JP2008235646A - 放電励起エキシマレーザ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザチャンバ101内に配置されレーザ光の発振を可能とする放電を得るための一対の主放電電極102、102と、回転軸104を有し前記一対の主放電電極間102、102にレーザガス流を作り出す貫流ファン103と、回転駆動力を付与するモータ112と、該モータ112に駆動用交流電圧を供給するインバータ131と、該レーザチャンバ101内のガス圧力センサ121からのレーザガス圧力検出信号を受信し、かつ、該モータ112を所定の回転数で回転させるための駆動用交流電圧をインバータ131に発生させる速度指令信号を発信するコントローラー130と、からなる放電励起エキシマレーザ装置100であって、該コントローラー130は、該レーザガス圧力検出信号に応じた速度指令信号を発信することを特徴とする。
【選択図】図1
Description
Claims (4)
- レーザガスを封入するレーザチャンバと、
該レーザチャンバ内に配置されレーザ光の発振を可能とする放電を得るための一対の主放電電極と、
前記一対の主放電電極間にレーザガス流を作り出す貫流ファンと、からなる放電励起エキシマレーザ装置において、
該レーザチャンバ内のレーザガス圧力に応じて該貫流ファンの回転数を変化させることを特徴とする放電励起エキシマレーザ装置。 - レーザガス圧力が低いほど、貫流ファンの回転数を上昇させることを特徴とする請求項1に記載の放電励起エキシマレーザ装置。
- レーザガスを封入するレーザチャンバと、
該レーザチャンバ内に配置されレーザ光の発振を可能とする放電を得るための一対の主放電電極と、
回転軸を有し前記一対の主放電電極間にレーザガス流を作り出す貫流ファンと、
該貫流ファンの該回転軸に対して回転駆動力を付与するモータと、
該モータに駆動用交流電圧を供給するインバータと、
該レーザチャンバ内のレーザガス圧を検出するガス圧力センサと、
少なくとも該ガス圧力センサからのレーザガス圧力検出信号を受信し、かつ、該モータを所定の回転数で回転させるための駆動用交流電圧をインバータに発生させる速度指令信号を発信するコントローラーと、からなる放電励起エキシマレーザ装置において、
該コントローラーは、該レーザガス圧力検出信号に応じた速度指令信号を発信することを特徴とする放電励起エキシマレーザ装置。 - 該コントローラーは、該レーザガス圧力検出信号によってレーザガス圧が低くなることが検出されると、該モータの回転数を上昇させる速度指令信号を発信することを特徴とする請求項3に記載の放電励起エキシマレーザ装置。
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