JP2008216206A - コンタクタ、プローブカード及びプローブカードの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】被測定対象物の微細化に応じたプローブカードの微細化を実現することできる。
【解決手段】支持部42と、支持部42に形成された導通部46と、導通部46に一部が電気的に接続され、支持部42から突出するように延伸された梁部82と、梁部82の端部に形成された接触端子部80と、を備え、接触端子部80の高さは、接触端子部80の最大幅の2倍以上とする。
【選択図】図1
【解決手段】支持部42と、支持部42に形成された導通部46と、導通部46に一部が電気的に接続され、支持部42から突出するように延伸された梁部82と、梁部82の端部に形成された接触端子部80と、を備え、接触端子部80の高さは、接触端子部80の最大幅の2倍以上とする。
【選択図】図1
Description
本発明は、集積回路等の電気的特性を測定する際に用いられるコンタクタ、プローブカード及びプローブカードの製造方法に関する。
半導体集積回路等の電気特性を測定するためにプローブカードが広く用いられている。プローブカードは、金属製のプローブ針を有するコンタクタを備え、コンタクタの先端部に突出した接触端子部を電気回路の電極パッドに接触させることによって、電気回路へ信号を供給したり、電気回路から出力される信号を検出したりする。
特許文献1及び特許文献2には、高集積化及び微細化が進行した半導体集積回路等の測定対象物に対応することができるプローブカードの製造方法が開示されている。また、特許文献3には、コンタクタの長さ寸法を大きくすることなく、電極パッドに対する押圧箇所の変位量を大きくする技術が開示されている。また、特許文献4には、プローブの梁部に段差を設けて延伸させる技術が開示されている。
ところで、近年、半導体集積装置の高集積化及び微細化が進み、電極パッドのサイズ及びピッチの変化に併せてプローブカードのさらなる微細化が望まれている。しかしながら、プローブカードの微細化が進行すると、従来のプローブカードの製造方法ではプローブカードのコンタクタの高さをコンタクタの幅に対して大きくすることが困難であった。特に、コンタクタに設けられる接触端子部の最大幅が20μm以下となると、コンタクタの接触端子部のアスペクト比を高くすることがより困難となっていた。
そこで、本発明は、上記従来の課題を鑑み、微細化が進行した集積回路等の電気的特性の測定に使用することができるコンタクタ、プローブカード及びそれらの製造方法を提供することを目的とする。
本発明は、支持部と、前記支持部に形成された導通部と、前記導通部に一部が電気的に接続され、前記支持部から突出するように延伸された梁部と、前記梁部の端部に形成された接触端子部と、を備え、前記接触端子部の高さは、前記接触端子部の最大幅の2倍以上であることを特徴とするコンタクタである。
また、支持部と、前記支持部に形成された複数の導通部と、前記支持部から突出するように延伸され、前記複数の導通部の各々に対応するように前記複数の導通部の各々に電気的に接続された複数の梁部と、前記複数の梁部の各々の端部に形成された接触端子部と、を備え、前記接触端子部の高さは、前記接触端子部の最大幅の2倍以上であることを特徴とするプローブカードである。
より具体的には、前記接触端子部の最大幅が20μm以下であるような微細化されたプローブに適用した場合に本発明の作用・効果が顕著となる。
ここで、前記梁部と前記接触端子部は、少なくとも同一の導電性金属層を含むことが好適である。例えば、前記導電性金属層は、ニッケル、銅、チタン、パラジウム、白金、金及びタングステンのうち少なくとも1つの金属、又は、その合金、又は、その化合物とすることができる。
また、本発明は、犠牲半導体層の表面上にエッチング耐性層を形成する第1の工程と、前記第1の工程で形成された前記エッチング耐性層をパターンニングする第2の工程と、前記第2の工程におけるパターンニングで前記エッチング耐性層が除去された領域の前記犠牲半導体層を反応性イオンエッチングによりエッチングする第3の工程と、前記第3の工程後、前記第1の工程で形成された前記エッチング耐性層を除去する第4の工程と、前記第4の工程後、前記犠牲半導体層の表面形状に沿って金属層を形成する第5の工程と、を備えることを特徴とするプローブカードの製造方法である。
