JP2008221329A - 加熱装置 - Google Patents

Abstract

【課題】加熱により気化した気化物質を効率よく除去することができ、基板に与える悪影響を防止することができる加熱装置を提供する。
【解決手段】加熱装置１を、搬送手段６５により搬送される基板Ｗに向けて複数個の加熱送風機により、熱風Ｈを噴射することで基板Ｗ上のはんだ組成物を加熱溶融してはんだ付けし、かつその噴射した熱風ｈを回収し還流できるような構成とする。更に、複数個の加熱送風機のうち低温側の加熱送風機１０ｃと高温側の加熱送風機１０との間に第１連結体４と、第２連結体５とを架けわたし、第１連結体４内に、加熱送風機１０ｃから熱風とともに送られるフラックスヒュームを熱分解させる触媒を設け、第２連結体５内に、加熱送風機１０から熱風とともに送られるフラックスヒュームを冷却して液化させ、かつ回収させる気化物質冷却回収機構を設けた。
【選択図】図３

Description

本発明は、加熱装置に係り、より詳しくは、はんだ組成物を加熱してプリント回路基板等の電極にはんだ付けするリフロー時に、加熱により気化した気化物質を効率よく除去することができる加熱装置に関する。

近年、電子機器の小型化・高機能化に伴う半導体基板やプリント回路基板等での電気配線及び電極端子の微細化と、更には環境配慮型製品の需要から鉛を含まない新たなはんだ合金でのはんだ層形成の必要性が増してきている。
プリント回路基板等に電気配線を行うには、基板等の電極にはんだ付けされていることが必要で、そのため、加熱装置内において、基板上にはんだ組成物を載せておいて、熱風を噴射して加熱し、はんだ組成物内のはんだを溶融させて基板の電極に付着させるリフロー工程が実施されている。

ところが、このリフロー工程時に、はんだ組成物の一部や有機溶剤が加熱により気化し、ミスト状となったフラックスヒューム（気化物質）が加熱装置内に浮遊するという事態が生じている。
この気化物質は、温度の低い部位に付着し易く、この気化物質が付着すると、付着している部位から滴下し、基板の上面に付着することもあり、基板の性能を損なうこととなる。また、炉内に於いて温度が低下する部分に堆積する等により、リフロー工程に大きな影響を与える場合もある。
そこで、いかにして、気化物質の除去を行うかが大きな問題となっている。

加熱により気化し、ミスト状となって浮遊している気化物質の回収方法として、第１に、例えば、図１２に示すような方法がある。
この方法では、気化物質を冷却して液化させ、その液化したものを回収するものである。
すなわち、図１２に示すように、加熱装置１００の内部に、基板Ｗに熱風Ｈを噴射する複数の加熱送風機１０１が設けられ、更に、加熱装置１００には、前記気化物質を冷却させる冷却機構１０２が設けられている。この冷却機構１０２は、基板Ｗに向けて噴射した後の熱風ｈを回収する際に、その熱風ｈとともに気化物質を通過させるように構成されている。冷却機構１０２では、気化物質が冷却機構１０２内部の部材に衝突する等して熱交換されて冷却され、かつ衝突した部材に付着するようになっている。そして、付着した気化物質は、冷却機構１０２に連結された回収機構により、常時回収されるようになっている。

また、加熱により気化した気化物質の除去方法として、第２に、例えば、図１３に示すようなリフロー装置が知られている（特許文献１参照）。
このリフロー装置では、気化物質を、触媒１１３によって熱分解（酸化）させ、これにより除去するものであり、図１１に示すように、加熱装置１１０の内部に、基板Ｗに熱風Ｈを噴射する複数の加熱送風機１０１が設けられている。これらの加熱送風機１０１の上方には、ヒータ１１２と一体となって触媒１１３が配置されている。基板Ｗに向けて噴射した後の熱風ｈを回収する際に、その熱風ｈとともに気化物質も回収される方向に移動するが、気化物質は触媒１１３によって分解されるようになっている。
触媒１１３はハニカム構造となっており、この触媒１１３を、例えば２６０℃に加熱して、気化物質を熱分解するようになっている。

一般に、触媒の温度が高くなるほど、気化物質の熱分解の効率がよくなるとされており、その触媒の温度と気化物質の熱分解効率との関係を、図１４に基づいて説明する。
同図１４に示すように、例えば、触媒の温度が４００℃になると、気化物質の１００％の熱分解が可能となる。従って、触媒によって気化物質を効率よく熱分解させようとすると、触媒を可能な限り４００℃に近づけることが望まれる。

特許２７８２７９１号公報

しかしながら、前記第１の方法では、ミスト状の気化物質が冷却機構１０２内部の部材に衝突する等して熱交換されて冷却され、かつ衝突した部材に付着するようになっているが、冷却機構１０２内を通過する気化物質のみが除去、回収される。大部分の気化物質は依然として装置内を浮遊しており、エネルギー効率が悪く、加熱により気化した気化物質の回収、除去が充分でないという問題がある。

また、前記第２の方法および特許文献１に開示された方法では、基板を加熱する温度が、徐々に加熱するプリヒートゾーン、はんだが溶融する温度で加熱するリフローゾーンで、それぞれ予め設定されている。そのため、リフローゾーンでも部品実装の場合には、２６０℃程度に制約されており、稼動時に設定温度になると、ヒータが「ｏｎｎ−ｏｆｆ」制御される。
ここで、触媒（特に特許文献１に開示された白金担持触媒）は、前述の図１４での説明のように、かなりの高温でないと効果を発揮することができず、触媒温度が例えば２６０℃では、図１４に照らし合わせた場合、６５％しか分解できず、触媒による熱分解は僅かしか期待できないという問題がある。

そこで、本発明は前記問題点を解決し、加熱により気化した気化物質を効率よく除去することができ、基板に与える悪影響を防止することができる加熱装置を提供することを目的とする。

本発明の加熱装置は、搬送手段により搬送される被加熱物に向けて複数個の加熱送風機により媒体を加熱し熱風として噴射することで前記被加熱物上のはんだ組成物を加熱溶融してはんだ付けし、かつその噴射した熱風を回収し還流させる加熱装置において、前記複数個の加熱送風機のうち異なる加熱送風機同士を連結する第１連結体を備え、この第１連結体を、前記回収した熱風を前記異なる加熱送風機のうち一方から他方に送風可能とすると共に、その内部に加熱により気化した気化物質を熱分解させる触媒と、この触媒を加熱させる加熱手段とを備えたことを特徴とする（請求項１）。

この発明によれば、２つの加熱送風機のうち一方から他方に、媒体を加熱した熱風が第１連結体を介して送られる際、第１連結体内で触媒が加熱され、この触媒により気化物質が熱分解される。その結果、加熱により気化した気化物質を効率よく除去することができ、基板に与える悪影響を防止することができる。

本発明において、前記媒体が空気であることを特徴とする（請求項２）。
この発明によれば、媒体物の種類によっては、加熱装置内の構成部材の材質等を検討する必要もあるが、媒体が空気であるので、そのような必要はなく、通常の状態で加熱することができ、安全性の点からも何ら問題がない。その結果、加熱により気化した有機溶剤を効率よく除去することができる。

本発明において、前記媒体が不活性ガスであることを特徴とする（請求項３）。
この発明によれば、使用されるはんだ組成物中の活性を下げることが可能で、発生する気化物質の量を抑え、また、熱分解が容易となる。その結果、加熱により気化した気化物質を効率よく除去することができる。
上記本発明の不活性ガスとしては、主として窒素を含むものが好ましく、この場合、酸素濃度が１０００ｐｐｍ（０．１％）程度の低酸素濃度雰囲気であることがより好ましい。

