JP2987830B2 - 孔径検査方法および孔径検査装置 - Google Patents

孔径検査方法および孔径検査装置

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JP2987830B2 JP4185469A JP18546992A JP2987830B2 JP 2987830 B2 JP2987830 B2 JP 2987830B2 JP 4185469 A JP4185469 A JP 4185469A JP 18546992 A JP18546992 A JP 18546992A JP 2987830 B2 JP2987830 B2 JP 2987830B2
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Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、被検査物に互いに平行
に並べて多数貫通形成された孔の径を機械的に検査する
孔径検査方法および孔径検査装置に関し、例えば、同一
孔径で多数個孔製品の製造後の孔径検査に利用されるも
のである。
【0002】
【従来の技術】図10は、同一孔径で多数個孔製品1の
一例を示している。この製品1は、矩形平板状になって
おり、200〜1000個程度、例えば1000個の多数の円柱形
状の孔2が互いに平行にかつ縦横に並べて貫通形成され
ている。前記製品1は、その製造後に、孔2の径が所定
の範囲内に収まっているかどうかを検査しなければなら
ない。そして、この検査のために、従来は、図11に示
すような栓ゲージ6を用いていた。この栓ゲージ6は、
一端側が通り検査部7になっているとともに、他端側が
止まり検査部8になっている。これら検査部7,8は、
円柱形状であるが、通り検査部7の径は、孔2の径の許
容範囲の下限値になっており、止まり検査部8の径は、
孔2の径の許容範囲の上限値になっている。そして、孔
径検査に際しては、手作業により、図12および図13
に示すように、被検査物である製品1の孔2への両検査
部7,8の挿入を試みる。このとき、図12に示すよう
に、通り検査部7が孔2に入れば、この孔2の径は、許
容範囲の下限値よりも大きく、一方、通り検査部7が孔
2に入らなければ、この孔2の径は、許容範囲の下限値
よりも小さいとわかる。また、図13に示すように、止
まり検査部8が孔2に入らなければ、この孔2の径は、
許容範囲の上限値よりも小さく、一方、止まり検査部8
が孔2に入れば、この孔2の径は、許容範囲の上限値よ
りも大きいとわかる。すなわち、孔2に通り検査部7が
入り、かつ、止まり検査部8が入らなければ、その孔2
の径が許容範囲内にあるとわかり、それ以外の場合は、
不合格である。そして、例えば200〜1000個程度ある孔
2について、一つずつ手作業により前述のような検査を
行っていく。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このような従
来の方法では、多数ある孔2の径を一つずつ手作業によ
り検査していかなければならないため、非常に手間と時
間がかかり、検査の能率が悪い問題があった。
【0004】これに対して、特開昭52−154986
号公報には、被検査物(グリッドスペーサ)にある平行
な多数の孔の径を検査するために、被検査物上に多数の
球を載せた後、被検査物をゆすることにより、孔の径を
落下する球の径と落下せずに残る球の径との間にあると
判断する検査方法が記載されている。しかし、この検査
方法でも、単に被検査物上に多数の球を直接供給したと
すると、多数ある孔の全てに確実に球を供給することは
困難であり、検査を確実にかつ能率よく行うことは困難
である。
【0005】本発明は、このような問題点を解決しよう
とするもので、被検査物に互いに平行に並べて多数貫通
形成された孔の径を検査するに際して、この検査を短時
間で能率よく確実に行えるようにすることを目的とす
る。
【0006】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明は、前記