ここで、前記第3の工程におけるエッチング処理の深さは、エッチングされる領域の最大幅の2倍以上とすることが好ましい。より具体的には、前記第3の工程におけるエッチングされる領域の最大幅は20μm以下とした場合に作用・効果が顕著である。
ここで、前記第5の工程で形成される金属層は、ニッケル、銅、チタン、パラジウム、白金、金及びタングステンのうち少なくとも1つの金属、又は、その合金、又は、その化合物であることが好適である。
本発明によれば、狭ピッチのプローブカードにおいても被測定物との電気的接触をより確実なものとすることができる。
本発明の実施の形態におけるプローブカード100は、図1に示すように、プローブ部200及び配線部300を含んで構成される。
プローブ部200は、接触端子部80、カンチレバー部(梁部)82及び支持部42を含んで構成される。プローブ部200は、測定対象物の電極パッドに直接接触させられる部分であり、接触端子部80及びカンチレバー部82はプローブカード100のコンタクタに含まれる。
カンチレバー部82は、ニッケル、銅、チタン、パラジウム、白金、金及びタングステンのうち少なくとも1つの金属、又は、その合金、又は、その化合物等の導電性部材を含んで構成される。各カンチレバー部82は、矩形状の断面を有し、梁状に支持部42から突出するように設けられる。本実施の形態におけるプローブカード100では、複数のカンチレバー部82が隣り合って並べられる。各カンチレバー部82は、それぞれに対応させて設けられたバンプ46に電気的に接続される。
接触端子部80は、カンチレバー部82の先端部に設けられる。本実施の形態における接触端子部80は、カンチレバー部82の先端部の延伸方向に対して略垂直に突出するように構成される。接触端子部80も、カンチレバー部82と同様に、ニッケル、銅、チタン、パラジウム、白金、金及びタングステンのうち少なくとも1つの金属、又は、その合金、又は、その化合物等の導電性部材を含んで構成される。例えば、接触端子部80は、タングステン等の弾性の高い金属の表面に金等の導電性の高い金属を被覆した多層構造することが好ましい。
支持部42は、平板形状を有し、その端部からカンチレバー部82が突出するように設けられる。支持部42は、ポリイミド等の絶縁部材を主な構成部材とする。また、支持部42には金等の導電性部材からなるバンプ46が複数のカンチレバー部82の各々に対応付けて設けられる。支持部42には、カンチレバー部82からバンプ46までを電気的に接続する配線が設けられる。導通部は、この配線とバンプ46を含む。
配線部300は、プローブ部200から電気信号を受けて測定装置等へ出力したり、測定装置からの信号をプローブ200へ伝達したりする。配線部300は、ポリイミド等の絶縁部材を主な構成部材とする。配線部300には、プローブ部200から受けた電気信号を伝達するための配線が設けられている。配線部300の配線はバンプ64に接続されている。バンプ64の各々は、接着部材70を介して、プローブ部200のバンプ46と電気的に接続される。接着部材70には、例えば、銀ペーストを用いることができる。
接触端子部80の高さは接触端子部80の最大幅の2倍以上とする。例えば、カンチレバー部82は5μm以下の幅に加工される。カンチレバー部82が5μm以下の幅に加工されているので、その先端部に形成される接触端子部80の最大幅も5μm以下となる。このとき、接触端子部80の高さは10μm以上とすることが好ましい。また、各カンチレバー部82は、例えば、10μm以下のピッチで並べて配置される。このような構成とすることによって、本実施の形態におけるプローブカード100は微細化が進んだ半導体集積回路であっても測定対象とすることができる。
