JP2008227141A - 薄膜結晶の製造方法、有機薄膜トランジスタの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板の上の所望の領域に薄膜結晶を形成する薄膜結晶の製造方法において、所望の領域に接する第1の隔壁層を基板の上に形成する工程と、所望の領域に有機半導体材料を含む溶液を滴下する工程と、溶液を乾燥させる工程と、をこの順で行うことを特徴とする薄膜結晶の製造方法。
【選択図】図2
Description
Advanced Material誌2002年第2号99頁(レビュー) SID‘02 Digest p57
基板の上の所望の領域に薄膜結晶を形成する薄膜結晶の製造方法において、
特定部分を除いて前記所望の領域の周囲を一定の厚みで囲む第1の隔壁層を前記基板の上に形成する工程と、
前記所望の領域に有機半導体材料を含む溶液を滴下する工程と、
前記溶液を乾燥させる工程と、をこの順で行うことを特徴とする薄膜結晶の製造方法。
前記特定部分を除いて前記所望の領域の周囲を一定の厚みで囲む第1の隔壁層を前記基板の上に形成する工程において、
前記所望の領域の全周を一定の厚みで囲む第1の隔壁層を前記基板の上に形成する工程の後、
前記第1の隔壁層の前記特定部分を圧接して前記第1の隔壁層より厚みが薄い段差部を形成する工程を行うことを特徴とする1に記載の薄膜結晶の製造方法。
前記所望の領域に有機半導体材料を含む溶液を滴下する工程において、
前記有機半導体材料を含む溶液を前記段差部を覆うまで滴下することを特徴とする2に記載の薄膜結晶の製造方法。
前記所望の領域に接する第1の隔壁層を前記基板の上に形成する工程を行った後、
前記所望の領域に有機半導体材料を含む溶液を滴下する工程の前に、
前記第1の隔壁層の表面に親液性を有する親液層を形成する工程を行うことを特徴とする1乃至3の何れか1項に記載の薄膜結晶の製造方法。
前記第1の隔壁層は親液性の材料で形成されていることを特徴とする1乃至3の何れか1項に記載の薄膜結晶の製造方法。
前記所望の領域の周囲を特定部分を除いて一定の厚みで囲む第1の隔壁層を前記基板の上に形成する工程を行った後、
前記所望の領域に有機半導体材料を含む溶液を滴下する工程の前に、
前記所望の領域の周囲の前記第1の隔壁層が形成されていない部分を一定の厚みで囲む第2の隔壁層を前記基板の上に形成する工程を行うことを特徴とする1に記載の薄膜結晶の製造方法。
前記第2の隔壁層の厚みは前記第1の隔壁層の厚みより薄いことを特徴とする6に記載の薄膜結晶の製造方法。
前記第1の隔壁層は撥液性の材料で形成され、前記第2の隔壁層は親液性の材料で形成されていることを特徴とする6または7に記載の薄膜結晶の製造方法。
基板の上に、ソース電極、ドレイン電極、前記ソース電極と前記ドレイン電極とを連結する有機半導体層、ゲート電極及び前記有機半導体層と前記ゲート電極との間にゲート絶縁膜を有する有機薄膜トランジスタの製造方法において、
前記所望の領域は、前記ソース電極、前記ドレイン電極、および前記ソース電極と前記ドレイン電極に挟まれた部分であり、
基板の最上層としてソース電極とドレイン電極が設けられている基板を準備する工程と、
前記基板の上に1乃至8の何れか1項に記載の薄膜結晶の製造方法を用いて前記有機半導体層の薄膜結晶を形成する工程と、をこの順で行うことを特徴とする有機薄膜トランジスタの製造方法。
S1・・・・・ゲート電極2を形成する工程。
S2・・・・・ゲート絶縁層7を形成する工程。
S3・・・・・ソース電極8、ドレイン電極9を形成する工程。
S4・・・・・特定部分を除いて所望の領域の周囲を一定の厚みで囲む第1の隔壁層20を基板1の上に形成する工程。
S5・・・・・所望の領域の周囲の前記第1の隔壁層が形成されていない部分を一定の厚みで囲む第2の隔壁層を前記基板の上に形成する工程。
S6・・・・・所望の領域に有機半導体材料を含む溶液を滴下する工程。
S7・・・・・有機半導体材料を含む溶液を乾燥させる工程。
S4・・・・・特定部分を除いて所望の領域の周囲を一定の厚みで囲む第1の隔壁層20を基板1の上に形成する工程。
S6・・・・・所望の領域に有機半導体材料を含む溶液を滴下する工程。
S7・・・・・有機半導体材料を含む溶液を乾燥させる工程。
S4・・・・・特定部分を除いて所望の領域の周囲を一定の厚みで囲む第1の隔壁層20を基板1の上に形成する工程。
S5B・・・・親液層40を第1の隔壁層20の一部に形成する工程。
S6・・・・・所望の領域に有機半導体材料を含む溶液を滴下する工程。