目的を達成するために、被検査物に互いに平行に並べて
多数貫通形成された孔の径を検査する孔径検査方法にお
いて、前記被検査物の孔と同一の配列で鉛直な通孔を貫
通形成した検査用治具をその各通孔が前記被検査物の鉛
直にした各孔の鉛直上方にそれぞれ位置するようにこの
被検査物上に置くとともに、前記検査用治具の各通孔を
共通の下敷により塞いだ状態で、この下敷よりも上方で
各通孔に所定径の球体をそれぞれ入れた後、前記下敷を
抜き取って各通孔を開放することにより各球体を前記被
検査物の各孔へ向けてそれぞれ落下させ、その後、前記
通孔を下敷により上側から塞ぎ、この下敷とともに検査
用治具を上下反転させて、この検査用治具を別の被検査
物上に置き、前記下敷を抜き取って各通孔を開放するこ
とによりこれら各通孔から球体を前記被検査物の各孔へ
向けてそれぞれ落下させるものである。
【0007】そのために、請求項2の発明は、被検査物
に互いに平行に並べて多数貫通形成された孔の径を検査
する孔径検査装置において、前記被検査物の孔と同一の
配列で鉛直な通孔を貫通形成し、前記孔を鉛直にした被
検査物に上方から嵌合しこの嵌合時に各孔の鉛直上方に
前記各通孔をそれぞれ位置させる嵌合部を形成するとと
もに、この嵌合部と通孔との間に下敷挿入スリットを形
成した検査用治具と、この検査用治具の下敷挿入スリッ
トに水平に挿脱自在に挿入され全ての前記通孔を塞ぐ下
敷と、前記通孔と同数ありこの通孔を通過できる所定径
の球体とを備え、前記嵌合部および下敷挿入スリットを
前記検査用治具の両面側にそれぞれ形成したものであ
る。
【0008】
【作用】請求項1の発明の孔径検査方法では、所定径の
球体が被検査物の孔を通るか通らないかにより、この孔
の径を検査する。例えば、孔径の許容範囲の下限値の径
を有する球体が孔を通れば、その孔径が許容範囲の下限
値よりも大きく、一方、通らなければ、孔径が許容範囲
の下限値よりも小さいとわかる。また、孔径の許容範囲
の上限値の径を有する球体が孔を通らなければ、その孔
径が許容範囲の上限値よりも小さく、一方、通れば、孔
径が許容範囲の上限値よりも大きいとわかる。そして、
被検査物上に検査用治具を置き、この検査用治具の各通
孔を共通の下敷により塞いだ状態で、この下敷よりも上
方で各通孔に球体をそれぞれ入れてから、下敷を抜き取
って各球体をいっきょに被検査物の各孔へ向けてそれぞ
れ落下させるが、許容範囲の下限値の径の球体の場合、
全ての球体が孔を通って落ちてくれば、全ての孔径が許
容範囲の下限値よりも大きいことがわかる。一方、球体
が通れずに残った孔は、径が許容範囲の下限値よりも小
さいとわかる。また、許容範囲の上限値の径の球体の場
合、全ての球体が孔を通らずに残れば、全ての孔径が許
容範囲の上限値よりも小さいことがわかる。一方、球体
が通って落ちてしまった孔は、径が許容範囲の上限値よ
りも大きいとわかる。特に孔径が許容範囲の上限値より
も小さいかどうかを検査する場合には、通常被検査物上
に球体が留まるので、これを利用して検査を能率よくで
きる。すなわち、下敷を抜き取って球体を落下させた
後、通孔を下敷により上側から塞ぎ、下敷とともに検査
用治具を上下反転させると、検査用治具の各通孔に球体
が入る。そして、そのままの姿勢で検査用治具を別の被
検査物上に置き、下敷を抜き取って各通孔を開放すれ
ば、前述のようにして孔の径を検査できる。このように
して、検査用治具を上下反転させることにより、複数の
被検査物を順次検査していくことができる。
【0009】請求項2の発明の孔径検査装置は、前述の
孔径検査方法に用いるものであり、孔を鉛直にした被検
査物に検査用治具の嵌合部を上方から嵌合して、この検
査用治具を被検査物上に置くと、この被検査物の各孔の
鉛直上方に検査用治具の各通孔がそれぞれ位置する。こ
れとともに、検査用治具の下敷挿入スリットに下敷を水
平に挿入しておいて、その上側に被検査物の孔と同数の
球体を撒き、これらを均すなどして、各球体を検査用治
具の各通孔にそれぞれ入れる。その上で、下敷挿入スリ
ットから下敷を抜き取れば、各球体が通孔を通っていっ
