施例1あるいは実施例2による磁気再生ヘッドを搭載することができる。
1…下部磁気シールド層、2…上部磁気シールド層、10…磁気抵抗効果膜、12…下地層、13…反強磁性層、14…第一の強磁性固定層、15…非磁性分離層、16…第二の強磁性固定層、17…障壁層、18…強磁性自由層、19…キャップ層、20…非磁性分離層、21…縦バイアス層、30…絶縁層、41…磁区制御用永久磁石膜、50…下部磁気コア、51…上部磁気コア、52…コイル、53…上層幅、64…非磁性分離層、71…主磁極、72…副磁極、73…トレーリング・サイドシールド、80…コイル、90…ヘッドスライダ、92…アクチュエータ、93…スピンドルモータ、94…信号処理系、100…磁気抵抗効果膜、101…記録磁界、200…磁気ディスク、201…磁化情報、202…記録層、210…非磁性分離膜、220…軟磁性下地層。
Claims (20)
- 下部磁気シールド層及び上部磁気シールド層と
前記下部磁気シールド層と上部磁気シールド層との間に設けられ、固定層と、中間層と、自由層を有し、媒体対向面から見た面積が、素子高さ方向になるに従い大きくなる磁気抵抗効果膜と、
前記下部磁気シールド層と磁気抵抗効果膜との間の媒体対向面近傍に設けられ、前記下部磁気シールド層と磁気抵抗効果膜に接合された下部電極と、
前記下部磁気シールド層と磁気抵抗効果膜との間の、前記下部電極の後部に設けられた下部絶縁層と、
前記磁気抵抗効果膜と上部磁気シールド層との間の媒体対向面近傍に設けられ、前記磁気抵抗効果膜と上部磁気シールド層に接合された上部電極と、
前記磁気抵抗効果膜と上部磁気シールド層との間の、前記上部電極の後部に設けられた上部絶縁層と、
を有することを特徴とする磁気再生ヘッド。 - 請求項1記載の磁気ヘッドにおいて、前記上部及び下部電極と前記磁気抵抗効果膜が接合された部分では、前記磁気抵抗効果膜のトラック幅方向の長さが一定であることを特徴とする磁気再生ヘッド。
- 請求項1記載の磁気ヘッドにおいて、前記上部及び下部電極と前記磁気抵抗効果膜が接合された部分では、前記磁気抵抗効果膜のトラック幅方向の長さが再生トラック幅に相当することを特徴とする磁気再生ヘッド。
- 請求項1記載の磁気ヘッドにおいて、前記上部及び下部電極の素子高さ方向の厚さが、媒体対向面における前記上部及び下部電極間の距離よりも小さいことを特徴とする磁気再生ヘッド。
- 請求項1記載の磁気ヘッドにおいて、前記上部及び下部電極の素子高さ方向の厚さが、
媒体対向面における前記上部及び下部電極間の距離の半分以下であることを特徴とする磁気再生ヘッド。 - 請求項1記載の磁気ヘッドにおいて、前記磁気抵抗効果膜はトンネル磁気抵抗効果膜であり、前記中間層は非磁性絶縁層であることを特徴とする磁気再生ヘッド。
- 請求項1記載の磁気ヘッドにおいて、前記磁気抵抗効果膜は垂直通電型巨大磁気抵抗効果膜であり、前記中間層は非磁性導電層であることを特徴とする磁気再生ヘッド。
- 請求項1記載の磁気ヘッドにおいて、前記上部及び下部電極は前記上部及び下部磁気シールド層と同一材料であることを特徴とする磁気再生ヘッド。
- 請求項1記載の磁気ヘッドにおいて、前記上部及び下部電極は軟磁性材料であることを特徴とする磁気再生ヘッド。
- 請求項1記載の磁気ヘッドにおいて、さらに、前記磁気抵抗効果膜の両脇に磁区制御層が設けられ、前記磁区制御層と前記自由層との間の距離が、前記磁区制御層と前記上部及び下部電極の間の距離よりも小さいことを特徴とする磁気再生ヘッド。
- 請求項1記載の磁気ヘッドにおいて、さらに、前記自由層に非磁性層を介して積層された磁区制御層を有することを特徴とする磁気再生ヘッド。
- 請求項11記載の磁気ヘッドにおいて、前記磁区制御層が、軟磁性層に反強磁性層が積層されたものであることを特徴とする磁気再生ヘッド。
- 請求項11記載の磁気ヘッドにおいて、前記非磁性層は、Ta,Cu,Ru,Cr,IrまたはRhからなることを特徴とする磁気再生ヘッド。
- 請求項11記載の磁気ヘッドにおいて、前記磁区制御層が硬磁性層からなることを特徴とする磁気再生ヘッド。
- 下部磁気シールド層及び上部磁気シールド層と
前記下部磁気シールド層と上部磁気シールド層との間に設けられ、固定層と、中間層と、自由層を有し、媒体対向面から見た面積が、素子高さ方向になるに従い大きくなる磁気抵抗効果膜と、
前記下部磁気シールド層と磁気抵抗効果膜との間の媒体対向面近傍に設けられ、前記下部磁気シールド層と磁気抵抗効果膜に接合された下部電極と、
前記下部磁気シールド層と磁気抵抗効果膜との間の、前記下部電極の後部に設けられた下部絶縁層と、
前記磁気抵抗効果膜と上部磁気シールド層との間の媒体対向面近傍に設けられ、前記磁気抵抗効果膜と上部磁気シールド層に接合された上部電極と、
前記磁気抵抗効果膜と上部磁気シールド層との間の、前記上部電極の後部に設けられた上部絶縁層と、をする磁気再生ヘッドと、
前記再生ヘッドに隣接して設けられた記録ヘッドと、
を有することを特徴とする磁気ヘッド。 - 請求項15記載の磁気ヘッドにおいて、前記記録ヘッドは、主磁極と、副磁極と、前記主磁極と副磁極の間に設けられたコイルとを有する単磁極型ヘッドであることを特徴とする磁気ヘッド。
- 請求項16記載の磁気ヘッドにおいて、さらに、前記主磁極のトレーリング側と両脇に磁気シールドを有することを特徴とする磁気ヘッド。
- 請求項15記載の磁気ヘッドにおいて、前記上部及び下部電極と前記磁気抵抗効果膜が接合された部分では、前記磁気抵抗効果膜のトラック幅方向の長さが一定であることを特徴とする磁気ヘッド。
- 請求項15記載の磁気ヘッドにおいて、前記上部及び下部電極と前記磁気抵抗効果膜が接合された部分では、前記磁気抵抗効果膜のトラック幅方向の長さが再生トラック幅に相当することを特徴とする磁気ヘッド。
- 請求項15記載の磁気ヘッドにおいて、前記上部及び下部電極の素子高さ方向の厚さが、媒体対向面における前記上部及び下部電極間の距離よりも小さいことを特徴とする磁気ヘッド。
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---|---|---|---|
JP2007080171A JP2008243267A (ja) | 2007-03-26 | 2007-03-26 | 磁気再生ヘッド及び磁気ヘッド |
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JP2007080171A JP2008243267A (ja) | 2007-03-26 | 2007-03-26 | 磁気再生ヘッド及び磁気ヘッド |
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ID=39914424
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JP2007080171A Pending JP2008243267A (ja) | 2007-03-26 | 2007-03-26 | 磁気再生ヘッド及び磁気ヘッド |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2012230751A (ja) * | 2011-04-25 | 2012-11-22 | Seagate Technology Llc | 磁気抵抗センサ、装置および方法 |
JP2019114315A (ja) * | 2017-12-25 | 2019-07-11 | 株式会社東芝 | 磁気ヘッド及び磁気記録再生装置 |
JP2019153358A (ja) * | 2018-03-01 | 2019-09-12 | 株式会社東芝 | 磁気ヘッド及び磁気記録再生装置 |
-
2007
- 2007-03-26 JP JP2007080171A patent/JP2008243267A/ja active Pending
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