前記第１連結体で連結する前記異なる加熱送風機同士を、前記一方の加熱送風機内部の熱風温度と前記他方の加熱送風機内部の熱風温度との間で温度差がある加熱送風機で構成すると共に、前記一方の加熱送風機内部の熱風温度が前記他方の加熱送風機内部の熱風温度より低くなるように設定し、かつ前記第１連結体内の温度を前記他方の加熱送風機内部の熱風温度より高く設定してもよい（請求項４）。

この発明によれば、第１連結体により異なる熱風温度の加熱送風機同士が連結され、第１連結体には、熱風温度が低い方の一方の加熱送風機から熱風温度が高い方の他方の加熱送風機に熱風が送風される。この際、第１連結体内の温度が他方の加熱送風機内の熱風温度よりも高く設定されているので、この第１連結体内において触媒の熱分解性の高い状態を維持できる。その結果、加熱により気化した気化物質を効率よく除去することができる。

前記第１連結体の一端を前記一方の加熱送風機内部の高圧部に接続すると共に、前記第１連結体の他端を前記他方の加熱送風機内部の低圧部に接続してもよい（請求項５）。

この発明によれば、第１連結体の内部を流通する熱風及び気化物質が一方の加熱送風機の最も圧力の高い部位から他方の加熱送風機側に自然に送り込まれるので、熱風等を送り込むための送風機を別個に設けなくてもよい。

前記触媒と加熱部とを一体的に連結させてもよい（請求項６）。
この発明によれば、触媒と加熱部とが一体的に連結されているので、取り扱いや管理が容易である。

前記一体的に連結させた触媒と加熱部とを前記第１連結体に着脱可能としてもよい（請求項７）。
この発明によれば、取り外し可能な構造とすることで、メンテナンス性が改善されるとともに、触媒の性能が劣化した場合、容易に交換することができる。

前記第１連結体に、その内部を流れる前記熱風の流量を制御する流量制御機構を設けてもよい（請求項８）。
この発明によれば、第１連結体内を流れる熱風を常時最適な量とすることができるので、触媒による熱分解をバランスよく行える。

本発明において、前記一方の加熱送風機及び他方の加熱送風機における熱交換後の熱風を回収する回収路内に、それぞれ回収される熱風を加熱する熱交換器の複数の加熱体が前記回収路の熱風の流れに沿った方向に所定間隔で設けられ、前記それぞれの加熱体の間に、回収される熱風に含まれる前記気化物質を熱分解する触媒を配置してもよい（請求項９）。

この発明によれば、第１連結体に送られる前の段階でも、一方の加熱送風機の熱交換器を構成する複数の加熱体により、それらの間に配置された触媒が加熱されるので、この触媒によっても所定の割合で気化した気化物質が分解される。
また、第１連結体内でも触媒によって気化物質が熱分解され、更に、他方の加熱送風機でも複数の加熱体で加熱された触媒により気化物質が熱分解される。その結果、２つの加熱送風機における都合３箇所の位置での触媒による気化物質の熱分解が行われるので、気化物質を効率よく除去することができる。

本発明において、前記複数個の加熱送風機のうち２つの加熱送風機を連結する第２連結体を備え、この第２連結体を、連結本体と、この連結本体の内部に設けられ前記気化物質を冷却して回収する気化物質冷却回収機構とを含み構成してもよい（請求項９）。

この発明によれば、第２連結体を流れる気化物質は、熱交換により冷却されて液化され、気化物質冷却回収機構に付着する。その結果、循環する媒体より気化物質が分離除去され、これにより、気化物質を効率よく除去することができる。

本発明において、前記複数個の加熱送風機のうち異なる加熱送風機を連結する第２連結体を備え、この第２連結体を、連結本体と、この連結本体の内部に設けられ前記気化物質を冷却して回収する気化物質冷却回収機構とを含む構成にしてもよい（請求項１０）。

この発明によれば、異なる加熱送風機が第２連結体で連結され、この第２連結体内で、気化物質冷却回収機構により気化物質が冷却され、かつ回収されるので、気化物質を効率よく除去することができる。

本発明において、前記異なる加熱送風機を、前記第１連結体で連結された前記他方の加熱送風機および前記一方の加熱送風機で構成し、前記第２連結体の一端を前記他方の加熱送風機内部の高圧部に接続すると共に、前記第２連結体の他端を前記一方の加熱送風機内部の低圧部に接続してもよい（請求項１１）。

この発明によれば、異なる加熱送風機間に第１連結体と第２連結体とが架けわたされているので、第１連結体で加熱により気化した気化物質を分解して除去し、第２連結体で上記気化物質を冷却して液化させて分離除去することができる。従って、２つの加熱送風機間で往復での気化物質の除去ができるので、より一層、効率よく除去することができる。
また、第１連結体の内部を流通する熱風及び気化物質が他方の加熱送風機内の高圧部から一方の加熱送風機内の低圧部に自然に送り込まれるので、熱風等を送り込むための送風機を別個に設けなくてもよい。

本発明において、前記気化物質冷却回収機構を、加熱により気化しかつ前記連結本体内を流れる前記気化物質を衝突させて熱交換し、冷却された気化物質を付着させる複数個の突起状部材で構成してもよい（請求項１２）。

この発明によれば、連結本体内を流れる気化物質が複数個の突起状部材に順次衝突し、その都度、熱交換されて冷却され、複数個の突起状部材に付着されるので、エネルギー効率を向上させることができる。

本発明において、前記気化物質冷却回収機構の複数の突起状部材に、前記気化物質を静電吸着させる高電圧を印加する電圧印加手段を設けてもよい（請求項１３）。
この発明によれば、電圧印加手段により、第２連結体の複数の突起状部材に高電圧が印加されるので、複数の突起状部材が、それぞれ＋の電荷、または−の電荷に帯電され、これらの電荷が気化物質を静電吸着し、これにより、第２連結体内の気化物質の捕集性が向上し、媒体中の気化物質の除去の効率化を図ることができる。

本発明において、前記第１連結体に、前記触媒により前記気化物質の熱分解を促進させるために酸素また、は空気量をコントロールして送り込む気体供給手段を設けてもよい（請求項１４）。
この発明によれば、媒体が不活性ガスである場合に、第１連結体に設けられた気体供給手段により、酸素また、は空気量をコントロールして第１連結体内に送り込まれるので、触媒により気化物質の熱分解が促進される。その結果、媒体中の気化物質の除去の効率化を図ることができる。

本発明は、以上のように構成され機能するので、これによると、２つの加熱送風機のうち一方から他方に、媒体を加熱した熱風が第１連結体を介して送られる際、第１連結体内で触媒が加熱され、この触媒により気化物質が熱分解される。その結果、加熱により気化した気化物質を効率よく除去することができ、基板に与える悪影響を防止することができる。

以下、本発明に係る加熱装置１の実施形態を図面に基づいて説明する。
図１〜８には上記加熱装置１の第１実施形態が示されており、図１は加熱装置１の全体概略図、図２は加熱装置１における温度分布図、図３は加熱装置１を構成する複数の加熱送風機のうち異なる温度ゾーンでの隣り合う２個の加熱送風機の詳細図、図４，５は加熱装置１に用いられる第１連結体の詳細図、図６〜９は加熱装置１に用いられる第２連結体の詳細図である。

図１に示すように、本実施形態の加熱装置１は、加熱炉６１の炉体６２の内部を循環して、被加熱物であるプリント回路基板（以下、単に基板という）Ｗを搬送する搬送手段６５を備えている。この搬送手段６５は、一対の無端状の搬送チェーン６３と、この搬送チェーン６３を回動駆動する複数個のスプロケット６４を含み構成されている。

