JP2008238260A - レーザ表面改質装置及びその方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】パルスレーザ光1をレーザ光の波長に対して透明な液体6で覆われた被照射材料3の表面に照射してアブレーションによりこの被照射材料3の表面層の改質を行うレーザ表面改質装置において、パルスレーザ光を発生させるレーザ発振器12と、液体6が貯溜される貯蔵タンク14と、液体6が液体供給配管9を経由して移送される液体移送ポンプ15と、液体供給配管9に介在し液体6より粒子7を除去するろ過器16と、ろ過器16により粒子7が除去された液体6をレーザ発振器12より伝達されたパルスレーザ光1と同軸に被照射材料3に噴射するレーザ照射装置10と、を有する。
【選択図】図1
Description
ろ過器16によりろ過された液体6は、このレーザ照射装置10を介して被照射材料3上のレーザ照射点Aに噴射される。一方、レーザ発振器12で発生したパルスレーザ光1は、光ファイバ13を経由してレーザ照射装置10に伝送され、被照射材料3上のレーザ照射点Aに噴射される。
Claims (11)
- パルスレーザ光をレーザ光の波長に対して透明な液体で覆われた被照射材料の表面に照射してアブレーションによりこの被照射材料の表面層の改質を行うレーザ表面改質装置において、
前記パルスレーザ光を発生させるレーザ発振器と、
前記液体が貯溜される貯蔵タンクと、
前記液体が液体供給配管を経由して移送される液体移送ポンプと、
この液体供給配管に介在し前記液体より粒子を除去する除去手段と、
前記レーザ発振器より伝達されたパルスレーザ光を前記被照射材料に噴射しかつ前記除去手段により前記粒子が除去された液体を前記パルスレーザ光と同軸に前記被照射材料に噴射するレーザ照射装置と、
を有することを特徴とするレーザ表面改質装置。 - パルスレーザ光をレーザ光の波長に対して透明な液体で覆われた被照射材料の表面に照射してアブレーションによりこの被照射材料の表面層の改質を行うレーザ表面改質装置において、
前記パルスレーザ光を発生させるレーザ発振器と、
前記液体が貯溜されこの液体の中に被照射材料が浸漬された施工槽と、
この液体が液体供給配管を経由して移送される液体移送ポンプと、
この液体供給配管に介在し前記液体より粒子を除去する除去手段と、
前記レーザ発振器より伝達されたパルスレーザ光を前記被照射材料に噴射しかつ前記除去手段により前記粒子が除去された液体を前記パルスレーザ光と同軸に前記被照射材料に噴射するレーザ照射装置と、
を有することを特徴とするレーザ表面改質装置。 - 前記除去手段は、前記レーザ光の波長よりも大きな粒径の粒子を前記液体から除去してなること、を特徴とする請求項1又は2記載のレーザ表面改質装置。
- 前記除去手段は、前記粒子を捕集するろ過器を具備すること、を特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載のレーザ表面改質装置。
- 前記除去手段は、前記液体中の気泡を除去する手段を具備すること、を特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のレーザ表面改質装置。
- 前記液体として、水を用いること、を特徴とする請求項1又は2記載のレーザ表面改質装置。
- 前記液体として、酸素を含まない液体を用いること、を特徴とする請求項1又は2記載のレーザ表面改質装置。
- 前記液体として、液体窒素を用いること、を特徴とする請求項1又は2記載のレーザ表面改質装置。
- パルスレーザ光をレーザ光の波長に対して透明な液体で覆われた被照射材料の表面に照射してアブレーションによりこの被照射材料の表面層の改質を行うレーザ表面改質方法において、
レーザ発振器により前記パルスレーザ光を発生させるステップと、
貯蔵タンクに前記液体が貯溜されるステップと、
この貯溜された液体より除去手段を介して粒子が除去されるステップと、
前記レーザ発振器より伝達されたパルスレーザ光を前記被照射材料に噴射しかつ前記除去手段により前記粒子が除去された液体を前記パルスレーザ光と同軸に前記被照射材料に噴射するステップと、
を有することを特徴とするレーザ表面改質方法。 - 前記除去するステップにおいて、前記レーザ光の波長よりも大きな粒径の粒子が前記液体から除去されること、を特徴とする請求項9記載のレーザ表面改質方法。
- 前記除去するステップにおいて、ろ過器を介して前記粒子が前記液体から除去されること、を特徴とする請求項10記載のレーザ表面改質方法。
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