きょに被検査物の各孔へ向けてそれぞれ落下することに
なる。そして、特に孔径が許容範囲の上限値よりも小さ
いかどうかを検査する場合には、前述のように検査用治
具を上下反転させることにより、複数の被検査物を順次
検査していくことができる。これは、検査用治具におい
て、被検査物に嵌合する嵌合部が通孔群を挟む両面側に
それぞれあり、下敷挿入スリットも通孔群を挟む両面側
にそれぞれあることにより可能になる。
【0010】
【実施例】以下、本発明の一実施例について、図1から
図4を参照しながら説明する。まず、孔径検査装置の構
成を説明する。11は検査用治具で、この検査用治具11
は、ケミカルウッドからなる矩形平板状の中間プレート
12の外周側にアルミニウム製の枠体13を一体的に設けた
ものである。前記中間プレート12には、多数の通孔14が
鉛直に貫通形成されている。これら通孔14は、被検査物
である製品1の孔2と同数すなわち200〜1000個程度あ
るとともに、これら孔2と同一の配列になっている。な
お、通孔14の径は、製品1の孔2の径よりも若干大きめ
程度であるとともに、中間プレート12の上下の厚さとほ
ぼ同程度である。また、中間プレート12の上下に位置し
て前記枠体13の内周部には、孔2を鉛直にした前記製品
1に上方から嵌合する凹段差状の嵌合部15がそれぞれ形
成されている。この嵌合部15と通孔14との位置関係は、
嵌合部15を製品1に嵌合したとき、この製品1の各孔2
の鉛直上方に中間プレート12の各通孔14がそれぞれ位置
するように設定されている。さらに、前記枠体13の相対
する両側面部には、中間プレート12の上下面にそれぞれ
臨ませて下敷挿入スリット16が上下2段に貫通形成され
ている。こうして、検査用治具11は、上下対称な構造に
なっている。
【0011】そして、前記両下敷挿入スリット16には、
プラスチックからなる薄い平板状の下敷21がそれぞれ水
平に挿脱自在に挿入される。これら下敷21は、中間プレ
ート12の上面または下面をほぼ接触状態で覆って、全て
の前記通孔14を共通に閉塞するものである。また、鋼球
からなる通り球体22と止まり球体23とがある。これら通
り球体22と止まり球体23とは、それぞれ、製品1の孔2
と同数すなわち200〜1000個程度ある。そして、通り球
体22の径は、孔2の径の許容範囲の下限値になってお
り、止まり球体23の径は、孔2の径の許容範囲の上限値
になっている。また、いずれの球体22,23も、検査用治
具11の通孔14よりは径が小さく、この通孔14を通過可能
である。なお、球体22,23の径は、前記下敷挿入スリッ
ト16の幅よりも大きい。
【0012】さらに、26は置き台で、この置き台26は、
検査時に前記製品1を下から水平に支えるもので、この
製品1が載る複数の支柱27が上面に突設されている。ま
た、置き台26は、下面に複数の脚28を有している。さら
に、前記置き台26は、その上面が漏斗状の案内面29にな
っているとともに、この案内面29の中央最下部から下面
へ抜ける排出孔30を有している。また、31は、この排出
孔30の下方に置かれる球体受け箱である。
【0013】つぎに、前記孔径検査装置を用いた孔径検
査方法について説明する。製造された製品1は、その各
孔2の径が許容範囲内にあるかどうかが検査される。こ
の検査に際しては、置き台26上に被検査物である製品1
を水平に載せ、この製品1に検査用治具11の下側の嵌合
部15を上方から嵌合する。この状態で、製品1の孔2は
鉛直になっており、また、製品1上に載った検査用治具
11の各通孔14は、製品1の各孔2の鉛直上方にそれぞれ
位置している。そして、検査用治具11の下側のスリット
16に下敷21を挿入して、この1枚の下敷21により、検査
用治具11の全ての通孔14を下側から塞いでおく。この状
態で、検査用治具11の枠体13内に上方から200〜1000個
程度の通り球体22または止まり球体23を入れる。すなわ
ち、各孔2の径が許容範囲の下限値以上であるかどうか
を検査するときには、200〜1000個程度の通り球体22を