前記炉体６２内の上方には、搬送手段６５に沿って、前記基板Ｗを、媒体としての空気を加熱して当該基板Ｗ上に載せられたはんだ組成物内のはんだが溶融しない程度の所定温度に暖めるプリヒート用の複数個の加熱送風機１０ａ，１０ｂ，１０ｃと、基板Ｗ上のはんだ組成物を加熱して基板Ｗの電極にはんだ付けするリフロー用の複数個の加熱送風機１０，１０が配設されている。

搬送手段６５は、炉体６２の基板Ｗ搬出側に延長して設けられており、この搬送手段６５の延長部分には、基板Ｗを冷却する複数個の基板冷却装置６６，６６が配置されている。この基板冷却装置６６，６６は、加熱送風機１０ａ等と略同様の外形形状に形成され、その内部にファン等を装備して形成されると共に基板Ｗの上方に配置され、炉体６２から搬出された基板Ｗの表面を冷却できるようになっている。

なお、搬送手段６５の搬送チェーン６３は、前記加熱送風機１０ａ，１０ｂ，１０ｃ及び基板冷却装置６６，６６に沿って配設された図略のガイドレールにより案内されるように構成されている。

以上のように、本第１実施形態の加熱装置１では、炉体６２内の搬送手段６５に沿って、相互に隣接する熱風循環系からの熱の影響を抑えることができる閉ループ系の複数の加熱送風機１０ａ，１０ｂ，１０ｃ、及び加熱送風機１０，１０を配設することで、基板Ｗの温度のばらつきの少ない優れた温度プロファイルを得ることができる。

ここで、図２に基づいて、前記プリヒート時の温度、リフロー時の温度、及び冷却時の温度の温度分布について説明する。
図１，２に示すように、前記３個の加熱送風機１０ａ，１０ｂ，１０ｃ間にわたるプリヒート時の温度がプリヒートゾーンＡとされ、２個づつの加熱送風機１０，１０間にわたるリフロー時の温度がリフローゾーンＢとされ、基板冷却装置６６，６６の温度が冷却ゾーンＣとされている。

そして、プリヒートゾーンＡの温度は、例えば１５０℃〜１８０℃に設定され、リフローゾーンＢの温度は、例えば２６５℃に設定され、冷却ゾーンＣの温度は、例えば１００℃〜室温に設定されている。

つまり、プリヒートゾーンＡの加熱送風機１０ａ，１０ｂ，１０ｃは、媒体としての空気を、１５０℃〜１８０℃の温度の熱風にして噴射することができるように構成されている。また、リフローゾーンＢの加熱送風機１０，１０は、プリヒートゾーンＡの温度よりも高い温度の約２６５℃の温度の熱風にして噴射することができるように構成されている。更に、冷却ゾーンＣでは、リフローゾーンＢの温度よりも低い温度の１００℃〜室温の温度に冷却することができるように構成されている。

前記基板Ｗは、外部から搬入された後、前記搬送手段６５によってプリヒートゾーンＡに送り込まれ、かつそこで徐々に暖められ、その後、リフローゾーンＢに送られる。リフローゾーンＢでは、はんだ組成物内のはんだが溶融するような約２６５℃の温度で熱せられ、リフロー工程が行われる。基板Ｗの電極にはんだ付けされたら、その基板Ｗは搬送手段６５によって冷却ゾーンＣに送られ、そこで基板冷却装置６６により急速に冷却されるようになっている。

本第１実施形態の加熱装置１では、図３に詳細を示すように、複数個の前記加熱送風機１０ａ，１０ｂ，１０ｃ、１０，１０のうち、前記プリヒートゾーンＡの最後に配置された温度の低い加熱送風機１０ｃと、隣り合うリフローゾーンＢの最初に配置された温度の高い加熱送風機１０との間に、それぞれ第１連結体４および第２連結体５が架けわたされている。
そして、第１連結体４および第２連結体５内のそれぞれに、熱風と共にフラックスヒュームが流通するように構成したものである。ここで、フラックスヒュームとは、加熱により有機溶剤やはんだ組成物の一部が気化してミスト状となった気化物質のことをいう。

図３に示された加熱送風機１０ｃと加熱送風機１０とは、温度設定が異なるのみで構造は略同じなので、以下には加熱送風機１０を用いて構造の説明を行う。
なお、図３中、黒塗りの矢印は噴射される熱風の流れを示し、白抜きの矢印は噴射された後に回収される熱風ｈの流れを示す。

加熱送風機１０は、媒体である空気を加熱し熱風Ｈとして基板Ｗに噴射することでリフローを行い、更に、噴射した後の熱風を回収し熱風を循環させるものである。この加熱送風機１０は、熱風発生器本体１１を備えており、熱風発生器本体１１の内部下流側には、熱風流路１２の全域に熱風を均す整流機構１３が配置されている。この整流機構１３は、例えば多数の小穴が均等間隔で穿設されたパンチング板で構成されたものである。

さらに、熱風発生器本体１１において、整流機構１３の下流側には、基板Ｗに対して熱風を噴射する熱風噴射ユニット１４が設けられている。この熱風噴射ユニット１４は、前記パンチング板で形成されると共に熱風発生器本体１１の底部に装着され、パンチング板に形成されている多数の小穴が熱風Ｈを噴射する熱風噴射口１４Ａとなっている。

熱風噴射ユニット１４の熱風噴射口１４Ａから噴射され、基板Ｗを加熱した後に回収された熱風ｈは、吸給気機構１５により送風機２５側に送られ、更に送風機２５のケーシング２８から前記熱風発生器本体１１に送られるようになっており、これにより、熱風Ｈ、ｈは加熱送風機１０内で循環している状態である。

吸給気機構１５は、比較的低温の熱風ｈを回収する際のガイドとなる回収ガイド部１６Ａを有し、この回収ガイド部１６Ａは、加熱送風機１０の本体外周を形成する外周部材１６の下端に形成され、前記熱風噴射ユニット１４と平行となっている。

また、吸給気機構１５は、上記熱風ｈを吸引回収する回収通路１７を備えている。この回収通路１７は、熱風噴射ユニット１４の外周側部と前記外周部材１６との間に形成されるとともに、熱風発生器本体１１の上部に区画形成された吸気室１８に連通されている。また、この吸気室１８の中央部上方には、シロッコファン等の送風機２５の吸込口２０が開口されている。

前記回収通路１７には、前記比較的低温の熱風ｈを加熱して高温の熱風にするための熱交換器２１が配置されている。この熱交換器２１は、複数個のヒータエレメント２２を備えて構成されている。また、回収通路１７は加熱送風機１０内で負圧となっており、低圧部が構成されている。

前記送風機２５は、ケーシング２８の内部に設けられたインペラ２９が回転軸３０により回転自在に支持され、回転軸３０にケーシング２８の外部に設置されたモータ３１が接続されて構成されたものである。そして、インペラ２９の周囲に設けられた給気室３２は、複数の給気通路３３を経て、前記熱風発生器本体１１内に連通されている。
また、給気室３２は加熱送風機１０内で最も圧力が高くなっており、高圧部が構成されている。

そして、ここにおいて、前記回収通路１７、吸気室１８、吸込口２０、送風機２５、及び給気室３２等を含んで、前記吸給気機構１５が構成されている。

以上に説明した２つの加熱送風機１０ｃ、１０同士は、前述したように、また、図１，３に示すように、第１連結体４及び第２連結体５によって連結されている。

図４，５には上記第１連結体４が、図６〜８には上記第２連結体５の詳細が示されている。
まず、図４，５に基づいて第１連結体４を説明する。
第１連結体４は、加熱により気化したフラックスヒュームを、触媒４５によって熱分解させて除去することにより、加熱送風機１０に対して有害な気化物質をできる限り少なくしようとするものである。