また、カンチレバー部82は、支持部42から接触端子部80に向かって、接触端子部80が設けられた方向に向けて屈曲した形状に加工されている。このように屈曲部を設けることによって、測定対象物の表面に凹凸がある場合においても電極パッドへ接触端子部80を確実に接触させることが可能となる。
以下、図2〜図14を参照して、本発明の実施の形態におけるプローブカード100の製造方法を説明する。図2〜図6及び図9は、プローブ部200の製造プロセスの各ステップのおける加工物の断面を示し、図7及び図8は、プローブ部200の製造プロセスの各ステップのおける加工物の平面図を示している。図10〜図11は、配線部300の製造プロセスの各ステップのおける加工物の断面を示している。図12〜図14は、プローブ部200と配線部300の接続プロセスの各ステップにおける加工物の断面を示している。
プローブカード100は、段差加工を行う際の加工精度を確保するためにシリコン・オン・インシュレータ(SOI:Silicon On Insulator)基板を用いて製造される。本実施の形態では、SOI基板として、(100)面のシリコン基板10、シリコン基板10の表面上に形成されたシリコン酸化膜12、さらにシリコン酸化膜12の表面上に形成されたシリコン層14から構成される基板を用いる。シリコン基板10は数100μmの厚さ、シリコン酸化膜12は100nm以上5μm以下の膜厚、及び、シリコン層14は10μm以上100μm以下の膜厚を有することが以下の加工処理を施すにおいて好ましい。
ステップS10では、SOI基板のシリコン層14の表面を洗浄する。洗浄方法としては、例えば、RCA洗浄を適用することができる。RCA洗浄は、パーティクル除去を目的としたアンモニア水-過酸化水素水からなるSC−1洗浄(Standard Clean 1)、金属不純物除去を目的とした塩酸-過酸化水素水からなるSC−2洗浄(Standard Clean 2)を組み合わせた洗浄技術である。
ステップS12では、シリコン層14上にエッチング保護膜16を形成する。エッチング保護膜16は、ステップS20におけるウエットエッチングに対する耐性膜である。本実施の形態では、エッチング保護膜16は、シリコン層14の表面全体に形成する。エッチング保護膜16としてはシリコン酸化膜を適用することができる。シリコン酸化膜は、熱酸化法や化学気相法(CVD)法で形成することができる。
ステップS14では、エッチング保護膜16に段差形成用のパターンを形成するためのレジスト膜18をエッチング保護膜16の表面上に形成する。レジスト膜18は、フォトリソグラフィ法を用いて、エッチング保護膜16の表面上に、エッチング保護膜16の両端部が露出するようにパターンニングされる。
ステップS16では、レジスト膜18を利用して、エッチング法によりエッチング保護膜16をパターンニングする。すなわち、矩形パターンに形成されたレジスト膜18に保護された領域を除いた領域のエッチング保護膜16を除去する。エッチング方法としては、例えば、フッ化水素酸(HF),フッ化アンモニウム(NH4F)等を用いたウエットエッチング法を適用することができる。ステップS18では、レジスト膜18が除去される。レジスト膜18の除去には、市販のレジスト除去剤を用いることができる。
ステップS20では、パターンニングされたエッチング保護膜16を利用して、シリコン層14をエッチングする。ここでは、水酸化カリウム水溶液(KOH:H2O),水酸化テトラメチルアンモニウム水溶液(TMAH)等を用いた異方性エッチングを施す。シリコン酸化膜12がエッチングストップ層として働くことにより、シリコン層14の膜厚分のエッチングが行われる。エッチングの異方性によって、図2及び図7に示すように、エッチング保護膜16の両端部のシリコン層14の表面からシリコン基板10に向かって所定の傾斜角(約54°)を有する傾斜部が形成されるように、エッチング保護膜16で保護されていないシリコン層14がエッチングされる。
ステップS22では、エッチング保護膜16を除去する。除去方法としては、例えば、フッ化水素酸(HF),フッ化アンモニウム(NH4F)等を用いたウエットエッチング法を適用することができる。また、エッチング保護膜16を除去した後、シリコン基板10及びシリコン層14の表面を洗浄する。洗浄方法としては、例えば、RCA洗浄を適用することができる。
