JP2008213404A - マスク及びマスクの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】ワーク6上に形成されたレジスト5の高さよりも低いCuパッド部7に、ブリッジ等を発生することなく、精度の高い印刷を行うことを目的とする。また、従来の裏面に凸部を持つメタルマスクよりも安価に精度の高いマスクを製造することを目的とする。
【解決手段】マスク1は少なくとも片面の表面に、開口の周囲が先端に行くに従って細くなる先細凸形状に形成された凸部4を備える。塩化アンモンを添加しためっき液を使用してめっきする、または、所定の段階までマスク1を第1の電流密度でめっきにより形成した後に、第1の電流密度より高い第2の電流密度でめっきすることにより、マスク1を成長させることにより凸部4を形成することでマスク1を製造する。
【選択図】図3
【解決手段】マスク1は少なくとも片面の表面に、開口の周囲が先端に行くに従って細くなる先細凸形状に形成された凸部4を備える。塩化アンモンを添加しためっき液を使用してめっきする、または、所定の段階までマスク1を第1の電流密度でめっきにより形成した後に、第1の電流密度より高い第2の電流密度でめっきすることにより、マスク1を成長させることにより凸部4を形成することでマスク1を製造する。
【選択図】図3
Description
本発明は、例えば、スクリーン印刷用マスク及びその製造方法に関するものである。
従来、基材上に印刷パターン形状のレジストを形成し、レジストが形成された領域を除いて金属層をめっきにより形成し、レジストと基材とを剥離することでスクリーン印刷用マスクを製造している。通常、製造したマスクをワークの上に乗せ、マスクの上にペースト等を乗せ、マスクの上をスキージが摺動して印刷を行う。つまり、スキージが摺動することによりマスクに形成された印刷パターン開口を通してペースト等をワークに付着させることで印刷を行う。
また、ワークの上に厚みの異なる導電性厚膜を形成して、裏面(ワーク側)に凸部を持つメタルマスクによってペースト等を印刷する技術がある(特許文献1)。この技術によれば、厚膜の薄い部分には厚く、厚膜の厚い部分には薄くペースト等が印刷される。つまり、導電性厚膜の厚膜の厚さを制御することにより電子部品ごとに最適量のペースト等を供給できる。
特開平6−196850号公報
ワーク上に形成されたレジストの高さよりも低いCuパッド部(導電性厚膜)に、従来の裏面に凸部を有さないマスクにより印刷を行った場合、ブリッジが発生する等により歩留まりが低下する。
また、ワーク上に形成されたレジストの高さよりも低いCuパッド部に、従来の裏面に凸部を持つメタルマスクによって印刷を行った場合、凸部の先端が平面であるため液切れがよくないという課題がある。
さらに、従来の裏面に凸部を持つメタルマスクの製造方法では、安価に精度の高いメタルマスクの製造ができないという課題がある。
本発明は、例えば、ワーク上に形成されたレジストの高さよりも低いCuパッド部に、ブリッジ等を発生することなく、液切れのよい印刷を行うことを目的とする。また、従来の裏面に凸部を持つメタルマスクよりも安価に精度の高いマスクを製造することを目的とする。
また、ワーク上に形成されたレジストの高さよりも低いCuパッド部に、従来の裏面に凸部を持つメタルマスクによって印刷を行った場合、凸部の先端が平面であるため液切れがよくないという課題がある。
さらに、従来の裏面に凸部を持つメタルマスクの製造方法では、安価に精度の高いメタルマスクの製造ができないという課題がある。
本発明は、例えば、ワーク上に形成されたレジストの高さよりも低いCuパッド部に、ブリッジ等を発生することなく、液切れのよい印刷を行うことを目的とする。また、従来の裏面に凸部を持つメタルマスクよりも安価に精度の高いマスクを製造することを目的とする。
本発明に係るマスクは、例えば、
印刷パターン形状の開口を有するマスクにおいて、
少なくとも片面の表面に、上記開口の周囲が先端に行くに従って細くなる先細凸形状に形成された凸部