入れ、各孔2の径が許容範囲の上限値以下であるかどう
かを検査するときには、200〜1000個程度の止まり球体2
2,23を入れる。そして、例えば刷毛により球体22,23
を均して、全ての通孔14に1つずつ球体22,23を入れ
る。全ての通孔14に球体22,23が入ったかどうかは、作
業者が目視により確認する。この状態では、下敷21によ
り下から支えられて、球体22,23は通孔14内に止まって
いるが、ついで、下敷21を検査用治具11から抜き取る。
これにより、各通孔14が開放されるのに伴い、各球体2
2,23は、検査用治具14の各通孔14から製品1の各孔2
へ向けてそれぞれ落下する。
【0014】そして、球体22,23が製品1の孔2を通る
か通らないかにより、この孔2の径が検査されることに
なる。まず、各孔2の径が許容範囲の下限値以上である
かどうかを検査するときには、図3に示すように、通り
球体22が孔2を通って落下すれば、この孔2の径が許容
範囲の下限値以上であることがわかり、一方、通らずに
製品1上に止まれば、孔2の径が許容範囲の下限値より
も小さいことがわかる。また、各孔2の径が許容範囲の
上限値以下であるかどうかを検査するときには、図4に
示すように、止まり球体23が孔2を通らずに製品1上に
止まれば、孔2の径が許容範囲の上限値以下であること
がわかり、一方、通って落下すれば、孔2の径が許容範
囲の上限値よりも大きいことがわかる。こうして、各製
品1について、通り球体22を落下させる検査と止まり球
体23を落下させる検査との2回の検査をそれぞれ行う。
そして、通り球体22による検査において、全ての通り球
体22が孔2を通って落ち、かつ、止まり球体23による検
査において、全ての止まり球体23が孔2を通らずに製品
1上に止まれば、全ての孔2の径が許容範囲内にあるこ
とがわかり、製品1の孔2の径は合格である。一方、通
り球体22による検査において、1つ以上の通り球体22が
孔2を通れずに残るか、あるいは、止まり球体23による
検査において、1つ以上の止まり球体23が孔2を通って
落ちてしまったならば、その孔2の径は許容範囲外にあ
ることになり、不合格である。なお、製品1の孔2を通
って落下した球体22,23は、置き台26のテーパー状の案
内面29により案内され、排出孔30から球体受け箱31内に
収納される。もちろん、この受け箱31内で通り球体22と
止まり球体23が混合しないようにしなければならない。
【0015】以上のように、前記実施例の構成によれ
ば、検査用治具11の多数の通孔14を共通の下敷21により
下から塞いだ状態で、検査用治具11内に上から多数の球
体22,23を入れ、これら球体22,23を刷毛で均すなどし
て各通孔14にそれぞれ入れた後、下敷21を引き抜いて、
多数の球体22,23を製品1の各孔2へいっきょに落下さ
せて、これらの孔2の径を検査するので、労力をかける
ことなく、能率よく確実に検査できる。そして、従来の
ように栓ゲージ6により孔2の径を一つずつ検査する場
合に比べ、検査時間を10分の1以下にでき、大幅に短縮
できる。
【0016】ところで、複数の製品1の孔2が許容範囲
の上限値以下であるかどうかを検査するときには、次の
ようにするとよい。すなわち、下のスリット16から下敷
21を引き抜いて検査用治具11の通孔21から止まり球体23
を落下させた後、製品1の孔2が許容範囲の上限値以下
であれば、止まり球体23は製品1上に止まるので、上の
スリット16に下敷21を挿入してから、製品1を嵌合部15
に嵌めたまま検査用治具11を上下反転させれば、この検
査用治具11内で前記下敷21の上方に止まり球体23が入る
ことになる。さらに、検査用治具11の上の嵌合部15から
検査済の製品1を外すとともに、検査用治具11の下の嵌
合部15を次に検査する製品1に嵌め、必要に応じ、止ま
り球体23を補充したり均したりして、各通孔14内にそれ
ぞれ入れた後、下敷21を抜き取ればよい。こうして、孔
2が許容範囲の上限値以下であるかどうかの検査は、検
査用治具11を交互に上下反転させることにより、複数の
製品1について能率よく行っていくことができる。