ステップS24では、ステップS30における窒化膜エッチングを行う際の耐性膜として、及び、最終的にカンチレバー部82をシリコン層14から分離する際の保護膜としてエッチング保護膜20を形成する。エッチング保護膜20は、表面全体に形成される。エッチング保護膜20は、例えば、シリコン酸化膜とすることが好ましい。シリコン酸化膜は、熱酸化法や化学気相法(CVD)で形成することができる。
ステップS26では、カンチレバー部82の固定及び支持を補強するための補強層22をエッチング保護膜20の表面上に形成する。補強層22は、表面全体に形成される。補強層22は、例えば、厚さ100nm以上2μm以下のシリコン窒化膜とすることが好適である。シリコン窒化膜は、化学気相法(CVD)やスパッタリング等により形成することができる。
ステップS28では、補強層22のパターンを形成するためのレジスト膜24を補強層22の表面上に形成する。レジスト膜24は、断面が台形状となるように残されたシリコン層14の上面に、シリコン層14の端部の傾斜部から所定の距離だけ離れた領域に矩形状に形成される。ステップS30では、レジスト膜24を利用して、エッチング法により補強層22をパターンニングする。すなわち、矩形パターンに形成されたレジスト膜24に保護された領域を除いた領域の補強層22を除去する。エッチング方法としては、例えば、リン酸溶液(H3P04)等を用いたウエットエッチング法や反応性イオンエッチング等のドライエッチング法を適用することができる。ステップS32では、レジスト膜24が除去される。レジスト膜24の除去には、市販のレジスト除去剤を用いることができる。また、また、レジスト膜24を除去した後の表面を洗浄する。洗浄方法としては、例えば、RCA洗浄を適用することができる。
ステップS34では、接触端子部80を形成する際のエッチング保護膜26を形成する。エッチング保護膜26は、表面全体に形成される。エッチング保護膜26は、例えば、シリコン酸化膜とすることが好ましい。シリコン酸化膜は、熱酸化法や化学気相法(CVD)で形成することができる。エッチング保護膜26をシリコン酸化膜とした場合、エッチング保護膜26の膜厚は500nm以上1μm以下とすることが好ましい。エッチング保護膜26の膜厚をこの程度にすることによって、アスペクト比2倍以上の高さを有する接触端子部80を形成するための穴をシリコン基板10に加工する際にシリコン基板10の他の領域にエッチングの作用を及ばせることなく、高い加工精度で穴を形成することができる。
ステップS36では、接触端子部80のパターンを形成するためのレジスト膜28をエッチング保護膜26の表面上に形成する。レジスト膜28には、ステップS38以降において接触端子部80を形成するための穴30を設ける。穴30は、シリコン基板10に形成されるトレンチ穴32を開けるためのパターンとなる。
本実施の形態では、シリコン基板10の両端部に向かって延伸するようにカンチレバー部82を形成するので、図3に示すように、シリコン層14の傾斜部の近傍の領域に傾斜部の下辺に沿って所定のピッチPで複数の穴30をレジスト膜28に設ける。穴30は、エッチング保護膜26の表面が露出するように設ける。
穴30は、シリコン基板10の奥行き方向(図3の紙面に垂直な方向)に所定のピッチPで複数空けられる。穴30は、接触端子部80の外周形状と一致する形状、及び、所定の大きさとなるようにパターンニングされる。具体的には、カンチレバー部82の幅W以下の直径を有する円形状の穴30を形成する。例えば、幅Wは5μm以下とし、ピッチPは10μm以下とする。
ステップS38では、レジスト膜28を利用して、エッチング法によりエッチング保護膜26をパターンニングする。すなわち、レジスト膜28に設けられた穴30から露出した領域のエッチング保護膜26を除去する。エッチング方法としては、例えば、フッ化水素酸(HF),フッ化アンモニウム(NH4F)等を用いたウエットエッチング法を適用することができる。ステップS40では、レジスト膜28が除去される。レジスト膜28の除去には、市販のレジスト除去剤を用いることができる。
