JP2008227058A - 半導体レーザ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】同一半導体基板1上に形成された複数の発光領域X、Yと、上記各発光領域を電気的に分離する分離溝6と、上記各発光領域に配設され、それぞれ同方向に延在する複数の光導波路7と、上記各発光領域に設けられ、各発光領域に電流を流す電極11とを備えた半導体レーザ装置において、上記分離溝6を、上記光導波路7に対して屈曲するように形成する構成とする。
【選択図】図1
Description
これらの図に示すように、2波長半導体レーザは、n-GaAs基板1上にn-AlGaInPクラッド層2、活性層3及びp-AlGaInPクラッド層4が形成され、クラッド層4上にはp-GaAsコンタクト層5が形成されている。
以下、この発明の実施の形態1を図にもとづいて説明する。図1は、実施の形態1による2波長半導体レーザ装置の構成を示す上面図、図2は、図1のB-B線における断面図である。これらの図において、図8、図9と同一または相当部分には同一符号を付して説明を省略する。
次に、この発明の実施の形態2を図にもとづいて説明する。図3は、実施の形態2による2波長半導体レーザ装置の構成を示す上面図である。この図において、図1と同一または相当部分には同一符号を付して説明を省略する。図1と異なる点は、分離溝6を2つの発光領域X、Yの光導波路7のいずれとも交差することなく、各光導波路7に対して角度を有する方向に直線状に形成した点である。
次に、この発明の実施の形態3を図にもとづいて説明する。図4は、実施の形態3による2波長半導体レーザ装置の上面図、図5は、図4のC-C線における断面図である。
これらの図において、図1、図2と同一または相当部分には同一符号を付して説明を省略する。
このように、分離溝6を跨いで延長電極11Bを形成することで、プローブ13用の電極幅として50μm以上を確保することが可能になり、容易に素子幅を狭くすることができる。
次に、この発明の実施の形態4を図にもとづいて説明する。図6は、実施の形態4による2波長半導体レーザ装置の上面図、図7は、図6のD-D線における断面図である。
これらの図において、図4、図5と同一または相当部分には同一符号を付して説明を省略する。
また、各実施の形態を2波長半導体レーザ装置として説明しているが、3波長以上の複数の発光領域を有する素子であっても同様の構造とすることが可能である。
Claims (4)
- 同一半導体基板上に形成された複数の発光領域と、上記各発光領域を電気的に分離する分離溝と、上記各発光領域に配設され、それぞれ同方向に延在する複数の光導波路と、上記各発光領域に設けられ、各発光領域に電流を流す電極とを備えた半導体レーザ装置において、上記分離溝は、上記光導波路に対して屈曲するように形成されたことを特徴とする半導体レーザ装置。
- 同一半導体基板上に形成された複数の発光領域と、上記各発光領域を電気的に分離する分離溝と、上記各発光領域に配設され、それぞれ同方向に延在する複数の光導波路と、上記各発光領域に設けられ、各発光領域に電流を流す電極とを備えた半導体レーザ装置において、上記分離溝は、いずれの光導波路とも交差せず、かつ上記光導波路に対して角度を有する方向に形成されたことを特徴とする半導体レーザ装置。
- 同一半導体基板上に形成された複数の発光領域と、隣接する発光領域のほぼ中央部に設けられ、隣接する発光領域を電気的に分離する分離溝と、上記各発光領域に配設され、それぞれ同方向に延在する複数の光導波路と、各発光領域に電流を流す電極とを備えた半導体レーザ装置において、上記電極は、所定の発光領域上に設けられた主電極部と、上記主電極部から延長され、上記分離溝を超えて隣接する発光領域に達する延長電極部とから構成されたことを特徴とする半導体レーザ装置。
- 同一半導体基板上に形成された複数の発光領域と、隣接する発光領域のほぼ中央部に設けられ、隣接する発光領域を電気的に分離する分離溝と、上記各発光領域に配設され、それぞれ同方向に延在する複数の光導波路と、各発光領域に電流を流す電極とを備えた半導体レーザ装置において、上記電極は上記各光導波路上にオーミック電極を形成する第1電極と、所定の発光領域の第1電極から上記分離溝を超えて隣接する発光領域の第1電極に跨る上記所定の発光領域の第2電極と、上記隣接する発光領域の第1電極から上記分離溝を超えて上記所定の発光領域の第1電極に跨る上記隣接する発光領域の第2電極とが設けられ、上記所定の発光領域の第2電極は、上記所定の発光領域の第1電極と電気的に接続されると共に、上記隣接する発光領域の第1電極とは電気的に絶縁され、上記隣接する発光領域の第2電極は、上記隣接する発光領域の第1電極と電気的に接続されると共に、上記所定の発光領域の第1電極とは電気的に絶縁されるようになされたことを特徴とする半導体レーザ装置。
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2007
- 2007-03-12 JP JP2007061681A patent/JP2008227058A/ja active Pending
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