を備えることを特徴とする。
印刷パターン形状の開口を有するマスクにおいて、
少なくとも片面の表面に、上記開口の周囲が先端に行くに従って細くなる先細凸形状に形成された凸部
を備えることを特徴とする。
上記マスクは、めっきにより形成された
ことを特徴とする。
ことを特徴とする。
本発明に係るマスクの製造方法は、例えば、基材に印刷パターン形状のレジストを形成するステップと、
塩化塩を添加しためっき液を使用してめっきすることにより、上記第1のレジストが形成された領域を除いて上記基材にマスク層を形成するステップと、
上記レジストを除去するステップと、
上記マスク層から上記基材を剥離するステップと
を備えることを特徴とする。
塩化塩を添加しためっき液を使用してめっきすることにより、上記第1のレジストが形成された領域を除いて上記基材にマスク層を形成するステップと、
上記レジストを除去するステップと、
上記マスク層から上記基材を剥離するステップと
を備えることを特徴とする。
上記マスク層を形成するステップでは、塩化塩を0.5〜3g/l(リットル)添加しためっき液を使用してめっきする
ことを特徴とする。
ことを特徴とする。
また、本発明に係るマスクの製造方法は、例えば、基材に印刷パターン形状のレジストを形成するステップと、
第1の電流密度でめっきすることにより、上記第1のレジストが形成された領域を除いて上記基材にマスク層を形成するステップと、
上記マスク層を形成するステップの後に、上記第1の電流密度より高い第2の電流密度でめっきすることにより、上記マスク層を成長させるステップと、
上記レジストを除去するステップと、
上記マスク層から上記基材を剥離するステップと
を備えることを特徴とする。
第1の電流密度でめっきすることにより、上記第1のレジストが形成された領域を除いて上記基材にマスク層を形成するステップと、
上記マスク層を形成するステップの後に、上記第1の電流密度より高い第2の電流密度でめっきすることにより、上記マスク層を成長させるステップと、
上記レジストを除去するステップと、
上記マスク層から上記基材を剥離するステップと
を備えることを特徴とする。
上記マスク層を成長させるステップでは、上記第1の電流密度の2倍以上の電流密度でめっきする
ことを特徴とする。
ことを特徴とする。
上記マスク層を形成するステップでは、最終的に生成するマスクの板厚の2〜20%薄い板厚となるまでマスク層を形成し、
上記マスク層を成長させるステップでは、上記最終的に生成するマスクの板厚までマスク層を成長させる
ことを特徴とする。
上記マスク層を成長させるステップでは、上記最終的に生成するマスクの板厚までマスク層を成長させる
ことを特徴とする。
本発明に係るマスクによれば、開口の周囲が先端に行くに従って細くなる先細凸形状に形成された凸部を備えるため、ワーク上に形成されたレジストの高さよりも低いCuパッド部に、ブリッジ等を発生することなく、精度の高い印刷を行うことが可能である。
また、本発明に係るマスクの製造方法によれば、塩化塩を添加しためっき液を使用してめっきすることにより、先細凸形状に形成された凸部を備えるマスクを製造することができる。さらに、本発明に係るマスクの製造方法によれば、めっき途中に電流密度を高めることにより、先細凸形状に形成された凸部を備えるマスクを製造することができる。これらの方法により先細凸形状に形成された凸部を備えるマスクを製造することで、安価に精度の高い凸部を備えるマスクを製造することができる。
また、本発明に係るマスクの製造方法によれば、塩化塩を添加しためっき液を使用してめっきすることにより、先細凸形状に形成された凸部を備えるマスクを製造することができる。さらに、本発明に係るマスクの製造方法によれば、めっき途中に電流密度を高めることにより、先細凸形状に形成された凸部を備えるマスクを製造することができる。これらの方法により先細凸形状に形成された凸部を備えるマスクを製造することで、安価に精度の高い凸部を備えるマスクを製造することができる。
実施の形態1.
実施の形態1では、先細凸形状に形成された凸部を備えるマスクとその製造方法について説明する。
実施の形態1では、先細凸形状に形成された凸部を備えるマスクとその製造方法について説明する。
まず、先細凸形状に形成された凸部を備えるマスクについて説明する。
図1は、マスク1を印刷面側から見た図である。図2は、図1に示すA−A’断面図である。印刷面とは、印刷時にワーク側になる面である。一方、印刷面の裏側をスキージ面と呼ぶ。つまり、スキージ面とは、印刷時にスキージが摺動する面である。印刷面とスキージ面とをマスクの表面と呼ぶ。
マスク1は、印刷パターン開口2,3を有する。また、マスク1は、印刷パターン開口2,3の周囲に凸部4を備える。図1において凸部4を便宜的に斜線により示す。凸部4は、図1に示すように印刷パターン開口の周囲を囲むように存在する。また、凸部4は、図2に示すように先端に行くに従って細くなる先細凸形状である。ここで、凸部4を備える面が印刷面側であり、その逆がスキージ面側である。
つまり、マスク1は少なくとも片面の上記開口の周囲が先端に行くに従って細くなる先細凸形状に形成された凸部を備える。すなわち、マスク1の開口周囲の形状は、ろうと状、火口状である。
図1は、マスク1を印刷面側から見た図である。図2は、図1に示すA−A’断面図である。印刷面とは、印刷時にワーク側になる面である。一方、印刷面の裏側をスキージ面と呼ぶ。つまり、スキージ面とは、印刷時にスキージが摺動する面である。印刷面とスキージ面とをマスクの表面と呼ぶ。
マスク1は、印刷パターン開口2,3を有する。また、マスク1は、印刷パターン開口2,3の周囲に凸部4を備える。図1において凸部4を便宜的に斜線により示す。凸部4は、図1に示すように印刷パターン開口の周囲を囲むように存在する。また、凸部4は、図2に示すように先端に行くに従って細くなる先細凸形状である。ここで、凸部4を備える面が印刷面側であり、その逆がスキージ面側である。
つまり、マスク1は少なくとも片面の上記開口の周囲が先端に行くに従って細くなる先細凸形状に形成された凸部を備える。すなわち、マスク1の開口周囲の形状は、ろうと状、火口状である。
図3は、先細凸形状の凸部4を備えるマスク1を用いて、ワーク6上に形成されたレジスト5の高さよりも低いCuパッド部7に印刷を行う状態を示す。凸部4の先端をCuパッド部7に当接して印刷する。Cuパッド部7よりも高さの高いレジスト5の上にマスク1が乗せられていても、マスク1において凸部4は凸形状であるため、凸部4の先端をCuパッド部7に当接することができる。凸部4の先端をCuパッド部7に当接して印刷を行うことができ、Cuパッド部7とマスク1との間に空間が作られない。そのため、ブリッジが発生することはない。また、凸部4は先細凸形状であるため、先端が平面を形成する場合に比べ、印刷後にCuパッド部7からはがす際、液切れがよい。特に、凸部4は先細凸形状であることは、ペースト等の粘度が高い場合に有効である。
次に、先細凸形状に形成された凸部を備えるマスク1の製造方法について説明する。
図4から図9は、先細凸形状に形成された凸部を備えるマスク1の製造方法を説明する図である。図4から図9に基づき、2通りの製造方法について説明する。
図4から図9は、先細凸形状に形成された凸部を備えるマスク1の製造方法を説明する図である。図4から図9に基づき、2通りの製造方法について説明する。
まず、1つ目の製造方法について説明する。
初めに、図4に示すように、基材10上にレジスト11を塗布(ラミネート)する。基材10の材質は例えばSUS(ステンレス鋼,Stainless Used Steel)、鉄板、アルミニウム等の導電性基材を用いることができる。または、基材10は、導電性皮膜が形成された非導電性基材でもよく、例えば、ガラスまたはフィルム等にNi,Cr、ITO(Indium Tin Oxide)膜等の導電性物質を蒸着した基材でもよい。
次に、図5に示すようにレジスト11の上に印刷パターンに対応する露光部分12−1を有するパターンフィルム12を重ねて露光する。つまり、パターンフィルム12の露光部分12−1が露光される。このように、フィルムを用いて印刷パターンをレジスト11に露光する方法に限られず、紫外線レーザー等を用いて印刷パターンをレジスト11に直接描画しても構わない。そして、パターンフィルム12を取り外し、現像する。すると、図6に示すように、基材10上の印刷パターンに対応する開口となる位置にレジスト11が残る。
次に、図7に示すように、レジスト11が形成された領域を除いて、基材10にマスク層13をニッケル等のめっきにより形成する。つまり、レジスト11は印刷パターン形状に形成されているため、レジスト11以外の部分に形成されたマスク層13は印刷パターン形状の開口を有することになる。ここで、マスク層13を形成する場合に、第1の電流密度でめっきを行う。
次に、図8に示すように、さらにめっきを行うことにより、マスク層13をさらに成長させる。ここで、マスク層13を成長させる場合に、上記第1の電流密度より高い第2の電流密度でめっきを行う。ここで、第2の電流密度は、第1の電流密度の2倍以上であるとよい。また、第1の電流密度で最終的に生成するマスクの板厚の2〜20%薄い板厚となるまでマスク層を形成し、第2の電流密度で最終的に生成するマスクの板厚までマスク層を成長させるとよい。特に、第1の電流密度で最終的に生成するマスクの板厚の5μm薄い板厚となるまでマスク層を形成し、第2の電流密度で最終的に生成するマスクの板厚までマスク層を成長させるとよい。
そして、レジスト11を除去し、基材10を剥離すると先細凸形状に形成された凸部4を備えるマスク1を得ることができる。
初めに、図4に示すように、基材10上にレジスト11を塗布(ラミネート)する。基材10の材質は例えばSUS(ステンレス鋼,Stainless Used Steel)、鉄板、アルミニウム等の導電性基材を用いることができる。または、基材10は、導電性皮膜が形成された非導電性基材でもよく、例えば、ガラスまたはフィルム等にNi,Cr、ITO(Indium Tin Oxide)膜等の導電性物質を蒸着した基材でもよい。
次に、図5に示すようにレジスト11の上に印刷パターンに対応する露光部分12−1を有するパターンフィルム12を重ねて露光する。つまり、パターンフィルム12の露光部分12−1が露光される。このように、フィルムを用いて印刷パターンをレジスト11に露光する方法に限られず、紫外線レーザー等を用いて印刷パターンをレジスト11に直接描画しても構わない。そして、パターンフィルム12を取り外し、現像する。すると、図6に示すように、基材10上の印刷パターンに対応する開口となる位置にレジスト11が残る。
次に、図7に示すように、レジスト11が形成された領域を除いて、基材10にマスク層13をニッケル等のめっきにより形成する。つまり、レジスト11は印刷パターン形状に形成されているため、レジスト11以外の部分に形成されたマスク層13は印刷パターン形状の開口を有することになる。ここで、マスク層13を形成する場合に、第1の電流密度でめっきを行う。
次に、図8に示すように、さらにめっきを行うことにより、マスク層13をさらに成長させる。ここで、マスク層13を成長させる場合に、上記第1の電流密度より高い第2の電流密度でめっきを行う。ここで、第2の電流密度は、第1の電流密度の2倍以上であるとよい。また、第1の電流密度で最終的に生成するマスクの板厚の2〜20%薄い板厚となるまでマスク層を形成し、第2の電流密度で最終的に生成するマスクの板厚までマスク層を成長させるとよい。特に、第1の電流密度で最終的に生成するマスクの板厚の5μm薄い板厚となるまでマスク層を形成し、第2の電流密度で最終的に生成するマスクの板厚までマスク層を成長させるとよい。
そして、レジスト11を除去し、基材10を剥離すると先細凸形状に形成された凸部4を備えるマスク1を得ることができる。
図7、図8に示す1つ目の製造方法におけるマスク層13を形成及び成長させるためのめっき条件の一例は以下のようになる。
(1)スルファミン酸Ni
300〜500g/lとする。中でも400〜500g/lがよく、450g/lが特によい。