ステップS42では、接触端子部80を埋め込み形成するためのトレンチ穴32をシリコン基板10に形成する。トレンチ穴32は、エッチング保護膜26を利用して、ボッシュプロセスを用いて形成することができる。ボッシュプロセスは、ドライの異方性エッチングプロセスである。ボッシュプロセスは、エッチングガス(SF6)を用いてシリコンをエッチングするプロセスと、デポジションガス(C4F8)を用いて側壁を保護するデポジションプロセスを交互に切替えて行うことによってシリコン基板10に高アスペクト比のトレンチ穴32を形成するプロセスである。
エッチング保護膜26となるシリコン酸化膜の膜厚を500nm以上1μm以下として、ボッシュプロセスを適用することによって、シリコン基板10に最大幅5μm以下かつ深さ10μm以上のトレンチ穴32を形成することができる。なお、加工精度を高めるためにトレンチ穴32の深さは50μm以下に抑えることが好ましい。
ステップS44では、エッチング保護膜26を除去する。除去方法としては、例えば、フッ化水素酸(HF),フッ化アンモニウム(NH4F)等を用いたウエットエッチング法を適用することができる。また、エッチング保護膜26を除去した後の表面を洗浄する。洗浄方法としては、例えば、RCA洗浄を適用することができる。
ステップS46では、トレンチ穴32及びシリコン基板10の表面を含んだ表面全体に金属の拡散を防ぐための拡散防止膜34を形成する。拡散防止膜34は、例えば、シリコン酸化膜とすることが好ましい。シリコン酸化膜は、熱酸化法で形成することが好ましい。拡散防止膜34をシリコン酸化膜とした場合、拡散防止膜34の膜厚は100nm以下の薄い酸化膜でよい。
ステップS48では、拡散防止膜34の表面全体に導電性のコンタクト層36を形成する。コンタクト層36は、接触端子部80と測定対象物の電極パッドとの接触抵抗を低減する効果を図るものである。また、コンタクト層36は、カンチレバー部82をめっきするという意味もある。コンタクト層36は、例えば、金、銀、銅等の導電性の高い金属を含む材料で構成することが好適であり、金を含むことがより好適である。コンタクト層36の膜厚は1μm以上5μm以下とすることが好適である。コンタクト層36は、スパッタ法、蒸着法、化学気相法(CVD)、めっき法、電鋳法で形成することができる。特に、有機金属材料を用いた化学気相法(CVD)を適用することによって、トレンチ穴32の内側壁や底部にもコンタクト層36を所望の膜厚で形成することが容易となる。
ステップS50では、カンチレバー部82のパターンを形成するためのレジスト膜38を形成する。図4及び図8に示すように、カンチレバー部82が各トレンチ穴32からシリコン層14の傾斜部を上がって、シリコン層14上に形成された補強層22の表面上まで延伸されるようにレジスト膜38には拡散防止膜34が露出する開口部が設けられる。また、図8の平面図に示すように、カンチレバー部82が複数並列に配置されるように、拡散防止膜34の開口部が開口部の延伸方向に直交する方向に沿って複数設けられる。また、シリコン層14上の領域にはカンチレバー部82に続くように配線パターンが形成される。
ステップS52では、図5及び図8に示すように、レジスト膜38に設けられた開口部を埋めるように金属層40が形成される。金属層40は、例えば、ニッケル、銅、チタン、パラジウム、白金、金及びタングステンのうち少なくとも1つの金属、又は、その合金、又は、その化合物等の導電性部材により構成される。金属層40は、めっき処理等により形成することができる。
図9は、ステップS36〜S52における処理後のトレンチ穴32の近傍領域の拡大断面図である。図9に示すように、各トレンチ穴32には拡散防止膜34、コンタクト層36及び金属層40が埋め込まれ、金属層40の表面にコンタクト層36がコーティングされた接触端子部80が形成される。
ステップS54では、レジスト膜38を除去する。レジスト膜38の除去には、市販のレジスト除去剤を用いることができる。