【0017】つぎに、本発明の他の実施例について、図
5から図9を参照しながら説明する。この実施例におい
ては、検査用治具11の通孔14の長さを球体22,23の径の
数倍にしており、上下一対の下敷挿入スリット16は、中
間プレート12において全通孔14をその上下方向の中間位
置で横断する高さに形成している。そして、検査に際し
ては、まず図5に示すように、上のスリット16に下敷21
を挿入した状態において、この下敷21の上方で各通孔14
内にそれぞれ通り球体22を入れる。ついで、図5に鎖線
で示すように、上の下敷21を引き抜いて通り球体22を下
のスリット16に挿入してある下敷21上へ落下させる。つ
いで、図6に示すように、上のスリット16に再び下敷21
を挿入してから、この下敷21の上方で各通孔14内にそれ
ぞれ止まり球体23を入れる。ついで、図6に鎖線で示す
ように、下の下敷21を引き抜いて各通り球体22を検査用
治具11の下の嵌合部15に嵌合してある製品1の各孔2へ
向けて落下させる。ここで、全ての通り球体22が孔2を
通って落下したならば、続いて止まり球体23による検査
を行える。すなわち、図7に示すように、上の下敷21を
引き抜いて、各止まり球体23を製品1の各孔2へ向けて
落下させればよい。ついで、上のスリット16に下敷21を
挿入し、この下敷21の上方で各通孔14内にそれぞれ通り
球体22を入れる。ついで、図8に示すように、下のスリ
ット16に下敷21を挿入してから、上の下敷21を抜き取
り、通り球体22を下の下敷21上へ落下させる。さらに、
図8に鎖線で示すように、上のスリット16に再び下敷21
を挿入してから、図9に示すように、検査済の製品1を
つけたまま検査用治具11を上下反転させる。そして、検
査済の製品1を外すとともに、検査用治具11の下の嵌合
部15を次に検査する製品1に嵌め、必要に応じ、止まり
球体23を補充したり均したりして、各通孔14内にそれぞ
れ入れる。ついで、下の下敷21を引き抜いて通り球体22
を落下させ、前記と同様の検査を繰り返す。
【0018】なお、本発明は、前記実施例に限定される
ものではなく、種々の変形実施が可能である。例えば、
前記実施例では、孔径が検査される被検査物が同一孔径
で多数個孔製品であったが、それ以外の類似した孔径検
査にも、本発明はもちろん適用できる。
【0019】
【発明の効果】請求項1の発明によれば、被検査物に互
いに平行に並べて多数貫通形成された孔の径を検査する
に際し、孔を鉛直にした被検査物上に検査用治具を置い
て、被検査物の各孔の鉛直上方に検査用治具の各通孔を
それぞれ位置させるとともに、検査用治具の各通孔を共
通の下敷により塞いだ状態で、この下敷よりも上方で各
通孔に所定径の球体をそれぞれ入れた後、下敷を抜き取
って各球体を被検査物の各孔へ向けてそれぞれ落下させ
るので、手間および時間をかけずに多数の孔の径を確実
に検査でき、この検査の能率が向上する。また、球体を
落下させた後、通孔を下敷により上側から塞ぎ、下敷と
ともに検査用治具を上下反転させて、この検査用治具を
別の被検査物上に置き、下敷を抜き取って球体を落下さ
せることを繰り返すことにより、検査の能率をよりいっ
そう向上できる。
【0020】請求項2の発明によれば、被検査物の孔と
同一の配列で通孔を貫通形成するとともに、被検査物に
上方から嵌合しこの嵌合時に各孔の鉛直上方に各通孔を
それぞれ位置させる嵌合部を形成するとともに、この嵌
合部と通孔との間に下敷挿入スリットを形成した検査用
治具と、この検査用治具に水平に挿脱自在に挿入され全
ての通孔を塞ぐ下敷と、通孔と同数ありこの通孔を通過
できる所定径の球体とを備え、嵌合部および下敷挿入ス
リットを検査用治具の両面側にそれぞれ形成した簡単な
孔径検査装置により、請求項1の発明の孔径検査方法を
容易に実行できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の孔径検査装置の一実施例を示す一部を
断面にした側面図である。
【図2】同上斜視図である。
【図3】同上通り球体による孔径検査を説明する断面図