第１連結体４は、図３に示すように、加熱送風機１０ｃ側から加熱送風機１０側に低くなる傾斜状態になっている。ただし、この図３では、全体が断面された状態で表わされているので、表示上、全体が急傾斜した形状となっているが、実際には、図１，５に示すように、一方の加熱送風機であるプリヒートゾーンＡの加熱送風機１０ｃと、他方の加熱送風機であるリフローゾーンＢの加熱送風機１０との、互いに平行な径方向中心の側面同士間に架けわたされている。
更に詳しくは、プリヒートゾーンＡの加熱送風機１０ｃ内の高圧部、つまり圧力が最も高くなった給気室３２と、リフローゾーンＢの加熱送風機１０の低圧部、つまり負圧となっている回収通路１７との間に架けわたされている。

このような第１連結体４は、例えば直径が１５０ｍｍ〜２００ｍｍのパイプで形成された本体部４０と、この本体部４０に設けられた前記触媒４５、および当該触媒４５を加熱する加熱手段であるヒータ４６とを備えて構成されている。
なお、本体部４０は、丸パイプでなくてもよく、例えば角パイプ形状のものでもよい。

本体部４０は、傾斜の上方側の直線部４０Ａ、下方側の直線部４０Ｂ及びこれらの直線部４０Ａ、４０Ｂを連結する傾斜部４０Ｃとを備えて構成されている。直線部４０Ａ及び直線部４０Ｂには、それぞれフランジ部４０Ｄが設けられ、フランジ部４０Ｄの内側面にはシール部材４１が設けられている。

そして、図４、５に示すように、第１連結体４における本体部４０の上方側の直線部４０Ａが、加熱送風機１０ｃの外面から基板Ｗの搬送方向と直交する方向に突出し、また、本体部４０の下方側の直線部４０Ｂは、加熱送風機１０の外面から基板Ｗの搬送方向と直交する方向に突出して設けられ、互いに突出した先端同士が、上述したように（図１，５の状態）、比較的緩やかな傾斜状に連結され、これにより、前記傾斜部４０Ｃが形成されている。
その結果、第１連結体４を長い寸法に形成することができ、触媒４５によるフラックスヒュームの熱分解の性能を向上させることができる。

以上のような構成の本体部４０は、その上方側の直線部４０Ａが、間にシール部材４１を介してプリヒートゾーンＡの加熱送風機１０ｃにおける給気室３２の側壁３２Ａにボルトナット４２により取り付けられている。
また、下方側の直線部４０Ｂは、間にシール部材４１を介してリフローゾーンＢの加熱送風機１０における回収通路１７を構成する外周部材１６の側壁１６Ｃにボルトナット４２により取り付けられている。

第１連結体４は、加熱送風機１０ｃの回収通路１７において、回収された温度の低い熱風ｈが熱交換器２１で加熱されて温度が高くなった後の熱風Ｈを、前述のように、一方の加熱送風機１０ｃ内部の高圧部、つまり最も圧力の高い給気室３２から、送風機２５によって、他方の加熱送風機１０内部の低圧部、つまり回収通路１７に送風するように構成されている。

図４，５に示すように、第１連結体４の内部には前述のように触媒４５が設けられている。
この触媒４５は、前記本体部４０における傾斜部４０Ｃの内部に収容されるような円柱状で、かつ通気性良好な部材で形成され、傾斜部４０Ｃの略全長にわたる長さを有している。
触媒４５の径方向中心には全長わたる貫通穴４５Ａがあけられ、この貫通穴４５Ａには、前記ヒータ４６が挿入されている。ヒータ４６は、全体が略Ｌ字形状に形成されており、Ｌ字の短辺部４６Ａの先端が前記傾斜部４０Ｃの外部に突出している。
ヒータ４６の短辺部４６Ａは取付け板４７に固定されている。また、取付け板４７にはシール部材４３が設けられている。
なお、触媒４５とヒータ４６との取り付けは、図略の固定部材により行われている。

本体部４０の所定位置、例えば上方の直線部４０Ａの近傍位置には、ヒータ４６の短辺部４６Ａ用の貫通穴４０Ｅがあけられている。
また、触媒４５及びヒータ４６は、本体部４０の一部（仮想線で示す）の装着部４０Ｆに取り付けられ、この装着部４０Ｆは、断面半円状かつ所定長さに形成されると共に、本体部４０の傾斜部４０Ｃに対して着脱可能に取り付けられている。これにより、装着部４０Ｆを取り外すことで、ヒータ４６及び触媒４５を本体部４０から取り外すことができるようになっている。その結果、触媒４５の性能が劣化した場合等、一部４０Ｆを本体部４０から取り外し、更に、触媒４５をヒータ４６から取り外すことで、触媒４５を交換することができる。

ヒータ４６は、図略の制御装置に接続されており、この制御装置によって温度調整され、前記触媒４５を任意の温度に加熱することができるようになっている。また、このヒータ４６による加熱温度を計測する温度センサ４４が前記下方の直線部４０Ｂに設けられ、この温度センサ４４が本体部４０内部の熱風Ｈの温度を計測するようになっている。
そして、温度センサ４４が所定以上の温度を検知したとき、上記制御装置に信号が送られ、制御装置によりヒータ４６の温度が下げられるようになっており、これにより、異常加熱の防止が図られている。また、取付け板４７は、ボルトナット４８により、本体部４０に対して着脱可能となっている。

なお、ヒータ４６を高容量のものとすることで、高温側の加熱送風機１０の温度制御を行うようにしてもよい。このようにすれば、加熱送風機１０のヒータが不要とすることもできる。
また、図４に示すように、上方の直線部４０Ａの途中には、第１連結体４の内部を流通する熱風等の流量を制御する流量制御手段５９が設けられている。この流量制御手段５９は流量調整弁等で構成され、外部から手動または自動で流量を制御することができるようになっている。なお、この流量制御手段５９は、下方の直線部４０Ｂに設けてもよい。

第１連結体４の本体部４０内の温度は、２つの加熱送風機１０ｃ、１０のうち、加熱送風機１０ｃ内の温度より高い温度に設定、調整されている。より好ましくは、触媒に適した温度であることである。
また、第１連結体４の本体部４０内の温度が高温側の加熱送風機１０内の温度より高い温度に設定、調整されている場合は、流量を調整したり、他方の加熱送風機１０内のヒータを制御する等で対応する。また、冷却手段を設けてもよい。
すなわち、図４，５に示す２つの加熱送風機１０ｃ、１０のうち、左側の加熱送風機１０ｃがプリヒートゾーンＡの最後に配置されたものであり、その内部温度は例えば１８０℃に設定されている。これに対して、図４の右側の加熱送風機１０がリフローゾーンＢの最初に配置されたものであり、その内部温度は例えば２６５℃に設定されている。

そのため、第１連結体４内の温度は、上記加熱送風機１０内の温度２６５℃以上の温度、例えば３００℃以上になるように、第１連結体４内のヒータ４６の温度が制御される。
そして、ヒータ４６の温度を３００℃以上にすることで、前記触媒４５の熱分解の性能が向上し、熱分解効率を表す図１４に点線Ｆで示すように、第１連結体４内の有機溶剤を約７５％も分解できるようになっている。
なお、ヒータ４６の温度設定は３００℃以上に限定されるとしたが、それ以上なら、例えば４００〜５００℃としてもよい訳ではなく、第１連結体４の材料に与える影響、加熱送風機１０内に与える影響が大きくならない温度、例えば３００〜３５０℃程度が好ましい。