ステップS56では、カンチレバー部82に不要な領域のコンタクト層36を除去する。すなわち、金属層40をマスクとして、レジスト膜38を除去することによって露出した領域に形成されているコンタクト層36をエッチングで除去する。
ステップS58では、カンチレバー部82の支持部42を形成する。支持部42は、絶縁性材料で形成される。シリコン層14上まで延伸するように形成されたカンチレバー部82を構成する金属層40の各々の少なくとも一部がシリコン層14上の領域において露出されるように支持部42には開口部が設けられる。ステップS60以降では、この開口部に接続されるようにバンプ46が形成される。
ステップS60では、各カンチレバー部82から信号を取り出すためのバンプ46のコンタクトを良好にするためにコンタクト層44を形成する。コンタクト層44は、バンプ46が形成される内を含む全面に形成される。コンタクト層44は、例えば、金、銀、銅等の導電性の高い金属を含む材料で構成することが好適であり、金を含むことがより好適である。コンタクト層44は、例えば、スパッタ法、蒸着法、化学気相法(CVD)、めっき法、電鋳法により形成することができる。特に、有機金属材料を用いた化学気相法(CVD)を適用することによって、支持部42の開口部の内側壁や底部にもコンタクト層44を所望の膜厚で形成することが容易となる。
ステップS62では、バンプ46のパターンを形成するためのレジスト膜45を表面上に形成する。レジスト膜45には、ステップS64においてバンプ46を埋め込み形成するための開口部が設けられる。レジスト膜45の開口部は、ステップS58において形成された支持部42の開口部の各々に通じるように形成される。
ステップS64では、バンプ46を形成する。バンプ46は、レジスト膜45に設けられた開口部及び支持部42の開口部を埋めるように形成される。バンプ46は、例えば、金、銀、銅等の導電性の高い金属を含む材料で構成することが好適であり、金を含むことがより好適である。バンプ46は、例えば、スパッタ法、蒸着法、化学気相法(CVD)、めっき法、電鋳法により形成することができる。これにより、図1に示すように、各カンチレバー部82と電気的に接続される端子部となるバンプ46が形成される。ステップS66では、レジスト膜45を除去する。レジスト膜45の除去には、市販のレジスト除去剤を用いることができる。
ステップS68では、バンプ46に不要な領域のコンタクト層44を除去する。すなわち、バンプ46をマスクとして、レジスト膜45を除去することによって露出した領域に形成されているコンタクト層44をエッチングで除去する。
以上の処理によって、プローブ部200を形成することができる。次に、配線部300の製造方法について図10及び図11を参照しつつ説明する。
ステップS80では、シリコン基板50の表面を洗浄する。洗浄方法としては、例えば、RCA洗浄を適用することができる。
ステップS82では、絶縁膜52を形成する。絶縁膜52は、ステップS84以降で形成される配線の電気的な絶縁を確保するためのものであり、シリコン基板50の表面全体に形成する。絶縁膜52は、例えば、シリコン酸化膜とすることが好適である。シリコン酸化膜は、熱酸化法や化学気相法(CVD)で形成することができる。
ステップS84では、配線層54を形成する。配線層54は、配線部300に設けられるバンプ64を介して、測定装置からプローブ部20へ信号を出力したり、プローブ部20からの信号を測定装置へ伝達したりするための配線となる。配線層54は、例えば、金、銀、銅等の導電性の高い金属を含む材料で構成することが好適であり、金を含むことがより好適である。配線層54は、絶縁膜52の表面全体に形成される。
ステップS86では、配線形成用のレジスト膜56を形成する。レジスト膜56は、配線部300の配線パターンと同様にパターンニングされる。また、レジスト膜56は、少なくともプローブ部200に形成したバンプ46に対応する領域を覆うように形成される。すなわち、図12に示すように、プローブ部200と配線部300とを向かい合わせたときに、プローブ部200のバンプ46に対応する領域が少なくとも覆われるようにレジスト膜56を形成する。
