JP2008215870A - 流体計測装置及び流体計測方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】連続的な計測であっても計測精度の再現性を向上する。
【解決手段】フローセンサ1のヒータ4の温度が前記センサ基体の温度よりも所定温度上昇するように前記ヒータ4を駆動する流体計測装置20において、流量の計測期間にわたってヒータ4を間欠的に駆動させる制御を行うヒータ制御手段41aと、前記ヒータが4駆動を停止する度に上流側温度信号及び下流側温度信号の差を非駆動時温度信号として取り込む非駆動時温度信号取込手段41bと、ヒータ4の駆動に応じて上流側温度センサ8及び下流側温度センサ5が出力する各温度信号の差を、前記非駆動時温度信号に対応した駆動時温度信号として取り込む駆動時温度信号取込手段41cと、該駆動時温度信号を非駆動時温度信号に基づいて補正する補正手段41dと、該補正した駆動時温度信号に基づいて前記流体の流量を算出する流量算出手段41eと、を有する。
【選択図】図1
【解決手段】フローセンサ1のヒータ4の温度が前記センサ基体の温度よりも所定温度上昇するように前記ヒータ4を駆動する流体計測装置20において、流量の計測期間にわたってヒータ4を間欠的に駆動させる制御を行うヒータ制御手段41aと、前記ヒータが4駆動を停止する度に上流側温度信号及び下流側温度信号の差を非駆動時温度信号として取り込む非駆動時温度信号取込手段41bと、ヒータ4の駆動に応じて上流側温度センサ8及び下流側温度センサ5が出力する各温度信号の差を、前記非駆動時温度信号に対応した駆動時温度信号として取り込む駆動時温度信号取込手段41cと、該駆動時温度信号を非駆動時温度信号に基づいて補正する補正手段41dと、該補正した駆動時温度信号に基づいて前記流体の流量を算出する流量算出手段41eと、を有する。
【選択図】図1
Description
本発明は、流体計測装置及び流体計測方法に関し、より詳細には、流路内を流れるガス、水等の流体の流量を、フローセンサを用いて計測する流体計測装置及び流体計測方法に関するものである。
流量測定対象となるガス、水等の流体の流量を計測する流量計測装置としては、熱型のフローセンサを用いたものが知られている。このフローセンサは、流体の温度よりも高い温度を有するヒータを流体の流れの中に配置し、このヒータによって加熱された流体の温度分布が流速の増加に伴って変化するという原理を利用したものである。
このようなフローセンサとしては、特許文献1に示すものが知られており、この従来の熱型のフローセンサを、図8及び図9の図面を参照して説明する。なお、図8は従来の熱型のフローセンサの構成を示す構成図である、図9は図8に示すフローセンサの断面図である。
図8において、フローセンサ1Aは、Si基板(センサ基体)2、ダイアフラム3、ダイアフラム3上に形成された白金等からなるヒータ4、ヒータ4の下流側でダイアフラム3上に形成された下流側サーモパイル5、ヒータ4に図示しない電源から駆動電流を供給する電源端子6A,6B、ヒータ4の上流側でダイアフラム3上に形成された上流側サーモパイル8、上流側サーモパイル8から出力される上流側温度信号を出力する第1出力端子9A,9B、下流側サーモパイル5から出力される下流側温度信号を出力する第2出力端子7A,7B、を備える。
上流側サーモパイル8及び下流側サーモパイル5は、熱電対から構成されている。この熱電対は、p++−Si及びAlにより構成され、冷接点5b,8bと温接点5a,8aとを有し、熱を検出し、冷接点5b,8bと温接点5a,8aとの温度差から熱起電力が発生することにより、温度検出信号を出力するようになっている。
また、図9に示すように、Si基板2には、ダイアフラム3が形成されており、このダイアフラム3には、上流側サーモパイル8及び下流側サーモパイル5のそれぞれの温接点とヒータ4が形成されている。
このように構成されたフローセンサ1Aによれば、ヒータ4が、外部からの駆動電流により加熱を開始すると、ヒータ4から発生した熱は、流体を媒体として、下流側サーモパイル5と上流側サーモパイル8のそれぞれの温接点5a,8aに伝達される。それぞれのサーモパイルの冷接点5b,8bは、Si基体(Si基板)上にあるので、基体温度になっており、それぞれの温接点は、ダイアフラム上にあるので、伝達された熱により加熱され、Si基体温度より温度が上昇する。そして、それぞれのサーモパイルは、温接点5a,8aと冷接点5b,8bの温度差より熱起電カを発生し、温度検出信号を出力する。
流体を媒体として伝達される熱は、流体の熱拡散効果とPからQに向かって流れる流体の流速との相乗効果によって、それぞれのサーモパイルに伝達される。すなわち、流速がない場合には、熱拡散によって上流側サーモパイル8と下流側サーモパイル5に均等に伝達され、上流側サーモパイル8からの上流側温度信号と下流側サーモパイル5からの下流側温度信号の差信号は、零になる。
一方、流体に流速が発生すると、流速によって下流側サーモパイル5の温接点5aに伝達される熱量が多くなり、上流側サーモパイル8の温接点8aに伝達される熱量は少なくなるため、前記下流側温度信号と前記上流側温度信号との差信号は流速に応じた正値になる。