第１連結体４内で分解されなかった約２５％のフラックスヒュームは、第１連結体４からリフローゾーンＢの加熱送風機１０内の回収通路１７に送り込まれる。この際、３００℃以上の熱風も送り込まれるが、第１連結体４から送り込まれる熱風Ｈの量に比べて、上記回収通路１７内は空間が広いので、前記熱交換器２１のヒータエレメント２２で加熱された熱風Ｈの温度２６５℃を大幅に上昇させることはない。
仮に、２６５℃より想定以上に上昇させるようであれば、熱交換器２１のヒータエレメント２２の温度設定を低く制御すればよい。

前記加熱送風機１０ｃ、１０のそれぞれの回収通路１７，１７には、前述のように、熱交換器２１を構成する加熱体である複数個のヒータエレメント２２が、熱風ｈの回収方向に沿って所定間隔で配置されている。
本第１実施形態では、図３に示すように、これらのヒータエレメント２２の間にも触媒４９が配置され、これらの触媒４９により、回収通路１７で回収される熱風ｈに含まれる前記フラックスヒュームが熱分解されるようになっている。

そのため、加熱送風機１０ｃの回収通路１７内でも、フラックスヒュームが触媒４９により、所定の割合で熱分解される。そして、熱風とともに加熱送風機１０ｃの回収通路１７から第１連結体４に送られた上記フラックスヒュームは、その第１連結体４で大部分が熱分解された後、加熱送風機１０の回収通路１７に送り込まれ、そこでも触媒４９により、所定の割合で熱分解される。

ここで、図１４を参照して見ると、加熱送風機１０ｃの回収通路１７内の温度が約１８０℃なのでここでは約４５％が熱分解され、第１連結体４内の温度が３００℃以上なのでここでは約７５％が熱分解され、加熱送風機１０の回収通路１７内の温度が約２６５℃なのでここでは約６６％が熱分解されることになる。
従って、２つの加熱送風機１０ｃ、１０を経由する間にフラックスヒュームは大部分が熱分解されるようになっている。

次に、前記第２連結体５の詳細を説明する。
第２連結体５は、加熱により気化したフラックスヒュームを、熱交換により冷却し、かつ液化して回収することにより、加熱送風機１０に対して有害な気化物質をできる限り少なくしようとするものであり、図６〜８に示すように、高温側の加熱送風機１０から低温側の加熱送風機１０ｃに向けて熱風を導入させるようにしたものである。

第２連結体５は、図３に示すように、加熱送風機１０側から加熱送風機１０ｃ側に低くなる傾斜状態になっている。ただし、この図３では、全体が断面された状態で表わされているので、表示上、全体が急傾斜した形状となっているが、実際には、図１，７に示すように、他方の加熱送風機であるリフローゾーンＢの加熱送風機１０と、一方の加熱送風機であるプリヒートゾーンＡの加熱送風機１０ｃとの、互いに平行な径方向中心の側面同士間に架けわたされている。
更に詳しくは、リフローゾーンＢの加熱送風機１０内の高圧部、つまり圧力が最も高くなった給気室３２と、プリヒートゾーンＡの加熱送風機１０ｃの低圧部、つまり負圧となっている回収通路１７との間に架けわたされている。

このような第２連結体５は、例えば直径が１５０ｍｍ〜２００ｍｍのパイプで形成された本体部５０と、熱風とともに送り込まれるフラックスヒュームを冷却して回収する気化物質冷却回収機構５５とを備えて構成されている。
なお、本体部５０は、丸パイプでなくてもよく角パイプ形状のものでもよい。

本体部５０は、傾斜の上方側の直線部５０Ａ、下方側の直線部５０Ｂ及びこれらの直線部５０Ａ、５０Ｂを連結する傾斜部５０Ｃとを備えて構成されている。直線部５０Ａ及び直線部５０Ｂには、それぞれフランジ部５０Ｄが設けられ、フランジ部５０Ｄの内側面にはシール部材５１が設けられている。

そして、第２連結体５における本体部５０の上方側の直線部５０Ａが、加熱送風機１０の外面から基板Ｗの搬送方向と直交する方向に突出し、また、本体部５０の下方側の直線部５０Ｂは、加熱送風機１０ｃの外面から基板Ｗの搬送方向と直交する方向に突出して設けられ、互いに突出した先端同士が、上述したように（図１，７の状態）、比較的緩やかな傾斜状に連結され、これにより、前記傾斜部５０Ｃが形成されている。
その結果、第２連結体５を長い寸法に形成することができ、気化物質冷却回収機構５５によるフラックスヒュームの液化、回収の性能を向上させることができる。

以上のような構成の本体部５０は、その上方側の直線部５０Ａが、間に絶縁部材としてのシール部材５１を介してリフローゾーンＢの加熱送風機１０における給気室３２の側壁３２Ａにボルトナット５２により取り付けられている。
また、下方側の直線部５０Ｂは、間にシール部材５１を介してプリヒートゾーンＡの加熱送風機１０ｃにおける回収通路１７を構成する外周部材１６の側壁１６Ｃにボルトナット５２により取り付けられている。

リフローゾーンＢの加熱送風機１０における給気室３２は、その内部の圧力が最も高くなっており、これに対して加熱送風機１０ｃの回収通路１７では負圧となっているので、加熱送風機１０における給気室３２から送られる熱風Ｈはスムーズに送られ、送風用のファン等が不要である。

第２連結体５の本体部５０の内部には前記気化物質冷却回収機構５５が設けられ、この気化物質冷却回収機構５５は、熱風とともに送り込まれるフラックスヒュームを冷却して回収できるようになっている。

気化物質冷却回収機構５５は、本体部５０の傾斜部５０Ｃの内部に配置された複数枚の突起状部材５６で構成され、これらの突起状部材５６は、図８に示すように、金属製の取付け部材５３に取付けられている。取付け部材５３は、断面が略半円形状に形成されると共に、傾斜部５０Ｃに内接して設けられ、傾斜部５０Ｃの略全長にわたる長さに形成されている。また、取付け部材５３は、傾斜部５０Ｃの径方向の一方側と他方側に対向配置され、一方側の取付け部材５３Ａと他方側の取付け部材５３Ｂとは、互いの対向側端面が所定間隔の隙間Ｓを有して配置されている。

突起状部材５６は、上記一方側の取付け部材５３Ａに取付けられ平面視矩形状、かつ他方側に突出した第１部材５６Ａと、他方側の取付け部材５３Ｂに取付けられた第２部材５６Ｂとで構成されている。
この第２部材５６Ｂは、上記第１部材５６Ａと対向する部位が当該第１部材５６Ａより小さな投影面積の切り欠き部を有すると共に、取付け部材５３Ａに内接し、かつ取付け部材５３Ｂの内面に略接触する形状とされている。

また、第２部材５６Ｂには、取付け部材５３Ａと他方側の取付け部材５３Ｂとの互いの対向側端面に形成されている前記所定間隔の隙間Ｓを埋める舌状部が形成され、これにより、第２連結体５内を流通する熱風及びフラックスヒュームの略全部が、第１部材５６Ａおよび第２部材５６Ｂに衝突し、かつ冷却されるようになっている。
そして、以上のような形状の第１部材５６Ａと第２部材５６Ｂとが、傾斜部５０Ｃの長手方向、つまり熱風Ｈの流れ方向に所定間隔で互いに交互に配設されている。

突起状部材５６の第１部材５６Ａと第２部材５６Ｂとには、本体部５０の傾斜部５０Ｃの内部を流通する熱風Ｈおよびフラックスヒュームが、順次衝突し、衝突したとき熱交換されて冷却され、かつ付着する。
そして、第１部材５６Ａと第２部材５６Ｂに付着したフラックスヒュームは、例えば、下方の直線部５０Ｂの下端に、回収手段としてドレイン等を設けて（図略）第２連結体５から排出されるようになっている。

