JP2008227528A - 調整可能なアライメントジオメトリ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 1つまたは複数のサブターゲットをアライメントターゲット上に形成することによってアライメントターゲットにジオメトリデザインを持たせ、アライメントシステムにより1つまたは複数のサブターゲットの全てに関してアライメントを実施し、プロセスのキャラクタライズとアライメントシステムのアライメントの計算のためのアルゴリズムを使用する。
【選択図】 図2
Description
−1つまたはそれ以上のサブターゲットを、アライメントターゲット上に形成するステップと、;これによってアライメントターゲットはジオメトリデザインを有する
−アライメントシステムを1つまたはそれ以上のサブターゲットの全てに対してアライメントするステップと:
−プロセスをキャラクタライズするためと、アライメントシステムのアライメント量を計算するためのアルゴリズムを用いるステップを含んでいる。
本発明は、半導体デバイスの非対称性プロセスに対するモデル化、予測、補償等のためにデザインされるウエハターゲット内の幾何学的変化に用いられる技法に関している。以下では本発明が非対称性プロセスに関連して説明されているけれども、しかしながら本発明は対称性プロセスに使用することも可能である。
図1は、本発明に利用可能な半導体の製造に用いられるアライメントシステムを表わしたブロック回路図である。この図1に示されているアライメントシステムは、アライメントマーク若しくはアライメントターゲットの類似エッジ対に適合する。このアライメントシステムは、ルイス・マーコヤらによって発明されたタイトル名「二方向でのライン幅感応式ウエハターゲット検出」の米国特許第5,966,215号明細書に記載されているものであり、その全体が参考として取り入れられている。次にこのアライメントシステムを図1に基づいて簡単に説明する。
本発明のジオメトリ変更技術には、異なるデザインのサブセクションからなるアライメントターゲットが含まれている。本発明によるターゲットジオメトリは、ここでは櫛形構造で表わされている。しかしながら本発明のターゲットジオメトリは、櫛形構造に限定されるのではなく、従って図面での描写に櫛形構造が用いられているのは本発明の限定を意味するものではない。あくまでも例示としての本発明の櫛形構造部(アライメントターゲットの1つのエッジとして表わされている)は、図2に示されている。
本発明によるターゲットデザインは、複数の点で利点をもたらす。一つは、ラインに変わる“エッジ”の利用によって、大きなジオメトリに係わるエラーを乗り越えられる。もう一つは、隣接する構造部の選択的なセグメント化によって、選択された“エッジ”の信号の1つの増加だけでなく、非対称性プロセスの作用の選択的調整が可能となる。これらの本発明の技術は、さらに図10に基づいて以下で述べる。本発明のアライメントターゲットは、左右のエッジを別々にデザインでき、種々異なるラインタイプのライン位置を相互に依存することなく測定するのに十分である。このプロセスを定める支援は比較的容易である。図10に示されている複数のターゲットデザインは、45°の照明角度による処理でデザインされているが、90°の角度照明も使用できる。ここでは、サブターゲットの全てのエッジが別々に測定可能であり、プロセスオフセットを定めるためにハイブリッドターゲットは必要ない(とはいえハイブリッドターゲットは使用から除外できない)。
位相格子検出器は、ターゲットの左右のエッジに別々には働かないが、本発明の既述してきたターゲットからはまだ利点がもたらされる。第1のプロセスとして適切にデザインされたターゲットはプロセス作用を補償する格子に使用できるということが知られている。この構想は、さらに図11Aに関連して表わされている。図11Aは、プロセスアライメントオフセットに対する誘導ないし補正に利用できるアライメントターゲットの例を表わしている。この図11Aに示されているターゲット例は、シングルグレーチングにもマルチグレーチングにも利用可能である。マルチグレーチングは、何らかの生じ得るプロセス作用の測定を基準として1つまたは複数のグレーチングを利用できる利点をもたらす。
本発明は、アライメントターゲットのデザイン化を含み、ここではターゲットの外側垂直線(またはエッジ)の幅が、堆積における変化の測定とそれに応じたアライメントの補正のために変更されている。ここではターゲットジオメトリの外側垂直線の幅変更に対するデザイン化によって、非対称に生じた堆積が検出されモデル化される。ここで重要なことは、“櫛形形状部”がそれ自体でこのことを実施する可能性があることである。拡張には広範囲な値が必要とされ、その上で作用がより良好に予測される。本発明の基準となるターゲットデザインは、図12に示されている。
図13には、半導体デバイスの製造におけるプロセスエラーのモデル化、予測、識別を行うために本発明によるターゲットのデザイン化に用いられる実施例が表わされている。この図13のフローチャートは、本発明の限定を意味するものではなく、あくまでも本発明の実施例を説明するためのものである。図13のフローチャートは、ステップ1302で開始される。ここでは専用の“TAG”ターゲットデザインが全てのプロセスレベルに対して用いられる。ステップ1304では、アライメントシステムがターゲットの全てのサブターゲットに対してアライメント(位置合わせ)を実施する。最後にステップ1306において、プロセスのキャラクタライズとアライメントの計算のためにプロプラエタリアルゴリズムが使用される。
104 レチクル
106 光学系
108 半導体ウエハ
110 X−Yステージ
112 ウエハアライメントマーク
114 検出器
116 類似エッジセレクタ
118 信号アナライザ