ステップS88では、レジスト膜56を利用して、エッチング法により配線層54をパターンニングする。すなわち、レジスト膜56で覆われていない領域の配線層54をエッチングにより除去する。ステップS90では、レジスト膜56が除去される。レジスト膜56の除去には、市販のレジスト除去剤を用いることができる。
ステップS92では、配線部300の支持部58を形成する。支持部58は、絶縁性材料で形成され、例えば、ポリイミド等の樹脂で構成することが好適である。支持部58は、プローブ部200のバンプ46に対応する領域に開口部を有するようにパターンニングされる。すなわち、図12に示すようにプローブ部200と配線部300とを向かい合わせたときに、プローブ部200のバンプ46と配線部300のバンプ64とが対応する位置となるように支持部58に開口部を設ける。また、測定装置等に接続するための電極パッドとなる領域にも開口部を有するように支持部58をパターンニングする。
ステップS94では、配線部300に形成されるバンプ64のコンタクトを良好にするためにコンタクト層60を形成する。コンタクト層60は、バンプ64が形成される開口部内を含む全面に形成される。コンタクト層60は、例えば、金、銀、銅等の導電性の高い金属を含む材料で構成することが好適であり、金を含むことがより好適である。コンタクト層60は、例えば、スパッタ法、蒸着法、化学気相法(CVD)により形成することができる。特に、有機金属材料を用いた化学気相法(CVD)を適用することによって、支持部58の開口部の内側壁や底部にもコンタクト層60を所望の膜厚で形成することが容易となる。
ステップS96では、バンプ64のパターンを形成するためのレジスト膜62を表面上に形成する。レジスト膜62には、ステップS98においてバンプ64を埋め込み形成するための開口部が設けられる。レジスト膜62の開口部は、ステップS92において形成された支持部58のバンプ64に対応する開口部の各々に通じるように形成される。
ステップS98では、バンプ64を形成する。バンプ64は、レジスト膜62に設けられた開口部及び支持部58のバンプ64に対応する開口部を埋めるように形成される。バンプ64は、例えば、金、銀、銅等の導電性の高い金属を含む材料で構成することが好適であり、金を含むことがより好適である。
ステップS100では、レジスト膜62を除去する。レジスト膜62の除去には、市販のレジスト除去剤を用いることができる。ステップS102では、バンプ64に不要な領域のコンタクト層60を除去する。すなわち、バンプ64をマスクとして、レジスト膜62を除去することによって露出した領域に形成されているコンタクト層60をエッチングで除去する。
以上の処理によって、配線部300を形成することができる。上記例ではシリコンを用いているが、材料はシリコンに限定されるものではない。
次に、プローブ部200と配線部300とを接続することによってプローブカード100を製造する方法について図12〜図14を参照しつつ説明する。
上記製造処理によりプローブ部200及び配線部300は図12に示すように構成される。プローブ部200及び配線部300は、プローブ部200と配線部300とを向かい合わせたときに、プローブ部200のバンプ46と配線部300のバンプ64とが対応する位置となるように構成されている。
プローブ部200と配線部300とは、図13に示すように、互いに対応し合うバンプ46とバンプ64とを銀ペースト等の導電性の接着部材70で接続される。このとき、接着部材70が完全に硬化する前にプローブ部200と配線部300との相対位置を微調整してアライメントを行うことが好ましい。アライメントを行った後、熱処理等により接着部材70を硬化させてプローブ部200と配線部300とを完全に接着する。