S7・・・・・有機半導体材料を含む溶液を乾燥させる工程。
側の雰囲気に触れる面積が、ドレイン電極9側と比べて大きくなる。
S4A・・・・所望の領域の全周を一定の厚みで囲む第1の隔壁層20を前記基板の上に形成する工程。
S4B・・・・第1の隔壁層20の特定部分を圧接して第1の隔壁層20より厚みが薄い段差部を形成する工程。
S6・・・・・所望の領域に有機半導体材料を含む溶液を滴下する工程。
S7・・・・・有機半導体材料を含む溶液を乾燥させる工程。
S3・・・・・ソース電極8、ドレイン電極9を形成する工程。
S4・・・・・特定部分を除いて所望の領域の周囲を一定の厚みで囲む第1の隔壁層20を基板1の上に形成する工程。
S5・・・・・所望の領域の周囲の前記第1の隔壁層が形成されていない部分を一定の厚みで囲む第2の隔壁層を前記基板の上に形成する工程。
S6・・・・・所望の領域に有機半導体材料を含む溶液を滴下する工程。
S7・・・・・有機半導体材料を含む溶液を乾燥させる工程。
S2・・・・・ゲート絶縁層7を形成する工程。
S1・・・・・ゲート電極2を形成する工程。
本実施例では第1の実施形態の工程に基づいて、基板上に有機TFTを作製した。以下、第1の実施形態で説明した工程番号の順に説明する。
S1・・・・・ゲート電極2を形成する工程。
S2・・・・・ゲート絶縁層7を形成する工程。
S3・・・・・ソース電極8、ドレイン電極9を形成する工程。
S4・・・・・特定部分を除いて所望の領域の周囲を一定の厚みで囲む第1の隔壁層20を基板1の上に形成する工程。
S5・・・・・所望の領域の周囲の前記第1の隔壁層が形成されていない部分を一定の厚みで囲む第2の隔壁層を前記基板の上に形成する工程。
S6・・・・・所望の領域に有機半導体材料を含む溶液を滴下する工程。
S7・・・・・有機半導体材料を含む溶液を乾燥させる工程。
実施例1で作製した有機TFTの半導体層10と比較例の有機TFTの半導体層10を顕微鏡で観察して結晶の形状を観察した。その結果、実施例1で作製した有機TFTの半導体層10には、比較例より大きな結晶ドメインが形成されていることが確認できた。
本実施例では第2の実施形態の工程に基づいて、基板上に有機TFTを作製した。以下、第1の実施形態で説明した工程番号の順に説明する。
S1・・・・・ゲート電極2を形成する工程。
S2・・・・・ゲート絶縁層7を形成する工程。
S3・・・・・ソース電極8、ドレイン電極9を形成する工程。
S4・・・・・特定部分を除いて所望の領域の周囲を一定の厚みで囲む第1の隔壁層20を基板1の上に形成する工程。
S6・・・・・所望の領域に有機半導体材料を含む溶液を滴下する工程。
S7・・・・・有機半導体材料を含む溶液を乾燥させる工程。
実施例2で作製した有機TFTの半導体層10と比較例の有機TFTの半導体層10を顕微鏡で観察して結晶の形状を観察した。その結果、実施例2で作製した有機TFTの半導体層10には、比較例より大きな結晶ドメインが形成されていることが確認できた。
本実施例では第3の実施形態の工程に基づいて、基板上に有機TFTを作製した。以下、第1の実施形態で説明した工程番号の順に説明する。
S1・・・・・ゲート電極2を形成する工程。
S2・・・・・ゲート絶縁層7を形成する工程。
S3・・・・・ソース電極8、ドレイン電極9を形成する工程。
S4・・・・・特定部分を除いて所望の領域の周囲を一定の厚みで囲む第1の隔壁層20を基板1の上に形成する工程。
S5B・・・・親液層40を第1の隔壁層20の一部に形成する工程。
S6・・・・・所望の領域に有機半導体材料を含む溶液を滴下する工程。
S7・・・・・有機半導体材料を含む溶液を乾燥させる工程。
実施例3で作製した有機TFTの半導体層10と比較例の有機TFTの半導体層10を顕微鏡で観察して結晶の形状を観察した。その結果、実施例3で作製した有機TFTの半導体層10は、比較例より大きな結晶ドメインが形成されていることが確認できた。
本実施例では第4の実施形態の工程に基づいて、基板上に有機TFTを作製した。以下、第1の実施形態で説明した工程番号の順に説明する。
S1・・・・・ゲート電極2を形成する工程。
S2・・・・・ゲート絶縁層7を形成する工程。
S3・・・・・ソース電極8、ドレイン電極9を形成する工程。
S4A・・・・所望の領域の全周を一定の厚みで囲む第1の隔壁層20を前記基板の上に形成する工程。
S4B・・・・第1の隔壁層20の特定部分を圧接して第1の隔壁層20より厚みが薄い段差部を形成する工程。