気化物質冷却回収機構５５の突起状部材５６を構成する第１部材５６Ａと第２部材５６Ｂには、電圧印加手段５７が接続されている。この電圧印加手段５７は、第２連結体５の本体部５０内の流路に強電界を設けたものである。そして、この強電界を設けたことにより複数の突起状部材５６が、それぞれ＋の電荷、または−の電荷に帯電され、これにより、第１部材５６Ａと第２部材５６Ｂとにフラックスヒュームが静電吸着され、除去されるようになっている。
その結果、冷却されて液化したものを付着させて分離除去するとともに、静電吸着させて除去することも行われるので、より効率よくフラックスヒュームの除去が可能となっている。

次に、本第１実施形態の加熱装置１の作用を説明する。
２つの加熱送風機１０ｃ、１０間にわたって第１連結体４および第２連結体５が設けられた加熱装置１においては、まず、例えば室温状態の基板Ｗが、外部から搬送手段６５に搬入された後、搬送手段６５により加熱炉６１内を搬送される。この際、プリヒートゾーンＡの加熱送風機１０ａから、加熱送風機１０ｂ、加熱送風機１０ｃと送られる間に、基板Ｗは、各加熱送風機１０ａ等の前記熱風噴射機構１３から噴射される熱風により、図２に示すように、例えば１５０℃から１８０℃に徐々に加熱される。
そして、このプリヒートゾーンＡでの加熱により、はんだ組成物の一部や有機溶剤が気化してフラックスヒュームが発生する。

プリヒートゾーンＡで、上記の温度まで予熱された基板Ｗは、搬送手段６５によりリフローゾーンＢに送られ、そのリフローゾーンＢに配置されている加熱送風機１０，１０の前記熱風噴射ユニット１４から噴射される熱風により、図２に示すように、はんだ組成物を溶融して基板Ｗの電極にはんだ付けできる温度、すなわち例えば２６５℃に加熱される。

基板ＷがプリヒートゾーンＡからリフローゾーンＢに送られる際、プリヒートゾーンＡの加熱送風機１０ｃと、リフローゾーンＢの加熱送風機１０との間では、両者１０ｃ，１０間に第１連結体４が架けわたされているので、低温側の加熱送風機１０ｃから第１連結体４を介して高温側の加熱送風機１０に熱風Ｈが送り込まれる。
この際、第１連結体４の本体部４０に設けられたヒータ４６が例えば３００℃以上に設定されており、本体部４０内の触媒４５がその温度で加熱されている。そのため、この触媒４５によって、第１連結体４内を通過する熱風Ｈに含まれているフラックスヒュームの約７５％が熱分解される。

加熱送風機１０ｃの回収通路１７内には複数の触媒４９が設けられているので、加熱送風機１０側に熱風を送り込む前の段階でも、触媒４９により、フラックスヒュームが所定の割合で熱分解される。
また、加熱送風機１０の回収通路１７内でも、触媒４９により、第１連結体４内で熱分解されなかった残りのフラックスヒュームが所定の割合で熱分解される。

更に、加熱送風機１０ｃと加熱送風機１０との間には第２連結体５も架けわたされており、高温の加熱送風機１０から比較的低温の第２連結体５に熱風Ｈが送り込まれる。
この際、熱風Ｈは、第２連結体５の本体部５０に設けられた気化物質冷却回収機構５５の複数枚の突起状部材５６に順次衝突を繰り返し、熱風Ｈに含まれたフラックスヒュームが熱交換されて冷却され、冷却されたものが突起状部材５６に順次付着する。

また、第２連結体５には強電界を構成する電圧印加手段５７が設けられ、突起状部材５６の第１部材５６Ａ、第２部材５６Ｂが帯電しているので、フラックスヒュームは順次第１部材５６Ａ、第２部材５６Ｂに静電吸着される。そして、第１部材５６Ａ、第２部材５６Ｂに付着したフラックスヒュームは、図示しない気化物質回収手段により第２連結体５から排出される。
ここで、高電圧が印加される第２連結体５は、前記シール部材５１により周囲の部材から絶縁されている。

更に、リフローゾーンＢにおいてリフロー可能な温度にまで加熱され、電極にはんだ付けされた基板Ｗは、搬送手段６５により冷却ゾーンＣの基板冷却装置６６，６６に送り込まれる。この基板冷却装置６６，６６では、基板Ｗが例えば室温まで急速に冷却され、その後、所定の保管場所等に移送される。

以上のような第１実施形態の加熱装置１によれば、次のような効果が得られる。
（１）プリヒーターゾーンＡの加熱送風機１０ｃとリフローゾーンＢの加熱送風機１０との間に第１連結体４が架けわたされており、この第１連結体４に設けられた触媒４５が３００℃以上で加熱されている。その結果、第１連結体４を流通するフラックスヒュームの大部分を熱分解することができ、これにより、加熱により気化したフラックスヒュームを効率よく除去することができ、かつ基板に与える悪影響を防止することができる。

（２）リフローゾーンＢの加熱送風機１０における給気室３２は、その内部の圧力が最も高くなっており、これに対して加熱送風機１０ｃの回収通路１７では負圧となっているので、加熱送風機１０における給気室３２から送られる熱風Ｈはスムーズに送られ、送風用のファン等が不要である。

（３）加熱送風機１０ｃ、１０のそれぞれの回収通路１７，１７に複数個のヒータエレメント２２が所定間隔で配置されており、これらのヒータエレメント２２の間にも触媒４９が配置されている。そのため、加熱送風機１０ｃの回収通路１７内、第１連結体４内、及び加熱送風機１０の回収通路１７内でも、触媒４９によりフラックスヒュームが熱分解される。その結果、２つの加熱送風機１０ｃ、１０を経由する間に、触媒４９によりフラックスヒュームの大部分が熱分解され、これにより、フラックスヒュームを効率よく除去することができる。

（４）第１連結体４内に設けられる触媒４５とヒータ４６とが一体的に形成され、しかも、これらが本体部４０の装着部４０Ｆを本体部４０から取り外せるようになっているので、取り扱いや管理が容易であると共に、メンテナンス性が改善され、かつ触媒４５の性能が劣化した場合、容易に交換することができる。

（５）第１連結体４内に設けられる触媒４５が、第１連結体４の本体部４０の傾斜部４０Ｃの略全長にわたる長さに形成されているので、本体部４０内を流通するフラックスヒュームを効率よく捕集することができる。

（６）第１連結体４における本体部４０の下方の直線部４０Ｂには、温度センサ４４が設けられ、この温度センサ４４により本体部４０内の温度を計測できるようになっている。本体部４０内の温度が所定温度以上になった場合、検知された異常信号が制御装置に送信され、その制御装置によりヒータ４６の温度を調整できるので、ヒータ４６及び触媒４５の異常加熱を防止することができる。

（７）リフローゾーンＢの加熱送風機１０では例えば２６５℃の熱風を噴出できるようになっており、噴出した後、回収通路１７内を回収される熱風ｈと、第１連結体４の下方の直線部４０Ｂから送り込まれる３００℃に近い熱風とが混合されるが、第１連結体４から送り込まれる熱風Ｈの量に比べて、上記回収通路１７内は空間が広いので、熱交換器２１のヒータエレメント２２で加熱された熱風Ｈの温度２６５℃を大幅に上昇させることはない。

（８）第１連結体４における本体部４０の上方側の直線部４０Ａが、加熱送風機１０ｃの外面から基板Ｗの搬送方向と直交する方向に突出し、また、本体部４０の下方側の直線部４０Ｂは、加熱送風機１０の外面から基板Ｗの搬送方向と直交する方向に突出して設けられ、互いに突出した先端同士が比較的緩やかな傾斜状の傾斜部４０Ｃとなっているので、その結果、第１連結体４を長い寸法に形成することができ、触媒４５によるフラックスヒュームの熱分解の性能を向上させることができる。