次に、シリコン基板10、シリコン酸化膜12、シリコン層14、エッチング保護膜16及び拡散防止膜34を除去してコンタクト層36でコーティングされた金属層40を露出させる。この金属層40の支持部44から突き出した部分がカンチレバー部82となり、トレンチ穴32に埋め込み形成されたコンタクト層36及び金属層40が接触端子部80となる。エッチング処理は、エッチング方法としては、例えば、フッ化水素酸(HF),フッ化アンモニウム(NH4F)等を用いたウエットエッチング法や反応性イオンエッチング等のドライエッチングを適用することができる。また、エッチングの前に機械的な研磨を行ってもよい。このようにして、本実施の形態におけるプローブカード100を製造することができる。
以上のように、本実施の形態によれば、被測定対象物の微細化に応じたプローブカードの微細化を実現することできる。特に、従来のプローブカードの製造方法では困難であったプローブカードのコンタクタの幅に対する高さの比を2倍以上とすることができる。
10 シリコン基板、12 シリコン酸化膜、14 シリコン層、16 エッチング保護膜、18 レジスト膜、20 プローブ部、20 エッチング保護膜、22 補強層、24 レジスト膜、26 エッチング保護膜、28 レジスト膜、30 穴、32 トレンチ穴、34 拡散防止膜、36 コンタクト層、38 レジスト膜、40 金属層、42 支持部、44 コンタクト層、45 レジスト膜、46 バンプ、50 シリコン基板、52 絶縁膜、54 配線層、56 レジスト膜、58 支持部、60 コンタクト層、62 レジスト膜、64 バンプ、70 接着部材、80 接触端子部、82 カンチレバー部、100 プローブカード、200 プローブ部、300 配線部。
Claims (9)
- 支持部と、
前記支持部に形成された導通部と、
前記導通部に一部が電気的に接続され、前記支持部から突出するように延伸された梁部と、
前記梁部の端部に形成された接触端子部と、を備え、
前記接触端子部の高さは、前記接触端子部の最大幅の2倍以上であることを特徴とするコンタクタ。 - 請求項1に記載のコンタクタであって、
前記接触端子部の最大幅は20μm以下であることを特徴とするコンタクタ。 - 請求項1又は2に記載のコンタクタであって、
前記梁部と前記接触端子部は、少なくとも同一の導電性金属層を含むことを特徴とするコンタクタ。 - 請求項3に記載のコンタクタであって、
前記導電性金属層は、ニッケル、銅、チタン、パラジウム、白金、金及びタングステンのうち少なくとも1つの金属、又は、その合金、又は、その化合物であることを特徴とするコンタクタ。 - 支持部と、
前記支持部に形成された複数の導通部と、
前記支持部から突出するように延伸され、前記複数の導通部の各々に対応するように前記複数の導通部の各々に電気的に接続された複数の梁部と、
前記複数の梁部の各々の端部に形成された接触端子部と、を備え、
前記接触端子部の高さは、前記接触端子部の最大幅の2倍以上であることを特徴とするプローブカード。 - 犠牲半導体層の表面上にエッチング耐性層を形成する第1の工程と、
前記第1の工程で形成された前記エッチング耐性層をパターンニングする第2の工程と、
前記第2の工程におけるパターンニングで前記エッチング耐性層が除去された領域の前記犠牲半導体層を反応性イオンエッチングによりエッチングする第3の工程と、
前記第3の工程後、前記第1の工程で形成された前記エッチング耐性層を除去する第4の工程と、
前記第4の工程後、前記犠牲半導体層の表面形状に沿って金属層を形成する第5の工程と、
を備えることを特徴とするプローブカードの製造方法。 - 請求項6に記載のプローブカードの製造方法であって、
前記第3の工程におけるエッチング処理の深さは、エッチングされる領域の最大幅の2倍以上であることを特徴とするプローブカードの製造方法。 - 請求項6又は7に記載のプローブカードの製造方法であって、
前記第3の工程におけるエッチングされる領域の最大幅は20μm以下であることを特徴とするプローブカードの製造方法。 - 請求項6〜8のいずれか1つに記載のプローブカードの製造方法であって、
前記第5の工程で形成される金属層は、ニッケル、銅、チタン、パラジウム、白金、金及びタングステンのうち少なくとも1つの金属、又は、その合金、又は、その化合物であることを特徴とするプローブカードの製造方法。
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