JP2008241287A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. 振動部と該振動部の両端に接続される一対の基部とを有する圧電振動素子と、
   可撓性を有し、一方の主面上に前記一対の基部の夫々が接合された一対の台座部を有するダイヤフラムと
   を備えた圧力センサ用の感圧素子であって、
   前記ダイヤフラムは、前記主面が矩形状に形成され、
   前記一対の台座部は、前記主面の中央部を挟むように配置され、前記中央部に向かうに従って、その向う方向と直交する方向の幅の寸法を小さくするよう形成されている
   ことを特徴とする感圧素子。
2. 前記一対の台座部は、互いに、前記中央部側の内側縁部が略平行であることを特徴とする請求項１に記載の感圧素子。
3. 前記一対の台座部の前記中央部側と反対側の外側縁部と、該外側縁部に対向する前記ダイヤフラムの周縁部とは、略平行であることを特徴とする請求項１または２に記載の感圧素子。
4. 前記台座部の前記中央部側の内側縁部における幅の寸法は、該内側縁部と対向する前記基部の幅の寸法と、同等以上であることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の感圧素子。
5. 前記ダイヤフラムの周縁部は前記圧電振動素子を囲む枠状部と接合され、
   前記枠状部と前記基部とは接続部を介して一体的に形成されていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の感圧素子。
6. 前記接続部の前記枠状部と前記基部とをつなぐ方向は、前記一対の基部を結ぶ方向と交差していることを特徴とする請求項５に記載の感圧素子。
7. 前記ダイヤフラムは、前記一方の主面と反対側の他方の主面の中央部に、凸部が形成されていることを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載の感圧素子。
8. 両端に一対の基部を有する圧電振動素子を枠状部で囲み、前記圧電振動素子と前記枠状部とが接続されている枠付き振動子の形状を複数形成した振動子用ウエハと、一方の主面に前記一対の基部の夫々を接合する一対の台座部を有し、周縁部を固定するようにした可撓性を有するダイヤフラムの形状を複数形成したダイヤフラム用ウエハとを、それぞれ別々に用意する準備工程と、
   前記台座部と前記基部、及び前記枠状部と前記周縁部を、それぞれ接合するようにして、前記ダイヤフラム用ウエハと前記振動子用ウエハとを接合する接合工程と、
   感圧素子毎となるように個片化するダイシング工程と
   を含んでおり、
   前記準備工程では、
   複数の前記枠付き振動子の形状を形成する際、前記枠付き振動子毎の全体外形を略矩形状に形成し、
   複数の前記ダイヤフラムの形状を形成する際、各前記ダイヤフラムについて、その全体外形を略矩形状に形成し、かつ、前記一対の台座部を前記主面の中央部を挟むように形成すると共に、前記中央部に向かうに従って、その向う方向と直交する幅方向の寸法を小さくするように形成する
   ことを特徴とする圧力センサ用感圧素子の製造方法。