である。
【図4】同上止まり球体による孔径検査を説明する断面
図である。
【図5】本発明の孔径検査装置の他の実施例を示す一部
の断面図である。
【図6】同上断面図である。
【図7】同上断面図である。
【図8】同上断面図である。
【図9】同上断面図である。
【図10】被検査物である製品の斜視図である。
【図11】従来の孔径検査方法に用いていた栓ゲージの
斜視図である。
【図12】その栓ゲージの通り検査部による孔径検査を
説明する断面図である。
【図13】同上止まり検査部による孔径検査を説明する
断面図である。
【符号の説明】
1 製品(被検査物) 2 孔 11 検査用治具 14 通孔 15 嵌合部 16 下敷挿入スリット 21 下敷 22 通り球体(球体) 23 止まり球体(球体)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 木村 正人 新潟県新潟市小金町3番地1 三菱マテ リアル株式会社新潟製作所内 (72)発明者 久住 勉 新潟県新潟市小金町3番地1 三菱マテ リアル株式会社新潟製作所内 (72)発明者 星 誠司 新潟県新潟市小金町3番地1 三菱マテ リアル株式会社新潟製作所内 (56)参考文献 特開 昭52−154986(JP,A) 特開 昭51−27959(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G01B 5/00 - 5/30

Claims (2)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被検査物に互いに平行に並べて多数貫通
    形成された孔の径を検査する孔径検査方法において、前
    記被検査物の孔と同一の配列で鉛直な通孔を貫通形成し
    た検査用治具をその各通孔が前記被検査物の鉛直にした
    各孔の鉛直上方にそれぞれ位置するようにこの被検査物
    上に置くとともに、前記検査用治具の各通孔を共通の下
    敷により塞いだ状態で、この下敷よりも上方で各通孔に
    所定径の球体をそれぞれ入れた後、前記下敷を抜き取っ
    て各通孔を開放することにより各球体を前記被検査物の
    各孔へ向けてそれぞれ落下させ、その後、前記通孔を下
    敷により上側から塞ぎ、この下敷とともに検査用治具を
    上下反転させて、この検査用治具を別の被検査物上に置
    き、前記下敷を抜き取って各通孔を開放することにより
    これら各通孔から球体を前記被検査物の各孔へ向けてそ
    れぞれ落下させることを特徴とする孔径検査方法。
  2. 【請求項2】 被検査物に互いに平行に並べて多数貫通
    形成された孔の径を検査する孔径検査装置において、前
    記被検査物の孔と同一の配列で鉛直な通孔を貫通形成
    し、前記孔を鉛直にした被検査物に上方から嵌合しこの
    嵌合時に各孔の鉛直上方に前記各通孔をそれぞれ位置さ
    せる嵌合部を形成するとともに、この嵌合部と通孔との
    間に下敷挿入スリットを形成した検査用治具と、この検
    査用治具の下敷挿入スリットに水平に挿脱自在に挿入さ
    れ全ての前記通孔を塞ぐ下敷と、前記通孔と同数ありこ
    の通孔を通過できる所定径の球体とを備え、前記嵌合部
    および下敷挿入スリットを前記検査用治具の両面側にそ
    れぞれ形成したことを特徴とする孔径検査装置。
JP4185469A 1992-07-13 1992-07-13 孔径検査方法および孔径検査装置 Expired - Fee Related JP2987830B2 (ja)

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JP5367231B2 (ja) * 2007-03-27 2013-12-11 昭和電工株式会社 中心部に円状の開口部を有する円盤状基板の開口径を検査する方法及び装置、並びに円盤状基板の製造方法

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