Claims (35)
- ウエハ基板上のプロセスに対する所期のアライメントオフセットを提供するために構成されているアライメントターゲットを使用するための方法において、
1つまたは複数のサブターゲットをアライメントターゲット上に形成することによってアライメントターゲットにジオメトリデザインを持たせ、
アライメントシステムにより1つまたは複数のサブターゲットの全てに関してアライメントを実施し、
プロセスのキャラクタライズとアライメントシステムのアライメントの計算のためのアルゴリズムを使用するステップとを有していることを特徴とする方法。 - 前記プロセスは非対称性である、請求項1記載の方法。
- 非対称性のプロセスは、化学的機械研磨プロセス(CMP)である、請求項2記載の方法。
- 非対称性のプロセスは、堆積プロセスである、請求項2記載の方法。
- 前記プロセスは、対称性である、請求項1記載の方法。
- アライメントターゲットのためのジオメトリデザインは、櫛形構造を伴う左エッジと櫛形構造を伴う右エッジからなっており、前記左エッジと右エッジはジオメトリ密度を有している、請求項1記載の方法。
- 前記左エッジのジオメトリ密度と前記右エッジのジオメトリ密度は対称性である、請求項6記載の方法。
- 前記左エッジのジオメトリ密度と前記右エッジのジオメトリ密度は非対称性である、請求項6記載の方法。
- アライメントターゲットのためのジオメトリデザインには、左エッジのジオメトリ密度の増加が含まれている、請求項6記載の方法。
- 前記左エッジのジオメトリ密度の増加は、その櫛形構造部の歯の出現頻度の増加からなっている、請求項9記載の方法。
- アライメントターゲットのためのジオメトリデザインには、左エッジのジオメトリ密度の減少が含まれている、請求項6記載の方法。
- 前記左エッジのジオメトリ密度の減少は、その櫛形構造部の歯の出現頻度の減少からなっている、請求項11記載の方法。
- アライメントターゲットのためのジオメトリデザインには、右エッジのジオメトリ密度の増加が含まれている、請求項6記載の方法。
- 前記右エッジのジオメトリ密度の増加は、その櫛形構造部の歯の出現頻度の増加からなっている、請求項13記載の方法。
- アライメントターゲットのためのジオメトリデザインには、右エッジのジオメトリ密度の減少が含まれている、請求項6記載の方法。
- 前記右エッジのジオメトリ密度の減少は、その櫛形構造部の歯の出現頻度の減少からなっている、請求項15記載の方法。
- アライメントターゲットのジオメトリデザインは、2以上のサブターゲットからなっており、この場合各サブターゲットは、櫛形構造を伴う左エッジと櫛形構造を伴う右エッジを有するように定められており、前記左エッジと右エッジはジオメトリ密度を有している、請求項1記載の方法。
- 1以上のサブターゲットは、左エッジジオメトリ密度と右エッジジオメトリ密度を有し、それらは対称性である、請求項17記載の方法。
- 1以上のサブターゲットは、左エッジジオメトリ密度と右エッジジオメトリ密度を有し、それらは非対称性である、請求項17記載の方法。
- アライメントターゲットのためのジオメトリデザインは、1以上のサブターゲットの左エッジの櫛形構造部の歯の出現頻度の増加によるジオメトリ密度の増加を含んでいる、請求項17記載の方法。
- アライメントターゲットのためのジオメトリデザインは、1以上のサブターゲットの左エッジの櫛形構造部の歯の出現頻度の減少によるジオメトリ密度の減少を含んでいる、請求項17記載の方法。
- アライメントターゲットのためのジオメトリデザインは、1以上のサブターゲットの右エッジの櫛形構造部の歯の出現頻度の増加によるジオメトリ密度の増加を含んでいる、請求項17記載の方法。
- アライメントターゲットのためのジオメトリデザインは、1以上のサブターゲットの右エッジの櫛形構造部の歯の出現頻度の減少によるジオメトリ密度の減少を含んでいる、請求項17記載の方法。
- アライメントターゲットのためのジオメトリデザインは、1以上のサブターゲットの1以上の右エッジの幅の変更を含んでいる、請求項17記載の方法。
- アライメントターゲットのためのジオメトリデザインは、1以上のサブターゲットの1以上の左エッジの幅の変更を含んでいる、請求項17記載の方法。
- ジオメトリデザインと櫛形構造部を有している左方部分と、
ジオメトリデザインと櫛形構造部を有している右方部分からなり、
ウエハ基板上の非対称性プロセスに対する所期のアライメントオフセットを提供するジオメトリデザインを有するように構成されていることを特徴とする、アライメントターゲット。 - 前記左方部分と右方部分は、左方エッジと右方エッジである、請求項26記載のアライメントターゲット。
- 前記左方部分と右方部分は、左側方部と右側方部である、請求項26記載のアライメントターゲット。
- 前記左方部分と右方部分は、1つ以上のサブターゲットの各々において形成されている、請求項26記載のアライメントターゲット。
- 1以上のサブターゲットは、左エッジジオメトリ密度と右エッジジオメトリ密度を有しており、それらは対称性である、請求項29記載のアライメントターゲット。
- 1以上のサブターゲットは、左エッジジオメトリ密度と右エッジジオメトリ密度を有しており、それらは非対称性である、請求項29記載のアライメントターゲット。
- 前記プロセスは、非対称性である、請求項26記載のアライメントターゲット。
- 前記非対称性のプロセスは、化学的機械研磨プロセス(CMP)である、請求項26記載のアライメントターゲット。
- 前記非対称性のプロセスは、堆積プロセスである、請求項26記載のアライメントターゲット。
- 前記プロセスは対称性である、請求項26記載のアライメントターゲット。
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