フローセンサ1を用いる場合、流体の温度・圧力や種類によって変化する物性状態によって出力が変化しないようにヒータ4の制御を工夫する必要がある。例えば、加熱されたヒータ4の温度を基体温度(周囲温度)より一定温度だけ上昇するように制御する方法が知られている(特許文献2)。これは、基体2上に周囲温度を計測するための温度センサ15,16を配置して周囲温度を計測し、その周囲温度出力よりもヒータ4の温度を一定温度上昇させるようにアナログ回路で制御する。
このような方式の流量計測装置の場合、周囲温度より一定温度だけ高い温度にヒータ4が制御されているため、上流側サーモパイル8及び下流側サーモパイル5が計測する周囲温度に対する温度分布は、流体の流速のみに影響され、流体の物性状態に影響されにくくなり、高精度の計測を実現できていた。
しかしながら、このようなフローセンサ1においても、測定精度の再現性が悪いという問題が生じていた。特に大流量の計測、つまり、流速が速い場合に再現性が悪く、流量計測範囲の限界の一要因となっていた。
そこで、この問題を鋭意調査したところ、ヒータ4に電流が流れない状態、つまり、フローセンサ1が駆動されていない状態でも、その出力が変化していたことが判明した。以下にその詳細を説明する。
図10は従来の温度差によるサーモパイルの出力を示す模式図であり、図11は従来のフローセンサで計測された流体温度と基体温度との温度差とセンサ出力器差(測定誤差)との関係を示したグラフである。そして、測定は、流体の標準状態における100L/minで計測されている。
なお、図11中の縦軸が示す器差は、その単位が%RD(% of Reading:読値に対する百分率)となっている。そして、この%RDは、例えば、最大流量が100L/minのメータにおいて、10L/minの流量を計測した場合に、メータ出力が9L/minであると、その器差を−10%RDで示す。そして、このときの公差は−1%FS(計器の最大計測値に対する百分率)で示すことができる。
図10に示すように、前述の温度差がないときは、ヒータに電力印加がない場合、温度センサ出力は出力V0になり、ヒータに電力が印加されたときは出力V2になるとする。この状態のフローセンサ1でガス温度が基体温度より上昇すると、その分出力V0も出力V2も温度上昇し、それぞれ出力V1と出力V3になる。ところが、フローセンサ1は常に電力が印加されているため、出力V0や出力V1を計測することはできず、本来、出力V2である出力が出力V3に変化してしまう。
実際に図8に示すフローセンサ1の出力を計測して誤差を評価した結果が図11である。その器差は、―30度の温度差で約+20%RD、+30度の温度差で約−20%RDであることが判明した。
フローセンサ1で周囲温度を計測する温度センサ15,16は基体2上にあるため、周囲温度ではなく基体温度を計測してしまい、基体温度よりも一定温度だけ高くなるようにヒータ温度が設定される。従って、流体と基体とに温度差がある場合、基体温度に対するヒータ温度上昇は、ヒータ4が流体を加熱する温度上昇とは異なってしまう。このため、上流側サーモパイル8と下流側サーモパイル5の差出力は、ヒータ4が加熱する温度上昇分に比例してしまい、制御している設定温度上昇との比率分だけ上流側サーモパイル8と下流側サーモパイル5の差出力が変化し、流量計測の誤差になっているものと考えられる。
このようにフローセンサ1のヒータ4の温度がSi基板(センサ基体)2の温度よりも所定温度上昇するようにヒータ4を駆動する流量計測装置においても、センサ基体温度若しくは筐体温度とに温度差があったときに、計測精度が悪くなるという問題があることを追究できた。
特開2004−117157号公報
特開平4−34315号公報
よって本発明は、上述した問題点に鑑み、フローセンサにおけるヒータの温度がセンサ基体の温度よりも所定温度上昇するようにヒータを駆動しても、連続的な計測結果の再現性を向上することができる流量計測装置及び流体計測方法を提供することを課題としている。
上記課題を解決するため本発明によりなされた請求項1記載の流体計測装置は、図1の基本構成図に示すように、センサ基体の表面のダイアフラム上に設けられて流路内を流れる流体を加熱するヒータ4と、前記ヒータ4に対する前記流路の上流側の前記ダイアフラム上に設けられて前記流体の温度を検出して上流側温度信号を出力する上流側温度センサ8と、前記ヒータ4に対する前記流路の下流側の前記ダイアフラム上に設けられて前記流体の温度を検出して下流側温度信号を出力する下流側温度センサ5と、を有するフローセンサ1を用いて前記流体の流量を計測するに当たり、前記ヒータ4の温度が前記センサ基体の温度よりも所定温度上昇するように前記ヒータ4を駆動する流体計測装置20において、前記流量の計測期間にわたって前記ヒータ4を間欠的に駆動させる制御を行うヒータ制御手段41aと、前記ヒータ制御手段41aの制御によって前記ヒータが4駆動を停止する度に、前記上流側温度信号及び前記下流側温度信号の差を非駆動時温度信号として取り込む非駆動時温度信号取込手段41bと、前記ヒータ制御手段41aの制御による前記ヒータ4の駆動に応じて前記上流側温度センサ8及び前記下流側温度センサ5が出力する各温度信号の差を、前記非駆動時温度信号取込手段41bが取り込んだ非駆動時温度信号に対応した駆動時温度信号として取り込む駆動時温度信号取込手段41cと、前記駆動時温度信号取込手段41cが取り込んだ駆動時温度信号を、該駆動時温度信号に対応した非駆動時温度信号に基づいて補正する補正手段41dと、前記補正手段41dが補正した駆動時温度信号に基づいて前記流体の流量を算出する流量算出手段41eと、を有することを特徴とする。
