JP2008241450A5 - - Google Patents

Claims (10)

1. 中心部に円状の開口部を有する円盤状基板の開口径を検査する方法であって、
   前記開口径の基準となる真球の前記開口部への通過を試み、その通過の可否により前記円盤状基板の開口径を検査することを特徴とする中心部に円状の開口部を有する円盤状基板の開口径を検査する方法。
2. 前記円盤状基板を複数枚並べて配置し、互いの主面を平行に離間させ、なお且つ互いの中心軸を一致させた状態で、並び方向の一端の円盤状基板の開口部から他端の円盤状基板の開口部に向けて前記真球の通過を試み、その通過が不可となる円盤状基板を取り除きながら、前記複数枚の円盤状基板の開口径を順次検査することを特徴とする請求項１に記載の中心部に円状の開口部を有する円盤状基板の開口径を検査する方法。
3. 前記円盤状基板の主面と平行な方向に当該基板を往復運動させることにより、前記円盤状基板の開口部における前記真球の移動を行うことを特徴とする請求項２に記載の中心部に円状の開口部を有する円盤状基板の開口径を検査する方法。
4. 前記円盤状基板を上蓋及び下蓋を外した基板収納容器内に配置し、この基板収納容器から前記円盤状基板を完全に取り出すことなく、前記円盤状基板の主面と平行な方向に当該基板を往復運動させることを特徴とする請求項３に記載の中心部に円状の開口部を有する円盤状基板の開口径を検査する方法。
5. 前記円盤状基板が磁気記録媒体用の基板であることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の中心部に円状の開口部を有する円盤状基板の開口径を検査する方法。
6. 前記円盤状基板がガラス基板であることを特徴とする請求項１〜５の何れか一項に記載の中心部に円状の開口部を有する円盤状基板の開口径を検査する方法。
7. 中心部に円状の開口部を有する円盤状基板の開口径を検査する装置であって、
   互いの主面を平行に離間させ、なお且つ互いの中心軸を一致させた状態で、複数枚の円盤状基板が並べて配置されるガイドと、
   前記ガイドに配置された複数枚の円盤状基板を並び方向の一端から他端に向けて順次前記円盤状基板の主面と平行な方向に往復運動させる機構と、
   前記並び方向の一端の円盤状基板の開口部から他端の円盤状基板の開口部に向けて前記開口径の基準となる真球の通過を試み、その通過が不可となる円盤状基板を検出する機構と、
   前記真球の通過が不可となる円盤状基板を前記ガイドから取り除く機構とを有することを特徴とする中心部に円状の開口部を有する円盤状基板の開口径を検査する装置。
8. 前記ガイドとして、上蓋及び下蓋を外した基板収納容器を用いることを特徴とする請求項７に記載の中心部に円状の開口部を有する円盤状基板の開口径を検査する装置。
9. 前記基板収納容器から前記円盤状基板を完全に取り出すことなく、当該基板を往復運動させる機構を有することを特徴とする請求項８に記載の中心部に円状の開口部を有する円盤状基板の開口径を検査する装置。
10. 中心部に円状の開口部を有する円盤状基板の製造方法であって、
    請求項１〜６の何れか一項に記載の方法、又は、請求項７〜９に記載の装置を用いて、前記円盤状基板の開口径を検査する工程を含むことを特徴とする円盤状基板の製造方法。