JP2008210924A - 圧電体薄膜素子及びそのエージング処理方法、インクジェットヘッド、並びにインクジェット式記録装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】露点制御手段3で生成された乾燥気体は、圧電体薄膜素子1を収容するケース2の導入口4から供給され、排出口5から排出されることで、ケース2の内圧は、ケース外の圧力よりも高くなる。これによって、圧電体薄膜素子1の近傍雰囲気を長期に渡って安定して、露点が−40℃〜0℃の範囲内の低湿度に保つことが可能となる。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の実施の形態1による低湿度周囲環境を有する圧電体薄膜素子の構成を示す一部断面図である。図1において、圧電体薄膜素子1を収容するケース2は、露点制御手段3が供給する乾燥気体を取り込む導入口4と排出口5とを有している。
図2は、本発明の実施の形態2による低湿度周囲環境を有する圧電体薄膜素子の構成を示す一部断面図である。図1において、圧電体薄膜素子1を載置したベース6にキャップ部材7の開口端を接着剤8で接着することで、圧電体薄膜素子1は、その機械変位運動を阻害されない状態で密閉空間内に収容されている。そして、この密閉空間内に乾燥剤9を封入することで、圧電体薄膜素子1の近傍雰囲気の露点を−40℃〜0℃の範囲内に低湿度環境に保つ構成となっている。
図3は、本発明の実施の形態3による圧電体薄膜素子の構成を示す断面図である。この実施の形態3では、図1や図2に示した態様で用いる圧電体薄膜素子の構成例(その1)について説明する。
以上のように作製した圧電体薄膜素子は、第1の電極層13と第2の電極層15との間に電圧を印加することで、圧電体薄膜層14が機械変位運動を行うが、次のような構造の試験用試料を作製して駆動信頼性を評価し、適正な露点範囲を定めた。
上記の評価試験(A)で用いた試験用試料と同じ仕様で作製した試験用試料、即ち、400素子を搭載する基板を10個作製し、各々の基板において第1の電極層は共通電極として取り出し、第2の電極層は個別電極として各々電圧が印加できるように配線を行い、10基板(4000素子)について、駆動時の露点環境を0℃と想定して露点環境を駆動前の−40℃(エージング処理)と駆動時の0℃とで駆動し、各素子の外観観察とリーク電流の測定とを行ってエージング処理の有無による駆動信頼性の評価を行った。
ここでは、1個の素子毎に上記の評価試験(A)と同内容の評価試験を行う場合について説明する。まず、素子近傍雰囲気を低湿度環境に維持するために、外部の湿度環境から遮断する封止部材による素子封止を次のようにして行った。
図7は、本発明の実施の形態4による圧電体薄膜素子の構成を示す断面図である。この実施の形態4では、図1や図2に示した態様で用いる圧電体薄膜素子の構成例(その2)について説明する。
この実施の形態5では、実施の形態3,4による圧電体薄膜素子を低湿度環境下でインク吐出の駆動源として用いるインクジェットヘッドの構成例を示す。
この実施の形態6では、実施の形態5によるインクジェットヘッドを用いたインクジェット式記録装置の構成例を示す。端的には、このインクジェット式記録装置は、実施の形態3又は実施の形態4による圧電体薄膜素子を用いる実施の形態5による低湿度環境を有するインクジェットヘッドと、前記インクジェットヘッドと記録媒体とを相対移動させる相対移動手段とを備え、前記相対移動手段にて前記インクジェットヘッドが記録媒体に対して相対移動しているときに、前記インクジェットヘッドにおいて圧力室に連通するように設けたノズル孔から前記圧力室のインクを記録媒体に吐出させて記録を行うように構成される。以下、具体的な構成例(図12)を示す。
2 ケース
3 露点制御手段
4 導入口
5 排出口
6 ベース
7 キャップ部材
8 接着剤
9 乾燥剤
10 圧電体薄膜素子
11 基板
12 密着層
13 第1の電極層(下部電極)
14 圧電体薄膜層
14a 化学量論組成よりもPb組成量の多い層
14b 化学量論組成よりもPb組成量の少ない層
15 第2の電極層(上部電極)
16 圧電体薄膜素子
17 バッファー層
18 圧電体薄膜層
18a、18b 化学量論組成よりもPb組成量の多い層
27 低湿度周囲環境を有するインクジェットヘッド
28 ヘッドカバー
29 ヘッドベース
30 インクジェットヘッド本体
31 導入口
32 排出口
101 圧力室開口部
102 圧力室
102a 区画壁
103 個別電極(第2の電極層)
105 共通液室