（９）第１連結体４の上方の直線部４０Ａの途中には、第１連結体４の内部を流通する熱風等の流量を制御する流量制御手段５９が設けられており、第１連結体４内を流れる熱風を常時最適な量とすることができるので、触媒による熱分解をバランスよく行える。

（１０）加熱送風機１０ｃ、１０間には、第２連結体５も架けわたされており、この第２連結体５では、その内部を熱風とともに流通する流れるフラックスヒュームが突起状部材５６の複数個の第１部材５６Ａ、第２部材５６Ｂに順次衝突し、その都度、熱交換されて冷却され、各第１部材５６Ａ、第２部材５６Ｂに付着されるので、エネルギー効率を向上させることができる。

（１１）加熱送風機１０ｃ、１０間では、第２連結体５により、フラックスヒュームが複数枚の突起状部材５６との衝突で熱交換され、冷却されて液化され、突起状部材５６に付着した後、回収される。そのため、第１連結体４で加熱により生じたフラックスヒュームを分解して除去する効果に加えて、第２連結体５で有機溶剤を冷却して液化させて分離除去することができるので、２つの加熱送風機１０ｃ、１０間で、いわば往復でのフラックスヒュームの除去ができ、その結果、より一層、効率よくフラックスヒュームを除去することができる。

（１２）突起状部材５６を構成する第１部材５６Ａと第２部材５６Ｂには、強電界で構成される電圧印加手段５７が接続されているので、複数の突起状部材５６が、それぞれ＋の電荷、または−の電荷に帯電される。これにより、第１部材５６Ａと第２部材５６Ｂにフラックスヒュームが静電吸着され、除去される。その結果、冷却されて液化したものを付着させて分離除去するとともに、静電吸着させて除去することも行われるので、より効率よくフラックスヒュームの除去が可能となっている。

（１３）第２連結体５における本体部５０の上方側の直線部５０Ａが、加熱送風機１０の外面から基板Ｗの搬送方向と直交する方向に突出し、また、本体部５０の下方側の直線部５０Ｂは、加熱送風機１０ｃの外面から基板Ｗの搬送方向と直交する方向に突出して設けられ、互いに突出した先端同士が比較的緩やかな傾斜部５０Ｃとなっているので、その結果、第２連結体５を長い寸法に形成することができ、気化物質冷却回収機構５５によるフラックスヒュームの液化、回収の性能を向上させることができる。

（１４）本第１実施形態では、加熱される媒体が空気となっており、媒体物の種類によっては、加熱装置内の構成部材の材質等を検討する必要もあるが、媒体が空気であるので、そのような必要はなく、通常の状態で加熱することができ、安全性の点からも何ら問題がない。その結果、加熱により気化したフラックスヒュームを効率よく除去することができる。

次に、図９に基づいて、本発明の第２実施形態の加熱装置１Ａを説明する。
第２実施形態の加熱装置１Ａは、前記２つの加熱送風機１０ｃ、１０間に前記第１連結体４のみを設けたものである。
すなわち、この加熱装置１Ａでは、プリヒートゾーンＡの最後に配置された加熱送風機１０ｃから、急激に温度が上昇するリフローゾーンＢの最初に配置された加熱送風機１０間に第１連結体４を架けわたし、この間においてのみ、フラックスヒュームの熱分解を行うようにしたものである。

以上の第２実施形態の加熱装置１Ａでも、前記第１実施形態と同様の動作により基板Ｗのリフロー工程が行われた後、冷却されて所定の場所に移送される。
この際、第１連結体４により、２つの加熱送風機１０ｃ、１０間において、加熱により気化した有機溶剤の熱分解が行われ、その大部分が除去される。

以上のような第２実施形態の加熱装置１Ａによれば、前記（１）〜（９）、（１４）と略同様の効果が得られる。

次に、図１０に基づいて、本発明の第３実施形態の加熱装置１Ｂを説明する。
第３実施形態の加熱装置１Ｂは、前記第１実施形態の２つの加熱送風機１０ｃ、１０間に架けわたした前記第１連結体４と第２連結体５とを、前記プリヒートゾーンＡの加熱送風機１０ａ，１０ｂ，１０ｃの相互間にも設け、第１連結体４のみをリフローゾーンＢの加熱送風機１０、１０の間に架けわたしたものである。

ここで、プリヒートゾーンＡでは、前述のように、基板Ｗが、例えば１５０℃〜１８０℃となるように徐々に加熱されるようになっている。そのため、加熱送風機１０ａ内の温度が例えば１５０℃、加熱送風機１０ｂ内の温度が例えば１６５℃、加熱送風機１０ｃ内の温度が例えば１８０℃と設定した場合、第２実施形態の加熱装置１Ｂでは、プリヒートゾーンＡの加熱送風機１０ａ，１０ｂ間に架けわたした第１連結体４の温度設定が、加熱送風機１０ｂ内の１６５℃の温度よりも高い温度、例えば２００℃に設定され、加熱送風機１０ｂ，１０ｃ間に架けわたした第１連結体４の温度設定が、加熱送風機１０ｃ内の１８０℃の温度よりも高い温度、例えば２２０℃となるように設定されている。

更に、リフローゾーンＢの加熱送風機１０、１０間に架けわたした第１連結体４の温度は、前記加熱送風機１０ｃ、１０間の第１連結体４の温度と同じであり、３００℃以上となっている。
この際、リフローゾーンＢの加熱送風機１０、１０の温度は、両者とも例えば２６５℃となっており、第１連結体４から３００℃以上の熱風が、リフローゾーンＢの最初に配置された加熱送風機１０から最後に配置された加熱送風機１０に送られる。加熱送風機１０、１０の温度差がないので、最後に配置された加熱送風機１０では、第１連結体４で加熱された熱風を再度冷却する機構を組み込むと好適である。

以上の第３実施形態の加熱装置１Ｂでも、前記第１実施形態と同様の動作により基板Ｗのリフロー工程が行われた後、冷却されて所定の場所に移送される。
この際、第１連結体４により、加熱送風機１０ａ，１０ｂ間、１０ｂ，１０ｃ間、及び１０，１０間において、それぞれ加熱により気化した有機溶剤の熱分解が行われ、その温度に応じた割合で除去される。

以上のような第３実施形態の加熱装置１Ｂによれば、前記（１）〜（１４）と略同様の効果の他、次のような効果が得られる。
（１５）加熱送風機１０ａ，１０ｂ間、１０ｂ，１０ｃ間、及び１０，１０間においても、それぞれ加熱により気化したフラックスヒュームの熱分解が行われ、その温度に応じた割合で除去されるので、全体として、より効率のよい有機溶剤の除去が可能となる。

なお、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。

例えば、前記第１連結体４および第２連結体５は、基板Ｗの一表面（上面）のみを熱風で加熱するタイプの前記第１〜４実施形態の加熱装置１〜１Ｃに設けられたものであったが、これに限らない。基板Ｗを挟んで上下方向に複数個の加熱送風機が配置されているタイプの加熱装置にも設けることができる。そして、この場合は、上下双方の加熱送風機に第１連結体４および第２連結体５を設ければよい。
また、図には記載されていないが、第２連結体５にはドレインが接続され、バルブを開けば液状になったはんだ組成物の溶剤や、溶剤に溶解している樹脂成分等を回収できる構造としてもよい。さらに、第１連結体４と同様に連結体内を流れる媒体の流量制御機構を設けることもできる。

また、前記各実施形態の加熱装置１〜１Ｃでは、リフローゾーンＣの隣接位置に、基板冷却装置６６，６６を備えた冷却ゾーンＣを設けた構造としたが、必ずしも基板冷却装置６６，６６を備えなくてもよく、リフロー後に所定の位置に保管し、室温で冷却するようにしてもよい。