S6・・・・・所望の領域に有機半導体材料を含む溶液を滴下する工程。
S7・・・・・有機半導体材料を含む溶液を乾燥させる工程。
S4A・・・・所望の領域の全周を一定の厚みで囲む第1の隔壁層20を前記基板の上に形成する工程。
実施例4で作製した有機TFTの半導体層10と比較例の有機TFTの半導体層10を顕微鏡で観察して結晶の形状を観察した。その結果、実施例4で作製した有機TFTの半導体層10には、比較例より大きな結晶ドメインが形成されていることが確認できた。
2 ゲート電極
7 ゲート絶縁層
8 ソース電極
9 ドレイン電極
10 有機半導体層
20 第1の隔壁層
20b 段差部
21 第2の隔壁層
42 有機半導体材料溶液
Claims (9)
- 基板の上の所望の領域に薄膜結晶を形成する薄膜結晶の製造方法において、
特定部分を除いて前記所望の領域の周囲を一定の厚みで囲む第1の隔壁層を前記基板の上に形成する工程と、
前記所望の領域に有機半導体材料を含む溶液を滴下する工程と、
前記溶液を乾燥させる工程と、をこの順で行うことを特徴とする薄膜結晶の製造方法。 - 前記特定部分を除いて前記所望の領域の周囲を一定の厚みで囲む第1の隔壁層を前記基板の上に形成する工程において、
前記所望の領域の全周を一定の厚みで囲む第1の隔壁層を前記基板の上に形成する工程の後、
前記第1の隔壁層の前記特定部分を圧接して前記第1の隔壁層より厚みが薄い段差部を形成する工程を行うことを特徴とする請求項1に記載の薄膜結晶の製造方法。 - 前記所望の領域に有機半導体材料を含む溶液を滴下する工程において、
前記有機半導体材料を含む溶液を前記段差部を覆うまで滴下することを特徴とする請求項2に記載の薄膜結晶の製造方法。 - 前記所望の領域に接する第1の隔壁層を前記基板の上に形成する工程を行った後、
前記所望の領域に有機半導体材料を含む溶液を滴下する工程の前に、
前記第1の隔壁層の表面に親液性を有する親液層を形成する工程を行うことを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載の薄膜結晶の製造方法。 - 前記第1の隔壁層は親液性の材料で形成されていることを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載の薄膜結晶の製造方法。
- 前記所望の領域の周囲を特定部分を除いて一定の厚みで囲む第1の隔壁層を前記基板の上に形成する工程を行った後、
前記所望の領域に有機半導体材料を含む溶液を滴下する工程の前に、
前記所望の領域の周囲の前記第1の隔壁層が形成されていない部分を一定の厚みで囲む第2の隔壁層を前記基板の上に形成する工程を行うことを特徴とする請求項1に記載の薄膜結晶の製造方法。 - 前記第2の隔壁層の厚みは前記第1の隔壁層の厚みより薄いことを特徴とする請求項6に記載の薄膜結晶の製造方法。
- 前記第1の隔壁層は撥液性の材料で形成され、前記第2の隔壁層は親液性の材料で形成されていることを特徴とする請求項6または7に記載の薄膜結晶の製造方法。
- 基板の上に、ソース電極、ドレイン電極、前記ソース電極と前記ドレイン電極とを連結する有機半導体層、ゲート電極及び前記有機半導体層と前記ゲート電極との間にゲート絶縁膜を有する有機薄膜トランジスタの製造方法において、
前記所望の領域は、前記ソース電極、前記ドレイン電極、および前記ソース電極と前記ドレイン電極に挟まれた部分であり、
基板の最上層としてソース電極とドレイン電極が設けられている基板を準備する工程と、
前記基板の上に請求項1乃至8の何れか1項に記載の薄膜結晶の製造方法を用いて前記有機半導体層の薄膜結晶を形成する工程と、をこの順で行うことを特徴とする有機薄膜トランジスタの製造方法。
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JP2008227141A true JP2008227141A (ja) | 2008-09-25 |
JP5103957B2 JP5103957B2 (ja) | 2012-12-19 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP5103957B2 (ja) |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151012 Year of fee payment: 3 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |