JP2008225285A - ビーム照射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】２軸駆動方式のビーム照射装置において、目標領域におけるビームの照射位置を、簡素な構成にて円滑に検出できるようにする。
【解決手段】ミラーホルダ１０の支軸１２の端部にレーザチップ５０を配置し、レーザチップ５０からのレーザ光を受光するＰＳＤ６０をベース３００側に配置する。こうすると、ミラー面の傾き状態がレーザ光の出射方向にダイレクトに反映される。よって、これを受光するＰＳＤ６０からの出力をもとに、ミラー１３の回動状態を精度良く検出でき、その結果、ビームスキャン位置の検出精度を高めることができる。また、支軸１２の端部に小さなレーザチップ５０を配する構成であるため、ミラーホルダ１０に付加される構成を極めて簡素かつ小型化することができる。よって、ミラーホルダ１０の構成の簡素化と、ミラー１３の駆動レスポンスの向上が図られる。
【選択図】図３

Description

本発明は、目標領域にレーザ光を照射するビーム照射装置に関し、特に、目標領域にレーザ光を照射したときの反射光をもとに、目標領域内における障害物の有無や障害物までの距離を検出する、いわゆるレーザレーザに搭載されるビーム照射装置に用いて好適なものである。

近年、走行時の安全性を高めるために、走行方向前方にレーザ光を照射し、その反射光の状態から、目標領域内における障害物の有無や障害物までの距離を検出するレーザレーダが、家庭用乗用車等に搭載されている。一般に、レーザレーダは、レーザ光を目標領域内でスキャンさせ、各スキャン位置における反射光の有無から、各スキャン位置における障害物の有無を検出し、さらに、各スキャン位置におけるレーザ光の照射タイミングから反射光の受光タイミングまでの所要時間をもとに、そのスキャン位置における障害物までの距離を検出するものである。

レーザレーダの検出精度を高めるには、レーザ光を目標領域内において適正にスキャンさせる必要があり、また、レーザ光の各スキャン位置を適正に検出する必要がある。これまでに、レーザ光のスキャン機構として、ポリゴンミラーを用いるスキャン機構と、走査用レンズを２次元駆動するレンズ駆動タイプのスキャン機構が知られている。

ポリゴンミラーを用いるスキャン機構は、ポリゴンミラーを回転させながら、レーザ光をポリゴンミラー側面に照射することによって、レーザ光をスキャンさせるものである。ポリゴンミラーは、断面多角形となっており、且つ、各側面にミラーが形成されている。ポリゴンミラーを回転させながらレーザ光を側面に照射することにより、各側面に対するレーザ光の入射角度が変化し、その反射光がポリゴンミラーの回転方向にスキャンされる。

しかし、このスキャン機構では、ミラー面の平面精度やミラーの回転状態がスキャン性能に大きく影響するため、高精度の平面加工技術や、高性能モータの適用が必要となる。また、レーザ光に対するミラー面の角度変化が小さいため、レーザ光の振り角をあまり大きくできないとの問題が生じる。

これに対し、レンズアクチュエータを用いたスキャン機構（たとえば、以下の特許文献１参照）では、レンズ駆動によってスキャンが行われるため、比較的簡単な構成にて、２次元方向のスキャン動作を実現できる。しかし、このアクチュエータでは、レンズが板バネやワイヤによって支持されるため、外部からの振動に弱いとの問題があり、また、振動抑制のために板バネやワイヤの剛性を高めると、スキャン動作のレスポンス特性が低下するとの問題がある。また、スキャン動作時にレーザ光がレンズ光軸に対して偏心した位置に入射するため、レーザ光の強度分布に歪が生じるとの問題が生じる。

なお、以下の特許文献２には、２つのスキャンミラーを用いてレーザ光を２次元方向にスキャンさせる構成が示されている。このように、スキャン手段としてミラーを用いると、レーザ光の強度分布に生じる歪の問題を解消できる。しかし、この構成によれば、２つのスキャンミラーをそれぞれ独立駆動するため、ミラー毎にアクチュエータを配する必要があり、構成の複雑化と大型化を招く。また、各スキャンミラーの回動状態をモニタするための構成をスキャンミラー毎に配する必要があるため、これによっても、構成の複雑化と大型化を招くことになる。

これに対し、出願人は、先に特願２００６−１２１７６２号を出願し、簡単な構成にて、レスポンス特性を高めることができ、かつ、レーザ光の歪みを抑制できるアクチュエータを提案した。この発明に係るアクチュエータでは、ミラーが２軸駆動可能に支持され、コイルとマグネット間の電磁駆動力によって、ミラーが各駆動軸を軸として回動される。レーザ光は、ミラーに斜め方向から入射され、ミラーが各駆動軸を軸として２次元駆動されることにより、ミラーによるレーザ光の反射光が、目標領域内において、２次元方向に走査される。
特開平１１−８３９８８号公報 特開平９−１５５１８号公報

本発明は、２軸駆動方式のビーム照射装置において、目標領域におけるビームの照射位置を、簡素な構成にて円滑に検出できるようにすることを課題とする。特に、ビーム照射位置を検出するための構成を小型かつ低コスト化でき、かつ、ビーム照射位置を精度良く検出できるようにすることを課題とする。

本発明に係るビーム照射装置は、ミラーと、前記ミラーを保持するミラーホルダと、前記ミラーホルダを第１の方向に回動可能に軸支する第１の保持体と、前記第１の保持体を前記第１の方向に垂直な第２の方向に回動可能に軸支する第２の保持体と、前記第１および第２の保持体をそれぞれ前記第１および第２の方向に駆動する電磁駆動部と、前記ミラーホルダに一体的に配された発光素子と、前記発光素子からの光を受光してその受光位置に応じた信号を出力する光検出器とを有することを特徴とする。

本発明によれば、ミラーホルダに発光素子が装着されるため、ミラー面の傾き状態を発光素子からの光の出射方向にダイレクトに反映することができる。よって、これを受光する光検出器からの出力をもとに、ミラーの回動状態を精度良く検出することができ、その結果、ビームのスキャン位置の検出精度を高めることができる。

本発明において、発光素子は、ミラーホルダの回動軸に装着することができる。

また、本発明において、発光素子は、レーザチップまたはＬＥＤチップとすることができる。この場合、ミラーホルダに小さなレーザチップまたはＬＥＤチップを配する構成であるから、ミラーの回動状態を検出するための構成としてミラーホルダに付加される構成を極めて簡素かつ小型のものとすることができ、よって、ミラーホルダの構成の簡素化と、ミラーの駆動レスポンスの向上を図ることができる。

また、本発明において、光検出器はＰＳＤまたは４分割センサとすることができる。

さらに、本発明において、電磁駆動部は、ミラーホルダと第１の保持体にそれぞれ配された第１および第２のコイルと、第２の保持体に第１および第２のコイルに対向するよう配置された第１および第２のマグネットとを有する構成とすることができる。このように、可動部であるミラーホルダと第１の保持体にコイルを配するようにすると、可動部が軽量化されるため、ミラーのレスポンス特性を高めることができる。

以上のとおり、本発明によれば、２軸駆動方式のビーム照射装置において、目標領域におけるビームの照射位置を、簡素な構成にて円滑に検出でき、特に、ビーム照射位置を検出するための構成を小型かつ低コスト化でき、かつ、ビーム照射位置を精度良く検出することができる。

本発明の効果ないし意義は、以下に示す実施の形態の説明により更に明らかとなろう。ただし、以下に示す実施の形態は、あくまでも、本発明を実施化する際の一つの例示であって、本発明は、以下の実施の形態に記載されたものに何ら制限されるものではない。

図１に、実施の形態に係るビーム照射用アクチュエータの構成を示す。同図（ａ）はアクチュエータの分解斜視図、同図（ｂ）はアセンブル状態にあるアクチュエータの斜視図である。

同図（ａ）において、１０は、ミラーホルダである。ミラーホルダ１０には、端部に抜け留めを有する支軸１１、１２が形成されている。また、ミラーホルダ１０の前面にはミラー１３が装着されており、背面にはコイル１４が装着されている。なお、コイル１４は、方形状に巻回されている。さらに、支軸１２の端部には、後述の如くレーザチップが装着される。

２０は、ミラーホルダ１０をＸ−Ｙ平面方向に回動可能に軸支する可動枠（第１の保持体）である。可動枠２０には、ミラーホルダ１０を収容するための開口２１が形成され、また、ミラーホルダ１０の支軸１１、１２と係合する溝２２、２３が形成されている。さらに、可動枠２０の側面には、端部に抜け留めを有する支軸２４、２５が形成され、背面には、コイル２６が装着されている。コイル２６は、方形状に巻回されている。

３０は、可動枠２０をＹ−Ｚ平面方向に回動可能に軸支する固定枠（第２の保持体）である。固定枠３０には、可動枠２０を収容するための凹部３１が形成され、また、可動枠２０の支軸２４、２５と係合する溝３２、３３が形成されている。さらに、固定枠３０の内面には、コイル１４に磁界を印加するマグネット３４と、コイル２６に磁界を印加するマグネット３５が装着されている。なお、溝３２、３３は、それぞれ固定枠３０の前面から上下２つのマグネット３５間の隙間内まで延びている。

４０は、可動枠２０の支軸２４、２５が溝３２、３３から脱落しないよう、支軸２４、２５を前方から押さえる押さえ板である。なお、ミラーホルダ１０の支軸１１、１２を可動枠２０の溝２２、２３から脱落しないよう規制する押さえ板は、図示省略されている。

アクチュエータをアセンブルする際には、ミラーホルダ１０の支軸１１、１２を可動枠２０の溝２２、２３に係合させ、さらに、支軸１１、１２の前面を押さえるようにして、押さえ板（図示せず）を可動枠２０の前面に装着する。これにより、ミラーホルダ１０が、可動枠２０によって、Ｘ−Ｙ平面方向に回動可能に支持される。

このようにしてミラーホルダ１０を可動枠２０に装着した後、可動枠２０の支軸２４、２５を固定枠３０の溝３２、３３に係合させ、さらに、支軸３２、３３の前面を押さえるようにして、押さえ板４０をマグネット３５の前面に装着する。これにより、可動枠２０が、Ｙ−Ｚ平面方向に回動可能に固定枠３０に装着され、アクチュエータのアセンブルが完了する。その後、支軸１２の端部にレーザチップが装着される。

ミラーホルダ１０が可動枠２０に対しＸ−Ｙ平面方向に回動すると、これに伴ってミラー１３と、支軸１２の端部に装着されたレーザチップが回動する。また、可動枠２０が固定枠３０に対しＹ−Ｚ平面方向に回動すると、これに伴ってミラーホルダ１０が回動し、ミラーホルダ１０と一体的にミラー１３とレーザチップが回動する。このように、ミラーホルダ１０は、互いに直交する支軸１１、１２と支軸２４、２５によって、２次元方向に回動可能に支持され、ミラーホルダ１０の回動に伴って、レーザチップが回動する。

なお、同図（ｂ）に示すアセンブル状態において、２つのマグネット３４は、コイル１４をＸ軸方向に２分割したときの各分割パートにそれぞれ対向している。これら２つのマグネット３４は、コイル１４に電流を印加すると、コイル１４の各分割パートにそれぞれＹ軸に平行な反対方向の電磁駆動力が生じるよう極性が調整されている。このため、コイル１４に所定方向の電流を印加すると、コイル１４に生じる電磁駆動力によって、ミラーホルダ１０が、支軸１１、１２を軸として、Ｘ−Ｙ平面方向に回動する。

また、同図（ｂ）に示すアセンブル状態において、上下方向に分割された２つのマグネット３５は、Ｚ軸方向に平行なコイル２６の一辺をＺ軸方向に２分割したときの各分割パートにそれぞれ対向している。ここで、２つのマグネット３５は、コイル２６に電流を印加すると、コイル２６の各分割パートにそれぞれＹ軸に平行な反対方向の電磁駆動力が生じるよう極性が調整されている。このため、コイル２６に電流を印加すると、コイル２６に生じる電磁駆動力によって、可動枠２０が、支軸２４、２５を軸として、Ｙ−Ｚ平面方向に回動する。

このように、コイル１４とコイル２６に電流を印加することにより、ミラーホルダ１０と可動枠２０がそれぞれＸ−Ｙ平面方向およびＹ−Ｚ平面方向に回動する。これにより、ミラー１３とレーザチップが、ミラーホルダ１０と一体となって、Ｘ−Ｙ平面方向およびＹ−Ｚ平面方向に回動する。

図２は、支軸１２の端部に対するレーザチップの装着状態を示す図である。同図（ａ−２）および（ｂ−２）は、レーザチップが正面を向くときの状態を示す平面図および側面図、同図（ａ−１）および（ｂ−１）は、同図（ａ−２）および（ｂ−２）の状態から、支軸１２が図中の矢印Ａ方向に回動したときの状態を示す平面図および側面図、同図（ａ−３）および（ｂ−３）は、同図（ａ−２）および（ｂ−２）の状態から、支軸１２が図中の矢印Ｂ方向に回動したときの状態を示す平面図および側面図である。図中、実線矢印は、レーザ光の出射方向である。

レーザチップ５０は、ヒートシンク５１を介して支軸１２の端部に装着されている。ここで、レーザチップ５０は、発光部５０ａが支軸１２の軸中心に位置し、かつ、レーザ光の出射方向が支軸１２の中心軸に対し垂直となるよう、支軸１２の端部に装着されている。したがって、レーザチップ５０の発光部５０ａは、支軸１２が回動しても位置変位を起こさず、軸中心上で回転するのみとなる。

同図（ａ−２）の状態から、ミラーホルダ１０が支軸１１、１２を軸として図中の矢印Ａ方向に回転すると、レーザ光の出射方向が同図（ａ−１）に示す方向へと変化し、また、ミラーホルダ１０が図中の矢印Ｂ方向に回転すると、レーザ光の出射方向が同図（ａ−３）に示す方向へと変化する。つまり、図１（ｂ）において、ミラー１３が支軸１１、１２を軸としてＸ−Ｙ平面方向に回動すると、これに伴って、レーザ光の出射方向もＸ−Ｙ平面方向に回動する。

また、図１（ｂ）において、ミラー１３が可動枠２０と一体的に支軸２４、２５を軸としてＹ−Ｚ平面方向に回動すると、これに伴って支軸１１、１２がＹ−Ｚ平面方向に傾き、支軸１２の端部に装着されたレーザチップ５０も、支軸１１、１２の傾きに伴ってＹ−Ｚ平面方向に傾く。したがって、レーザ光の出射方向は、ミラー１３がＹ−Ｚ平面方向に回動するに伴って、Ｙ−Ｚ平面に回動する。

図３は、図１（ｂ）に示すアクチュエータ１００が装着された状態の光学系の構成を示す図である。

図３において、３００は、光学系を支持するベースである。ベース３００には、凹部３０１が形成され、この凹部３０１にレーザチップ５０が収容されるようにして、アクチュエータ１００がベース３００上に装着されている。

ベース３００の上面には、ミラー２０１、２０２と、ビーム整形用のレンズ２０３、２０４が装着されている。また、ベース３００には、ミラー２０１に対向する位置にレーザ光源（図示せず）が装着されている。

レーザ光源（図示せず）から上向きに出射されたレーザ光は、ミラー２０１によって水平方向に反射された後、さらにミラー２０２によって、進行方向が水平方向に９０度折り曲げられる。その後、レーザ光は、レンズ２０３、２０４によって、それぞれ、水平方向および鉛直方向の収束作用を受ける。なお、レンズ２０３、２０４は、目標領域（たとえば、ビーム出射口から前方１００ｍ程度の位置に設定される）におけるビーム形状が、所定の大きさ（たとえば、縦２ｍ、横１ｍ程度の大きさ）になるようレンズ面が設計されている。

レンズ２０３、２０４を透過したレーザ光は、アクチュエータ１００のミラー１３に入射し、ミラー１３によって目標領域に向かって反射される。アクチュエータ１００によってミラー１３が２次元駆動されることにより、レーザ光が目標領域内において２次元方向にスキャンされる。

アクチュエータ１００は、ミラー１３が中立位置にあるときに、レンズ２０４からのレーザ光がミラー１３のミラー面に対し水平方向において４５度の入射角で入射するよう配置されている。なお、「中立位置」とは、ミラー面が鉛直方向に対し平行で、且つ、レーザ光がミラー面に対し水平方向において４５度の入射角で入射するときのミラー１３の位置をいう。

凹部３０１の内側面には、レーザチップ５０に対向する位置にＰＳＤ（Position Sensing Device）６０が装着されている。ここで、ＰＳＤ６０は、ミラー１３が中立位置にあるときに、レーザチップ５０からのレーザ光が受光面の中心位置に照射されるよう配置されている。

図４（ａ）は、ＰＳＤ６０の構成を示す図（側断面図）、図３（ｂ）はＰＳＤ６０の受光面を示す図である。

図４（ａ）を参照して、ＰＳＤ６０は、Ｎ型高抵抗シリコン基板の表面に、受光面と抵抗層を兼ねたＰ型抵抗層を形成した構造となっている。抵抗層表面には、同図（ｂ）の横方向における光電流を出力するための電極Ｘ１、Ｘ２と、縦方向における光電流を出力するための電極Ｙ１、Ｙ２（同図（ａ）では図示省略）が形成されている。また、裏面側には共通電極が形成されている。

受光面にレーザ光が照射されると、照射位置に光量に比例した電荷が発生する。この電荷は光電流として抵抗層に到達し、各電極までの距離に逆比例して分割されて、電極Ｘ１、Ｘ２、Ｙ１、Ｙ２から出力される。ここで、電極Ｘ１、Ｘ２、Ｙ１、Ｙ２から出力される電流は、レーザ光の照射位置から各電極までの距離に逆比例して分割された大きさを有している。よって、電極Ｘ１、Ｘ２、Ｙ１、Ｙ２から出力される電流値をもとに、受光面上における光の照射位置を検出することができる。

図５は、ＰＳＤ６０からの信号を処理する処理回路の構成を示す図である。

電極Ｙ１、Ｙ２から出力された信号は、それぞれ、アンプ４０４、４０１で増幅された後、減算回路４０５で減算される。これにより、電極Ｙ１−Ｙ２方向におけるレーザ光の照射位置を示す信号が生成される（Ｙ出力）。また、電極Ｘ１、Ｘ２から出力された信号は、それぞれ、アンプ４０３、４０２で増幅された後、減算回路４０６で減算される。これにより、電極Ｘ１−Ｘ２方向におけるレーザ光の照射位置を示す信号が生成される（Ｘ出力）。これら、Ｘ出力とＹ出力をもとに、受光面上における光の照射位置が検出される。

なお、アンプ４０１〜４０４から出力される信号は、加算回路４０７によって加算される。これにより、受光面に照射されたレーザ光の全光量を示す信号が生成される（ＳＵＭ出力）。この信号は、レーザチップ５０の出力パワーを調整するＡＰＣ（Automatic Power Control）回路に入力され、パワー調整用のモニタ信号として利用される。このようにＰＳＤ６０からの信号をパワー調整用のモニタ信号として利用することにより、レーザチップ５０の装着位置にパワーモニタ用のフォトダイオードを配する必要がなくなる。つまり、支軸１２の端部には、レーザチップ５０のみを配すればよく、これにより、構成の簡素化と、ミラーホルダ１０の軽量化、ひいては、ミラー１３の駆動レスポンスの向上を図ることができる。

図３に戻り、レーザチップ５０から出射されたレーザ光は、レーザチップ５０に対向配置されたＰＳＤ６０に照射される。ここで、ＰＳＤ６０上におけるレーザ光の照射位置は、レーザチップ５０の傾斜状態に応じて変位する。上記のとおり、レーザチップ５０はミラー１３と一体的に回動するため、ミラー１３の回動位置とレーザチップ５０の回動位置は一対一に対応する。したがって、レーザチップ５０から出射されたレーザ光のＰＳＤ６０受光面上における照射位置は、ミラー１３の回動位置に対応することとなる。よって、ＰＳＤ６０受光面上におけるレーザ光の照射位置をもとにミラー１３の回動位置を検出することができ、さらには、目標領域内におけるビームのスキャン位置を検出することができる。

本実施の形態によれば、支軸１２の端部にレーザチップ５０が装着されるため、ミラー面の傾き状態をレーザ光の出射方向にダイレクトに反映することができる。よって、これを受光するＰＳＤ６０からの出力をもとに、ミラー１３の回動状態を精度良く検出することができ、その結果、ビームのスキャン位置の検出精度を高めることができる。

また、本実施の形態によれば、支軸１２の端部に小さなレーザチップ５０を配する構成であるから、ミラー１３の回動状態を検出するための構成としてミラーホルダ１０に付加される構成を極めて簡素かつ小型のものとすることができ、よって、ミラーホルダ１０の構成の簡素化と、ミラー１３の駆動レスポンスの向上を図ることができる。

このように、本実施の形態によれば、簡素かつ小型化された構成をもってミラー１３の回動状態を円滑かつ精度良く検出することができる。

なお、本発明は、上記実施の形態に制限されるものではなく、また、本発明の実施の形態も上記の他に種々の変更が可能である。

たとえば、上記実施の形態では、レーザチップ５０からのレーザ光をＰＳＤ６０で受光するようにしたが、図６にしめすように、４分割センサ６１によってレーザ光を受光するよう構成することもできる。この場合、４分割センサ６１は、ミラー１３が中立位置にあるときに。レーザ光の光軸が２つの分割線の交点を貫くように配置される。

センサＳ１〜Ｓ４から出力された信号は、それぞれ、アンプ４１１〜４１４によって増幅される。アンプ４１１、４１２からの信号と、アンプ４１３、４１４からの信号は、それぞれ、加算回路４１５、４１６で加算され、加算回路４１５、４１６からの信号が、減算回路４１９で減算される。これにより、図４（ｂ）に示す電極Ｙ１−Ｙ２方向におけるレーザ光の照射位置を示す信号が生成される（Ｙ出力）。また、アンプ４１１、４１４からの信号と、アンプ４１２、４１３からの信号は、それぞれ、加算回路４１７、４１８で加算され、加算回路４１７、４１８からの信号が、減算回路４２０で減算される。これにより、図４（ｂ）に示す電極Ｘ１−Ｘ２方向におけるレーザ光の照射位置を示す信号が生成される（Ｘ出力）。

さらに、加算回路４１５〜４１８から出力される信号は、加算回路４２１によって加算される。これにより、４分割センサに照射されたレーザ光の全光量を示す信号が生成される（ＳＵＭ出力）。この信号は、上記実施の形態と同様、レーザチップ５０の出力パワーを調整するＡＰＣ回路に入力され、パワー調整用のモニタ信号として利用される。

図６の構成によれば、レーザチップ５０からのレーザ光を受光する受光素子として安価な４分割センサを用いることができるため、上記実施の形態に比べ、コストの低減を図ることができる。

なお、レーザ光は、レーザチップ５０から拡散状態で出射されるため、レーザチップ５０とＰＳＤ６０の距離が離れるほど、受光面上におけるレーザ光のビームスポットは大きくなる。この場合、ＰＳＤ６０の受光面をビームスポットのサイズに応じて広げる必要があるが、レーザチップ５０とＰＳＤ６０の間にレーザ光を収束させるためのレンズを配置して受光面上におけるビームスポットを絞るようにすれば、ＰＳＤ６０の受光面を小さくすることができる。ただし、この場合には、レンズを配する分だけ部品点数の増加とコストの上昇を招くこととなる。

また、上記実施の形態では、レーザチップ５０を支軸１２の端部に配するようにしたが、ミラー１３が装着される板状部の裏面等、ミラーホルダ１０の他の部分にレーザチップを配するようにしても良い。この場合、適宜、ＰＳＤ６０または４分割センサ６１の配置位置が変更される。

さらに、上記実施の形態では、レーザチップ５０をミラーホルダ１０に装着するようにしたが、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）チップをミラーホルダ１０に装着するようにすることもできる。

この他、本発明の実施の形態は、特許請求の範囲に示された技術的思想の範囲内において、適宜、種々の変更が可能である。

実施の形態に係るビーム照射用アクチュエータの構成を示す図 実施の形態に係るレーザチップの装着状態を示す図 実施の形態に係るビーム照射装置の構成（光学系）を示す図 実施の形態に係るＰＳＤの構成を示す図 実施の形態に係るＰＳＤの信号処理回路の構成を示す図 実施の形態に係るＰＳＤの信号処理回路の構成の変更例を示す図

符号の説明

１０ ミラーホルダ
１２ 支軸
１３ ミラー
１４ コイル
２０ 可動枠（第１の保持体）
２６ コイル
３０ 固定枠（第２の保持体）
３４ マグネット
３５ マグネット
５０ レーザチップ
６０ ＰＳＤ（光検出器）
６１ ４分割センサ（光検出器）

Claims (5)

1. ミラーと、
   前記ミラーを保持するミラーホルダと、
   前記ミラーホルダを第１の方向に回動可能に軸支する第１の保持体と、
   前記第１の保持体を前記第１の方向に垂直な第２の方向に回動可能に軸支する第２の保持体と、
   前記第１および第２の保持体をそれぞれ前記第１および第２の方向に駆動する電磁駆動部と、
   前記ミラーホルダに一体的に配された発光素子と、
   前記発光素子からの光を受光してその受光位置に応じた信号を出力する光検出器とを有する、
   ことを特徴とするビーム照射装置。
2. 請求項１に記載のビーム照射装置において、
   前記発光素子は、ミラーホルダの回動軸に装着されている、
   ことを特徴とするビーム照射装置。
3. 請求項１または２に記載のビーム照射装置において、
   前記発光素子は、レーザチップまたはＬＥＤチップである、
   ことを特徴とするビーム照射装置。
4. 請求項１ないし３の何れか一項に記載のビーム照射装置において、
   前記光検出器は、ＰＳＤまたは４分割センサである、
   ことを特徴とするビーム照射装置。
5. 請求項１ないし４の何れか一項に記載のビーム照射装置において、
   前記電磁駆動部は、前記ミラーホルダと前記第１の保持体にそれぞれ配された第１および第２のコイルと、前記第２の保持体に前記第１および第２のコイルに対向するよう配置された第１および第２のマグネットとを有する、
   ことを特徴とするビーム照射装置。

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