(2)ホウ酸
30〜50g/lとする。中でも35〜45g/lがよく、40g/lが特によい。
(3)塩化Ni
5〜70g/lとする。中でも30〜50g/lがよく、40g/lが特によい。
(4)pH
3.5〜4.5とする。中でも3.8〜4.2がよく、4.0が特によい。
(5)NTS
0.5〜5g/lとする。中でも0.8〜4g/lがよく、1〜3g/lが特によい。
(6)液温
40〜50℃とする。中でも43〜47℃がよく、45℃が特によい。
(7)電流密度
第1の電流密度は、2A/dm2以下とする。中でも1.5A/dm2以下がよく、1A/dm2が特によい。
第2の電流密度は、5〜10A/dm2とする。中でも6〜8A/dm2がよく、7A/dm2が特によい。
すなわち、第2の電流密度は、第1の電流密度の少なくとも2倍以上となる。ここで、一般に、電流密度は高いほどめっきが成長する。特に、端部(突起部)では電流が集中し、電流密度が高くなるため、めっきが他の部分よりも多く成長する。そのため、レジスト11が形成された部分の付近はめっきが他の部分よりも多く成長する。この現象が、電流密度を高くすることにより、より強く現れるため、凸部4が形成されると考えられる。
(1)スルファミン酸Ni
300〜500g/lとする。中でも400〜500g/lがよく、450g/lが特によい。
(2)ホウ酸
30〜50g/lとする。中でも35〜45g/lがよく、40g/lが特によい。
(3)塩化Ni
5〜70g/lとする。中でも30〜50g/lがよく、40g/lが特によい。
(4)pH
3.5〜4.5とする。中でも3.8〜4.2がよく、4.0が特によい。
(5)NTS
0.5〜5g/lとする。中でも0.8〜4g/lがよく、1〜3g/lが特によい。
(6)液温
40〜50℃とする。中でも43〜47℃がよく、45℃が特によい。
(7)電流密度
第1の電流密度は、2A/dm2以下とする。中でも1.5A/dm2以下がよく、1A/dm2が特によい。
第2の電流密度は、5〜10A/dm2とする。中でも6〜8A/dm2がよく、7A/dm2が特によい。
すなわち、第2の電流密度は、第1の電流密度の少なくとも2倍以上となる。ここで、一般に、電流密度は高いほどめっきが成長する。特に、端部(突起部)では電流が集中し、電流密度が高くなるため、めっきが他の部分よりも多く成長する。そのため、レジスト11が形成された部分の付近はめっきが他の部分よりも多く成長する。この現象が、電流密度を高くすることにより、より強く現れるため、凸部4が形成されると考えられる。
つまり、1つ目の製造方法は、基材10に印刷パターン形状のレジスト11を形成するステップと、
第1の電流密度でめっきすることにより、レジスト11が形成された領域を除いて基材10にマスク層13を形成するステップと、
マスク層13を形成するステップの後に、第1の電流密度より高い第2の電流密度でめっきすることにより、マスク層13を成長させるステップと、
レジスト11を除去するステップと、
マスク層13から基材10を剥離するステップと
を備えることを特徴とする。
第1の電流密度でめっきすることにより、レジスト11が形成された領域を除いて基材10にマスク層13を形成するステップと、
マスク層13を形成するステップの後に、第1の電流密度より高い第2の電流密度でめっきすることにより、マスク層13を成長させるステップと、
レジスト11を除去するステップと、
マスク層13から基材10を剥離するステップと
を備えることを特徴とする。
次に、2つ目の製造方法について説明する。
2つ目の製造方法では、めっき浴組成(めっき液)に塩化塩を含むことが特徴である。塩化塩は、塩化鉄、塩化錫、塩化マンガン、塩化アンモン、塩化リチュウム等である。その他については、概ね1つ目の製造方法と2つ目の製造方法とは同様である。但し、2つ目の製造方法においては、図7、図8に示すマスク層13の形成・成長段階で電流密度を変化させる必要はない。つまり、最終的に生成するマスクの板厚まで電流密度を変化させることなく、マスク層13を形成して構わない。
図7、図8に示す2つ目の製造方法におけるマスク層13を形成及び成長させるためのめっき条件の一例としては、1つ目の製造方法におけるめっき条件に、以下に示す変更若しくは追加した条件を加えたものとなる。
(7)電流密度
第1の電流密度は、0.2〜3.0A/dm2とする。中でも1.0〜2.5A/dm2がよく、2.0A/dm2が特によい。
(8)塩化塩
0.5〜3g/lとする。中でも1〜2g/lがよく、1g/lが特によい。
2つ目の製造方法では、めっき浴組成(めっき液)に塩化塩を含むことが特徴である。塩化塩は、塩化鉄、塩化錫、塩化マンガン、塩化アンモン、塩化リチュウム等である。その他については、概ね1つ目の製造方法と2つ目の製造方法とは同様である。但し、2つ目の製造方法においては、図7、図8に示すマスク層13の形成・成長段階で電流密度を変化させる必要はない。つまり、最終的に生成するマスクの板厚まで電流密度を変化させることなく、マスク層13を形成して構わない。
図7、図8に示す2つ目の製造方法におけるマスク層13を形成及び成長させるためのめっき条件の一例としては、1つ目の製造方法におけるめっき条件に、以下に示す変更若しくは追加した条件を加えたものとなる。
(7)電流密度
第1の電流密度は、0.2〜3.0A/dm2とする。中でも1.0〜2.5A/dm2がよく、2.0A/dm2が特によい。
(8)塩化塩
0.5〜3g/lとする。中でも1〜2g/lがよく、1g/lが特によい。
つまり、2つ目の製造方法は、基材10に印刷パターン形状のレジスト11を形成するステップと、
塩化塩を添加しためっき液を使用してめっきすることにより、レジスト11が形成された領域を除いて基材10にマスク層13を形成するステップと、
レジスト11を除去するステップと、
マスク層13から基材10を剥離するステップと
を備えることを特徴とする。
塩化塩を添加しためっき液を使用してめっきすることにより、レジスト11が形成された領域を除いて基材10にマスク層13を形成するステップと、
レジスト11を除去するステップと、
マスク層13から基材10を剥離するステップと
を備えることを特徴とする。
上記マスク1の製造方法によれば、従来の凸部を有するマスクの製造方法に比べ、安価にかつ高精度に凸部4を有するマスク1を製造することが可能である。
上記1つ目の方法と上記2つ目の方法とを合わせて、上記1つ目の方法のように電流密度を変化させるとともに、上記2つ目の方法のようにめっき浴に塩化塩を含めるとしても構わない。この場合、さらに、大きく凸部4を形成することができる。
ここで、上記めっき条件は一例であり、これに限定するものではない。
図10は、マスク1の各部の寸法を示す図である。マスク1の最大板厚W1は、凸部4部分の板厚である。マスク1の最小板厚W2は凸部4以外の部分の板厚である。凸部4の高さW3は、W1−W2で表せる。また、凸部4の傾斜部幅W4は、板厚がW1の部分からW2の部分になるまでの幅である。
ここで、電流密度と塩化塩の濃度とを変更することにより、凸部4の高さW3や凸部4の傾斜部幅W4とを制御することができる。また、凸部4の形状についても同様に制御することができる。上記では、凸部4の幅が比例的に先に行くほど狭くなる形状を示した。しかし、図11、図12に示すように、凸部4の幅が比例的に先に行くほど狭くなる形状でなく、凸部4の幅が弓状、こぶ状に狭くなる形状であっても構わない。つまり、凸部4の幅が比例的に先に行くほど狭くなるのではなく、凸部4の幅が先に行くほど急(弓状)に、あるいは緩やか(こぶ状)に狭くなる形状であっても構わない。特に、凸部4の幅が先に行くほど急に狭くなる形状である場合、液切れがよい。
ここで、電流密度と塩化塩の濃度とを変更することにより、凸部4の高さW3や凸部4の傾斜部幅W4とを制御することができる。また、凸部4の形状についても同様に制御することができる。上記では、凸部4の幅が比例的に先に行くほど狭くなる形状を示した。しかし、図11、図12に示すように、凸部4の幅が比例的に先に行くほど狭くなる形状でなく、凸部4の幅が弓状、こぶ状に狭くなる形状であっても構わない。つまり、凸部4の幅が比例的に先に行くほど狭くなるのではなく、凸部4の幅が先に行くほど急(弓状)に、あるいは緩やか(こぶ状)に狭くなる形状であっても構わない。特に、凸部4の幅が先に行くほど急に狭くなる形状である場合、液切れがよい。