更に、前記各実施形態の加熱装置１〜１Ｃでは、加熱して熱風を発生させる媒体が空気となっていたが、媒体として、不活性ガスを用いてもよい。
この場合、図４に仮想線で示すように、本体部４０に気体供給装置４４を設けた構成とし、この気体供給装置４４から、第１連結体４内に空気あるいは酸素を供給し、触媒４２によるスムーズな熱分解を促進させるようにしてもよい。
なお、不活性ガスとしては、主として窒素を含むものが好ましい。この場合、酸素濃度が１０００ｐｐｍ（０．１％）程度の低酸素濃度雰囲気であることがより好ましい。これにより、使用されるはんだ組成物中の活性を下げることが可能で、発生する気化物質の量を抑え、また、熱分解が容易となる場合がある。

また、前記第２連結体５では、電圧印加手段５７を、強電界を形成することで形成したがこれに限らない。例えば、図１１に示すように、−の高電圧を印加する電圧印加手段５８としてもよい。なお、図１１は図７の一部を表したものである。また、図面では絶縁材の記載は省略している。

また、前記各実施形態では、第１連結体４また、は第２連結体５は、隣接する加熱送風機間にわたって設けられていたが、これに限らず、例えば、プリヒートゾーンＡの加熱送風機１０ａとリフローゾーンＣの加熱送風機１０との間に架けわたす等、必ずしも隣接していなくてもよい。このようにしても、隣接した場合と略同様の効果を得ることができる。

更に、前記各実施形態では、第１連結体４内の触媒４５とヒータ４６との取付けを、触媒４５の貫通穴４５Ａにヒータ４６を挿入して行っていたが、これに限らない。例えば、フィン付きのヒータに板状の触媒を針金で巻き付けた構造でもよく、ヒータのフィンに触媒を直接焼き付けてもよい。要は、触媒４５とヒータ４６とが一体的に設けられていればよい。

本発明は、加熱装置において、はんだ組成物を加熱してプリント回路基板等の電極にはんだ付けを行うリフロー時に利用できる。

本発明の加熱装置の第１実施形態を示す全体概略図である。 前記第１実施形態の加熱装置の温度分布を示す図である。 前記第１実施形態の加熱装置を構成する２つの加熱送風機を示す詳細図である。 前記第１実施形態の第１連結体を示す全体平面図である。 図４のＶ−Ｖ線に沿った断面図である。 前記第１実施形態の第２連結体を示す全体平面図である。 図６のVII−VII線に沿った断面図である。 図７のVIII−VIII線に沿った断面図である。 本発明の加熱装置の第２実施形態を示す全体概略図である。 本発明の加熱装置の第３実施形態を示す全体概略図である。 本発明の第２連結体の変形形態を示す部分詳細図である。 従来の冷却によるフラックスヒュームの処理方法を示す概略図である。 従来の触媒を用いた加熱装置を示す部分拡大図である。 触媒温度とフラックスヒュームの分解能力との関係を示す図である。

符号の説明

１，１Ａ，１Ｂ 加熱装置
４ 第１連結体
５ 第２連結体
１０ 加熱送風機
１０ａ〜１０ｃ 加熱送風機
１７ 低圧部を構成する回収通路
２１ 熱交換器
２２ 加熱体であるヒータエレメント
２５ 送風機
４０ 第１連結体を構成する本体部
４５ 第１連結体を構成する触媒
４０ 第１連結体を構成する加熱手段であるヒータ
４９ 触媒
５０ 第２連結体を構成する本体部
５５ 第２連結体を構成する気化物質冷却回収機構
５６ 気化物質冷却回収機構を構成する突起状部材
５７ 電圧印加手段
６１ 加熱炉
６５ 搬送手段
Ｗ 被加熱物である基板

Claims (14)

1. 搬送手段により搬送される被加熱物に向けて複数個の加熱送風機により媒体を加熱し熱風として噴射することで前記被加熱物上のはんだ組成物を加熱溶融してはんだ付けし、かつその噴射した熱風を回収し還流させる加熱装置において、
   前記複数個の加熱送風機のうち異なる加熱送風機同士を連結する第１連結体を備え、
   この第１連結体を、前記回収した熱風を前記異なる加熱送風機のうち一方から他方に送風可能とすると共に、その内部に加熱により気化した気化物質を熱分解させる触媒と、この触媒を加熱させる加熱手段とを備えたことを特徴とする加熱装置。
2. 前記媒体が空気であることを特徴とする請求項１に記載の加熱装置。
3. 前記媒体が不活性ガスであることを特徴とする請求項１に記載の加熱装置。
4. 前記第１連結体で連結する前記異なる加熱送風機同士を、前記一方の加熱送風機内部の熱風温度と前記他方の加熱送風機内部の熱風温度との間で温度差がある加熱送風機で構成すると共に、前記一方の加熱送風機内部の熱風温度が前記他方の加熱送風機内部の熱風温度より低くなっていることを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１つに記載の加熱装置。
5. 前記第１連結体の一端を前記一方の加熱送風機内部の高圧部に接続すると共に、前記第１連結体の他端を前記他方の加熱送風機内部の低圧部に接続したことを特徴とする請求項１ないし４のいずれか１つに記載の加熱装置。
6. 前記触媒と加熱部とを一体的に連結させたことを特徴とする請求項１に記載の加熱装置。
7. 前記一体的に連結させた触媒と加熱部とを前記第１連結体に着脱可能としたことを特徴とする請求項６に記載の加熱装置。
8. 前記第１連結体に、その内部を流れる前記熱風の流量を制御する流量制御機構を設けたことを特徴とする請求項１ないし７のいずれか１つに記載の加熱装置。
9. 前記一方の加熱送風機及び他方の加熱送風機における熱交換後の熱風を回収する回収路内に、それぞれ回収される熱風を加熱する熱交換器の複数の加熱体が前記回収路の熱風の流れに沿った方向に所定間隔で設けられ、前記それぞれの加熱体の間に、回収される前記気化物質を熱分解する触媒を配置したことを特徴とする請求項１ないし８のいずれか１つに記載の加熱装置。
10. 前記複数個の加熱送風機のうち異なる加熱送風機を連結する第２連結体を備え、
    この第２連結体を、連結本体と、この連結本体の内部に設けられ前記気化物質を冷却して回収する気化物質冷却回収機構とを含む構成にしたことを特徴とする請求項１ないし３のいずれか１つまたは請求項５ないし９のいずれか１つに記載の加熱装置。
11. 前記異なる加熱送風機を、前記第１連結体で連結された前記他方の加熱送風機および前記一方の加熱送風機で構成し、前記第２連結体の一端を前記他方の加熱送風機内部の高圧部に接続すると共に、前記第２連結体の他端を前記一方の加熱送風機内部の低圧部に接続したことを特徴とする請求項１０に記載の加熱装置。
12. 前記気化物質冷却回収機構を、加熱により気化しかつ前記連結本体内を流れる前記気化物質を衝突させて熱交換し、冷却された気化物質を付着させる複数個の突起状部材で構成したことを特徴とする請求項１１に記載の加熱装置。
13. 前記気化物質冷却回収機構の複数の突起状部材に、前記気化物質を静電吸着させる高電圧を印加する電圧印加手段を設けたことを特徴とする請求項１１また、は１２に記載の加熱装置。
14. 前記第１連結体に、前記触媒により前記気化物質の熱分解を促進させるために酸素また、は空気量をコントロールして送り込む気体供給手段を設けたことを特徴とする請求項１ないし１３のいずれか１つに記載の加熱装置。

Images