106 供給口
107 インク流路
108 ノズル孔
110 圧電体薄膜層
111 振動層
112 共通電極(第1の電極層)
113 中間層(縦壁)
114 接着剤
140 インクジェット式記録装置
141 記録媒体
142 キャリッジ軸
143 キャリッジ(X方向での相対移動手段)
144 ローラー(Y方向での相対移動手段)
A 圧力室部材
B アクチュエータ部
C インク流路部材
D ノズル板
E ICチップ
Claims (16)
- 所定膜厚の圧電体薄膜層と、前記圧電体薄膜層の膜厚方向両側の層面それぞれに成膜した電極層とを備えている圧電体薄膜素子において、近傍雰囲気の露点を−40℃〜0℃の範囲内に保持する手段を備えていることを特徴とする圧電体薄膜素子。
- 前記圧電体薄膜層は、結晶粒が膜厚方向に沿って一端から他端に渡って柱状に成長した柱状結晶で構成されていることを特徴とする請求項1に記載の圧電体薄膜素子。
- 前記圧電体薄膜層は、粒界が、一方の前記電極層の層面側から略垂直に他方の前記電極層に向かって成長していることを特徴とする請求項2に記載の圧電体薄膜素子。
- 前記圧電体薄膜層は、Pb、Ti、Zrを含有することを特徴とする請求項2に記載の圧電体薄膜素子。
- 前記圧電体薄膜層は、Pb組成比が膜厚方向に異なる値で分布をしていることを特徴とする請求項4に記載の圧電体薄膜素子。
- 前記圧電体薄膜層は、ZrとTiの組成比が膜厚方向に異なる値で分布をしていることを特徴とする請求項4に記載の圧電体薄膜素子。
- 前記圧電体薄膜層は、膜厚方向の少なくとも一端側に低誘電率層が成膜されていることを特徴とする請求項2〜6のいずれか一つに記載の圧電体薄膜素子。
- 前記圧電体薄膜層は、スパッタ法、真空蒸着法、レーザーアブレーション法、イオンプレーティング法、MBE法、MOCVD法、プラズマCVD法等の気相成長法を用いて成膜されていることを特徴とする請求項1に記載の圧電体薄膜素子。
- 前記近傍雰囲気の露点環境を保持する手段は、前記圧電体薄膜素子の近傍雰囲気に乾燥気体を導入する手段であることを特徴とする請求項1に記載の圧電体薄膜素子。
- 前記近傍雰囲気の露点環境を保持する手段は、
導入口及び排出口を備え、前記圧電体薄膜素子の周囲に振動を阻害しない程度の空間を確保したケースと、
前記導入口に露点が−40℃〜0℃の範囲内にある乾燥気体の供給を継続して行い前記ケース内の内圧を外圧よりも高く保持される状態に制御する手段と
を備えていることを特徴とする請求項1に記載の圧電体薄膜素子。 - 前記近傍雰囲気の露点環境を保持する手段は、
前記圧電体薄膜素子の周囲に振動を阻害しない程度の空間であって外部から湿気の侵入を阻止できる密閉空間を形成する封止部材と、
前記密閉空間の封入され前記圧電体薄膜素子の近傍雰囲気の露点を−40℃〜0℃の範囲内に維持する乾燥剤と
を備えていることを特徴とする請求項1に記載の圧電体薄膜素子。 - 請求項2〜7のいずれか一つに記載の圧電体薄膜素子の使用前に、駆動時の露点環境よりも低い露点環境で、駆動電圧よりも高いエージング電圧を印加することを特徴とする圧電体薄膜素子のエージング処理方法。
- 前記エージング電圧は、直流電圧であることを特徴とする請求項12に記載の圧電体薄膜素子のエージング処理方法。
- 前記低い露点環境は、露点が−40℃〜0℃の範囲内であることを特徴とする請求項12に記載の圧電体薄膜素子のエージング処理方法。
- 請求項2〜7のいずれか一つに記載の圧電体薄膜素子と、
前記圧電体薄膜素子のいずれか一方の電極層側の面に設けられた振動板層と、
前記振動板層の前記圧電体薄膜素子とは反対側の面に接合され、前記圧電体薄膜素子の圧電効果による前記振動板層の層厚方向への変位に応じてインク吐出を行う圧力室とを備えるインクジェットヘッドであって、
前記圧電体薄膜素子の近傍雰囲気の露点を−40℃〜0℃の範囲内に保持する手段
を備えていることを特徴とするインクジェットヘッド。 - 請求項15に記載のインクジェットヘッドと、
前記インクジェットヘッドと記録媒体とを相対移動させる相対移動手段と、
前記相対移動手段によってインクジェットヘッドが記録媒体に対して相対移動しているときに、前記インクジェットヘッドにおいて圧力室に連通するように設けたノズル孔から前記圧力室のインクを記録媒体に吐出させて記録を行うように前記インクジェットヘッドが備える2〜7のいずれか一つに記載の圧電体薄膜素子を駆動する手段と、
を備えていることを特徴とするインクジェット式記録装置。
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