1 マスク、2,3 印刷パターン開口、4 凸部、5,11 レジスト、6 ワーク、7 Cuパッド部、10 基材、12 パターンフィルム、12−1 露光部分、13 マスク層。
Claims (7)
- 印刷パターン形状の開口を有するマスクにおいて、
少なくとも片面の表面に、上記開口の周囲が先端に行くに従って細くなる先細凸形状に形成された凸部
を備えることを特徴とするマスク。 - 上記マスクは、めっきにより形成された
ことを特徴とする請求項1記載のマスク。 - 基材に印刷パターン形状のレジストを形成するステップと、
塩化塩を添加しためっき液を使用してめっきすることにより、上記レジストが形成された領域を除いて上記基材にマスク層を形成するステップと、
上記レジストを除去するステップと、
上記マスク層から上記基材を剥離するステップと
を備えることを特徴とするマスクの製造方法。 - 上記マスク層を形成するステップでは、塩化塩を0.5〜3g/l(リットル)添加しためっき液を使用してめっきする
ことを特徴とする請求項3記載のマスクの製造方法。 - 基材に印刷パターン形状のレジストを形成するステップと、
第1の電流密度でめっきすることにより、上記レジストが形成された領域を除いて上記基材にマスク層を形成するステップと、
上記マスク層を形成するステップの後に、上記第1の電流密度より高い第2の電流密度でめっきすることにより、上記マスク層を成長させるステップと、
上記レジストを除去するステップと、
上記マスク層から上記基材を剥離するステップと
を備えることを特徴とするマスクの製造方法。 - 上記マスク層を成長させるステップでは、上記第1の電流密度の2倍以上の電流密度でめっきする
ことを特徴とする請求項5記載のマスクの製造方法。 - 上記マスク層を形成するステップでは、最終的に生成するマスクの板厚の2〜20%薄い板厚となるまでマスク層を形成し、
上記マスク層を成長させるステップでは、上記最終的に生成するマスクの板厚までマスク層を成長させる
ことを特徴とする請求項5記載のマスクの製造方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007057184A JP2008213404A (ja) | 2007-03-07 | 2007-03-07 | マスク及びマスクの製造方法 |
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2008213404A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2014078587A (ja) * | 2012-10-10 | 2014-05-01 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置の製造方法 |
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JPH0813187A (ja) * | 1994-06-28 | 1996-01-16 | Ibiden Co Ltd | メタルマスクの製造方法 |
JPH0852952A (ja) * | 1994-08-17 | 1996-02-27 | Sony Corp | 印刷版 |
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-
2007
- 2007-03-07 JP JP2007057184A patent/JP2008213404A/ja active Pending
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