上記課題を解決するためになされた請求項2記載の発明は、図1の基本構成図に示すように、請求項1に記載の流体計測装置において、前記上流側温度センサ8及び前記下流側温度センサ5が、測温抵抗体であり、前記非駆動時温度信号取込手段41bと前記駆動時温度信号取込手段41cとがそれぞれの温度信号を取り込むときに駆動し且つそれ以外のときは駆動しないように前記測温抵抗体の駆動を制御するセンサ制御手段41fを有することを特徴とする。
上記課題を解決するため本発明によりなされた請求項3記載の流体計測方法は、センサ基体の表面のダイアフラム上に設けられて流路内を流れる流体を加熱するヒータと、前記ヒータに対する前記流路の上流側の前記ダイアフラム上に設けられて前記流体の温度を検出して上流側温度信号を出力する上流側温度センサと、前記ヒータに対する前記流路の下流側の前記ダイアフラム上に設けられて前記流体の温度を検出して下流側温度信号を出力する下流側温度センサと、を有するフローセンサに対して、前記ヒータの温度が前記センサ基体の温度よりも所定温度上昇するように駆動して前記流体の流量を計測する流体計測方法において、前記流量の計測期間にわたって前記ヒータを間欠的に駆動し、前記上流側温度センサ及び前記下流側温度センサが出力する各温度信号の差として取り込んだ駆動時温度信号を、前記ヒータが駆動を停止しているときに取り込んだ前記上流側温度信号及び前記下流側温度信号の差である非駆動時温度信号に基づいて補正し、該補正した駆動時温度信号に基づいて前記流体の流量を算出することを特徴とする。
以上説明したように請求項1,3に記載した本発明によれば、流体の計測期間中は、フローセンサのヒータを間欠的に駆動させ、そして、ヒータの駆動を停止する度に上流側温度センサ及び下流側温度センサから非駆動時温度信号を取り込み、且つ、ヒータの駆動に応じて上流側温度センサ及び下流側温度センサから駆動時温度信号を取り込み、非駆動時温度信号で補正した駆動時温度信号に基づいて流体の流量を算出するようにしたことから、ヒータの温度をセンサ基体の温度よりも所定温度上昇するようにヒータを駆動させる場合でも、急激な流速変動等によってセンサ基体温度と流体温度とに温度差が生じたときに発生する温度センサのオフセット出力をキャンセルすることができるため、センサ基体温度と流体温度とに温度差が生じてもフローセンサ出力精度を良い状態に保つことができる。従って、流体の温度とセンサ基体温度の温度差が生じた場合、ヒータを加熱しても誤差要因は残ってしまうが、フローセンサにおけるヒータに対する駆動制御方法を変更するだけで、その誤差要因を解消して連続的な計測であっても計測精度の再現性を向上することができる。
請求項2に記載の発明によれば、請求項1に記載の発明の効果に加え、各温度センサに測温抵抗体を用いた場合、測温抵抗体の自己発熱のために、流体の温度とセンサ基体温度の温度差による誤差よりも大きな誤差が生じることになるが、非駆動時及び駆動時の温度信号を取り込むときに駆動し且つそれ以外のときは駆動しないように測温抵抗体を制御することから、センサ基体温度と流体温度とに温度差が生じたときに発生する温度センサのオフセット出力を確実にキャンセルすることができるため、センサ基体温度と流体温度とに温度差が生じてもフローセンサ出力精度を良い状態に保つことができ、計測精度のさらなる向上を図ることができる。
以下、上述した背景技術で説明したフローセンサ1(図10等を参照)を用いて、流体の流量を計測する本発明に係る流体計測装置の一実施の形態を、図2〜図7の図面と上述した図面とを参照して説明する。なお、フローセンサ1の基本構成については、背景技術のところで説明しているので、詳細な説明は省略する。
図2において、本発明の流体計測装置20は、例えば、流体であるガスが流れる流路内に設けられたフローセンサ1を用いて、ガスの流量を計測するものである。このフローセンサ1は、上述した図10に示す構成と同一の構成となっており、詳細な説明は省略する。
フローセンサ1は、センサ基体2の表面のダイアフラム3上に設けられて流路内を流れる流体を加熱するヒータ4と、前記ヒータ4に対する前記流路の上流側の前記ダイアフラム3上に設けられて前記流体の温度を検出して上流側温度信号を出力する上流側サーモパイル(上流側温度センサ)8と、前記ヒータ4に対する前記流路の下流側の前記ダイアフラム3上に設けられて前記流体の温度を検出して下流側温度信号を出力する下流側サーモパイル(下流側温度センサ)5と、ヒータ4に図示しない電源から駆動電流を供給する電源端子6A,6Bと、上流側サーモパイル8から出力される上流側温度信号を出力する第1出力端子9A,9Bと、下流側サーモパイル5から出力される下流側温度信号を出力する第2出力端子7A,7Bと、センサ基体2(流体)の温度を得るための抵抗15,16と、を有している。
流量計測装置20は、上述したフローセンサ1内の下流側サーモパイル5からの下流側温度信号とフローセンサ1内の上流側サーモパイル8からの上流側温度信号との差信号を増幅する差動アンプ33と、予め定められたプログラムに従って動作するマイクロプロセッサ(MPU)40と、このMPU40によって制御されてヒータ4を駆動させる駆動部50と、を備えて構成される。そして、差動アンプ33と駆動部50との各々はMPU40に接続されている。
MPU40は、周知のように、予め定めたプログラムに従って各種の処理や制御などを行う中央演算処理装置(CPU)41、CPU41のためのプログラム等を格納した読み出し専用のメモリであるROM42、各種のデータを格納するとともにCPU41の処理作業に必要なエリアを有する読み出し書き込み自在のメモリであるRAM43等を有して構成している。
ROM42には、フローセンサ1を用いてガスの流量を計測するのに当たり、CPU41(コンピュータ)を、上述した請求項中のヒータ制御手段、非駆動時温度信号取込手段、駆動時温度信号取込手段、補正手段、流量算出手段、センサ制御手段等として機能させる流体計測処理プログラム、後述する温度差出力に基づいて流量を算出する流量算出式を実行するための流量算出プログラム等の各種プログラムを記憶している。
CPU41は、下流側サーモパイル5及び上流側サーモパイル8からの下流側温度信号と上流側温度信号との差である差信号が差動アンプ33を介して入力される。なお、本最良の形態では、差動アンプ33を用いる場合について説明するが、本発明はこれに限定するものではなく、アンプで増幅して下流側温度信号及び上流側温度信号をそのままCPU41に入力するなど種々異なる形態とすることができる。
駆動部50は、MPU40に接続しており、MPU40からの指示に応じてヒータ4に対する電力の供給を制御してヒータ4を駆動させる駆動回路等を有している。また、CPU41は、抵抗15,16からの基体温度信号が出力端子17A,17Bを介して入力される。そして、CPU41は、その基体信号に基づいてセンサ基体温度を検出し、該センサ基体温度よりもヒータ4の温度が所定温度上昇するように駆動部50を制御する。その結果、ヒータ4の温度はセンサ基体2の温度よりも所定温度上昇した状態となる。
次に、上述した構成におけるマイクロコンピュータ40のCPU41が実行する流量計測処理の一例を、図3に示すフローチャートを参照して以下に説明する。なお、この流量計測処理は、流体計測装置20が起動されている状態で常時実行され、流体計測装置20の動作停止に応じて処理が終了されることを前提としている。
図3に示すステップS11(非駆動時温度信号取込手段)において、非駆動時に上流側サーモパイル8及び下流側サーモパイル5がそれぞれ出力した上流側温度信号及び下流側温度信号の温度差信号が差動アンプ33を介して取り込まれ、その信号値がヒータ4の非駆動時における温度差出力VoffとしてRAM43に記憶され、その後ステップS12に進む。
ステップS12(ヒータ制御手段)において、抵抗15,16からの基体温度信号に基づいてセンサ基体温度が検出され、該センサ基体温度よりも所定温度上昇するように、ヒータ4の加熱開始が駆動部50に指示され、その後ステップS13に進む。この指示に応じて駆動部50は、所定温度上昇するように指定された所定の電圧をヒータ4に印加する。この結果、ヒータ4の周りのガスが加熱されて、所定の温度分布が発生することになる。
ステップS13において、ヒータ4の温度が安定したか否かが判定される。なお、この判定方法としては、ヒータ4を駆動してから温度が安定するまでの時間を予め記憶しておき、タイマを用いて判定する方法など種々異なる実施形態とすることができる。
ステップS13で温度が安定していないと判定された場合は(S13でN)、この処理を繰り返すことで、温度が安定するのを待つ。一方、温度が安定していると判定された場合は(S13でY)、ステップS14に進む。
ステップS14(駆動時温度信号取込手段)において、駆動時に上流側サーモパイル8及び下流側サーモパイル5がそれぞれ出力した上流側温度信号及び下流側温度信号の温度差信号が差動アンプ33を介して取り込まれ、その信号値がヒータ4の駆動時における温度差出力VonとしてRAM43に記憶され、その後ステップS15に進む。
ステップS15(ヒータ制御手段)において、ヒータ4の加熱停止が駆動部50に指示され、その後ステップS16に進む。この結果、ヒータ4はガスの加熱を停止することになる。
ステップS16(補正手段)において、RAM43の温度差出力Von,Voffの差(Von−Voff)が算出されることで、ヒータ4の上昇温度の変化により温度差出力Vonに生じた誤差が補正され、ステップS17(流量算出手段)において、その温度差出力Vonと予め定められた流量算出式に基づいて、1回の計測当たりの流量が算出されて流量情報としてRAM43に記憶され、その後、ステップS18において、流量情報は予め定められた例えば表示装置に出力されることで表示装置に表示され、その後ステップS19に進む。
ステップS19において、ステップS15で駆動が停止されたヒータ4の非駆動時温度が安定したか否かが判定される。ステップS13と同様に、非駆動時温度が安定していないと判定された場合は(S19でN)、この判定処理を繰り返すことで、非駆動時温度が安定するのを待つ。一方、非駆動時温度が安定していると判定された場合は(S19でY)、ステップS11に戻り、一連の処理が繰り返される。なお、直ちにステップS11に戻る必要はなく、一定時間経過した後に戻るようにしてもよい。
ここで、上述した構成の流体計測装置及びその計測方法が有効である理由を説明する。ヒータ4の非駆動時の温度差出力Voffを間欠的に計測し、ヒータ4の駆動時の温度差出力Vonをその温度差出力Voffで補正するようにしたことから、誤差因子がキャンセルされるため、ガス温度とセンサ基体温度の温度差により生じる誤差を無くすことができる。
次に、上述した構成の流体計測装置20の動作(作用)の一例を、図4及び図5の図面を参照して以下に説明する。なお、図4はヒータの印加電圧とフローセンサの出力例の一例を説明するためのグラフであり、図5は本発明による温度差と器差との関係を示すグラフである。
流体計測装置20によって上述した流量計測処理が実行されると、フローセンサ1のヒータ4には、図4(a)の実線で示す駆動信号Gによる予め定められたタイミングで間欠的に、センサ基体温度よりも所定温度上昇する電圧Vhが印加されることで、ヒータ4は駆動される。そして、本最良の形態では、ヒータ4に電圧Vhを印加する駆動時間T1と、電圧を印加しない非駆動時間T2と、を1周期としたパルス信号で、ガスの計測を開始してから終了するまでの計測期間中は、ヒータ4を制御するようにしている。なお、本最良の形態では、計測期間を流体計測装置20の起動時としているが、任意に設定するなど種々異なる形態とすることができる。
また、駆動時間T1は、ヒータ4がガス(流体)を加熱して所定の温度分布を発生させるのに十分な時間となり、非駆動時間T2は、ヒータ4による加熱を停止してから常温に戻るのに十分な時間となっている。なお、ヒータ4の制御方法については、流量の計測を開始してから終了するまでの計測期間にわたってヒータ4を予め定められたタイミングで間欠的に駆動させるなど様々なタイミングで制御することができる。
ガスとセンサ基体2との間に温度差が生じていない場合、駆動信号Gに応じてフローセンサ1が検出して出力する信号は温度信号G1で示される。そして、ガスとセンサ基体2とに温度差が生じると、温度信号G1よりもΔVだけ高い電圧値を示す温度信号G2で示される。
このようにフローセンサ1の制御については、電圧Vhを間欠的に印加するか連続的に印加するかで、従来技術と本発明とは異なっているが、図4に示すように、フローセンサ1の各サーモパイルからの出力は、ガスとセンサ基体との間に生じた温度差に応じて変化している。
このようなフローセンサ1に対し、流体計測装置20は、ヒータ4に電圧Vhを印加していない、図4中の測定点P1において、上流側サーモパイル8及び下流側サーモパイル5から温度差出力Voffをそれぞれ取り込み、ヒータ4によるガスの加熱を開始させる。
図4中の測定点P2において、加熱されたガス等の温度が安定した状態で、上流側サーモパイル8及び下流側サーモパイル5から温度差出力Vonを取り込み、ヒータ4によるガスの加熱を停止させる。
取り込んだ温度差出力Vonを温度差出力Voffで補正し、その温度差出力Vonと流量算出式とを用いてガスの流量を算出し、該流量を流量情報として例えば表示装置等に出力して表示させる。
その後、図4中の測定点P3において、停止されたヒータ4の非駆動時温度が安定すると、測定点P1と同様に、温度差出力Voffを取り込み、ヒータ4によるガスの加熱を開始させる。そして、図4中の測定点P4において、加熱されたガス等の温度が安定すると、測定点P2と同様に、温度差出力Vonをそれぞれ取り込み、ヒータ4によるガスの加熱を停止させる。そして、上述したように補正した温度差出力Vonに基づいて流量を算出する。
以降も、ガスの計測期間中は、上述した処理を繰り返すことで、流量の計測時に、常に誤差因子を排除した温度差出力Vonに基づいて流量の算出を行う。
上述した発明が解決しようとする課題で説明した測定条件と同一の測定条件で温度差と器差との関係を確認したところ、図5に示す結果を得ることができた。詳細には、センサ基体とガス温度差とを約−30〜30度の範囲で変化させたとき、図5に示すように、その器差は−30度のときが約1%RD、−15度のときが約0%RD、−5度のときが約0.5%RD、5度のときが約0%RD、15度のときが約0%RD、30度のときが約−1%RDという測定結果を得ることができた。つまり、このように本発明の流体計測装置20によって、温度差の変化による器差の発生を解消することができた。
以上説明したように本発明の流体計測装置20によれば、流体の計測期間中は、フローセンサ1のヒータ4を間欠的に駆動させ、そして、ヒータ4の駆動を停止する度に上流側サーモパイル8及び下流側サーモパイル5から非駆動時温度信号を取り込み、且つ、ヒータ4の駆動に応じて上流側サーモパイル8及び下流側サーモパイル5から駆動時温度信号を取り込み、非駆動時温度信号で補正した駆動時温度信号に基づいて流体の流量を算出するようにしたことから、ヒータ4の温度をセンサ基体2の温度よりも所定温度上昇するようにヒータ4を駆動させる場合でも、急激な流速変動等によってセンサ基体温度2とガス温度とに温度差が生じたときに発生するサーモパイルのオフセット出力をキャンセルすることができるため、センサ基体温度2とガス温度とに温度差が生じてもフローセンサ出力精度を良い状態に保つことができる。従って、ガス温度とセンサ基体温度の温度差が生じた場合、ヒータ4を加熱しても誤差要因は残ってしまうが、フローセンサ1におけるヒータ4に対する駆動制御方法を変更するだけで、その誤差要因を解消して連続的な計測であっても計測精度の再現性を向上することができる。
なお、上述した本最良の形態では、請求項中の各手段をMPU40によって実現する場合について説明したが、本発明はこれに限定するものではなく、例えば、DSP(digital signal processor)、ASIC(application specific IC)で実現するなど種々異なる形態とすることができる。
実施例1では、上流側及び下流側の各温度センサにサーモパイルを用いた場合について説明したが、実施例2では、各温度センサに測温抵抗体を用いた場合について、図6等の図面を参照して以下に説明する。なお、実施例1のところで説明したものと同一あるいは相当する部分には同一符号を付してその詳細な説明は省略する。
フローセンサ1は、センサ基体2の表面のダイアフラム3上に設けられて流路内を流れる流体を加熱するヒータ4と、前記ヒータ4に対する前記流路の上流側の前記ダイアフラム3上に設けられて前記流体の温度を検出して上流側温度信号を出力する上流側測温抵抗体(上流側温度センサ)8Aと、前記ヒータ4に対する前記流路の下流側の前記ダイアフラム3上に設けられて前記流体の温度を検出して下流側温度信号を出力する下流側測温抵抗体(下流側温度センサ)5Aと、ヒータ4に図示しない電源から駆動電流を供給する電源端子6A,6Bと、上流側測温抵抗体8Aから出力される上流側温度信号を出力する第1出力端子9A,9Bと、下流側測温抵抗体5Aから出力される下流側温度信号を出力する第2出力端子7A,7Bと、センサ基体2(流体)の温度を得るための抵抗15,16と、を有している。
流量計測装置20は、上述したフローセンサ1内の下流側測温抵抗体5Aからの下流側温度信号とフローセンサ1内の上流側測温抵抗体8Aからの上流側温度信号との差信号を増幅する差動アンプ33と、上述したマイクロプロセッサ(MPU)40と、このMPU40によって制御されてヒータ4を駆動させる駆動部50と、を備えて構成される。MPU40は、中央演算処理装置(CPU)41、ROM42、RAM43等を有して構成している。
下流側測温抵抗体5A及び上流側測温抵抗体8Aは、MPU40に接続しており、MPU40からの制御によって駆動され、駆動状態ではそれぞれ流体の温度を検出して下流側及び上流側温度信号としてMPU40に出力する。また、CPU41は、下流側測温抵抗体5及び上流側測温抵抗体8からの下流側温度信号と上流側温度信号との差である差信号が差動アンプ33を介して入力される。
次に、上述した構成におけるマイクロコンピュータ40のCPU41が実行する流量計測処理の一例を、図7に示すフローチャートを参照して以下に説明する。なお、この流量計測処理は、流体計測装置20が起動されている状態で常時実行され、流体計測装置20の動作停止に応じて処理が終了されることを前提としている。
図7に示すステップS31(センサ制御手段)において、ヒータ4を加熱しない状態で、定電流によって上流側測温抵抗体8A及び下流側測温抵抗体5Aが駆動され、電気的に安定すると、ステップS32(非駆動時温度信号取込手段)において、ヒータ4の非駆動時に上流側測温抵抗体8A及び下流側測温抵抗体5Aがそれぞれ出力した上流側温度信号及び下流側温度信号の温度差信号が差動アンプ33を介して取り込まれ、その信号値がヒータ4の非駆動時における温度差出力VoffとしてRAM43に記憶され、その後ステップS33(センサ制御手段)において、上流側測温抵抗体8A及び下流側測温抵抗体5Aの駆動が停止され、その後ステップS34に進む。
ステップS34(ヒータ制御手段)において、抵抗15,16からの基体温度信号に基づいてセンサ基体温度が検出され、該センサ基体温度よりも所定温度上昇するように、ヒータ4の加熱開始が駆動部50に指示され、その後ステップS35に進む。
ステップS35において、ヒータ4の温度が安定したか否かが判定される。温度が安定していないと判定された場合は(S35でN)、この処理を繰り返すことで、温度が安定するのを待つ。一方、温度が安定していると判定された場合は(S35でY)、ステップS36に進む。
ステップS36(センサ制御手段)において、ヒータ4を加熱した状態で、定電流によって上流側測温抵抗体8A及び下流側測温抵抗体5Aが駆動され、電気的に安定すると、ステップS37(駆動時温度信号取込手段)において、ヒータ4の駆動時に上流側測温抵抗8及び下流側測温抵抗5がそれぞれ出力した上流側温度信号及び下流側温度信号の温度差信号が差動アンプ33を介して取り込まれ、その信号値がヒータ4の駆動時における温度差出力VonとしてRAM43に記憶され、その後ステップS38に進む。
ステップS38(センサ制御手段)において、上流側測温抵抗体8A及び下流側測温抵抗体5Aの駆動が停止され、その後ステップS39(ヒータ制御手段)において、ヒータ4の加熱停止が駆動部50に指示され、その後ステップS40に進む。この結果、ヒータ4はガスの加熱を停止することになる。
ステップS40(補正手段)において、RAM43の温度差出力Von,Voffの差(Von−Voff)が算出されることで、ヒータ4の上昇温度の変化により温度差出力Vonに生じた誤差が補正され、ステップS41(流量算出手段)において、その温度差出力Vonと予め定められた流量算出式に基づいて、1回の計測当たりの流量が算出されて流量情報としてRAM43に記憶され、その後、ステップS42において、流量情報は予め定められた例えば表示装置に出力されることで表示装置に表示され、その後ステップS43に進む。
ステップS43において、ステップS39で駆動が停止されたヒータ4の非駆動時温度が安定したか否かが判定される。非駆動時温度が安定していないと判定された場合は(S43でN)、この判定処理を繰り返すことで、非駆動時温度が安定するのを待つ。一方、非駆動時温度が安定していると判定された場合は(S43でY)、ステップS31に戻り、一連の処理が繰り返される。なお、直ちにステップS31に戻る必要はなく、一定時間経過した後に戻るようにしてもよい。
次に、上述した構成の流体計測装置20の実施例2に係る動作(作用)の一例を以下に説明する。
流体計測装置20によって上述した流量計測処理が実行されると、流体計測装置10は、フローセンサ1のヒータ4を実施例1と同様に予め定められたタイミングで間欠的に駆動させる。そして、流体計測装置20は、ヒータ4を駆動していない状態で、温度差出力Voffを取り込むに当たり、測温抵抗体5A,8Aを駆動して電気的に安定すると、測温抵抗体5A,8Aから温度差出力Voffを取り込み、測温抵抗体5A,8Aの駆動を停止した後に、ヒータ4によるガスの加熱を開始させる。
ヒータ4によって加熱されたガス等の温度が安定した状態になると、測温抵抗体5A,8Aを駆動して電気的に安定した後、測温抵抗体5A,8Aから温度差出力Vonを取り込み、測温抵抗体5A,8Aの駆動を停止した後に、ヒータ4によるガスの加熱を停止させる。
取り込んだ温度差出力Vonを温度差出力Voffで補正し、その温度差出力Vonと流量算出式とを用いてガスの流量を算出し、該流量を流量情報として例えば表示装置等に出力して表示させる。以降も、ガスの計測期間中は、上述した処理を繰り返すことで、流量の計測時に、常に誤差因子を排除した温度差出力Vonに基づいて流量の算出を行う。
実施例2のようにフローセンサ1の各温度センサに測温抵抗体5A,8Aを用いた場合、測温抵抗体5A,8Aの自己発熱のために、ガス温度とセンサ基体温度の温度差による誤差よりも大きな誤差が生じることになるが、非駆動時及び駆動時の温度信号を取り込むときに駆動し且つそれ以外のときは駆動しないように測温抵抗体5A,8Aを制御することから、センサ基体温度とガス温度とに温度差が生じたときに発生する温度センサのオフセット出力を確実にキャンセルすることができるため、センサ基体温度とガス温度とに温度差が生じてもフローセンサ出力精度を良い状態に保つことができ、計測精度のさらなる向上を図ることができる。
しかも、実施例2に係る流体計測装置20によれば、実施例1と同様に、流体の計測期間中はフローセンサ1のヒータ4を間欠的に駆動させ、そして、ヒータ4の駆動を停止する度に上流側測温抵抗体8A及び下流側測温抵抗体5Aから非駆動時温度信号を取り込み、且つ、ヒータ4の駆動に応じて上流側測温抵抗体8A及び下流側測温抵抗体5Aから駆動時温度信号を取り込み、非駆動時温度信号で補正した駆動時温度信号に基づいて流体の流量を算出するようにしたことから、ヒータ4の温度をセンサ基体2の温度よりも所定温度上昇するようにヒータ4を駆動させる場合でも、急激な流速変動等によってセンサ基体温度2とガス温度とに温度差が生じたときに発生する測温抵抗体のオフセット出力をキャンセルすることができるため、センサ基体温度2とガス温度とに温度差が生じてもフローセンサ出力精度を良い状態に保つことができる。従って、ガス温度とセンサ基体温度の温度差が生じた場合、ヒータ4を加熱しても誤差要因は残ってしまうが、フローセンサ1におけるヒータ4に対する駆動制御方法を変更するだけで、その誤差要因を解消して連続的な計測であっても計測精度の再現性を向上することができる。
なお、上述した実施例1,2では、流体計測装置20について説明したが、本発明はこれに限定するものではなく、流体計測装置20をガスメータに組み込んで実現したり、水、薬品などの流体を計測する機器として実現するなど種々異なる形態とすることができる。
このように上述した実施例1,2は本発明の代表的な形態を示したに過ぎず、本発明は、実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
1 フローセンサ(フローセンサ)
4 ヒータ
5,5A 下流側温度センサ
8,8A 上流側温度センサ
15,16 抵抗
20 流体計測装置
41a ヒータ制御手段(CPU)
41b 非駆動時温度信号取込手段(CPU)
41c 駆動時温度信号取込手段(CPU)
41d 補正手段(CPU)
41e 流量算出手段(CPU)
41f センサ制御手段(CPU)
4 ヒータ
5,5A 下流側温度センサ
8,8A 上流側温度センサ
15,16 抵抗
20 流体計測装置
41a ヒータ制御手段(CPU)
41b 非駆動時温度信号取込手段(CPU)
41c 駆動時温度信号取込手段(CPU)
41d 補正手段(CPU)
41e 流量算出手段(CPU)
41f センサ制御手段(CPU)
Claims (3)
- センサ基体の表面のダイアフラム上に設けられて流路内を流れる流体を加熱するヒータと、前記ヒータに対する前記流路の上流側の前記ダイアフラム上に設けられて前記流体の温度を検出して上流側温度信号を出力する上流側温度センサと、前記ヒータに対する前記流路の下流側の前記ダイアフラム上に設けられて前記流体の温度を検出して下流側温度信号を出力する下流側温度センサと、を有するフローセンサを用いて前記流体の流量を計測するに当たり、前記ヒータの温度が前記センサ基体の温度よりも所定温度上昇するように前記ヒータを駆動する流体計測装置において、
前記流量の計測期間にわたって前記ヒータを間欠的に駆動させる制御を行うヒータ制御手段と、
前記ヒータ制御手段の制御によって前記ヒータが駆動を停止する度に、前記上流側温度信号及び前記下流側温度信号の差を非駆動時温度信号として取り込む非駆動時温度信号取込手段と、
前記ヒータ制御手段の制御による前記ヒータの駆動に応じて前記上流側温度センサ及び前記下流側温度センサが出力する各温度信号の差を、前記非駆動時温度信号取込手段が取り込んだ非駆動時温度信号に対応した駆動時温度信号として取り込む駆動時温度信号取込手段と、
前記駆動時温度信号取込手段が取り込んだ駆動時温度信号を、該駆動時温度信号に対応した非駆動時温度信号に基づいて補正する補正手段と、
前記補正手段が補正した駆動時温度信号に基づいて前記流体の流量を算出する流量算出手段と、
を有することを特徴とする流体計測装置。 - 前記上流側温度センサ及び前記下流側温度センサが、測温抵抗体であり、
前記非駆動時温度信号取込手段と前記駆動時温度信号取込手段とがそれぞれの温度信号を取り込むときに駆動し且つそれ以外のときは駆動しないように前記測温抵抗体の駆動を制御するセンサ制御手段を有することを特徴とする請求項1に記載の流体計測装置。 - センサ基体の表面のダイアフラム上に設けられて流路内を流れる流体を加熱するヒータと、前記ヒータに対する前記流路の上流側の前記ダイアフラム上に設けられて前記流体の温度を検出して上流側温度信号を出力する上流側温度センサと、前記ヒータに対する前記流路の下流側の前記ダイアフラム上に設けられて前記流体の温度を検出して下流側温度信号を出力する下流側温度センサと、を有するフローセンサに対して、前記ヒータの温度が前記センサ基体の温度よりも所定温度上昇するように駆動して前記流体の流量を計測する流体計測方法において、
前記流量の計測期間にわたって前記ヒータを間欠的に駆動し、前記上流側温度センサ及び前記下流側温度センサが出力する各温度信号の差として取り込んだ駆動時温度信号を、前記ヒータが駆動を停止しているときに取り込んだ前記上流側温度信号及び前記下流側温度信号の差である非駆動時温度信号に基づいて補正し、該補正した駆動時温度信号に基づいて前記流体の流量を算出することを特徴とする流体計測方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007050149A JP2008215870A (ja) | 2007-02-28 | 2007-02-28 | 流体計測装置及び流体計測方法 |
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JP (1) | JP2008215870A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015532440A (ja) * | 2012-10-23 | 2015-11-09 | コンチネンタル オートモーティヴ ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングContinental Automotive GmbH | 空気質量流量計を動作させるための方法 |
-
2007
- 2007-02-28 JP JP2007050149A patent/JP2008215870A/ja not_active Withdrawn
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